專利名稱：有機電致發(fā)光二極管有機材料蒸鍍用掩模裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及有機電致發(fā)光二極管(OLED)，尤其涉及一種有機電致發(fā)光二極管有機材料蒸鍍用掩模裝置。
背景技術(shù)：
有機發(fā)光二極管或有機發(fā)光顯示器(Organic Light Emitting Diode Display,OLED)又稱為有機電致發(fā)光二極管，是自 20世紀中期發(fā)展起來的一種新型顯示技術(shù)。與液晶顯示器相比，有機電致發(fā)光二極管具有全固態(tài)、主動發(fā)光、高亮度、高對比度、超薄、低成本、低功耗、快速響應(yīng)、寬視角、工作溫度范圍寬、易于柔性顯示等諸多優(yōu)點。有機電致發(fā)光二極管的結(jié)構(gòu)一般包括基板、陽極、陰極和有機功能層，其發(fā)光原理是通過陽極和陰極間蒸鍍的非常薄的多層有機材料，由正負載流子注入有機半導(dǎo)體薄膜后復(fù)合產(chǎn)生發(fā)光。有機電致發(fā)光二極管的有機功能層，一般由三個功能層構(gòu)成，分別為空穴傳輸功能層(HoleTransport Layer, HTL)、發(fā)光功能層(Emissive Layer, EML)、電子傳輸功能層(ElectronTransport Layer, ETL)。每個功能層可以是一層,或者一層以上,例如空穴傳輸功能層,有時可以細分為空穴注入層和空穴傳輸層；電子傳輸功能層，可以細分為電子傳輸層和電子注入層，但其功能相近，故統(tǒng)稱為空穴傳輸功能層，電子傳輸功能層。目前，全彩有機電致發(fā)光二極管的制作方法以紅綠藍(RGB)三色并列獨立發(fā)光法、白光加彩色濾光片法、色轉(zhuǎn)換法三種方式為主，其中紅綠藍三色并列獨立發(fā)光法最有潛力，實際應(yīng)用最多。但在以紅綠藍三色并列獨立發(fā)光法制作有機電致發(fā)光二極管的制作過程中，需要使用金屬掩模板來達到對玻璃基板上發(fā)光層的發(fā)光像素部分區(qū)域蒸鍍有機材料以實現(xiàn)彩色顯示。隨著有機電致發(fā)光二極管的發(fā)展，尤其是主動矩陣式有機發(fā)光二極管(ActiveMatrix Organic Light Emitting Diode, AM0LED)的發(fā)展,有機電致發(fā)光二極管產(chǎn)品尺寸及玻璃基板尺寸都在不斷增加，這就要求蒸鍍金屬掩模板的尺寸不斷增大，金屬掩模板一般都很薄(一般不超過50um)，而且有機電致發(fā)光二極管蒸鍍工藝要求金屬掩模板和玻璃基板之間要有很高的對位精度(金屬掩模板單元器件與玻璃基板的像素單元之間對位誤差在-3um +3um)。隨著有機電致發(fā)光二極管大尺寸化的生產(chǎn),往往會產(chǎn)生由于金屬掩模板與玻璃基板之間對位不準導(dǎo)致有機材料蒸鍍到其他區(qū)域，造成產(chǎn)品不良，極大影響了生產(chǎn)效率和生產(chǎn)成本。因此，金屬掩模板的大尺寸化及其大尺寸化后與玻璃基板之間的精確對位等技術(shù)問題，限制了有機電致發(fā)光二極管大尺寸化的發(fā)展。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種有機電致發(fā)光二極管有機材料蒸鍍用掩模裝置，其通過數(shù)張分掩模板拼接于掩模板框架上，實現(xiàn)了有機電致發(fā)光二極管有機材料蒸鍍用掩模的大尺寸化，同時有利于大尺寸有機電致發(fā)光二極管的有機材料的蒸鍍。為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種有機電致發(fā)光二極管有機材料蒸鍍用掩模裝置，包括一掩模板框架、及數(shù)張安裝在該掩模板框架上的分掩模板；所述分掩模板之間設(shè)有間隙，每兩個相鄰的分掩模板之間的間隙相同，所述掩模板框架呈矩形，其中間設(shè)有矩形的容置口，所述分掩模板沿容置口的寬度方向進行排列安裝，其張數(shù)根據(jù)該掩模板框架的容置口的寬度及所述分掩模板的寬度而定，全部分掩模板的寬度加上其之間的間隙寬度的數(shù)值大于或等于容置口的寬度。