專利名稱：一種硅片傳送裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種傳送裝置，特別是一種主要應用于晶體硅太陽能電池生產中的硅片傳送裝置。
技術背景在晶體硅太陽能電池的工藝制程中，原始硅片(單晶或多晶)要經過若干道工序的處理，在整個工藝制程中，涉及單個硅片的傳送機構，典型的如絲網印刷設備(例如應用材料Baccini產品)，在硅片絲網印刷完畢后，硅片要傳送至燒結爐進行處理。目前的硅片傳送裝置，包括網鏈傳送機構、直行傳輸機構以及設置于所述網鏈傳送機構和直行傳送機構之間的中轉傳送機構。硅片從直行傳送機構首先被運輸至中轉傳送機構，然后再由中轉傳送機構轉運到網鏈傳送機構最終抵達下道加工工序。現有的中轉傳送機構是可以前后移動的金屬機械手機構，金屬機械手機構抓取硅片的周邊，然后移動至指定位置，再把硅片放下。由于晶體硅太陽能電池片(硅片)的厚度很薄，只有200微米左右，當采用金屬機械手抓取和放下的過程中，硅片有較大的受力和碰撞，很容易造成硅片的破碎或者隱裂，導致產品的報廢，生產率也因此降低。

實用新型內容鑒于現有技術存在的上述缺陷，本實用新型的目的在于提供一種硅片傳送裝置，該硅片傳送裝置采用軟皮帶或者滾輪的傳送方式，解決了硅片傳送過程中受力較大而容易出現碎片或者隱裂的問題。為了實現上述目的，本實用新型的一種硅片傳送裝置，包括網鏈傳送機構、直行傳輸機構以及設置于所述網鏈傳送機構和直行傳送機構之間的中轉傳送機構，所述網鏈傳送機構設置有傳送履帶和驅動所述傳送履帶運轉的網鏈滾筒，其中，所述中轉傳送機構為與所述網鏈傳送機構的傳送履帶的傳送速度相同的皮帶傳送機構或滾輪傳送機構，所述皮帶傳送機構和所述滾輪傳送機構均具有與所述傳送履帶位于同一水平面的用于傳送硅片的傳送面。作為優(yōu)選，當所述中轉傳送機構為皮帶傳送機構時，所述網鏈滾筒的輸出軸上設置有第一同步帶輪；所述中轉傳送機構包括皮帶傳送單元、用于驅動皮帶傳送單元的轉軸、用于支撐所述轉軸的支座、用于安裝所述皮帶傳送單元的傳送支架和用于帶動所述轉軸的驅動皮帶，所述轉軸平行于所述網鏈滾筒設置并通過軸承分別與所述支座和傳送支架轉動連接，所述轉軸上設有第二同步帶輪，所述第一同步帶輪通過驅動皮帶與所述第二同步帶輪連接并驅動所述第二同步帶輪帶動所述轉軸轉動；所述皮帶傳送單元包括驅動軸、設置于所述驅動軸上的傳送帶輪、設置于所述傳送支架上的張緊輪和傳送皮帶，所述傳送皮帶分別連接所述傳送帶輪和所述張緊輪；所述轉軸與所述驅動軸連接并帶動所述驅動軸轉動。作為優(yōu)選，所述傳送支架包括底座及垂直于所述底座并相對設置的兩個支撐板，兩個所述支撐板的一側分別設有相同數量且相互對稱的多個所述張緊輪，所述傳送帶輪和所述張緊輪位于所述支撐板的同側。[0008]作為優(yōu)選，所述支撐板一側的所述張緊輪至少設置有兩個且使所述傳送皮帶沿水平方向張緊。作為優(yōu)選，所述支撐板上設置有水平的滑槽，至少一個所述張緊輪水平可調的固定于所述滑槽內。與現有技術相比，本實用新型具有以下有益效果首先硅片采用非抓取式的傳送方式，完全解決了傳送過程中因受力過大而容易造成硅片碎裂或者隱裂的問題；其次第一同步帶輪和第二同步帶輪的速比關系可調，保證傳送皮帶的運行速度與網鏈傳送機構及直行傳送機構的速度保持一致。

圖I為本實用新型的硅片傳送裝置的實施例一的俯視圖。圖2為本實用新型的硅片傳送裝置的實施例二的局部立體結構示意圖。圖3為本實用新型的硅片傳送裝置的實施例二的局部主視圖。
