夾持裝置及等離子體加工設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種夾持裝置及等離子體加工設(shè)備，夾持裝置包括用于承載多個(gè)被加工工件的托盤和用于將被加工工件固定在托盤上的緊固單元，緊固單元包括夾持板、緊固組件和彈性部件，其中，夾持板位于所述托盤的上方，并與置于托盤上的被加工工件的邊緣部分相互疊置；緊固組件穿過夾持板和托盤連接；彈性部件位于緊固組件與夾持板形成的空間中；通過彈性部件在彈性范圍內(nèi)產(chǎn)生的彈性形變朝向夾持板施加壓力，用以將被加工工件夾持在所述夾持板與所述托盤之間。本發(fā)明提供的上述夾持裝置裝配過程簡單且裝配效率高，從而可以提高等離子體加工設(shè)備的加工效率。
【專利說明】夾持裝置及等離子體加工設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明屬于微電子【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種夾持裝置及等離子體加工設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著微電子技術(shù)的不斷發(fā)展，相關(guān)生產(chǎn)企業(yè)的競爭越來越激烈，降低成本、提高生產(chǎn)效率是提高企業(yè)競爭力的常用手段。如LED光源生產(chǎn)企業(yè)為提高生產(chǎn)效率、降低生產(chǎn)成本，在圖形化藍(lán)寶石襯底(Patterned Sapphire Substrates,以下簡稱PSS)刻蝕工藝過程中，采用托盤搬運(yùn)的方式實(shí)現(xiàn)同時(shí)搬運(yùn)和刻蝕多個(gè)藍(lán)寶石基片，以應(yīng)對(duì)日益增加的市場需求。
[0003]圖1為現(xiàn)有的等離子體加工設(shè)備的結(jié)構(gòu)簡圖。如圖1所示，該等離子體加工設(shè)備包括反應(yīng)腔室10、電感耦合線圈15、線圈匹配器11、線圈射頻電源12、機(jī)械卡盤17、下電極匹配器13、下電極射頻電源14以及夾持裝置16。其中，電感耦合線圈15設(shè)置于反應(yīng)腔室10的頂部，并與線圈匹配器11和線圈射頻電源12依次連接；機(jī)械卡盤17包括下電極(圖中未示出)，其設(shè)置于反應(yīng)腔室10內(nèi)部的下方，并且其下電極與下電極匹配器13和下電極射頻電源14依次連接；夾持裝置16用于同時(shí)承載和運(yùn)送多個(gè)晶片，其進(jìn)入反應(yīng)腔室10之后被放置于機(jī)械卡盤17上。眾所周知，夾持裝置的結(jié)構(gòu)對(duì)晶片的刻蝕效果以及可利用率具有很大的影響。
[0004]圖2為現(xiàn)有的夾持裝置的剖面圖。請(qǐng)參閱圖2，夾持裝置包括托盤20、蓋板21以及緊固螺釘22。其中，托盤20上設(shè)置有多個(gè)用于放置晶片23的安放槽，使放置在安放槽中的晶片23不會(huì)發(fā)生平移，而且，在每個(gè)安放槽中設(shè)置有氣孔201，用以向晶片23的背面輸入冷卻氣體(如氦氣)，在安放槽中還設(shè)置有密封圈24，用以使晶片23與托盤51之間形成一個(gè)封閉的空間，從而使輸入的冷卻氣體在該空間內(nèi)對(duì)晶片23的背面進(jìn)行冷卻；蓋板21上設(shè)置有錐形孔211，該錐形孔211的位置與托盤20上的安放槽所在的位置相對(duì)應(yīng)，用以使該蓋板21能夠與托盤20相互配合，從而使錐形孔211開口較小的邊緣部分與托盤20的安放槽共同對(duì)晶片23進(jìn)行夾持固定，并通過緊固螺釘22，將蓋板21與托盤20固定連接。