所述掩模板框架的容置口大小根據(jù)待蒸鍍的有機電致發(fā)光二極管發(fā)光層的大小而定。所述分掩模板具有相同的結(jié)構(gòu)及大 小，每一分掩模板均包括開口有效區(qū)及設(shè)于該開口有效區(qū)兩端的兩無效區(qū)。所述分掩模板開口有效區(qū)的開口與有機電致發(fā)光二極管發(fā)光層的像素單元的子像素點對應(yīng)設(shè)置；所述分掩模板無效區(qū)的自由端分別連接在所述掩模板框架上，進而安裝該分掩模板于掩模板框架上。所述分掩模板開口有效區(qū)的開口為插槽型開口。所述相鄰的兩分掩模板之間的間隙的寬度大于或等于有機電致發(fā)光二極管發(fā)光層的像素單元的子像素點的寬度。所述像素單元的子像素點為紅、綠、藍三色子像素點中的任一顏色的子像素點。所述分掩模板開口有效區(qū)的開口為縫隙型開口。所述掩模裝置還包括數(shù)張設(shè)置于相鄰兩分掩模板之間的間隙上的掩蓋板，該掩蓋板的寬度大于相鄰兩分掩模板之間的間隙的寬度，且小于相鄰兩開口有效區(qū)之間的距離。所述掩蓋板安裝在所述掩模板框架上。本發(fā)明的有益效果本發(fā)明所述的有機電致發(fā)光二極管有機材料蒸鍍用掩模裝置，其通過數(shù)張分掩模板拼接于掩模板框架上，實現(xiàn)了有機電致發(fā)光二極管有機材料蒸鍍用掩模的大尺寸化，解決了主動矩陣式有機電致發(fā)光二極管蒸鍍技術(shù)無法突破的問題；所述蒸鍍裝置避免了有機材料蒸鍍時附著于玻璃基板的其他區(qū)域，減少封裝不良，及實現(xiàn)有機電致發(fā)光二極管大尺寸化的可能性；降低有機電致發(fā)光二極管生產(chǎn)成本，提高其生產(chǎn)效率。為了能更進一步了解本發(fā)明的特征以及技術(shù)內(nèi)容，請參閱以下有關(guān)本發(fā)明的詳細說明與附圖，然而附圖僅提供參考與說明用，并非用來對本發(fā)明加以限制。


下面結(jié)合附圖，通過對本發(fā)明的具體實施方式
詳細描述，將使本發(fā)明的技術(shù)方案及其它有益效果顯而易見。附圖中，圖I為本發(fā)明有機電致發(fā)光二極管有機材料蒸鍍用掩模裝置一實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖I中分掩模板開口有效區(qū)的局部放大示意圖；圖3為本發(fā)明有機電致發(fā)光二極管有機材料蒸鍍用掩模裝置的另一實施例的掩?？蚣芎头盅谀０宓慕M裝示意圖；圖4為圖3所述實施例的有機電致發(fā)光二極管有機材料蒸鍍用掩模裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式為更進一步闡述本發(fā)明所采取的技術(shù)手段及其效果，以下結(jié)合本發(fā)明的優(yōu)選實施例及其附圖進行詳細描述。請參閱圖I及圖2，本發(fā) 明所述的有機電致發(fā)光二極管有機材料蒸鍍用掩模裝置，包括一掩模板框架(mask frame) 20、及數(shù)張安裝在該掩模板框架20上的分掩模板(divide shadow mask) 22,分掩模板22之間設(shè)有間隙(gap) 24,每兩個分掩模板22之間的間隙24相同，該數(shù)張分掩模板22拼接出整張蒸鍍用的大尺寸的掩模板。所述掩模板框架20呈矩形，其中間設(shè)有矩形的容置口 200。所述分掩模板22沿容置口 200的寬度方向進行排列安裝，其張數(shù)根據(jù)該掩模板框架20的容置口 200的寬度及所述分掩模板22的寬度而定，全部分掩模板22的寬度加上其之間的間隙24寬度的數(shù)值大于或等于容置口 200的寬度。所述掩模板框架20的容置口 200大小根據(jù)有機電致發(fā)光二極管發(fā)光層(未圖示)的大小而定，通常兩者的尺寸是一致的。在本實施例中,所述分掩模板22具有相同的結(jié)構(gòu)及大小,每一分掩模板22包括開口有效區(qū)220及設(shè)于該開口有效區(qū)220兩端的兩無效區(qū)222。