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型的結構做進一步詳細的說明。如圖I和圖2所示，本實用新型提供的一種硅片傳送裝置，包括網鏈傳送機構I、直行傳輸機構2以及設置于所述網鏈傳送機構I和直行傳送機構2之間的中轉傳送機構3,所述網鏈傳送機構I設置有傳送履帶14和驅動所述傳送履帶14運轉的網鏈滾筒11。中轉傳送機構3為與網鏈傳送機構I的傳送履帶14的傳送速度相同的皮帶傳送機構或滾輪傳送機構，所述皮帶傳送機構和所述滾輪傳送機構均具有與傳送履帶14位于同一水平面的用于傳送娃片的傳送面。實施例一，本實施例中的中轉傳送機構3為皮帶傳送機構，參照本實用新型實施例二的圖2所示，所述網鏈滾筒11的輸出軸12上還設置有第一同步帶輪13 ;皮帶傳送機構包括皮帶傳送單元、用于驅動皮帶傳送單元的轉軸33、用于支撐所述轉軸33的支座4、用于安裝所述皮帶傳送單元的傳送支架和用于帶動所述轉軸33的驅動皮帶6,所述轉軸33平行于所述網鏈滾筒11設置并通過軸承(圖中未示出)分別與所述支座4和傳送支架轉動連接，所述轉軸33上設有第二同步帶輪38,所述第一同步帶輪13通過驅動皮帶6驅動第二同步帶輪38帶動所述轉軸33轉動；在本實施例中，所述皮帶傳送單元包括兩組，以其中一組為例，所述皮帶傳送單元包括驅動軸333 (另一組包括驅動軸334)、設置于所述驅動軸333上的傳送帶輪335 (另一組為傳送帶輪336)、設置于所述傳送支架上的張緊輪35和傳送皮帶36、傳送皮帶337 (另一組為傳送皮帶338)，其中所述傳送皮帶36和所述傳送皮帶337分別連接所述傳送帶輪335和所述張緊輪35。雖然在本實用新型中，所述轉軸33通過一傳動帶輪331 (另一組為傳送帶輪332)結合傳送皮帶337 (另一組為傳送皮帶338)來帶動驅動軸333或者驅動軸334進而驅動整個皮帶傳送機構，但很明顯，所述轉軸33與所述驅動軸333齒輪連接也可以實現這一目的。本實用新型的整個硅片傳送裝置在實際運行時，網鏈傳送機構I運轉的同時，第一同步帶輪13通過驅動皮帶6帶動第二同步帶輪38轉動,進而第二同步帶輪38帶動轉軸33旋轉，轉軸33再驅動整個皮帶傳送單元運轉。硅片5從直行傳送機構2被輸送到中轉傳送機構3即皮帶傳送機構上之后，傳送皮帶36再將其運送到網鏈傳送機構I的傳送履帶14上。實施例二，在本實施例中，作為優(yōu)選，如圖2和圖3所示，所述皮帶傳送機構僅設有一組，此時所述轉軸33為驅動軸，即不必設置驅動軸333和驅動軸334，而只需要通過轉軸33通過帶動傳送帶輪34驅動傳送皮帶36來傳輸娃片。所述傳送皮帶36連接張緊輪35和傳送帶輪34。進一步地，作為優(yōu)選，如圖2所示，所述傳送支架包括底座31及垂直于所述底座31并相對設置的兩個支撐板32，兩個所述支撐板32的一側分別設有相同數量且相互對稱的多個所述張緊輪35，所述傳送帶輪34和所述張緊輪35位于所述支撐板32的同側。借助兩個支撐板32的支撐，兩道所述傳送皮帶36可以并行的將硅片5穩(wěn)定傳送至網鏈傳送機構 I。兩根傳送皮帶36之間的距離可以根據硅片5的大小進行確定，通常為8-lOcm。傳送皮帶36在行進中通過摩擦力使硅片5得以傳送，傳送皮帶36的張緊到水平的程度直接關系到硅片5是否能順利穩(wěn)定的被傳送。因此作為優(yōu)選，如圖3所示，所述支撐板32 —側的所述張緊輪35至少設置有兩個且使所述傳送皮帶36沿水平方向張緊成一直線。