專利名稱：一種預(yù)防晶圓滑落的裝置及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種預(yù)防晶圓滑落的裝置及方法。
背景技術(shù)：
目前，半導(dǎo)體工廠基于時(shí)效性以及降低成本的考量，對(duì)制程分析以及缺陷的分析逐漸從脫機(jī)(offline)向聯(lián)機(jī)(inline)發(fā)展,在實(shí)驗(yàn)室廣泛應(yīng)用的FIB機(jī)臺(tái)也相應(yīng)研發(fā)了適用于工廠的新機(jī)型，這使得時(shí)效性較之以往有了很大的提高，而且由于晶圓(wafer)在分析之后，經(jīng)過(guò)處理還可以重新返回生產(chǎn)線，可以避免浪費(fèi)，從而大大節(jié)約了生產(chǎn)成本。然而，由于設(shè)計(jì)的缺陷，在實(shí)際的生產(chǎn)過(guò)程中，當(dāng)晶圓(wafer)進(jìn)入到機(jī)臺(tái)上時(shí)，會(huì)先被三個(gè)成120°的管腳(pin)卡住，以進(jìn)行檢查工藝；但是，由于一些原因，如固定器(holder)安裝不好或者晶圓(wafer)的規(guī)格在制程中有所改變等，使得管腳(pin)并不能 很好的卡住該晶圓，而現(xiàn)有的設(shè)計(jì)中，機(jī)臺(tái)并無(wú)因晶圓無(wú)法卡緊而事先報(bào)警的裝置，所以目前普遍采用人工切換到管腳(pin)的位置進(jìn)行相關(guān)的檢查，常常會(huì)因?yàn)槿藶榈拇笠舛缓雎?，?jīng)常導(dǎo)致title的時(shí)候發(fā)生晶圓(wafer)從固定器(holder)上滑落致使其破損,進(jìn)而會(huì)導(dǎo)致機(jī)臺(tái)停機(jī)(down)，增大了工廠的生產(chǎn)檢測(cè)分析成本。

發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)上述存在的問(wèn)題，本發(fā)明揭示了一種預(yù)防晶圓滑落的裝置及方法，主要是通過(guò)在管腳上設(shè)置光檢測(cè)裝置來(lái)檢測(cè)晶圓固定的工藝。
本發(fā)明的目的是通過(guò)下述技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的
一種預(yù)防晶圓滑落的裝置，應(yīng)用于晶圓檢測(cè)機(jī)臺(tái)上，包括用于固定晶圓的固定器，所述固定器通過(guò)管腳固定所述晶圓，其中，還包括與所述機(jī)臺(tái)的檢測(cè)系統(tǒng)通訊連接的光檢測(cè)裝置；
所述管腳上設(shè)置有與所述光檢測(cè)裝置匹配的通孔；
所述光檢測(cè)裝置包括光信號(hào)發(fā)射裝置和光信號(hào)接收裝置，所述光信號(hào)發(fā)射裝置發(fā)射的光信號(hào)通過(guò)所述通孔照射到所述光信號(hào)接收裝置上；
其中，所述通孔位于所述管腳上與所述晶圓卡接時(shí)的重疊部分。上述的預(yù)防晶圓滑落的裝置，其中，所述管腳的材質(zhì)為能夠遮擋所述光信號(hào)傳輸?shù)牟馁|(zhì)。上述的預(yù)防晶圓滑落的裝置，其中，所述光發(fā)射裝置發(fā)射的光信號(hào)不能透過(guò)所述晶圓傳輸。上述的預(yù)防晶圓滑落的裝置，其中，所述光檢測(cè)裝置與所述機(jī)臺(tái)的報(bào)警系統(tǒng)連接。上述的預(yù)防晶圓滑落的裝置，其中，每個(gè)所述管腳上均設(shè)置有光檢測(cè)裝置。本發(fā)明還公開了一種預(yù)防晶圓滑落的方法，包括如上述任意一項(xiàng)所述的預(yù)防晶圓滑落的裝置，其中，還包括
步驟Si:將所述晶圓卡接至所述固定器的管腳上；步驟S2 :管腳上設(shè)置的光檢測(cè)裝置均進(jìn)行光信號(hào)檢測(cè)；