所述分掩模板22開口有效區(qū)220設(shè)有數(shù)個開口 221，其與有機電致發(fā)光二極管發(fā)光層的像素單元的子像素點對應(yīng)設(shè)置，進而在蒸鍍制程中實現(xiàn)精確對位；所述分掩模板22兩無效區(qū)222的自由端分別連接在所述掩模板框架20上，進而安裝該分掩模板22于掩模板框架20上。所述分掩模板22的開口 221大小相同，在本實施例中，所述開口 221為插槽型(slot type)開 P。所述分掩模板22拼接時間隔設(shè)置，且相鄰的分掩模板22之間的間隙24寬度大于或等于有機電致發(fā)光二極管發(fā)光層的像素單元的子像素點的寬度。所述像素單元的子像素點為紅、綠、藍(R、G、B)三色子像素點中的任一顏色的子像素點。請參見圖3及圖4，為本發(fā)明另一實施例所述的有機電致發(fā)光二極管有機材料蒸鍍用掩模裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，在本實施例中，該有機電致發(fā)光二極管有機材料蒸鍍用掩模裝置，包括一掩模板框架20、數(shù)張安裝在該掩模板框架20上的分掩模板22’及設(shè)置于相鄰兩分掩模板22’之間的間隙24’上的掩蓋板26 ;每兩個相鄰的分掩模板22’之間的間隙24’相同，即是將數(shù)張分掩模板22’拼接出整張蒸鍍用的大尺寸的掩模板；所述掩模板框架20呈矩形，其中間設(shè)有矩形的容置口 200。所述分掩模板22’沿容置口 200的寬度方向排列安裝，其張數(shù)根據(jù)該掩模板框架20的容置口 200的寬度及所述分掩模板22’的寬度而定，全部分掩模板22’的寬度加上其之間的間隙24’寬度的數(shù)值大于或等于容置口 200的覽度。所述掩模板框架20的容置口 200大小根據(jù)有機電致發(fā)光二極管發(fā)光層(未圖示)的大小而定，通常兩者的尺寸是一致的。所述分掩模板22’具有相同的結(jié)構(gòu)及大小，每一分掩模板22’均包括開口有效區(qū)220’及環(huán)繞該開口有效區(qū)220’設(shè)置的無效區(qū)222’。
所述分掩模板22’開口有效區(qū)220’的開口 221’與有機電致發(fā)光二極管發(fā)光層的像素單元的子像素點對應(yīng)設(shè)置，進而在蒸鍍制程中實現(xiàn)精確對位；所述分掩模板22’無效區(qū)222’的自由端分別連接在所述掩模板框架20上，進而安裝該分掩模板22’于掩模板框架20上。所述分掩模板22’的開口 221’具有相同大小，在本實施例中，所述開口 221’為縫隙型(slit type)開口。所述分掩模板22’拼接時間隔設(shè)置，且相鄰的兩分掩模板22’之間的間隙24’寬度大于或等于有機電致發(fā)光二極管發(fā)光層的像素 單元的子像素點的寬度。所述像素單元的子像素點為紅、綠、藍(R、G、B)三色子像素點中的任一顏色的子像素點。所述掩蓋板26安裝在所述掩模板框架20上，該掩蓋板26的寬度大于相鄰兩分掩模板22’之間的間隙24’的寬度，且小于相鄰兩分掩模板22’開口有效區(qū)220’之間的距離進而將相鄰兩分掩模板22’之間的間隙24’完全覆蓋，但不會影響到開口有效區(qū)220’的開
口 221，。綜上所述，本發(fā)明所述的有機電致發(fā)光二極管有機材料蒸鍍用掩模裝置，其通過數(shù)張分掩模板拼接于掩模板框架上，實現(xiàn)了有機電致發(fā)光二極管有機材料蒸鍍用掩模的大尺寸化，解決了主動矩陣式有機電致發(fā)光二極管蒸鍍技術(shù)無法突破的問題；所述蒸鍍裝置避免了有機材料蒸鍍時附著于玻璃基板的其他區(qū)域，減少封裝不良，及實現(xiàn)有機電致發(fā)光二極管大尺寸化的可能性；降低生產(chǎn)成本，提高生產(chǎn)效率。以上所述，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，可以根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案和技術(shù)構(gòu)思作出其他各種相應(yīng)的改變和變形，而所有這些改變和變形都應(yīng)屬于本發(fā)明權(quán)利要求的保護范圍。