[0005]在將晶片23裝載至上述夾持裝置的過程中，由于蓋板21與托盤20是通過緊固螺釘22固定在一起，這在實(shí)際應(yīng)用中不可避免地存在以下問題，即:在裝配緊固螺釘22的過程中，若各個(gè)緊固螺釘22之間的預(yù)緊力不一致，則往往會(huì)導(dǎo)致蓋板21因緊固螺釘22施加的扭轉(zhuǎn)應(yīng)力而發(fā)生扭曲變形，從而可能會(huì)出現(xiàn)蓋板21壓碎部分晶片或者沒有壓緊部分晶片等的情況。雖然可以采用力矩扳手等可控制緊固螺釘?shù)念A(yù)緊力的裝置來旋緊緊固螺釘22，但是，為了保證各個(gè)緊固螺釘22之間的預(yù)緊力能夠保持一致，在裝配緊固螺釘22的過程中，往往需要采用力矩扳手分多次旋緊緊固螺釘22，并在每次旋緊緊固螺栓22之前，都需要對(duì)力矩扳手的緊固力矩進(jìn)行調(diào)整，以使力矩扳手的緊固力矩按先后次序逐漸增大；此夕卜，通常還需要采用對(duì)角或星形等方式對(duì)稱且均勻地旋緊各個(gè)緊固螺栓22。由此可知，上述夾持裝置具有裝配過程復(fù)雜、裝配時(shí)間長的缺陷，從而降低了等離子體加工設(shè)備的加工效率。
【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一，提出了一種夾持裝置及等離子體加工設(shè)備，其裝配過程簡單且裝配效率高，從而可以提高等離子體加工設(shè)備的加工效率。
[0007]為此，本發(fā)明提供了一種夾持裝置，包括用于承載多個(gè)被加工工件的托盤和用于將所述被加工工件固定在所述托盤上的緊固單元，其特征在于，所述緊固單元包括夾持板、緊固組件和彈性部件，其中，所述夾持板位于所述托盤的上方，并與置于所述托盤上的被加工工件的邊緣部分相互疊置；所述緊固組件穿過所述夾持板和所述托盤連接；所述彈性部件位于所述緊固組件與所述夾持板形成的空間中；通過所述彈性部件在彈性范圍內(nèi)產(chǎn)生的彈性形變朝向所述夾持板施加壓力，用以將被加工工件夾持在所述夾持板與所述托盤之間。
[0008]其中，在所述托盤上且位于相鄰的兩個(gè)所述被加工工件之間設(shè)置有固定孔，所述固定孔的數(shù)量和設(shè)置位置與所述緊固組件的數(shù)量和設(shè)置位置一一對(duì)應(yīng)；所述緊固組件包括連接框架，所述連接框架的水平部位于所述夾持板的上方，在所述水平部的底部形成有朝向所述夾持板凸出的豎直部，并且所述豎直部貫穿所述夾持板的厚度且與所述固定孔采用可拆卸地方式連接；所述豎直部、水平部和夾持板形成中空空間，所述彈性部件位于所述中空空間內(nèi)，并且所述彈性部件的兩端分別與所述水平部和夾持板連接。
[0009]其中，在所述夾持板上且與所述固定孔相對(duì)應(yīng)的位置處設(shè)置有貫穿其厚度的導(dǎo)向孔，所述豎直部的下端穿過所述導(dǎo)向孔，且與所述固定孔采用可拆卸地方式連接，所述可拆卸地方式被設(shè)置為:所述豎直部沿所述導(dǎo)向孔圍繞所述固定孔所在軸線轉(zhuǎn)動(dòng)，且當(dāng)所述豎直部緊靠所述導(dǎo)向孔的一端時(shí)其下端相對(duì)于所述固定孔處于可在所述托盤的軸向上移出或移入所述固定孔的所述第一預(yù)設(shè)位置；當(dāng)所述豎直部緊靠所述導(dǎo)向孔的另一端時(shí)其下端相對(duì)于所述固定孔處于可在所述托盤的軸向上與所述固定孔相對(duì)固定的第二預(yù)設(shè)位置。
[0010]其中，所述固定孔包括在其孔壁上部形成的彼此相對(duì)的兩個(gè)第一凸緣，且沿所述固定孔孔壁的圓周方向間隔設(shè)置；在所述豎直部的外周壁下部對(duì)應(yīng)地設(shè)置有兩個(gè)第二凸緣，且沿所述固定孔的徑向朝向遠(yuǎn)離彼此的方向凸出；并且，所述第二凸緣的外徑小于所述固定孔的孔徑，且大于所述第一凸緣的內(nèi)徑，并且所述第二凸緣的寬度小于兩個(gè)所述第一凸緣之間的間距；所述第一凸緣和第二凸緣的位置被設(shè)置為:在所述豎直部旋轉(zhuǎn)至所述第一預(yù)設(shè)位置時(shí)，所述兩個(gè)第二凸緣分別位于所述兩個(gè)第一凸緣之間的間隙處；在所述豎直部旋轉(zhuǎn)至所述第二預(yù)設(shè)位置時(shí)，所述兩個(gè)第二凸緣分別位于所述兩個(gè)第一凸緣底部對(duì)應(yīng)位置處。