步驟S3 :若有任意一個(gè)所述光檢測(cè)裝置的光信號(hào)接收裝置上接收到光信號(hào)發(fā)射裝置發(fā)射的光信號(hào)，則啟動(dòng)報(bào)警裝置并進(jìn)行停機(jī)檢查；
步驟S4 :調(diào)整固定器，并將所述晶圓重新卡接至所述固定器的管腳上，并依次重復(fù)步驟S2和步驟S3 ；
步驟S5 :若任意一個(gè)所述光檢測(cè)裝置的光信號(hào)接收裝置上均沒有接收到光信號(hào)發(fā)射裝置發(fā)射的光信號(hào)，則繼續(xù)進(jìn)行晶圓檢測(cè)分析工藝。綜上所述，本發(fā)明一種預(yù)防晶圓滑落的裝置及方法，通過(guò)在晶圓固定器的管腳上設(shè)置與系統(tǒng)通信連接的光檢測(cè)裝置，當(dāng)晶圓與管腳卡接不緊時(shí)，光檢測(cè)裝置的光信號(hào)接收裝置就會(huì)接受到光信號(hào)，即能在進(jìn)行晶圓檢測(cè)分析工藝對(duì)晶圓的固定情況進(jìn)行預(yù)警，根據(jù)預(yù)警信號(hào)對(duì)機(jī)臺(tái)進(jìn)行停機(jī)檢查，進(jìn)而有效避免因晶圓卡接不牢而導(dǎo)致title的時(shí)候發(fā)生晶圓從固定器上滑落而致使其破損，有效降低了工廠的生產(chǎn)檢測(cè)分析成本。


圖I為本發(fā)明預(yù)防晶圓滑落的裝置中晶圓固定器的結(jié)構(gòu)示意 圖2為本發(fā)明預(yù)防晶圓滑落的裝置的結(jié)構(gòu)示意 圖3為本發(fā)明預(yù)防晶圓滑落的方法的流程示意圖。
具體實(shí)施例方式 下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步的說(shuō)明
實(shí)施例一
如圖1-2所示，本發(fā)明一種預(yù)防晶圓滑落的裝置，采用inline FIB機(jī)臺(tái)進(jìn)行制程分析以及缺陷的檢測(cè)，F(xiàn)IB機(jī)臺(tái)上的晶圓固定器I的三個(gè)成120°圓周分布的管腳3上均設(shè)置有通孔4，該通孔4設(shè)置在管腳3上與卡接的晶圓2重疊部分；對(duì)應(yīng)每個(gè)通孔4的位置均設(shè)置有光信號(hào)檢測(cè)裝置所包含的光信號(hào)發(fā)射裝置6和光信號(hào)接受裝置5，即光信號(hào)發(fā)射裝置6和光信號(hào)接收裝置5對(duì)應(yīng)通孔4的位置分別設(shè)置在該通孔4的兩側(cè)；其中，光信號(hào)檢測(cè)裝置與FIB機(jī)臺(tái)的系統(tǒng)通信連接，能觸發(fā)報(bào)警系統(tǒng)并同時(shí)對(duì)機(jī)臺(tái)進(jìn)行停機(jī)操作。其中，管腳3的材質(zhì)為不能傳輸光信號(hào)發(fā)射裝置6所發(fā)射的光信號(hào)，即光信號(hào)發(fā)射裝置6所發(fā)射的光信號(hào)只有通過(guò)通孔4才能傳輸至光信號(hào)接收裝置5上。具體的，在wafer進(jìn)入工作機(jī)臺(tái)(stage)之前進(jìn)行固定狀態(tài)的檢測(cè)，即將晶圓2固定在晶圓固定器I的三個(gè)管腳3上后，在進(jìn)入機(jī)臺(tái)工作之前打開光信號(hào)檢測(cè)裝置，此時(shí)，光信號(hào)發(fā)射裝置6向通孔4方向發(fā)射光信號(hào)，若晶圓2在比較好的卡接在管腳3上，則晶圓2會(huì)完全遮擋通過(guò)通孔4照射的光信號(hào)，從而阻擋該光信號(hào)傳輸至光信號(hào)接收裝置5上，即光信號(hào)接收裝置5在光信號(hào)發(fā)射裝置6發(fā)射光信號(hào)時(shí)，不能接收其發(fā)射的光信號(hào)則說