專利名稱：裸片拾取裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種裸片拾取裝置，其在通過(guò)吸附嘴拾取粘貼到切割片上的裸片時(shí)，對(duì)通過(guò)吸附嘴拾取的裸片的粘貼部分從切割片的下表面?zhèn)任⒃撀闫恼迟N部分進(jìn)行片剝離。
背景技術(shù)：
在剝離粘貼到切割片上的裸片的方式中，包括頂起剝離方式和滑動(dòng)剝離方式。在頂起剝離方式中，如專利文獻(xiàn)I (日本特開(kāi)2010-129949號(hào)公報(bào))所述，用吸附嘴對(duì)從粘貼了切割為棋盤(pán)格狀的晶圓且能夠伸縮的切割片上的晶圓分割出的裸片進(jìn)行吸附并拾取時(shí)，對(duì)切割片中的要吸附的裸片的粘貼部分從其正下方用頂起瓶頂起，將該裸片的粘貼部分從 切割片部分剝離的同時(shí)，用吸附嘴吸附該裸片，從切割片拾取。但是，當(dāng)裸片較薄易破裂時(shí)，在上述頂起剝離方式中，裸片可能破裂，因此使用滑動(dòng)剝離方式。在滑動(dòng)剝離方式中，如專利文獻(xiàn)2(日本特許第3209736號(hào)公報(bào))所述，具有拾取粘貼了多個(gè)裸片的切割片上的裸片的吸附嘴(筒)及具有片吸引孔的剝離臺(tái)，通過(guò)吸附嘴吸附保持切割片上的裸片的同時(shí)，使剝離臺(tái)的片吸引孔從該裸片的粘貼部分的近前側(cè)向該裸片的粘貼部分的正下方滑動(dòng)，從而對(duì)該裸片的粘貼部分逐漸進(jìn)行片剝離。專利文獻(xiàn)I :日本特開(kāi)2010-129949號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本特許3209736號(hào)公報(bào)

實(shí)用新型內(nèi)容為了縮短拾取裝置的節(jié)拍時(shí)間，加快片剝離速度并縮短片剝離所需的時(shí)間較為有效，但在上述專利文獻(xiàn)2所述的滑動(dòng)剝離方式下，因?qū)^薄易破裂的裸片進(jìn)行片剝離，所以加快剝離臺(tái)的滑動(dòng)速度時(shí)，較薄的裸片可能破裂，或片剝離可能失敗。為防止該片剝離的失敗，增大吸引力即可，但增大吸引力時(shí)，較薄的裸片變得易破裂，所以無(wú)法增大吸引力。因此存在以下缺點(diǎn)無(wú)法加快剝離臺(tái)的滑動(dòng)速度，片剝離所需的時(shí)間變長(zhǎng)，裸片拾取裝置的節(jié)拍時(shí)間變長(zhǎng)。因此，本實(shí)用新型要解決的課題是，提供一種能夠使片剝離所需的時(shí)間變短并縮短節(jié)拍時(shí)間的裸片拾取裝置。為解決上述課題，技術(shù)方案I涉及的實(shí)用新型是一種裸片拾取裝置，具有吸附嘴，拾取切割片上的裸片，該切割片上粘貼了將晶圓切割為棋盤(pán)格狀而形成的多個(gè)裸片；剝離臺(tái)，從上述切割片的下表面?zhèn)任ㄟ^(guò)上述吸附嘴拾取的裸片的粘貼部分，而對(duì)該裸片的粘貼部分進(jìn)行片剝離；剝離臺(tái)驅(qū)動(dòng)單元，驅(qū)動(dòng)上述剝離臺(tái)，上述剝離臺(tái)具有吸引上述切割片的片吸引孔，通過(guò)上述吸附嘴吸附保持上述切割片上的裸片，且使上述剝離臺(tái)從該裸片的粘貼部分的近前側(cè)滑動(dòng)至該裸片的粘貼部分的正下方，從而通過(guò)上述片吸引孔對(duì)該裸片的粘貼部分逐漸進(jìn)行片剝離，其中，上述片吸引孔由以下構(gòu)成第I吸引孔，對(duì)本次要拾取的裸片的粘貼部分進(jìn)行片剝離以能夠拾取該裸片;第2吸引孔，對(duì)下一要拾取的裸片的粘貼部分的一部分預(yù)備性地進(jìn)行片剝離，上述剝離臺(tái)驅(qū)動(dòng)單元，每當(dāng)通過(guò)上述吸附嘴拾取片剝離后的裸片時(shí)，使上述剝離臺(tái)向下一要拾取的裸片的粘貼部分的近前側(cè)移動(dòng)，使該剝離臺(tái)滑動(dòng)至該裸片的粘貼部分的正下方而通過(guò)上述第I吸引孔對(duì)該裸片的粘貼部分進(jìn)行片剝離以能夠拾取該裸片，并且通過(guò)上述第2吸引孔對(duì)該裸片之后要拾取的裸片的粘貼部分的一部分預(yù)備性地進(jìn)行片剝離。