專利名稱：有機(jī)沉積及封裝用掩?？蚣芙M件，其制作方法及設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明一種涉及白光OLED用電視機(jī)制作工藝中以便制作白光OLED面板的有機(jī)沉積及封裝用掩模框架組件，其制作方法及制作設(shè)備，更具體地說(shuō)是涉及一種為了將與有源矩陣有機(jī)發(fā)光二極體面板(AMOLED) —起備受矚目的白光OLED大型化到第四代以上，而利用多個(gè)金屬棒掩模制作的掩?？蚣芙M件，與其制作方法及制作設(shè)備。
背景技術(shù)：
OLED(有機(jī)發(fā)光二極管)的反映速度相比于薄膜晶體管液晶顯示器(TF T IXD)要快得多。此外，因?yàn)樽陨砜梢园l(fā)光，無(wú)需背光燈，因此厚度與重量可以減少三分之一，是具有寬視角與低電耗構(gòu)造的次世代顯示器。這樣的OLED分為AM方式(主動(dòng))與PM方式(被動(dòng))。無(wú)源矩陣有機(jī)發(fā)光二極體面板(PMOLED)相比于有源矩陣有機(jī)發(fā)光二極體面板(AMOLED)，生產(chǎn)成本低廉，但在耗電、壽命、分辨率上受到限制。AMOLED在每個(gè)像素里都用TFT與電容，在耗電、壽命、分辨率側(cè)面上都很優(yōu)秀，因此忽略了因?yàn)門FT制作而導(dǎo)致的生產(chǎn)成本高的缺點(diǎn)，目前在各個(gè)領(lǐng)域中受到廣泛的開(kāi)發(fā)與接連不斷地量產(chǎn)嘗試。AMOLED的最大優(yōu)點(diǎn)在于其在畫(huà)質(zhì)上的競(jìng)爭(zhēng)力。相比于最大競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的IXD，其對(duì)色的再現(xiàn)率高出了 30%，對(duì)比度甚至優(yōu)秀20倍之多。IXD最大缺點(diǎn)的影像余象現(xiàn)象在AMOLED中也無(wú)從找尋。這是因?yàn)?，相反于LCD，背光源是將間接光源通過(guò)液晶、彩色濾光器等，對(duì)于復(fù)雜的畫(huà)面顯示，AMOLED是通過(guò)有機(jī)物質(zhì)自身發(fā)光直接再現(xiàn)自然色的畫(huà)面。此外，OLED相比于LCD，其構(gòu)造非常簡(jiǎn)單，因此在部件側(cè)面也非常有利。但是，查看OLED材料原價(jià)、驅(qū)動(dòng)電路、驅(qū)動(dòng)IC價(jià)格時(shí)，OLED的貶值比率居然大到，占了總成本的一半。這是因?yàn)镺LED尚未在消費(fèi)者之間普及化，導(dǎo)致很難起到通過(guò)大規(guī)模生產(chǎn)降低生產(chǎn)成本的效果。因?yàn)檫@種現(xiàn)實(shí)問(wèn)題，白光OLED技術(shù)成為了最近新興的顯示技術(shù)。對(duì)白光OLED進(jìn)行簡(jiǎn)單說(shuō)明就是，將LCD面板的優(yōu)點(diǎn)與AMOLED面板的優(yōu)點(diǎn)融合在一起的技術(shù)。即，在顯示色彩的R/G/B原色濾鏡上放置具有切換功能的白光OLED及TFT，將自身發(fā)光的白光OLED切換為TFT來(lái)顯示R/G/B原色彩色濾鏡的顯示技術(shù)。如果可以將這種白光OLED面板實(shí)現(xiàn)大型化，可以提供LCD級(jí)別的量產(chǎn)收率與AMOLED相當(dāng)?shù)钠占靶透咂焚|(zhì)顯示面板。但是，目前的實(shí)情為，還沒(méi)有提供可以大量制作出現(xiàn)在大眾普及的LCD或PDP級(jí)別的40英寸以上或第八代以上的白光OLED面板的技術(shù)，因此普及高品質(zhì)的顯示面板是遙遠(yuǎn)的實(shí)情。確實(shí)是可以具備大尺寸的線圈實(shí)現(xiàn)單張方式，但是很難利用單張形成的掩模實(shí)現(xiàn)大型化的理由是，掩模原材料的線圈供給的大小，沒(méi)有以大型化所需的大小尺寸生產(chǎn)。即，因?yàn)橛詥?wèn)題，線圈生產(chǎn)商不會(huì)去生產(chǎn)白光OLED顯示廠商所需大小的線圈。此外，為了大量制作第四代以上的白光OLED面板，如果具有高精細(xì)，同時(shí)還能沉積白光OLED的白光OLED用掩?？蚣芙M件的制作技術(shù)做鋪墊，就可以克服收率問(wèn)題實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，但大部分的掩模框架組件的制作技術(shù)或設(shè)備都是為了 LCD或AMOLED面板制作的用途，因此很難直接應(yīng)用為白光OLED用掩模框架組件。