[0011]其中，其特征在于，所述夾持板采用整體式結(jié)構(gòu)，且與所述托盤相互疊置；在所述夾持板上設(shè)有貫穿其厚度的第二通孔，所述被加工工件設(shè)置在所述夾持板和托盤之間，并且所述夾持板的位于所述第二通孔的周邊部分與所述被加工工件的邊緣部分相互疊置。
[0012]其中，所述夾持板采用分體式結(jié)構(gòu)，其為由多個(gè)夾持片組成的平板，且位于所述托盤的上方；所述夾持片的數(shù)量和設(shè)置位置與所述固定孔的數(shù)量和設(shè)置位置一一對(duì)應(yīng)，并且每個(gè)所述夾持片分別和與之相鄰的被加工工件的邊緣部分相互疊置。
[0013]其中，在所述托盤上且位于相鄰的兩個(gè)所述被加工工件之間設(shè)置有固定孔，所述固定孔的數(shù)量和設(shè)置位置與所述緊固組件的數(shù)量和設(shè)置位置一一對(duì)應(yīng)；所述緊固組件，包括連接框架和調(diào)節(jié)部件，其中:所述連接框架的水平部位于所述夾持板的上方，在所述水平部上設(shè)置有沿其厚度貫穿的第一通孔；在所述水平部的底部形成有朝向所述夾持板凸出的豎直部，并且所述豎直部貫穿所述夾持板的厚度且與所述固定孔采用可拆卸地方式連接；所述調(diào)節(jié)部件穿過所述第一通孔，且采用螺紋連接的方式與所述第一通孔連接；并且，所述彈性部件的上端與所述調(diào)節(jié)部件連接，下端與所述夾持板連接，所述調(diào)節(jié)部件通過改變其與所述第一通孔在所述第一通孔的軸向上的相對(duì)位置來調(diào)節(jié)所述彈性部件所產(chǎn)生的壓縮變形量。
[0014]其中，所述夾持裝置，還包括蓋板，其中:所述蓋板采用絕緣材料制作，且與所述夾持板相互疊置，并且在所述蓋板上且與所述緊固組件相對(duì)應(yīng)的位置處設(shè)置有凹部，所述凹部用于在所述蓋板與所述夾持板相互疊置時(shí)容納所述緊固組件凸出于所述夾持板的部分。
[0015]其中，所述絕緣材料包括陶瓷或石英。
[0016]本發(fā)明還提供一種等離子體加工設(shè)備，包括反應(yīng)腔室以及設(shè)置在所述反應(yīng)腔室內(nèi)的卡盤和夾持裝置，所述夾持裝置固定在所述卡盤上，而且，所述夾持裝置采用本發(fā)明提供的上述夾持裝置。
[0017]本發(fā)明具有以下有益效果:
[0018]本發(fā)明提供的夾持裝置，其將被加工工件夾持在夾持板與托盤之間，并借助緊固組件將夾持板和托盤固定連接，由于緊固組件借助彈性部件與夾持板連接，彈性部件在受到緊固組件朝向夾持板施加的壓力時(shí)會(huì)在彈性范圍內(nèi)產(chǎn)生壓縮變形，這種彈性連接可以在緊固組件朝向夾持板施加的壓力較大時(shí)起到緩沖作用，以避免出現(xiàn)夾持板產(chǎn)生扭曲甚至壓碎被加工工件的問題，而且，與現(xiàn)有技術(shù)中采用力矩扳手對(duì)緊固螺釘進(jìn)行多次預(yù)緊的裝配方式相比，本發(fā)明提供的夾持裝置只需將緊固組件安裝至托盤上即可通過彈性部件的彈性形變來自動(dòng)調(diào)整對(duì)被加工工件施加的壓力，從而可以簡化夾持裝置的裝配過程，縮短裝配時(shí)間，進(jìn)而可以提高等離子體加工設(shè)備的加工效率。
[0019]本發(fā)明提供的等離子體加工設(shè)備，其通過采用本發(fā)明提供的上述夾持裝置，不僅可以避免出現(xiàn)夾持板產(chǎn)生扭曲甚至壓碎被加工工件的問題，而且還可以簡化被加工工件的裝載過程，從而可以提高等離子體加工設(shè)備的加工效率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0020]圖1為現(xiàn)有的等離子體加工設(shè)備的結(jié)構(gòu)簡圖；
[0021]圖2為現(xiàn)有的夾持裝置的剖面圖；
[0022]圖3a為本發(fā)明第一實(shí)施例提供的夾持裝置的剖面圖；
[0023]圖3b為圖3a中夾持裝置處于第一預(yù)設(shè)位置時(shí)A方向的俯視圖；
[0024]圖3c為圖3a中夾持裝置處于第二預(yù)設(shè)位置時(shí)A方向的俯視圖；
[0025]圖3d為圖3a中夾持裝置的托盤的局部俯視圖；