(shuō)明此時(shí)晶圓2在該管腳3處是卡緊的；若晶圓2在在管腳3上卡接不牢，則晶圓2只會(huì)部分或無(wú)法遮擋通過(guò)通孔4照射的光信號(hào)，此時(shí)光信號(hào)接收裝置5上會(huì)部分或全部接收光信號(hào)發(fā)射裝置6所發(fā)射出的光信號(hào)，則說(shuō)明此時(shí)晶圓2在該管腳3處是卡接情況不理想；光信號(hào)接收裝置5在接收到光信號(hào)的同時(shí)通知機(jī)臺(tái)系統(tǒng)啟動(dòng)報(bào)警裝置，同時(shí)停止機(jī)臺(tái)進(jìn)一步的動(dòng)作及時(shí)鎖定，以對(duì)晶圓固定器I固定晶圓2的情況進(jìn)行檢測(cè)處理后，再次重復(fù)上述步驟，直至所有的光信號(hào)接收裝置5均在光信號(hào)發(fā)射裝置6發(fā)射光信號(hào)時(shí)無(wú)法接收到信號(hào)時(shí)為止，則說(shuō)明此時(shí)晶圓2比較牢固的固定在晶圓固定器I上，并繼續(xù)后續(xù)的檢測(cè)分析工藝。實(shí)施例二
如圖1-3所示，在實(shí)施例一的基礎(chǔ)上，本發(fā)明一種預(yù)防晶圓滑落的方法
首先，將進(jìn)行分析檢測(cè)的晶圓2卡接至晶圓固定器I的管腳3上，打開光信號(hào)檢測(cè)裝置的光信號(hào)發(fā)射裝置6發(fā)射光信號(hào)。其次，若任意一個(gè)光信號(hào)接收裝置5接收到光信號(hào)發(fā)射裝置6發(fā)射的光信號(hào)，則啟動(dòng)報(bào)警裝置，并停止機(jī)臺(tái)的進(jìn)一步動(dòng)作。然后，對(duì)固定有晶圓2的晶圓固定器I進(jìn)行檢查，分析處理后，重新經(jīng)晶圓2卡接在晶圓固定器I上，并重復(fù)上述步驟，直至所有的光信號(hào)接收裝置5在光信號(hào)發(fā)射裝置6發(fā) 射光信號(hào)時(shí)均無(wú)法接收到光信號(hào)時(shí)為止。最后，繼續(xù)后續(xù)的晶圓檢測(cè)分析工藝。綜上所述，由于采用了上述技術(shù)方案，本發(fā)明實(shí)施例提出一種預(yù)防晶圓滑落的裝置及方法，通過(guò)在晶圓固定器的管腳上設(shè)置與系統(tǒng)通信連接的光檢測(cè)裝置，當(dāng)晶圓與管腳卡接不緊時(shí)，光檢測(cè)裝置的光信號(hào)接收裝置就會(huì)接受到光信號(hào)，即能在進(jìn)行晶圓檢測(cè)分析工藝對(duì)晶圓的固定情況進(jìn)行預(yù)警，根據(jù)預(yù)警信號(hào)對(duì)機(jī)臺(tái)進(jìn)行停機(jī)檢查，進(jìn)而有效避免因晶圓卡接不牢而導(dǎo)致title的時(shí)候發(fā)生晶圓從固定器上滑落而致使其破損，有效降低了工廠的生產(chǎn)檢測(cè)分析成本。通過(guò)說(shuō)明和附圖，給出了具體實(shí)施方式
的特定結(jié)構(gòu)的典型實(shí)施例，基于本發(fā)明精神，還可作其他的轉(zhuǎn)換。盡管上述發(fā)明提出了現(xiàn)有的較佳實(shí)施例，然而，這些內(nèi)容并不作為局限。對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言，閱讀上述說(shuō)明后，各種變化和修正無(wú)疑將顯而易見。因此，所附的權(quán)利要求書應(yīng)看作是涵蓋本發(fā)明的真實(shí)意圖和范圍的全部變化和修正。