具體的理由是以往形成大型化的LCD或正在開(kāi)發(fā)著大型化技術(shù)的AMOLED用掩?？蚣芙M件的制作方法或制作設(shè)備中，如FMM Type OLED,為了使R/G/B用有機(jī)物沉淀，利用在各像素中形成了對(duì)應(yīng)的密集的槽的金屬掩模(Fine Metal MASK),利用開(kāi)放式掩模對(duì)Metal進(jìn)行沉積及封裝。但是白光OLED與之不同，為了對(duì)應(yīng)R/G/B色彩，使用了 LCD制作工藝中使用的濾色鏡，因此在White有機(jī)物沉積與金屬沉積及封裝工藝中都利用了開(kāi)放式掩模。因此，不需要應(yīng)用金屬掩模，開(kāi)放式掩模的制作在單張內(nèi)部取多面制作時(shí)，會(huì)因?yàn)镸ask CoilSize的限制性而很難應(yīng)用。此外，如圖11所示，在單張內(nèi)部取多面制作的以往的方式，很難使掩模在沒(méi)有下墜的情況下，維持張力、精密地進(jìn)行安置，因此，很難制作出大面積的白光OLED用掩?？蚣芙M件。 S卩，掩模如果不具有張力，會(huì)因?yàn)槲恢貌粔蚓軐?dǎo)致掩模的中央出現(xiàn)下垂，對(duì)陰影(Shadow)與沉積位置有影響，因此無(wú)法提供高精細(xì)的白光OLED用面板，出現(xiàn)收率降低的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
(要解決的技術(shù)問(wèn)題)為了解決如上所述問(wèn)題，本發(fā)明的目的在于提供一種掩?？蚣芙M件及其制作方法與制作設(shè)備，為了使第四代以上的白光OLED面板得到量產(chǎn)，將掩模棒移動(dòng)并定位到將槽分割成可以容納所需大鏡框面積的位置。分割時(shí)為了不使掩模的中央部分發(fā)生下墜等，對(duì)其施加張力后焊接的制作方法及制作設(shè)備，用其來(lái)制作掩?？蚣芙M件。(解決問(wèn)題的設(shè)備)為了達(dá)成如上所述目的并去除以往的缺點(diǎn)，本發(fā)明的目的在于提供白光OLED用電視機(jī)制作工藝中的，為了制作白光OLED面板的有機(jī)沉積及封裝用掩模框架組件的制作方法，其特征在于，包括(A)為了確定掩模帶的附著位置，而進(jìn)行玻璃基體定位的階段；(B)為了通過(guò)焊接掩模帶進(jìn)行固定，而進(jìn)行框架載入的階段；(C)將掩模帶的兩端在框架短邊(Y軸)移動(dòng)型夾具或框架長(zhǎng)邊(X軸)移動(dòng)型夾具進(jìn)行把持的階段；(D)將兩端的框架短邊(Y軸)移動(dòng)型夾具沿框架短邊方向或框架長(zhǎng)邊(Z軸)移動(dòng)型夾具沿框架長(zhǎng)邊方向移動(dòng)到焊接點(diǎn)后，施加張力在玻璃基體上形成的掩模帶顯示部進(jìn)行對(duì)齊的階段；(E)為了防止與玻璃基體顯示部維持對(duì)齊的掩模帶的彎曲，利用框架短邊移動(dòng)型夾具或長(zhǎng)邊(X軸)移動(dòng)型夾具上具備的Θ角度調(diào)節(jié)電機(jī)調(diào)節(jié)Θ角度的階段；(F)將確定位置及調(diào)節(jié)完Θ角度的掩模帶的兩端焊接于框架上的階段；(G)重復(fù)(C)階段至(F)階段的階段，使得需要設(shè)置在框架的短邊(Y軸)或長(zhǎng)邊(X軸)上的掩模帶數(shù)。本發(fā)明作為優(yōu)選實(shí)施例，由所述(F)或(G)階段中，利用框架長(zhǎng)邊(X軸)移動(dòng)型夾具，確定位置及調(diào)節(jié)完Θ角度的掩模帶的兩端焊接于框架上后，在框架短邊上焊接與已設(shè)置的掩模帶交叉部的階段構(gòu)成。本發(fā)明作為優(yōu)選實(shí)施例，所述焊接順序可以先在框架短邊焊接掩模帶后再在框架長(zhǎng)邊焊接掩模帶。本發(fā)明作為優(yōu)選實(shí)施例，所述框架的短邊及長(zhǎng)邊上的焊接順序可以以從內(nèi)側(cè)到外側(cè)的方向進(jìn)行焊接。