[0026]圖3e為圖3d中分別沿B_B線和C-C線的局部剖視圖；
[0027]圖4a為本發(fā)明第二實(shí)施例提供的夾持裝置的剖面圖；以及
[0028]圖4b為本發(fā)明第二實(shí)施例提供的夾持裝置的夾持板的分布圖?！揪唧w實(shí)施方式】
[0029]為使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖來對(duì)本發(fā)明提供的夾持裝置及等離子體加工設(shè)備進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0030]圖3a為本發(fā)明第一實(shí)施例提供的夾持裝置的剖面圖。圖3b為圖3a中夾持裝置處于第一預(yù)設(shè)位置時(shí)A方向的俯視圖。圖3c為圖3a中夾持裝置處于第二預(yù)設(shè)位置時(shí)A方向的俯視圖。圖3d為圖3a中夾持裝置的托盤的局部俯視圖。圖3e為圖3d中分別沿B-B線和C-C線的局部剖視圖。請(qǐng)一并參閱圖3a、圖3b、圖3c、圖3d和圖3e，夾持裝置包括托盤30和緊固單元。其中，在托盤30的上表面設(shè)置有用于承載被加工工件31的多個(gè)安放槽302，在每個(gè)安放槽302中設(shè)置有氣孔303，用以向被加工工件31的背面輸入冷卻氣體(如氦氣)，而且在安放槽302中還設(shè)置有密封圈34，用以使被加工工件31與托盤30之間形成一個(gè)封閉的空間，從而使輸入的冷卻氣體在該空間內(nèi)對(duì)被加工工件31的背面進(jìn)行冷卻。
[0031]緊固單元用于將被加工工件31固定在安放槽302中，其包括夾持板325、緊固組件和彈性部件33。其中，夾持板325采用整體式結(jié)構(gòu)，即，夾持板325為形狀與托盤30的形狀相對(duì)應(yīng)的一體式平板，且夾持板325疊置在托盤30的上方，即，將被加工工件31夾持在夾持板325和托盤30之間。在夾持板325上設(shè)有貫穿其厚度的第二通孔327，并且第二通孔327的數(shù)量和設(shè)置位置與安放槽302的數(shù)量和設(shè)置位置一一對(duì)應(yīng)，當(dāng)夾持板325與托盤30相互疊置時(shí)，置于安放槽302中的被加工工件31位于夾持板325和托盤30之間，并且夾持板325的位于第二通孔327的周邊部分與被加工工件31的邊緣部分相互疊置，從而將被加工工件31固定在安放槽302中。
[0032]緊固組件穿過夾持板325和托盤30連接，緊固組件包括連接框架32，在本實(shí)施例中，連接框架32的水平部321為長度方向平行于托盤30上表面的條形塊，且位于夾持板325的上方，并且在水平部321的底部形成有朝向夾持板325凸出的豎直部322，豎直部322為長度方向垂直于托盤30上表面且彼此間隔設(shè)置的兩個(gè)條形塊。而且，如圖3b和3c所示，在夾持板325上且與豎直部322相對(duì)應(yīng)的位置處設(shè)置有貫穿其厚度的導(dǎo)向孔326，導(dǎo)向孔326為以夾持板325的軸線為圓心且中心對(duì)稱的兩段弧形通孔，兩個(gè)豎直部322的下端分別穿過兩段弧形通孔，且與托盤30采用可拆卸地方式連接，并且兩個(gè)豎直部322在其下端與托盤30連接時(shí)可沿導(dǎo)向孔326相對(duì)于托盤順時(shí)針或逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)相應(yīng)的角度。兩個(gè)豎直部322的下端與托盤30可拆卸地連接的方式具體為:在托盤30上且位于相鄰的兩個(gè)被加工工件31之間設(shè)置有固定孔301，且該固定孔301的數(shù)量和設(shè)置位置與緊固組件的數(shù)量和設(shè)置位置——對(duì)應(yīng)，并且，如圖3d和圖3e所示，固定孔301包括在其孔壁上部形成的彼此相對(duì)的兩個(gè)第一凸緣40，且沿固定孔301的孔壁的圓周方向間隔設(shè)置；對(duì)應(yīng)地，在豎直部322的外周壁下部對(duì)應(yīng)地設(shè)置有兩個(gè)第二凸緣323，且沿水平部321的長度方向凸出，S卩，固定孔301的徑向朝遠(yuǎn)離彼此的方向凸出；并且，第二凸緣323的外徑L小于固定孔301的孔徑D，且大于第一凸緣40形成的內(nèi)徑d，并且第二凸緣323的寬度h小于兩個(gè)第一凸緣40之間的間距H。
