專利名稱：感光性樹(shù)脂組合物、圖案制造方法及電子部件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是關(guān)于感光性聚合物組合物、使用該組合物的圖案的制造方法及電子部件。更為詳細(xì)而言，是關(guān)于經(jīng)加熱處理成為聚苯并嗯唑系耐熱性高分子的適于作為半導(dǎo)體元件等電子部件表面保護(hù)膜、層間絕緣膜等的正型耐熱性感光性聚合物組合物、使用該組合物的圖案制造方法及其電子部件。
背景技術(shù)：
過(guò)去，由于耐熱性、機(jī)械特性及電氣特性優(yōu)異、且容易形成膜、膜表面平坦化等優(yōu)點(diǎn)，聚酰亞胺被廣泛作為半導(dǎo)體元件的表面保護(hù)膜或?qū)娱g絕緣膜使用。 在使用聚酰亞胺作為表面保護(hù)膜或?qū)娱g絕緣膜時(shí)，貫穿孔等的形成工序，主要介由使用正型光刻膠的蝕刻工序而進(jìn)行。然而，此形成工序包含光刻膠的涂布及剝離存在著操作煩雜的問(wèn)題。因而，為使此形成工序的作業(yè)合理化，而研究兼具感光性的耐熱性材料。關(guān)于感光性聚酰亞胺組合物，已知并正在使用的有經(jīng)酯鍵導(dǎo)入了感光基的聚酰亞胺前驅(qū)體組合物(以下，記做組合物(I)(例如，參照專利文獻(xiàn)I));聚酰胺酸中添加了經(jīng)化學(xué)線照射可以二聚化或聚合的碳一碳雙鍵及含有氨基與芳香族雙疊氮化合物的組合物(以下記做組合物(2)(例如，參照專利文獻(xiàn)2))。使用感光性聚酰亞胺組合物時(shí)，通常以溶液狀態(tài)涂布于基板上后干燥、隔著掩膜而照射活性光線、以顯影液去除曝光部分，形成圖案。上述組合物(I)及(2)為使用有機(jī)溶劑作為顯影液的負(fù)型。有機(jī)溶劑的顯影液，在廢液處理時(shí)對(duì)環(huán)境的負(fù)荷大，近年從環(huán)境方面考慮，尋求能夠以顯影液的處理容易的水性顯影液,來(lái)顯影的感光性耐熱材料。再者,從使用正型光刻膠的蝕刻工序變成負(fù)型的感光性聚酰亞胺，有必要變更曝光裝置的掩膜及顯影設(shè)備。上述組合物(I)、(2)具有上述的問(wèn)題。另一方面，已知的正型感光性聚酰亞胺有經(jīng)酯鍵導(dǎo)入了 O-硝基芐基的聚酰亞胺前驅(qū)體(以下記做前驅(qū)體組合物(3)(例如，參照專利文獻(xiàn)3));包含含有酚性羥基的聚酰胺酸酯與ο-重氮苯醌化合物的組合物(以下記做組合物(4)(例如，參照專利文獻(xiàn)4))等。再者，作為正型耐熱性材料，已經(jīng)使用了具有與聚酰亞胺同等的耐熱性、機(jī)械特性、電氣特性的聚苯并囉唑的感光劑材料:含有聚苯并_唑前驅(qū)體與ο-重氮苯醌化合物的組合物(以下，記做組合物(5)(例如，參照專利文獻(xiàn)5及6))等。然而，上述前驅(qū)體組合物(3)感光波長(zhǎng)主要在300nm以下，故敏感度低，特別是在使用最近常用的i線步進(jìn)機(jī)(365nm的單波長(zhǎng)光)時(shí)使用上有困難。還存在著下述問(wèn)題上述組合物(4)、(5)雖然比上述前驅(qū)體組合物(3)敏感度佳，但仍沒(méi)有足夠?qū)嵱眯缘拿舾卸?。?duì)此，為提高敏感度也已知添加有苯酚2核體等的組合物(以下，記做組合物(6)(例如，參照專利文獻(xiàn)6))。但是，如果像該組合物(6)那樣添加有苯酚2核體的話，在顯影后熱固化過(guò)程中由于酚類化合物的融解容易引起圖案變形、產(chǎn)生析像度降低等問(wèn)題。因而，很難獲得具有足夠敏感度、且顯影后的熱固化過(guò)程中不會(huì)引起圖案變形的感光性聚合物組合物。