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本發(fā)明作為優(yōu)選實(shí)施例，所述以框架短邊方向焊接的多個(gè)掩模帶中，兩側(cè)的掩模帶與長(zhǎng)邊框架全面接觸并焊接；所述以框架長(zhǎng)邊方向焊接的多個(gè)掩模帶中，兩側(cè)的掩模帶與短邊框架全面接觸并焊接。本發(fā)明以另一實(shí)施形態(tài)，提供白光OLED用電視機(jī)制作工藝中，為了制作白光OLED面板的有機(jī)沉積及封裝用掩模框架組件的制作設(shè)備，所述白光OLED面板制作用掩模框架組件制作設(shè)備由框架及掩模供給設(shè)備、框架裝載設(shè)備、玻璃基體供給及裝載設(shè)備、掩模供給設(shè)備、掩模與玻璃基體的位置對(duì)齊用攝像機(jī)設(shè)備、將掩模焊接于框架的設(shè)備構(gòu)成，其特征在于，包括一對(duì)對(duì)置的框架短邊(Y軸)移動(dòng)型夾具，把持掩模帶的兩端，可以在施加張力的情況下沿框架短邊方向移動(dòng)；一對(duì)對(duì)置的框架長(zhǎng)邊(X軸)移動(dòng)型夾具，把持掩模帶的兩端，可以在施加張力的情況下沿框架長(zhǎng)邊方向移動(dòng)。本發(fā)明作為優(yōu)選實(shí)施例，所述框架短邊(Y軸)移動(dòng)型夾具及框架長(zhǎng)邊(X軸)移動(dòng)型夾具的構(gòu)成更包括Θ角度調(diào)節(jié)電機(jī)，調(diào)節(jié)移送到的掩模帶Θ角度；Θ軸調(diào)節(jié)緩沖設(shè)備，在另一方向支持，因與所述Θ角度調(diào)節(jié)電機(jī)的旋轉(zhuǎn)而前進(jìn)的連桿的接觸而旋轉(zhuǎn)的把持氣缸及氣缸部。本發(fā)明作為優(yōu)選實(shí)施例，所述框架短邊(Y軸)移動(dòng)型夾具及框架長(zhǎng)邊(X軸)移動(dòng)型夾具安裝于直線伺服電機(jī)上進(jìn)行精密的往復(fù)運(yùn)動(dòng)。本發(fā)明以另一實(shí)施形態(tài)，提供白光OLED用電視機(jī)制作工藝中的，為了制作白光OLED面板的有機(jī)沉積及封裝用掩?？蚣芙M件，其特征在于，包括由所述掩?？蚣芙M件制作方法制作的，形成外圍的框架；一個(gè)以上的掩模帶，橫跨內(nèi)部空間在所述框架的長(zhǎng)邊及短邊上進(jìn)行焊接設(shè)置；掩模帶，與所述框架的長(zhǎng)邊及短邊全面接觸并焊接；多個(gè)白光OLED沉積用槽，由所述框架的短邊或長(zhǎng)邊上焊接的掩模帶，形成于內(nèi)部空間。(發(fā)明的效果)如上所述的本發(fā)明具有，為了可以制作第四代以上大面積化的白光OLED面板，提供有機(jī)沉積及封裝用掩?？蚣芙M件的優(yōu)點(diǎn)；此外，利用各一對(duì)框架長(zhǎng)邊與短邊方向上對(duì)置的總共四個(gè)夾具把持供給的掩模帶后，在想要的位置上將掩模帶精密定位的優(yōu)點(diǎn)；此外，可以在掩模帶上施加張力并定位時(shí)，調(diào)節(jié)Θ角度來(lái)放置彎曲及下墜，由此制作高精細(xì)的白光OLED面板，來(lái)防止陰影現(xiàn)象等的優(yōu)點(diǎn)的有用發(fā)明，其在產(chǎn)業(yè)上的利用備受期待。


圖I是表示根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的使用掩模帶分割槽的白光OLED用掩模框架組件的平面示意圖。圖2是表示根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例的使用掩模帶分割槽的白光OL ED用掩?？蚣芙M件的平面示意圖。圖3是表示根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的利用移動(dòng)型夾具的框架中焊接掩模的流程示意圖。圖4是表示根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的利用移動(dòng)型夾具的框架中焊接掩模的設(shè)備的示意圖。圖5是表示根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的整體構(gòu)成概略圖。·圖6是表示根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的Θ角度的校正設(shè)備的示意圖。圖7是表示根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的框架及玻璃基體上下拉動(dòng)設(shè)備的示意圖。圖8是表示根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的掩模帶裝載設(shè)備的示意圖。圖9是表示根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的影像及激光焊接設(shè)備的示意圖。圖10是表示本發(fā)明的掩?？蚣芙M件的制作方法流程圖。圖11是表示以往在單張內(nèi)部取多面制作白光OLED用掩?？