專利名稱：一種有機(jī)電致發(fā)光器件蒸鍍用掩模板調(diào)節(jié)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于平板顯示技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種有機(jī)電致發(fā)光器件蒸鍍用掩模板調(diào)節(jié)裝置。
背景技術(shù)：
有機(jī)發(fā)光二極管或有機(jī)電致發(fā)光顯示器件(Organic Light-EmittingDiode, 0LED)是近二十年來受到廣泛關(guān)注的一門顯示技術(shù)，它具有重量輕、低功耗，主動(dòng)發(fā)光，視角范圍寬，制作工藝簡單，生產(chǎn)成本低，可柔性顯示等特點(diǎn)，不僅在顯示領(lǐng)域，而且在照明方面也有很大的發(fā)展空間，因此被認(rèn)為是最有發(fā)展?jié)摿Φ钠桨屣@示技術(shù)之一。器件的全彩色化是檢驗(yàn)其市場(chǎng)競(jìng)爭力的重要標(biāo)志。而目前實(shí)現(xiàn)彩色化的方式主要有三基色垂直堆疊式，三基色平行排列式，多模式微腔結(jié)構(gòu)以及藍(lán)光和黃光混合模式等。無論哪種方式的彩色器件，基本都采用真空蒸鍍的方式來制作，掩模板是必不可少的部分。在制備過程中，掩模板的精度及其對(duì)位精度是決定最終器件像素分辨率及顯示質(zhì)量的重要因素。在使用掩模板的過程中，目前存在的主要問題有( I)操作次數(shù)多導(dǎo)致精度難以控制，在制備平行排列式三基色器件時(shí)，一般情況下需要使用紅、綠、藍(lán)三張掩模板分別來制作三個(gè)色層像素，中間需要更換更換三次掩模板，每次更換勢(shì)必造成精度的不一致，導(dǎo)致器件的顯示質(zhì)量下降。(2)操作難度大，現(xiàn)有的真空蒸鍍制備彩色平行排列式OLED顯示器件，至少需要更換四次掩模板，而整個(gè)制備過程中掩模板更換基本都是采用機(jī)械手代替人手操作，更換時(shí)由于距離及導(dǎo)軌互相對(duì)準(zhǔn)等問題造成更換非常困難，需要耗費(fèi)很長時(shí)間。萬一掩模板滑落更是讓實(shí)驗(yàn)功虧于潰。因此尋找一種能夠固定且容易操作的掩模板系統(tǒng)顯得尤為重要
發(fā)明內(nèi)容
`為了克服上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種有機(jī)電致發(fā)光器件蒸鍍用掩模板調(diào)節(jié)
>J-U ρ α裝直。為達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是包括帶有調(diào)節(jié)裝置的框架，所述框架兩側(cè)的內(nèi)壁上設(shè)置有導(dǎo)軌，所述導(dǎo)軌中安裝有掩模板板體，調(diào)節(jié)裝置和掩模板板體相連接。所述調(diào)節(jié)裝置采用精度為O. Olmm的精密螺旋調(diào)節(jié)裝置。所述導(dǎo)軌中還設(shè)置有滑輪，滑輪置于掩模板板體的下方。所述調(diào)節(jié)裝置的端部設(shè)置有用于固定掩模板板體的夾具。所述掩膜板板體高度與框架平齊。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下有益的技術(shù)效果本發(fā)明通過在框架的相互平行的兩側(cè)內(nèi)壁上開設(shè)導(dǎo)軌，使安裝在導(dǎo)軌內(nèi)的掩模板板體能夠在導(dǎo)軌內(nèi)滑動(dòng)，同時(shí)在框架的另外一端設(shè)置有調(diào)節(jié)裝置，調(diào)節(jié)裝置與掩模板板體相連接，蒸鍍時(shí)，可以通過控制調(diào)節(jié)裝置從而帶動(dòng)掩模板板體在導(dǎo)軌內(nèi)前后滑動(dòng)，完成對(duì)不同顏色像素部分的蒸鍍操作。本發(fā)明是一種全新的結(jié)構(gòu)，調(diào)節(jié)裝置的設(shè)置，使得蒸鍍制備器件過程中不必頻繁更換掩模板，使得蒸鍍過程更容易操作，提高了工作效率。


圖1為掩模板系統(tǒng)框架示意圖；圖2為掩模板系統(tǒng)俯視圖；其中，I為框架；2為調(diào)節(jié)裝置；3為遮蔽部分；4為子像素部分；5為導(dǎo)軌；6為滑輪；7為掩模板板體；8為夾具。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖及具體的實(shí)施例對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步的詳細(xì)說明，所述是對(duì)本發(fā)明的解釋而不是限定。