[0033]此外，上述第一凸緣40、第二凸緣323以及導(dǎo)向孔326之間的位置關(guān)系的具體設(shè)置方式為:當(dāng)兩個(gè)豎直部322的下端位于固定孔301中，且兩個(gè)第二凸緣323分別處于各自的第一預(yù)設(shè)位置，即，水平部321在長度方向的軸線與如圖3d所示的第一預(yù)設(shè)位置的軸線相互平行時(shí)，此時(shí)兩個(gè)豎直部322中的其中一個(gè)緊靠如圖3b所示的右側(cè)弧形通孔的上端端部，其中另一個(gè)緊靠左側(cè)弧形通孔的下端端部，在這種情況下，如圖3e的沿圖3d中B-B的局部剖面圖所示，固定孔301的對(duì)應(yīng)于兩個(gè)第二凸緣323所在的第一預(yù)設(shè)位置的空間為一個(gè)在其軸向上直徑一致的直孔狀結(jié)構(gòu)，換言之，處于各自第一預(yù)設(shè)位置的兩個(gè)第二凸緣323分別位于兩個(gè)第一凸緣40之間的間隙處，此時(shí)兩個(gè)第二凸緣323可以分別自兩個(gè)第一凸緣40之間的間隙移出或移入固定孔301，從而可以使連接框架在托盤30的軸向上相對(duì)于托盤30上升或下降。在實(shí)際應(yīng)用中，通過旋轉(zhuǎn)豎直部322，以使其位于如圖3b所示的第一預(yù)設(shè)位置，可以使豎直部322能夠上升或下降，從而實(shí)現(xiàn)連接框架的安裝或拆卸。
[0034]當(dāng)兩個(gè)豎直部322的下端位于固定孔301中，且兩個(gè)第二凸緣323分別處于各自的第二預(yù)設(shè)位置，即，水平部321在長度方向的軸線與如圖3d所示的第二預(yù)設(shè)位置的軸線相互平行時(shí)，此時(shí)兩個(gè)豎直部322中的其中一個(gè)緊靠如圖3c所示的上側(cè)弧形通孔的右端端部，其中另一個(gè)緊靠下側(cè)弧形通孔的左端端部，在這種情況下，如圖3e的沿圖3d中C-C的局部剖面圖所示，固定孔301的對(duì)應(yīng)于兩個(gè)第二凸緣323所在的第二預(yù)設(shè)位置的空間為一個(gè)在其軸向上形成的上部孔徑小于下部孔徑的階梯孔狀結(jié)構(gòu)，換言之，處于各自第二預(yù)設(shè)位置的兩個(gè)第二凸緣323分別相對(duì)地位于兩個(gè)第一凸緣40的底部，此時(shí)兩個(gè)第二凸緣323因受到兩個(gè)第一凸緣40的阻礙而無法移出固定孔301，從而可以使連接框架固定在托盤30中。在實(shí)際應(yīng)用中，通過旋轉(zhuǎn)豎直部322，以使其位于如圖3c所示的第二預(yù)設(shè)位置，可以使豎直部322的下端與固定孔201在托盤30的軸向上相對(duì)固定，從而實(shí)現(xiàn)連接框架與托盤30之間的固定連接。
[0035]彈性部件33位于緊固組件與夾持板325形成的空間中，在本實(shí)施例中，彈性部件33位于由豎直部322、水平部321和夾持板325形成的中空空間內(nèi)，并且彈性部件33的兩端分別與水平部321和夾持板325連接。當(dāng)連接框架安裝在托盤30上時(shí)，此時(shí)彈性部件33處于被壓縮的狀態(tài)，從而其可以通過自身的彈力朝向夾持板325施加壓力，進(jìn)而使夾持板325壓緊被加工工件31，以將其夾持在夾持板325與托盤30之間。彈性部件33可以為彈簧、片簧等彈性元件。由于連接框架借助彈性部件33與夾持板321連接，彈性部件在受到緊固組件朝向夾持板施加的壓力(即，連接框架與夾持板321同時(shí)朝向彈性部件施加的作用力)時(shí)會(huì)在彈性范圍內(nèi)產(chǎn)生壓縮變形，這種彈性連接可以在緊固組件朝向夾持板施加的壓力較大時(shí)起到緩沖作用，以避免出現(xiàn)夾持板產(chǎn)生扭曲甚至壓碎被加工工件的問題，而且，與現(xiàn)有技術(shù)中采用力矩扳手對(duì)緊固螺釘進(jìn)行多次預(yù)緊的裝配方式相比，本發(fā)明提供的夾持裝置只需將緊固組件安裝至托盤上即可通過彈性部件的彈性形變來自動(dòng)調(diào)整對(duì)被加工工件施加的壓力，從而可以簡化夾持裝置的裝配過程，縮短裝配時(shí)間，進(jìn)而可以提高等離子體加工設(shè)備的加工效率。