在該構(gòu)成中，剝離臺(tái)的片吸引孔除了具有對(duì)本次拾取的裸片的粘貼部分進(jìn)行片剝離的第I吸引孔外，還具有對(duì)下一要拾取的裸片的粘貼部分的一部分進(jìn)行預(yù)備性片剝離的第2吸引孔，因此在將本次拾取的裸片的粘貼部分用第I吸引孔進(jìn)行片剝離時(shí)，可同時(shí)對(duì)下一要拾取的裸片的粘貼部分的一部分用第2吸引孔預(yù)備性地進(jìn)行片剝離。由此，對(duì)各裸片的粘貼部分分別進(jìn)行2次片剝離動(dòng)作，因此和現(xiàn)有技術(shù)那樣以I次片剝離動(dòng)作對(duì)各裸片的粘貼部分進(jìn)行片剝離時(shí)相比，即使加快剝離臺(tái)的滑動(dòng)速度，也可確保片剝離性能，并且可將吸引力設(shè)定得較小以避免使裸片破裂。由此，可使片剝離所需的時(shí)間較短，縮短節(jié)拍時(shí)間。本實(shí)用新型中，也可將使剝離臺(tái)從裸片的粘貼部分的近前側(cè)向該裸片的粘貼部分 的正下方滑動(dòng)的速度設(shè)為一定速度，但本次拾取的裸片的粘貼部分通過(guò)上一次的片剝離動(dòng)作預(yù)備性地進(jìn)行了片剝離，因此如技術(shù)方案2所示，使剝離臺(tái)從裸片的粘貼部分的近前側(cè)滑動(dòng)時(shí)，使在通過(guò)上一次片剝離動(dòng)作預(yù)備性地進(jìn)行了片剝離的部分的滑動(dòng)速度比在未剝離部分的滑動(dòng)速度快。若如此，則可僅在未通過(guò)上一次片剝離動(dòng)作預(yù)備性地進(jìn)行了片剝離的未剝離部分減緩剝離臺(tái)的滑動(dòng)速度，可緩慢地進(jìn)行片剝離，因此可有效縮短片剝離所需的時(shí)間，可縮短節(jié)拍時(shí)間。本實(shí)用新型中，通過(guò)第2吸引孔進(jìn)行的預(yù)備性片剝離可僅對(duì)一個(gè)裸片的粘貼部分進(jìn)行，也可以如技術(shù)方案3所示，第2吸引孔形成為，對(duì)多個(gè)裸片的粘貼部分的一部分分別預(yù)備性地進(jìn)行片剝離，并且使得拾取順序靠后的裸片的片剝離面積較小。若如此，則可提高片剝離性能。并且，如技術(shù)方案4所示，在第I吸引孔及第2吸引孔中，可分別在滑動(dòng)方向側(cè)的邊緣部設(shè)有凸部。若如此，則可通過(guò)凸部使片剝離的裸片的粘貼部分浮起的同時(shí)進(jìn)行片剝離，可提高片剝離性能。本實(shí)用新型中，對(duì)第I吸引孔和第2吸引孔可分別通過(guò)I個(gè)孔形成，也可通過(guò)多個(gè)孔形成。第I吸引孔和第2吸引孔分別通過(guò)I個(gè)孔形成時(shí)，如技術(shù)方案5所示，第I吸引孔及第2吸引孔形成為以L字狀連接，該第I吸引孔相比該第2吸引孔向滑動(dòng)方向突出。此時(shí)，通過(guò)第I吸引孔的滑動(dòng)方向側(cè)端部的位置和第2吸引孔的滑動(dòng)方向側(cè)端部的位置的偏差量，決定以第2吸引孔預(yù)備性地進(jìn)行片剝離的面積，例如，使第I吸引孔的滑動(dòng)方向側(cè)端部的位置相比第2吸引孔的滑動(dòng)方向側(cè)端部的位置以裸片的滑動(dòng)方向長(zhǎng)度的1/2尺寸偏移時(shí)，預(yù)備性地進(jìn)行片剝離的面積是裸片的粘貼面積的約1/2。