專利文獻(xiàn)I :日本專利特公昭55-30207號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 :日本專利特公平3-36861號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3 :日本專利特開(kāi)昭60-37550號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)4 :日本專利特開(kāi)平4-204945號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)5 :日本專利特開(kāi)昭64-6947號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)6 :日本專利特開(kāi)平9-302221號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于至少解決上述課題。本發(fā)明提供敏感度高、圖案形狀優(yōu)異、進(jìn)而在固化工序中不引起圖案變形、良好的正型感光性聚合物組合物。再者，本發(fā)明提供通過(guò)使用上述感光性聚合物組合物，可以得到析像度高、良好形狀圖案的圖案制造法。進(jìn)而，本發(fā)明由于具有良好形狀的精密圖案，可提供高可靠性的電子部件。S卩，本發(fā)明如下所述。[I] 一種感光性聚合物組合物，含有(a)具有如下述通式(I)化I
權(quán)利要求
1.ー種感光性聚合物組合物，包括 (a)具有如下述通式(I)所示的重復(fù)單元、且在末端具有酚性羥基的聚酰胺； 化I
2.如權(quán)利要求I所述的感光性聚合物組合物，其中上述通式(II)所表示的化合物為2,2- [3,5- (羥甲基)-4-羥基苯基]-1，1，1，3，3，3_六氟丙烷。
3.如權(quán)利要求I所述的感光性聚合物組合物，其中上述通式(11)所表示的化合物為2,2_雙[3, 5-雙(甲氧甲基)-4-輕基苯基]-1,1,1, 3, 3, 3-TK氣丙燒。
4.如權(quán)利要求I 3中任一項(xiàng)所述的感光性聚合物組合物，其中上述(a)成分、(b)成分、(c)成分間的混合比例，相對(duì)于上述(a)成分100重量份，(b)成分為5 100重量份，(c)成分為I 30重量份。
5.如權(quán)利要求I 3中任一項(xiàng)所述的感光性聚合物組合物，還包括(d)使上述(a)成分對(duì)于堿性水溶液的溶解性降低的化合物。
6.如權(quán)利要求5所述的感光性聚合物組合物，其中上述(d)成分為下述通式(III)所示的ニ芳基碘鎗鹽； 化3
7.如權(quán)利要求5所述的感光性聚合物組合物，其中上述(a)成分、(b)成分、(C)成分、(d)成分間的混合比例，相對(duì)于上述(a)成分100重量份，(b)成分為5 100重量份，(C)成分為I 30重量份，(d)成分為0. 01 15重量份。
8.一種圖案制造方法，包括 將權(quán)利要求I 3中的任意一項(xiàng)所述的感光性聚合物組合物涂布于支持基板上并干燥的エ序 將通過(guò)上述干燥所得的感光性樹(shù)脂層曝光成規(guī)定圖案的エ序； 將上述曝光后的感光性樹(shù)脂層顯影的エ序；以及 將上述顯影后的感光性樹(shù)脂層加熱處理的エ序。
9.如權(quán)利要求8項(xiàng)所述的圖案制造方法，其中上述曝光エ序中使用的曝光光源為i線。
10.一種電子部件，其特征在于，此電子部件含有具有按照權(quán)利要求8項(xiàng)所述的制造方法得到的圖案層的電子元件，上述電子元件中的上述圖案層被設(shè)置為層間絕緣膜層及/或表面保護(hù)膜層。
全文摘要
一種感光性聚合物組合物，含有(a)具有如下述通式(I)化1所示的重復(fù)單元的聚酰胺(式中，U表示4價(jià)有機(jī)基團(tuán)、V表示2價(jià)有機(jī)基團(tuán)，p表示重復(fù)單元數(shù)的整數(shù))；(b)經(jīng)光照產(chǎn)生酸的化合物；及(c)如下述通式(II)化2所示的化合物(式中，m及n各自分別為1或2的整數(shù)；R各自分別為氫、烷基或?；鵕1及R2各自分別表示碳原子數(shù)1～3的氟代烷基)。
文檔編號(hào)H01L21/027GK102854745SQ201210272318
公開(kāi)日2013年1月2日 申請(qǐng)日期2004年12月16日 優(yōu)先權(quán)日2004年1月14日
發(fā)明者大江匡之, 小松博, 津丸佳子, 川崎大, 加藤幸治, 上野巧 申請(qǐng)人:日立化成杜邦微系統(tǒng)股份有限公司