[0036]需要說明的是，雖然在本實(shí)施例中，水平部321為長度方向平行于托盤30上表面的條形塊，但是本發(fā)明并不局限于此，在實(shí)際應(yīng)用中，水平部321也可以采用平行于托盤30上表面的圓形、方形等任意形狀的平板，而且，豎直部322的結(jié)構(gòu)也并不局限于本實(shí)施例中的長度方向垂直于托盤30上表面且彼此間隔設(shè)置的兩個(gè)條形塊，豎直部322還可以為封閉或非封閉的圓環(huán)、方形環(huán)等任意形狀的環(huán)形結(jié)構(gòu)。此外，導(dǎo)向孔326的結(jié)構(gòu)應(yīng)與豎直部322的形狀相適應(yīng)，只要導(dǎo)向孔326的結(jié)構(gòu)能夠使位于其中的豎直部322旋轉(zhuǎn)，且能夠?qū)⒇Q直部322分別限定在第一預(yù)設(shè)位置或第二預(yù)設(shè)位置即可。
[0037]還需要說明的是，豎直部322的下端與托盤30采用可拆卸地連接方式并不局限于本實(shí)施例提供的上述連接方式，在實(shí)際應(yīng)用中，還可以采用螺紋連接等其他可拆卸地方式連接。
[0038]圖4a為本發(fā)明第二實(shí)施例提供的夾持裝置的剖面圖。圖4b為本發(fā)明第二實(shí)施例提供的夾持裝置的夾持板的分布圖。請(qǐng)一并參閱圖圖4a和圖4b，本實(shí)施例提供的夾持裝置與第一實(shí)施例相比，同樣包括托盤30和緊固單元。由于托盤30和緊固單元在第一實(shí)施例的上述技術(shù)方案中已有了詳細(xì)地描述，在此不再贅述。下面僅對(duì)本實(shí)施例的技術(shù)方案與第一實(shí)施例的上述技術(shù)方案之間的不同點(diǎn)進(jìn)行描述。
[0039]具體地，夾持板采用分體式結(jié)構(gòu)，如圖4b所示，夾持板為由多個(gè)設(shè)置在相鄰的兩個(gè)被加工工件31之間的夾持片53組成的平板，且位于托盤30的上方，并且每個(gè)夾持片53分別與相鄰的被加工工件31的邊緣部分相互疊置。而且，緊固組件32的數(shù)量和設(shè)置位置與夾持片53—一對(duì)應(yīng)，由于每個(gè)緊固組件32單獨(dú)固定與之一一對(duì)應(yīng)的一個(gè)夾持片53，這可以避免出現(xiàn)夾持片53產(chǎn)生扭曲變形，導(dǎo)致被加工工件31被壓碎的問題，從而可以提高夾持裝置的穩(wěn)定性。
[0040]在本實(shí)施例中，在水平部321上設(shè)置有沿其厚度貫穿的第一通孔，并且，緊固組件32還包括調(diào)節(jié)部件50，調(diào)節(jié)部件50穿過該第一通孔，且采用螺紋連接的方式與第一通孔連接；并且，位于中空空間內(nèi)的彈性部件33的上端與調(diào)節(jié)部件50連接，彈性部件33的下端與夾持片53連接，調(diào)節(jié)部件50通過改變其與第一通孔在第一通孔的軸向上的相對(duì)位置來調(diào)節(jié)彈性部件33所產(chǎn)生的壓縮變形量，也就是說，調(diào)節(jié)部件50通過改變其與第一通孔在第一通孔的軸向上的相對(duì)位置，可以改變調(diào)節(jié)部件50的下端與夾持片53之間的間距，從而使位于二者之間的彈性部件33的壓縮變形量相應(yīng)的改變，以調(diào)節(jié)彈性部件33朝向夾持片53施加的壓力大小，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)對(duì)被加工工件31的壓緊力的調(diào)節(jié)。