蚣芙M件的示意圖。(附圖標(biāo)記說(shuō)明)I :框架2a、2b :掩模帶3 :槽4a :框架短邊(Y軸)移動(dòng)型夾具4b :框架長(zhǎng)邊(X軸)移動(dòng)型夾具5 :直線伺服電機(jī)41a、41b :氣缸42a,42b :把持氣缸6 :框架及玻璃基體的上下拉動(dòng)設(shè)備7:掩模帶裝載設(shè)備8 :影像及激光焊接設(shè)備9 :影像及激光焊接設(shè)備移送用直線伺服電機(jī)10 Θ軸鉸鏈11 : Θ角度調(diào)節(jié)電機(jī)12 Θ軸調(diào)節(jié)緩沖設(shè)備13 Θ軸固定設(shè)備15 :移動(dòng)型夾具Up/Down電機(jī)
具體實(shí)施例方式下面參照附圖，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例的構(gòu)成與其作用進(jìn)行具體說(shuō)明。此外，在說(shuō)明本發(fā)明的過(guò)程中，當(dāng)判斷認(rèn)為對(duì)相關(guān)眾所周知的功能或構(gòu)成的具體說(shuō)明可能會(huì)混淆本發(fā)明要旨時(shí)，省略其具體說(shuō)明。圖I是表示根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的使用掩模帶分割槽的白光OLED用掩模框架組件的平面示意圖。圖2是表示根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例的使用掩模帶分割槽的白光OLED用掩模框架組件的平面示意圖。
如圖所示，根據(jù)本發(fā)明的掩模框架組件的構(gòu)造包括形成周邊的框架I ;一個(gè)以上的掩模帶2a，橫跨所述框架的內(nèi)部空間并焊接在其長(zhǎng)邊及短邊上；掩模帶2b，與所述框架的長(zhǎng)邊及短邊全面接觸并焊接；多個(gè)白光OLED沉積用槽3，通過(guò)焊接于所述框架的短邊或長(zhǎng)邊的掩模帶形成于框架內(nèi)部空間。所述掩模帶2a為其內(nèi)部沒(méi)有如槽等任何加工的長(zhǎng)條形式的壓縮分割掩模。本發(fā)明的掩?？蚣芙M件是使用于制作白光OLED中的有機(jī)沉積(Evapo ration)及封裝(Passivation)的掩?？蚣芙M件。適用于所述掩模框架組件的框架為沉積用框架(Frame)，其材質(zhì)使用鐵鎳合金(Invar36)及不銹鋼(SUS420)。此時(shí)優(yōu)選使用的厚度為30mmt及20mmt，厚度公差為100 μ mt以下、平坦度為50 μ m以下。當(dāng)然，這僅僅為提出的優(yōu)選例子而已，本發(fā)明并不限定于如上所述的數(shù)值中。此外，所述掩模帶的材質(zhì)優(yōu)選使用可以焊接的厚度為100 μ m 口 10%的鐵鎳合金·(Invar)、不鎊鋼(Stainless Steel)、鎮(zhèn)-鈷合金(Ni_Co Alloy)。此外，利用所述框架與掩模帶制作掩?？蚣芙M件時(shí)，為了最小化溫度變化引起的影響，框架與掩模帶優(yōu)選使用相同的材質(zhì)。因?yàn)榫邆淞巳缟纤鰳?gòu)成的掩?？蚣芙M件，使得作為有機(jī)物的白光OLED沉積源可以通過(guò)所述白光OLED沉積用槽3，沉積于對(duì)象玻璃基板上，由此使第四代(玻璃基板的基準(zhǔn)橫豎分別為780mm與920mm的大小)以上的大面積白光OLED面板的制作變得可能。如果這種白光OLED面板制作出來(lái)，可以在其正面附著R/G/B原色濾鏡，并通過(guò)白光OLED切換動(dòng)作的發(fā)光時(shí)，用色彩表示來(lái)進(jìn)行顯示。圖3是表示根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的利用移動(dòng)型夾具的框架中焊接掩模的流程示意圖，圖4是表示根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的利用移動(dòng)型夾具的框架中焊接掩模的設(shè)備的示意圖。如圖所示，本發(fā)明的掩?？蚣芙M件不同于以往的固定型夾具，而是利用移動(dòng)型夾具將掩模帶在框架上定位并焊接構(gòu)成。為此，本發(fā)明的掩?？蚣芙M件由，將框架隔在中間并對(duì)置的一對(duì)框架短邊(Y軸)移動(dòng)型夾具4a與將框架隔在中間并對(duì)置的一對(duì)框架長(zhǎng)邊(X軸)移動(dòng)型夾具4b構(gòu)成。使用總共4個(gè)移動(dòng)型夾具將掩模帶移動(dòng)在想要移動(dòng)到的特定位置，施加張力并焊接與框架上。