在權(quán)利要求書范圍內(nèi)任何和所有等價(jià)的范圍與內(nèi)容，都應(yīng)認(rèn)為仍屬本發(fā)明的意圖和范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種預(yù)防晶圓滑落的裝置，應(yīng)用于晶圓檢測(cè)機(jī)臺(tái)上，包括用于固定晶圓的固定器，所述固定器通過(guò)管腳固定所述晶圓，其特征在于，還包括與所述機(jī)臺(tái)的檢測(cè)系統(tǒng)通訊連接的光檢測(cè)裝置； 所述管腳上設(shè)置有與所述光檢測(cè)裝置匹配的通孔； 所述光檢測(cè)裝置包括光信號(hào)發(fā)射裝置和光信號(hào)接收裝置，所述光信號(hào)發(fā)射裝置發(fā)射的光信號(hào)通過(guò)所述通孔照射到所述光信號(hào)接收裝置上； 其中，所述通孔位于所述管腳上與所述晶圓卡接時(shí)的重疊部分。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的預(yù)防晶圓滑落的裝置，其特征在于，所述管腳的材質(zhì)為能夠遮擋所述光信號(hào)傳輸?shù)牟馁|(zhì)。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的預(yù)防晶圓滑落的裝置，其特征在于，所述光發(fā)射裝置發(fā)射的光信號(hào)不能透過(guò)所述晶圓傳輸。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的預(yù)防晶圓滑落的裝置，其特征在于，所述光檢測(cè)裝置與所述機(jī)臺(tái)的報(bào)警系統(tǒng)連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的預(yù)防晶圓滑落的裝置，其特征在于，每個(gè)所述管腳上均設(shè)置有光檢測(cè)裝置。
6.一種預(yù)防晶圓滑落的方法，包括如權(quán)利要求1-5中任意一項(xiàng)所述的預(yù)防晶圓滑落的裝置，其特征在于，還包括 步驟Si:將所述晶圓卡接至所述固定器的管腳上； 步驟S2 :管腳上設(shè)置的光檢測(cè)裝置均進(jìn)行光信號(hào)檢測(cè)； 步驟S3 :若有任意一個(gè)所述光檢測(cè)裝置的光信號(hào)接收裝置上接收到光信號(hào)發(fā)射裝置發(fā)射的光信號(hào)，則啟動(dòng)報(bào)警裝置并進(jìn)行停機(jī)檢查； 步驟S4 :調(diào)整固定器，并將所述晶圓重新卡接至所述固定器的管腳上，并依次重復(fù)步驟S2和步驟S3 ； 步驟S5 :若任意一個(gè)所述光檢測(cè)裝置的光信號(hào)接收裝置上均沒有接收到光信號(hào)發(fā)射裝置發(fā)射的光信號(hào)，則繼續(xù)進(jìn)行晶圓檢測(cè)分析工藝。
全文摘要
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種預(yù)防晶圓滑落的裝置及方法。本發(fā)明提出一種預(yù)防晶圓滑落的裝置及方法，通過(guò)在晶圓固定器的管腳上設(shè)置與系統(tǒng)通信連接的光檢測(cè)裝置，當(dāng)晶圓與管腳卡接不緊時(shí)，光檢測(cè)裝置的光信號(hào)接收裝置就會(huì)接受到光信號(hào)，即能在進(jìn)行晶圓檢測(cè)分析工藝對(duì)晶圓的固定情況進(jìn)行預(yù)警，根據(jù)預(yù)警信號(hào)對(duì)機(jī)臺(tái)進(jìn)行停機(jī)檢查，進(jìn)而有效避免因晶圓卡接不牢而導(dǎo)致title的時(shí)候發(fā)生晶圓從固定器上滑落而致使其破損，有效降低了工廠的生產(chǎn)檢測(cè)分析成本。
文檔編號(hào)H01L21/66GK102915937SQ20121037575
公開日2013年2月6日 申請(qǐng)日期2012年10月8日 優(yōu)先權(quán)日2012年10月8日
發(fā)明者顧曉芳, 劉永波, 倪棋梁, 龍吟, 陳宏璘 申請(qǐng)人:上海華力微電子有限公司