圖I是本實(shí)用新型的實(shí)施例I中的裸片拾取裝置的立體圖。圖2是設(shè)置了實(shí)施例I的裸片拾取裝置的零件安裝機(jī)的立體圖。圖3是表示實(shí)施例I的裸片的片剝離的滑動(dòng)動(dòng)作開(kāi)始時(shí)的狀態(tài)(省略切割片的圖示)的立體圖。[0017]圖4是表示實(shí)施例I的裸片的片剝離的滑動(dòng)動(dòng)作結(jié)束時(shí)的狀態(tài)(省略了切割片的圖示)的立體圖。圖5是說(shuō)明實(shí)施例I的切割片上的各裸片、剝離臺(tái)的第I吸引孔和第2吸引孔的位置關(guān)系的俯視圖。圖6是表示實(shí)施例I的裸片的片剝離的滑動(dòng)動(dòng)作的中途的狀態(tài)的局部放大剖面圖。圖7是說(shuō)明實(shí)施例2中的切割片上的各裸片、剝離臺(tái)的第I吸引孔和第2吸引孔的位置關(guān)系的俯視圖。圖8是說(shuō)明實(shí)施例3中的切割片上的各裸片、剝離臺(tái)的第I吸引孔和第2吸引孔的位置關(guān)系的俯視圖。
具體實(shí)施方式以下說(shuō)明將用于實(shí)施本實(shí)用新型的方式具體化的3個(gè)實(shí)施例I 3。[實(shí)施例I]參照?qǐng)DI至圖6說(shuō)明本實(shí)用新型的實(shí)施例I。如圖I所示，本實(shí)施例的裸片拾取裝置11為具備料倉(cāng)保持部12 (托板塔)、托板拉出臺(tái)13、托板拉出機(jī)構(gòu)14、輔助機(jī)械手15、穿梭機(jī)構(gòu)16、翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)17、剝離臺(tái)18(參照?qǐng)D3 圖6)、NG傳送帶19、嘴更換器20等的結(jié)構(gòu)。該裸片拾取裝置11如圖2所示，設(shè)置為將托板拉出臺(tái)13插入到零件安裝機(jī)25的送料器設(shè)置用槽中的狀態(tài)。在能夠上下移動(dòng)地收容于裸片拾取裝置11的料倉(cāng)保持部12內(nèi)的料倉(cāng)中，能夠分多層混合搭載放置有裸片21的晶圓托板22、及放置有托盤(pán)零件的托盤(pán)托板(未圖示)。晶圓托板22的構(gòu)成是，將粘貼有切割成棋盤(pán)格狀的晶圓(多個(gè)裸片21)的能夠伸縮的切割片29(參照?qǐng)D6)在展開(kāi)的狀態(tài)下安裝到具有圓形開(kāi)口部的晶圓安裝板23，通過(guò)螺旋夾等將該晶圓安裝板23安裝到托板主體28上。此外，切割片29的展開(kāi)可以通過(guò)任意方法進(jìn)行，例如，將切割片29從下方以利用圓形環(huán)頂起的狀態(tài)安裝到晶圓安裝板23即可。托板拉出機(jī)構(gòu)14為將晶圓托板22、托盤(pán)托板中的任意一個(gè)托板從料倉(cāng)保持部12內(nèi)的料倉(cāng)向托板拉出臺(tái)13上拉出的機(jī)構(gòu)，其構(gòu)成為能夠?qū)⑼邪謇龅揭韵氯我庖粋€(gè)位置利用零件安裝機(jī)25(參照?qǐng)D2)的吸附嘴(未圖示)拾取托板上的零件或裸片的位置(以下稱為“零件安裝機(jī)用拉出位置”)；及靠近料倉(cāng)的拉出位置(以下稱為“輔助機(jī)械手用拉出位置”)。零件安裝機(jī)用拉出位置是托板拉出臺(tái)13的前端的位置(離料倉(cāng)最遠(yuǎn)的位置)，輔助機(jī)械手拉出位置是能夠通過(guò)輔助機(jī)械手15的吸附嘴30(參照?qǐng)D3)吸附晶圓托板22的切割片29上的裸片21的位置。輔助機(jī)械手15設(shè)置得位于料倉(cāng)保持部12的背面部(輔助機(jī)械手用拉出位置側(cè)的面)中的托板拉出臺(tái)13的上方，并構(gòu)成為沿XZ方向(托板拉出臺(tái)13的寬度方向及垂直方向)移動(dòng)。此外，僅將輔助機(jī)械手15的移動(dòng)方向設(shè)為X方向，輔助機(jī)械手15相對(duì)于晶圓托板22的Y方向(托板拉出方向)的相對(duì)位置通過(guò)利用托板拉出機(jī)構(gòu)14將晶圓托板22逐漸向Y方向拉出來(lái)控制。該輔助機(jī)械手15中，朝下設(shè)置有多個(gè)吸附嘴30(參照?qǐng)D3)，以便能夠通過(guò)嘴更換器20與要拾取的裸片21的尺寸對(duì)應(yīng)地更換吸附嘴30。