[0041]在本實(shí)施例中，夾持裝置還包括蓋板52，蓋板52采用陶瓷或石英等的絕緣材料制作，且與夾持片53相互疊置，并且在蓋板52上且與緊固組件32相對(duì)應(yīng)的位置處設(shè)置有凹部521，凹部521用于在蓋板52與夾持片53相互疊置時(shí)容納緊固組件32凸出于夾持片53的部分。
[0042]本發(fā)明還提供了一種等離子體加工設(shè)備，包括反應(yīng)腔室以及設(shè)置在反應(yīng)腔室內(nèi)的卡盤和夾持裝置，其中，夾持裝置固定在卡盤上，夾持裝置采用本實(shí)施例提供的夾持裝置。
[0043]本實(shí)施例提供的等離子體加工設(shè)備通過采用本實(shí)施例提供的夾持裝置，不僅可以避免出現(xiàn)夾持板產(chǎn)生扭曲甚至壓碎被加工工件的問題，而且還可以簡化被加工工件的裝載過程，從而可以提高等離子體加工設(shè)備的加工效率。
[0044]可以理解的是，以上實(shí)施方式僅僅是為了說明本發(fā)明的原理而采用的示例性實(shí)施方式，然而本發(fā)明并不局限于此。對(duì)于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本發(fā)明的精神和實(shí)質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進(jìn)，這些變型和改進(jìn)也視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種夾持裝置，包括用于承載多個(gè)被加工工件的托盤和用于將所述被加工工件固定在所述托盤上的緊固單元，其特征在于，所述緊固單元包括夾持板、緊固組件和彈性部件，其中 所述夾持板位于所述托盤的上方，并與置于所述托盤上的被加工工件的邊緣部分相互疊置； 所述緊固組件穿過所述夾持板和所述托盤連接； 所述彈性部件位于所述緊固組件與所述夾持板形成的空間中； 通過所述彈性部件在彈性范圍內(nèi)產(chǎn)生的彈性形變朝向所述夾持板施加壓力，用以將被加工工件夾持在所述夾持板與所述托盤之間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾持裝置，其特征在于，在所述托盤上且位于相鄰的兩個(gè)所述被加工工件之間設(shè)置有固定孔，所述固定孔的數(shù)量和設(shè)置位置與所述緊固組件的數(shù)量和設(shè)置位置一一對(duì)應(yīng)； 所述緊固組件包括連接框架，所述連接框架的水平部位于所述夾持板的上方，在所述水平部的底部形成有朝向所述夾持板凸出的豎直部，并且所述豎直部貫穿所述夾持板的厚度且與所述固定孔采用可拆卸地方式連接； 所述豎直部、水平部和夾持板形成中空空間，所述彈性部件位于所述中空空間內(nèi)，并且所述彈性部件的兩端分別與所述水平部和夾持板連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的夾持裝置，其特征在于，在所述夾持板上且與所述固定孔相對(duì)應(yīng)的位置處設(shè)置有貫穿其厚度的導(dǎo)向孔，所述豎直部的下端穿過所述導(dǎo)向孔，且與所述固定孔采用可拆卸地方式連接，所述可拆卸地方式被設(shè)置為:` 所述豎直部沿所述導(dǎo)向孔圍繞所述固定孔所在軸線轉(zhuǎn)動(dòng)，且當(dāng)所述豎直部緊靠所述導(dǎo)向孔的一端時(shí)其下端相對(duì)于所述固定孔處于可在所述托盤的軸向上移出或移入所述固定孔的所述第一預(yù)設(shè)位置；當(dāng)所述豎直部緊靠所述導(dǎo)向孔的另一端時(shí)其下端相對(duì)于所述固定孔處于可在所述托盤的軸向上與所述固定孔相對(duì)固定的第二預(yù)設(shè)位置。