此時(shí)，優(yōu)選的焊接順序?yàn)?，先在框架的短邊焊接掩模帶后再框架的長(zhǎng)邊焊接掩模帶，短邊及長(zhǎng)邊上由內(nèi)側(cè)到外側(cè)的方向焊接。根據(jù)圖示的一實(shí)施例具體說(shuō)明短邊中的焊接順序?yàn)橛蓛?nèi)側(cè)①、②位置向外側(cè)方向③、④位置的順序進(jìn)行。此外，長(zhǎng)邊中的焊接順序?yàn)橛蓛?nèi)側(cè)⑤位置向外側(cè)方向⑥、⑦位置的順序進(jìn)行。如果如圖面所分割時(shí)并不限定于如上的順序。但，所述框架短邊方向進(jìn)行焊接的多個(gè)掩模帶中，兩側(cè)的掩模帶總會(huì)與長(zhǎng)邊框架全面接觸并焊接；所述框架長(zhǎng)邊方向進(jìn)行焊接的多個(gè)掩模帶中，兩側(cè)的掩模帶總會(huì)與短邊框架全面接觸并焊接。由此構(gòu)成防止寬度相比于長(zhǎng)度方向短的掩模帶的下墜或扭曲。如上所述進(jìn)行焊接，因?yàn)榭蚣軟](méi)有扭曲使完成的掩?？蚣芙M件的構(gòu)造變得堅(jiān)固。若根據(jù)圖4進(jìn)行更加具體地說(shuō)明，即一對(duì)框架短邊(Y軸)移動(dòng)型夾具4a與框架長(zhǎng)邊(X軸)移動(dòng)型夾具4b分別在設(shè)置在其下部的直線伺服電機(jī)(Liner servo motor, 5)上進(jìn)行精密地往返運(yùn)動(dòng)。即，這一對(duì)所述框架短邊(Y軸)移動(dòng)型夾具總是在直線伺服電機(jī)(Liner servo motor, 5)上進(jìn)行聯(lián)動(dòng)運(yùn)動(dòng)。一對(duì)框架長(zhǎng)邊(X軸)移動(dòng)型夾具也如上，設(shè)置于直線伺服電機(jī)上進(jìn)行聯(lián)動(dòng)運(yùn)動(dòng)。此外，框架短邊(Y軸)移動(dòng)型夾具4a與框架長(zhǎng)邊(X軸)移動(dòng)型夾具4b不僅可以在直線伺服電機(jī)(Liner servo motor, 5)上進(jìn)行往返運(yùn)動(dòng),還為了可以在與此正交的方向進(jìn)行前后運(yùn)動(dòng)，其內(nèi)部分別構(gòu)成氣缸41a、41b為了把持裝載的掩模帶，在夾具前后運(yùn)動(dòng)后由把持氣缸42a、42b把持掩模帶。把持后，掩模帶在直線伺服電機(jī)上做直線運(yùn)動(dòng)，移送到焊接的位置并停止。移動(dòng)停止后，將后敘到的影像及激光焊接設(shè)備進(jìn)行移動(dòng)，使掩模帶的位置與玻璃基體間對(duì)齊并進(jìn)行焊接。裝載如上所述的掩模帶時(shí)可以按照?qǐng)D3所示的順序，先在框架的短邊焊接掩模帶后，在框架的長(zhǎng)邊焊接掩模帶。圖5是表示根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的整體構(gòu)成概略圖，圖6是表示根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的Θ角度的校正設(shè)備的示意圖，圖7是表示根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的框架及玻璃 基體上下拉動(dòng)設(shè)備的示意圖，圖8是表示根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的掩模帶裝載設(shè)備的示意圖，圖9是表示根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的影像及激光焊接設(shè)備的示意圖。如圖所示，本發(fā)明的掩模框架組件，其構(gòu)成包括影像及玻璃基體上下拉動(dòng)設(shè)備6，可以裝載包括直線伺服電機(jī)5上設(shè)置的框架短邊(Y軸)移動(dòng)型夾具4a與框架長(zhǎng)邊(X軸)移動(dòng)型夾具4b在內(nèi)的整體設(shè)備并在其下部定位玻璃基體；掩模帶裝載設(shè)備7，可以將框架短邊(Y軸)移動(dòng)型夾具4a與框架長(zhǎng)邊(X軸)移動(dòng)型夾具4b把持并移送的掩模帶進(jìn)行上下拉動(dòng)；影像及激光焊接設(shè)備8，其內(nèi)部具備攝像機(jī)、激光位移傳感器、激光焊接設(shè)備，可以將掩模帶與玻璃基體進(jìn)行對(duì)齊并將框架與掩模帶進(jìn)行焊接；與影像及激光焊接設(shè)備移送用直線伺服電機(jī)(Liner servo motor,9),可以移送所述影像及激光焊接設(shè)備。