參見圖1，2，本發(fā)明包括帶有精密螺旋調(diào)節(jié)裝置2的框架1，框架I兩側(cè)的內(nèi)壁上設(shè)置有導(dǎo)軌5，導(dǎo)軌5中安裝有掩模板板體7，掩模板板體7可以在導(dǎo)軌內(nèi)前后滑動(dòng)，精密螺旋調(diào)節(jié)裝置2和掩模板板體7相連接。本發(fā)明在導(dǎo)軌5中還設(shè)置有滑輪6，掩模板板體7置于滑輪6的上方，同樣通過調(diào)節(jié)精密螺旋調(diào)節(jié)裝置2使得掩模板板體7在滑輪6上前后滑動(dòng)，滑輪6的設(shè)置減小了掩模板板體運(yùn)動(dòng)時(shí)的摩擦力。優(yōu)選的，精密螺旋調(diào)節(jié)裝置2的端部還設(shè)置有用于固定掩模板板體7的夾具8。在蒸鍍操作時(shí)，將本發(fā)明緊貼陽極基板置于其下方，首先保證子像素的長度方向應(yīng)和所需制備器件的子像素方向一致，當(dāng)已經(jīng)光刻好陽極電極條和陰極隔離柱后，開始蒸鍍有機(jī)色層材料，即像素部分。當(dāng)蒸鍍紅色像素層時(shí)，將掩模板板體固定于精密螺旋調(diào)節(jié)裝置的夾具中，掩模板的子像素部分4和紅色子像素部分完全重疊，而遮蔽部分3就可將綠和藍(lán)色子像素遮蔽住，待蒸鍍完畢后，根據(jù)設(shè)計(jì)好的子像素之間的間隔，利用精密螺旋調(diào)節(jié)裝置2移動(dòng)掩模板，使之子像素部分再與綠色子像素的一行對(duì)準(zhǔn)，進(jìn)行蒸鍍，依次再蒸鍍藍(lán)色子像素。最后蒸鍍陰極電極條，當(dāng)行列加電時(shí)，便可實(shí)現(xiàn)彩色顯示。
權(quán)利要求
1.一種有機(jī)電致發(fā)光器件蒸鍍用掩模板調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，包括帶有調(diào)節(jié)裝置(2)的框架(1)，所述框架(I)兩側(cè)的內(nèi)壁上設(shè)置有導(dǎo)軌(5)，所述導(dǎo)軌(5)中安裝有掩模板板體(7 )，調(diào)節(jié)裝置(2 )和掩模板板體(7 )相連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種有機(jī)電致發(fā)光器件蒸鍍用掩模板調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)裝置(2)采用精度為O. Olmm的精密螺旋調(diào)節(jié)裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種有機(jī)電致發(fā)光器件蒸鍍用掩模板調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述導(dǎo)軌(5)中還設(shè)置有滑輪(6)，滑輪(6)置于掩模板板體(7)的下方。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)電致發(fā)光器件蒸鍍用掩模板調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)裝置(2)的端部設(shè)置有用于固定掩模板板體(7)的夾具(8)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)電致發(fā)光器件蒸鍍用掩模板調(diào)節(jié)裝置，其特征在于所述掩膜板板體(7 )高度與框架(I)平齊。
全文摘要
本發(fā)明屬于平板顯示技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種有機(jī)電致發(fā)光器件蒸鍍用掩模板調(diào)節(jié)裝置。本發(fā)明的掩模板調(diào)節(jié)裝置包括一端帶有調(diào)節(jié)裝置的框架，所述框架兩側(cè)的內(nèi)壁上設(shè)置有導(dǎo)軌，所述導(dǎo)軌中安裝有掩模板板體，調(diào)節(jié)裝置和掩模板板體相連接。本發(fā)明的掩模板系統(tǒng)是一種全新的結(jié)構(gòu)，調(diào)節(jié)裝置的設(shè)置，使得蒸鍍制備器件過程中不必頻繁更換掩模板，使得蒸鍍過程更容易操作，提高了工作效率。
文檔編號(hào)H01L51/56GK103045996SQ20121052782
公開日2013年4月17日 申請(qǐng)日期2012年12月10日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月10日
發(fā)明者袁桃利, 牟強(qiáng) 申請(qǐng)人:陜西科技大學(xué)