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的夾持裝置，其特征在于，所述固定孔包括在其孔壁上部形成的彼此相對(duì)的兩個(gè)第一凸緣，且沿所述固定孔孔壁的圓周方向間隔設(shè)置； 在所述豎直部的外周壁下部對(duì)應(yīng)地設(shè)置有兩個(gè)第二凸緣，且沿所述固定孔的徑向朝向遠(yuǎn)離彼此的方向凸出；并且，所述第二凸緣的外徑小于所述固定孔的孔徑，且大于所述第一凸緣的內(nèi)徑，并且所述第二凸緣的寬度小于兩個(gè)所述第一凸緣之間的間距；所述第一凸緣和第二凸緣的位置被設(shè)置為: 在所述豎直部旋轉(zhuǎn)至所述第一預(yù)設(shè)位置時(shí)，所述兩個(gè)第二凸緣分別位于所述兩個(gè)第一凸緣之間的間隙處；在所述豎直部旋轉(zhuǎn)至所述第二預(yù)設(shè)位置時(shí)，所述兩個(gè)第二凸緣分別位于所述兩個(gè)第一凸緣底部對(duì)應(yīng)位置處。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任意一項(xiàng)所述的夾持裝置，其特征在于，所述夾持板采用整體式結(jié)構(gòu)，且與所述托盤相互疊置； 在所述夾持板上設(shè)有貫穿其厚度的第二通孔，所述被加工工件設(shè)置在所述夾持板和托盤之間，并且所述夾持板的位于所述第二通孔的周邊部分與所述被加工工件的邊緣部分相互疊置。
6.根據(jù)權(quán)利要求2-4任意一項(xiàng)所述的夾持裝置，其特征在于，所述夾持板采用分體式結(jié)構(gòu)，其為由多個(gè)夾持片組成的平板，且位于所述托盤的上方；所述夾持片的數(shù)量和設(shè)置位置與所述固定孔的數(shù)量和設(shè)置位置一一對(duì)應(yīng)，并且每個(gè)所述夾持片分別和與之相鄰的被加工工件的邊緣部分相互疊置。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾持裝置，其特征在于，在所述托盤上且位于相鄰的兩個(gè)所述被加工工件之間設(shè)置有固定孔，所述固定孔的數(shù)量和設(shè)置位置與所述緊固組件的數(shù)量和設(shè)置位置一一對(duì)應(yīng)； 所述緊固組件，包括連接框架和調(diào)節(jié)部件，其中: 所述連接框架的水平部位于所述夾持板的上方，在所述水平部上設(shè)置有沿其厚度貫穿的第一通孔；在所述水平部的底部形成有朝向所述夾持板凸出的豎直部，并且所述豎直部貫穿所述夾持板的厚度且與所述固定孔采用可拆卸地方式連接； 所述調(diào)節(jié)部件穿過所述第一通孔，且采用螺紋連接的方式與所述第一通孔連接；并且，所述彈性部件的上端與所述調(diào)節(jié)部件連接，下端與所述夾持板連接，所述調(diào)節(jié)部件通過改變其與所述第一通孔在所述第一通孔的軸向上的相對(duì)位置來調(diào)節(jié)所述彈性部件所產(chǎn)生的壓縮變形量。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾持裝置，其特征在于，所述夾持裝置，還包括蓋板，其中: 所述蓋板采用絕緣材料制作，且與所述夾持板相互疊置，并且在所述蓋板上且與所述緊固組件相對(duì)應(yīng)的位置處設(shè)置有凹部，所述凹部用于在所述蓋板與所述夾持板相互疊置時(shí)容納所述緊固組件凸出于所述夾持板的部分。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的夾持裝置，其特征在于，所述絕緣材料包括陶瓷或石英。
10.一種等離子體加工設(shè)備，包括反應(yīng)腔室以及設(shè)置在所述反應(yīng)腔室內(nèi)的卡盤和夾持裝置，所述夾持裝置固定在所述卡盤上，其特征在于，所述夾持裝置采用權(quán)利要求1-9中任意一項(xiàng)所述的夾持裝置。`
【文檔編號(hào)】H01L21/687GK103871947SQ201210544755
【公開日】2014年6月18日 申請(qǐng)日期:2012年12月14日 優(yōu)先權(quán)日:2012年12月14日
【發(fā)明者】劉海鷹 申請(qǐng)人:北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司