此外，可以具備Θ角度調(diào)節(jié)電機(jī)11，細(xì)微地調(diào)節(jié)框架短邊(Y軸)移動(dòng)型夾具4a或框架長(zhǎng)邊(X軸)移動(dòng)型夾具4b在移送中發(fā)生的Θ角。即，框架短邊(Y軸)移動(dòng)型夾具4a或框架長(zhǎng)邊(X軸)移動(dòng)型夾具4b把持并移送中的掩模帶即使通過(guò)精密的直線伺服電機(jī)進(jìn)行移送，也可能在出現(xiàn)細(xì)微角度變化的情況下被移送。如果在這種狀態(tài)下不進(jìn)行補(bǔ)正直接焊接于框架上會(huì)生產(chǎn)出劣質(zhì)的掩模框架組件，而無(wú)法使用。以往的方式，如果出現(xiàn)如上所述Θ角度時(shí)，會(huì)把掩模帶調(diào)回到初始位置并重新進(jìn)行移送，這樣的作業(yè)不僅會(huì)由增加繁雜的工藝數(shù)、增加消耗時(shí)間的缺點(diǎn)，還無(wú)法保障Θ角度正確地進(jìn)行校正。為了解決這樣的問(wèn)題，本發(fā)明具備了在對(duì)應(yīng)位置上可以實(shí)施補(bǔ)正作業(yè)的校正設(shè)備。可以替代Θ角度調(diào)節(jié)電機(jī)11，可以使用被動(dòng)式千分尺，但使用Θ角度調(diào)節(jié)電機(jī)11可以進(jìn)行精密控制。這種電機(jī)優(yōu)選使用如伺服電機(jī)或步進(jìn)電機(jī)等精密控制電機(jī)。具體地說(shuō)，本發(fā)明為了補(bǔ)正Θ角度，以設(shè)置在框架短邊(Y軸)移動(dòng)型夾具4a或框架長(zhǎng)邊(X軸)移動(dòng)型夾具4b下部的Θ軸鉸鏈10為中心，設(shè)置Θ角度調(diào)節(jié)電機(jī)11以及Θ軸調(diào)節(jié)緩沖設(shè)備12，所述Θ角度調(diào)節(jié)電機(jī)11旋轉(zhuǎn)設(shè)置把持氣缸42a、42b及氣缸41a、41b的部分；與Θ角度調(diào)節(jié)電機(jī)11對(duì)置的方向設(shè)置Θ軸調(diào)節(jié)緩沖設(shè)備12，在另一方向支持，因與所述Θ角度調(diào)節(jié)電機(jī)11的旋轉(zhuǎn)而前進(jìn)的連桿111的接觸而旋轉(zhuǎn)的把持氣缸42a、42b及氣缸41a、41b部。
根據(jù)所述Θ角度調(diào)節(jié)電機(jī)11的細(xì)微旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)連桿前進(jìn)而造成的Θ角，會(huì)被位于后方的拉桿式或螺桿式Θ軸固定設(shè)備13固定為所調(diào)整的Θ角。在所述框架短邊(Y軸)移動(dòng)型夾具4a或框架長(zhǎng)邊(X軸)移動(dòng)型夾具4b下部具備移動(dòng)型夾具Up/Down電機(jī)14，利用其進(jìn)行反復(fù)的Up/Down來(lái)測(cè)量位置的反復(fù)程度。S卩，框架及玻璃基體上下拉動(dòng)設(shè)備6上設(shè)置指示器(Indicator-未圖示)后，以20mm反復(fù)移動(dòng)框架短邊(Y軸)移動(dòng)型夾具4a或框架長(zhǎng)邊(X軸)移動(dòng)型夾具4b來(lái)測(cè)量位置。測(cè)量次數(shù)為各夾具(Gripper) 20次左右，使其達(dá)到IOum以下。所述框架及玻璃基體上下拉動(dòng)設(shè)備6是通過(guò)多個(gè)氣缸進(jìn)行升降的構(gòu)成，具備支持框架及玻璃基體的夾具等，如上構(gòu)成為一般的上下拉動(dòng)設(shè)備的構(gòu)成，具有通常知識(shí)的技術(shù)人員可以通過(guò)圖面簡(jiǎn)單地進(jìn)行實(shí)施，因此省略仔細(xì)的說(shuō)明。所述掩模帶裝載設(shè)備7是通過(guò)多個(gè)氣缸進(jìn)行升降的構(gòu)成，具備支持掩模帶的夾具 等，如上構(gòu)成為一般的裝載設(shè)備的構(gòu)成，具有通常知識(shí)的技術(shù)人員可以通過(guò)圖面簡(jiǎn)單地進(jìn)行實(shí)施，因此省略仔細(xì)的說(shuō)明。所述影像及激光焊接設(shè)備8 ;與移動(dòng)所述影像及激光焊接設(shè)備的影像及激光焊接設(shè)備移送用直線伺服電機(jī)(Liner servo motor,9)的構(gòu)成為通常的構(gòu)成，具有通常知識(shí)的技術(shù)人員可以通過(guò)圖面簡(jiǎn)單地進(jìn)行實(shí)施，因此省略仔細(xì)的說(shuō)明。