權(quán)利要求
1.一種有機電致發(fā)光二極管有機材料蒸鍍用掩模裝置，其特征在于，包括一掩模板框架、及數(shù)張安裝在該掩模板框架上的分掩模板；所述分掩模板之間設(shè)有間隙，每兩個相鄰的分掩模板之間的間隙相同，所述掩模板框架呈矩形，其中間設(shè)有矩形的容置口，所述分掩模板沿容置口的寬度方向進行排列安裝，其張數(shù)根據(jù)該掩模板框架的容置口的寬度及所述分掩模板的寬度而定，全部分掩模板的寬度加上其之間的間隙寬度的數(shù)值大于或等于容置口的寬度。
2.如權(quán)利要求I所述的有機電致發(fā)光二極管有機材料蒸鍍用掩模裝置，其特征在于，所述掩模板框架的容置口大小根據(jù)待蒸鍍的有機電致發(fā)光二極管發(fā)光層的大小而定。
3.如權(quán)利要求I所述的有機電致發(fā)光二極管有機材料蒸鍍用掩模裝置，其特征在于，所述分掩模板具有相同的結(jié)構(gòu)及大小，每一分掩模板均包括開口有效區(qū)及設(shè)于該開口有效區(qū)兩端的兩無效區(qū)。
4.如權(quán)利要求3所述的有機電致發(fā)光二極管有機材料蒸鍍用掩模裝置，其特征在于，所述分掩模板開口有效區(qū)的開口與有機電致發(fā)光二極管發(fā)光層的像素單元的子像素點對應(yīng)設(shè)置；所述分掩模板無效區(qū)的自由端分別連接在所述掩模板框架上，進而安裝該分掩模板于掩模板框架上。
5.如權(quán)利要求3所述的有機電致發(fā)光二極管有機材料蒸鍍用掩模裝置，其特征在于，所述分掩模板開口有效區(qū)的開口為插槽型開口。
6.如權(quán)利要求4所述的有機電致發(fā)光二極管有機材料蒸鍍用掩模裝置，其特征在于，所述相鄰的兩分掩模板之間的間隙的寬度大于或等于有機電致發(fā)光二極管發(fā)光層的像素單元的子像素點的寬度。
7.如權(quán)利要求7所述的有機電致發(fā)光二極管有機材料蒸鍍用掩模裝置，其特征在于，所述像素單元的子像素點為紅、綠、藍三色子像素點中的任一顏色的子像素點。
8.如權(quán)利要求3所述的有機電致發(fā)光二極管有機材料蒸鍍用掩模裝置，其特征在于，所述分掩模板開口有效區(qū)的開口為縫隙型開口。
9.如權(quán)利要求8所述的有機電致發(fā)光二極管有機材料蒸鍍用掩模裝置，其特征在于，還包括數(shù)張設(shè)置于相鄰兩分掩模板之間的間隙上的掩蓋板，該掩蓋板的寬度大于相鄰兩分掩模板之間的間隙的寬度，且小于相鄰兩開口有效區(qū)之間的距離。
10.如權(quán)利要求9所述的有機電致發(fā)光二極管有機材料蒸鍍用掩模裝置，其特征在于，所述掩蓋板安裝在所述掩模板框架上。
全文摘要
本發(fā)明提供一種有機電致發(fā)光二極管有機材料蒸鍍用掩模裝置，包括一掩模板框架、及數(shù)張安裝在該掩模板框架上的分掩模板；所述分掩模板之間設(shè)有間隙，每兩個相鄰的分掩模板之間的間隙相同，所述掩模板框架呈矩形，其中間設(shè)有矩形的容置口，所述分掩模板的張數(shù)根據(jù)該掩模板框架的容置口的寬度及所述分掩模板的寬度而定，全部分掩模板的寬度加上其之間的間隙寬度的數(shù)值大于或等于容置口的寬度。所述有機電致發(fā)光二極管有機材料蒸鍍用掩模裝置通過數(shù)張分掩模板拼接于掩模板框架上，實現(xiàn)了有機電致發(fā)光二極管有機材料蒸鍍用掩模的大尺寸化，同時有利于大尺寸有機電致發(fā)光二極管的有機材料的蒸鍍。
文檔編號H01L51/56GK102766844SQ20121028490
公開日2012年11月7日 申請日期2012年8月10日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月10日
發(fā)明者吳泰必, 王宜凡 申請人:深圳市華星光電技術(shù)有限公司