技術(shù)總結(jié)
一種半導(dǎo)體器件，包括：包括由多個(gè)溝槽隔開的多個(gè)有源區(qū)的襯底；形成于所述有源區(qū)上方的多個(gè)隧道絕緣層圖案；形成于所述隧道絕緣膜圖案上方的多個(gè)導(dǎo)電膜圖案；形成于所述溝槽的側(cè)壁和底面上的多個(gè)第一隔離層；以及形成于所述導(dǎo)電膜圖案之間的多個(gè)第二隔離層。

技術(shù)研發(fā)人員：南相赫
受保護(hù)的技術(shù)使用者：愛思開海力士有限公司
文檔號碼：201210452334
技術(shù)研發(fā)日：2012.11.13
技術(shù)公布日：2017.08.29