根據(jù)如上所述掩模框架組件的制作設(shè)備，為了制作白光OLED面板的掩模框架組件的制作方法，根據(jù)圖10進(jìn)行階段性說(shuō)明如下，由(A)為了確定掩模帶的附著位置，而進(jìn)行玻璃基體定位的階段S100 ；(B)為了通過(guò)焊接掩模帶進(jìn)行固定，而進(jìn)行框架載入的階段S200 ；(C)將掩模帶的兩端在框架短邊(Y軸)移動(dòng)型夾具或框架長(zhǎng)邊(X軸)移動(dòng)型夾具進(jìn)行把持的階段S300;(D)將兩端的框架短邊(Y軸)移動(dòng)型夾具沿框架短邊方向或框架長(zhǎng)邊(Z軸)移動(dòng)型夾具沿框架長(zhǎng)邊方向移動(dòng)到焊接點(diǎn)后，施加張力在玻璃基體上形成的掩模帶顯示部進(jìn)行對(duì)齊的階段S400 ；(E)為了防止與玻璃基體顯示部維持對(duì)齊的掩模帶的彎曲，利用框架短邊(Y軸)移動(dòng)型夾具或長(zhǎng)邊(X)移動(dòng)型夾具上具備的Θ角度調(diào)節(jié)電機(jī)調(diào)節(jié)Θ角度的階段S500;(F)將確定位置及調(diào)節(jié)完Θ角度的掩模帶的兩端焊接于框架上的階段S600 ；(G)根據(jù)需要設(shè)置在框架的短邊(Y軸)或長(zhǎng)邊(X軸)上的掩模帶數(shù)，重復(fù)(C)階段到(F)階段的階段S700構(gòu)成。所述(F)或(G)階段中，利用框架長(zhǎng)邊(X軸)移動(dòng)型夾具確定位置及調(diào)節(jié)完Θ角度的掩模帶的兩端焊接于框架上后，在框架短邊上焊接與已設(shè)置的掩模帶交叉部的階段。所述框架的短邊及長(zhǎng)邊上的焊接順序以從內(nèi)側(cè)到外側(cè)的方向進(jìn)行焊接。所述以框架短邊方向焊接的多個(gè)掩模帶中，兩側(cè)的掩模帶與長(zhǎng)邊框架全面接觸并焊接；所述以框架長(zhǎng)邊方向焊接的多個(gè)掩模帶中，兩側(cè)的掩模帶與短邊框架全面接觸并焊接。本發(fā)明不限定于上述特定的優(yōu)選實(shí)施例，本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，在不脫離權(quán)利要求書(shū)范圍內(nèi)所要求的本發(fā)明的要旨情況下，可以從中實(shí)現(xiàn)多種變形實(shí)施，如上變更是在權(quán)利要求范圍記載的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種掩?？蚣芙M件的制作方法，其用于白光OLED用電視機(jī)制作工藝中制作白光OLED面板的有機(jī)沉積及封裝，其特征在于，包括 (A)為了確定掩模帶的附著位置，而進(jìn)行玻璃基體定位的階段； (B)為了通過(guò)焊接掩模帶進(jìn)行固定，而進(jìn)行框架載入的階段； (C)將掩模帶的兩端在框架短邊(Y軸)移動(dòng)型夾具或框架長(zhǎng)邊(X軸)移動(dòng)型夾具進(jìn)行把持的階段； (D)將兩端的框架短邊(Y軸)移動(dòng)型夾具沿框架短邊方向或框架長(zhǎng)邊(Z軸)移動(dòng)型夾具沿框架長(zhǎng)邊方向移動(dòng)到焊接點(diǎn)后，施加張力在玻璃基體上形成的掩模帶顯示部進(jìn)行對(duì)齊的階段； (E)為了防止與玻璃基體顯示部維持對(duì)齊的掩模帶的彎曲，利用框架短邊移動(dòng)型夾具或長(zhǎng)邊(X軸)移動(dòng)型夾具上具備的Θ角度調(diào)節(jié)電機(jī)調(diào)節(jié)Θ角度的階段； (F)將確定位置及調(diào)節(jié)完Θ角度的掩模帶的兩端焊接于框架上的階段； (G)重復(fù)(C)階段至(F)階段的階段，使得需要設(shè)置在框架的短邊(Y軸)或長(zhǎng)邊(X軸)上的掩模帶數(shù)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的掩?？蚣芙M件的制作方法，其特征在于， 所述(F)或(G)階段中，利用框架長(zhǎng)邊(X軸)移動(dòng)型夾具確定位置及調(diào)節(jié)完Θ角度的掩模帶的兩端焊接于框架上后，在框架短邊上焊接與已設(shè)置的掩模帶交叉部的階段構(gòu)成。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的掩模框架組件的制作方法，其特征在于， 所述焊接順序?yàn)橄仍诳蚣芏踢吅附友谀Ш笤僭诳蚣荛L(zhǎng)邊焊接掩模帶。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的掩?？蚣芙M件的制作方法，其特征在于， 所述框架的短邊及長(zhǎng)邊上的焊接順序可以以從內(nèi)側(cè)到外側(cè)的方向進(jìn)行焊接。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的掩?？蚣芙M件的制作方法，其特征在于， 所述以框架短邊方向焊接的多個(gè)掩模帶中，兩側(cè)的掩模帶與長(zhǎng)邊框架全面接觸并焊接; 所述以框架長(zhǎng)邊方向焊接的多個(gè)掩模帶中，兩側(cè)的掩模帶與短邊框架全面接觸并焊接。