再進一步地，為了適應網鏈傳送機構I和直行傳送機構2之間不同的寬度縫隙，通常本實用新型中的中轉傳送機構3的傳送皮帶36的數量或者大小需要進行調整，這可以通過調整張緊輪35的位置來實現傳送皮帶36始終保持張緊。具體可采用這樣的結構實現，即在所述支撐板32上設置水平的滑槽37，進一步使至少一個所述張緊輪35水平可調的固定于所述滑槽37內。這樣當傳送皮帶36的周長發(fā)生變化時，可以通過水平調整所述張緊輪35來使傳送皮帶36保持張緊，保證硅片5的順利傳送。以上本實施例二中列舉的支撐板32、張緊輪35及滑槽37的設置也同樣適用于本實用新型的實施例一。當然，以上所述是本實用新型的優(yōu)選實施方式，應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也視為本實用新型的保護范圍。
權利要求1.一種硅片傳送裝置，包括網鏈傳送機構、直行傳輸機構以及設置于所述網鏈傳送機構和直行傳送機構之間的中轉傳送機構，所述網鏈傳送機構設置有傳送履帶和驅動所述傳送履帶運轉的網鏈滾筒，其特征在于，所述中轉傳送機構為與所述網鏈傳送機構的傳送履帶的傳送速度相同的皮帶傳送機構或滾輪傳送機構，所述皮帶傳送機構和所述滾輪傳送機構均具有與所述傳送履帶位于同一水平面的用于傳送硅片的傳送面。
2.如權利要求I所述的硅片傳送裝置，其特征在于，當所述中轉傳送機構為皮帶傳送機構時，所述網鏈滾筒的輸出軸上設置有第一同步帶輪； 所述皮帶傳送機構包括皮帶傳送單元、用于驅動皮帶傳送單元的轉軸、用于支撐所述轉軸的支座和用于安裝所述皮帶傳送單元的傳送支架，所述轉軸平行于所述網鏈滾筒設置并通過軸承分別與所述支座和傳送支架轉動連接，所述轉軸上設有第二同步帶輪，所述第一同步帶輪通過驅動皮帶與所述第二同步帶輪連接并驅動所述第二同步帶輪帶動所述轉軸轉動；所述皮帶傳送單元包括驅動軸、設置于所述驅動軸上的傳送帶輪、設置于所述傳送支架上的張緊輪和傳送皮帶，所述傳送皮帶分別連接所述傳送帶輪和所述張緊輪；所述轉軸與所述驅動軸連接并帶動所述驅動軸轉動。
3.如權利要求2所述的硅片傳送裝置，其特征在于，所述傳送支架包括底座及垂直于所述底座并相對設置的兩個支撐板，兩個所述支撐板的一側分別設有相同數量且相互對稱的多個所述張緊輪，所述傳送帶輪和所述張緊輪位于所述支撐板的同側。
4.如權利要求2所述的硅片傳送裝置，其特征在于，所述支撐板一側的所述張緊輪至少設置有兩個且使所述傳送皮帶沿水平方向張緊。
5.如權利要求2所述的硅片傳送裝置，其特征在于，所述支撐板上設置有水平的滑槽，至少一個所述張緊輪水平可調的固定于所述滑槽內。
專利摘要一種硅片傳送裝置，包括網鏈傳送機構、直行傳輸機構及中轉傳送機構，所述網鏈傳送機構設置有傳送履帶和驅動所述傳送履帶運轉的網鏈滾筒，其中，所述中轉傳送機構為與所述網鏈傳送機構的傳送履帶的傳送速度相同的皮帶傳送機構或滾輪傳送機構，所述皮帶傳送機構和所述滾輪傳送機構均具有與所述傳送履帶位于同一水平面的用于傳送硅片的傳送面。本實用新型可以完全解決硅片傳送過程中因受力過大而容易造成硅片碎裂或者隱裂的問題。
文檔編號H01L31/18GK202423246SQ20122004439
公開日2012年9月5日 申請日期2012年2月10日 優(yōu)先權日2012年2月10日
發(fā)明者何悅, 侯保國, 繆國強, 胡益鵬, 韓基成 申請人:尚德太陽能電力有限公司, 無錫尚德太陽能電力有限公司