6.一種掩?？蚣芙M件的制作設(shè)備，其用于白光OLED用電視機(jī)制作工藝中以便制作白光OLED面板的有機(jī)沉積及封裝，該設(shè)備由框架及掩模供給設(shè)備、框架裝載設(shè)備、玻璃基體供給及裝載設(shè)備、掩模供給設(shè)備、掩模與玻璃基體的位置對(duì)齊用攝像機(jī)設(shè)備、將掩模焊接于框架的設(shè)備構(gòu)成，其特征在于，包括 一對(duì)相對(duì)置的框架短邊(Y軸)移動(dòng)型夾具，把持掩模帶的兩端，可以在施加張力的情況下沿框架短邊方向移動(dòng)； 一對(duì)相對(duì)置的框架長(zhǎng)邊(X軸)移動(dòng)型夾具，把持掩模帶的兩端，可以在施加張力的情況下沿框架長(zhǎng)邊方向移動(dòng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的掩?？蚣芙M件的制作設(shè)備，其特征在于，所述框架短邊(Y軸)移動(dòng)型夾具及框架長(zhǎng)邊(X軸)移動(dòng)型夾具的構(gòu)成更包括 Θ角度調(diào)節(jié)電機(jī)，調(diào)節(jié)移送到的掩模帶Θ角度； Θ軸調(diào)節(jié)緩沖設(shè)備，在另一方向支持，因與所述Θ角度調(diào)節(jié)電機(jī)的旋轉(zhuǎn)而前進(jìn)的連桿的接觸而旋轉(zhuǎn)的把持氣缸及氣缸部。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的白光OLED用電視機(jī)制作工藝中的為了制作白光OLED面板的有機(jī)沉積及封裝用掩模框架組件的制作設(shè)備，其特征在于， 所述框架短邊(Y軸)移動(dòng)型夾具及框架長(zhǎng)邊(X軸)移動(dòng)型夾具安裝于直線伺服電機(jī)(Liner servo motor)上進(jìn)行精密的往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
9.一種由所述權(quán)利要求I至5中的任意一項(xiàng)的掩模框家組件制作方法制作的白光OLED用電視機(jī)制作工藝中的為了制作白光OLED面板的有機(jī)沉積及封裝用掩?？蚣芙M件，其特征在于，包括 形成外圍的框架； 一個(gè)以上的掩模帶，橫跨內(nèi)部空間在所述框架的長(zhǎng)邊及短邊上進(jìn)行焊接設(shè)置； 掩模帶，與所述框架的長(zhǎng)邊及短邊全面接觸并焊接； 多個(gè)白光OLED沉積用槽，由所述框架的短邊或長(zhǎng)邊上焊接的掩模帶，形成于內(nèi)部空間。
全文摘要
本發(fā)明涉及白光OLED用電視機(jī)制作工藝中的為了制作白光OLED面板的有機(jī)沉積及封裝用掩模框架組件，其制作方法及制作設(shè)備。本發(fā)明的為了制作白光OLED面板的有機(jī)沉積及封裝用掩?？蚣芙M件的制作設(shè)備，由框架及掩模供給設(shè)備、框架裝載設(shè)備、玻璃基體供給及裝載設(shè)備、掩模供給設(shè)備、掩模與玻璃基體的位置對(duì)齊用攝像機(jī)設(shè)備、將掩模焊接于框架的設(shè)備構(gòu)成，其特征在于，包括一對(duì)相對(duì)置的框架短邊(Y軸)移動(dòng)型夾具，把持掩模帶的兩端，可以在施加張力的情況下沿框架短邊方向移動(dòng)；一對(duì)相對(duì)置的框架長(zhǎng)邊(X軸)移動(dòng)型夾具，把持掩模帶的兩端，可以在施加張力的情況下沿框架長(zhǎng)邊方向移動(dòng)。
文檔編號(hào)H01L51/56GK102903730SQ20121029563
公開(kāi)日2013年1月30日 申請(qǐng)日期2012年8月17日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月19日
發(fā)明者邢南伸, 崔英默, 尹泳錫, 吳世正 申請(qǐng)人:株式會(huì)社漢松