在吸附嘴30的下端部，設(shè)有尺寸大致等于或略小于要拾取的裸片21的墊部30a。輔助機(jī)械手15上設(shè)有相機(jī)24，以能夠根據(jù)該相機(jī)24的拍攝圖像確認(rèn)作為拾取對(duì)象的裸片21的位置或裸片21的吸附姿態(tài)。穿梭機(jī)構(gòu)16通過(guò)穿梭嘴26接受由輔助機(jī)械手15的吸附嘴30拾取的零件，移送到通過(guò)零件安裝機(jī)25的吸附嘴可拾取的位置。翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)17為根據(jù)需要使從輔助機(jī)械手15接受的裸片21上下翻轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)。這是因?yàn)?，根?jù)裸片21的種類不同，存在上下相反地粘貼到晶圓托板22的切割片29的裸片(例如倒裝芯片等)。剝離臺(tái)18(參照?qǐng)D3)配置在托板拉出臺(tái)13的下側(cè)，具有以下功能通過(guò)作為剝離臺(tái)驅(qū)動(dòng)單元的XY機(jī)械手(未圖示)而沿著晶圓托板22的切割片29的下表面在XY方向(托板拉出臺(tái)13的寬度方向及其垂直方向)移動(dòng)，并且對(duì)應(yīng)于晶圓托板22的切割片29的高度位置使剝離臺(tái)18的高度位置上下移動(dòng)。并且，在將晶圓托板22拉出到零件安裝機(jī)用拉出位置和輔助機(jī)械手用拉出位置中的任意一個(gè)位置的情況下，通過(guò)零件安裝機(jī)25或輔 助機(jī)械手15的吸附嘴30拾取吸附嘴30上的裸片21時(shí)，都通過(guò)該吸附嘴30的墊部30a吸附保持切割片29上的裸片21的同時(shí)，使剝離臺(tái)18從該裸片21的粘貼部分的近前側(cè)向該裸片21的粘貼部分的正下方滑動(dòng)，從而逐漸對(duì)該裸片21的粘貼部分進(jìn)行片剝離。對(duì)于剝離臺(tái)18的構(gòu)成和片剝離方法稍后詳細(xì)進(jìn)行說(shuō)明。此外，NG傳送帶19是排出不良零件及吸附不良的裸片21的傳送帶。如上構(gòu)成的裸片拾取裝置11的控制裝置32由具有鍵盤(pán)、鼠標(biāo)等輸入裝置33、液晶顯示器等顯示裝置34等外圍設(shè)備的計(jì)算機(jī)構(gòu)成，對(duì)應(yīng)于向零件安裝機(jī)25供給的零件的種類，選擇托板的拉出位置和零件的拾取方法，并且，對(duì)應(yīng)于該選擇結(jié)果按如下方式控制托板拉出機(jī)構(gòu)14、輔助機(jī)械手15及穿梭機(jī)構(gòu)16、翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)17、剝離臺(tái)18等的動(dòng)作。(I)小裸片21的情況小裸片21的情況下，裸片21向輔助機(jī)械手15 —穿梭嘴26 —零件安裝機(jī)25的吸附嘴的抓取交換較為困難，因此，從料倉(cāng)保持部12向零件安裝機(jī)用拉出位置拉出晶圓托板22，并利用零件安裝機(jī)25的吸附嘴直接拾取該晶圓托板22的切割片29上的裸片21。(2)除上述之外的尺寸的裸片21的情況在具有能夠抓取交換裸片21的尺寸的裸片21的情況下，以縮短安裝時(shí)間為目的，將晶圓托板22從料倉(cāng)保持部12內(nèi)的料倉(cāng)拉出到輔助機(jī)械手用拉出位置，利用輔助機(jī)械手15的吸附嘴30拾取該晶圓托板22的切割片29上的裸片21，并利用穿梭機(jī)構(gòu)16的穿梭嘴26接收該裸片21并移送至規(guī)定的拾取位置，在該拾取位置，利用零件安裝機(jī)25的吸附嘴從穿梭機(jī)構(gòu)16的穿梭嘴26拾取裸片21。(3)托盤(pán)零件的情況在托盤(pán)零件的情況下，將托盤(pán)托板從料倉(cāng)保持部12內(nèi)的料倉(cāng)拉出到零件安裝機(jī)用拉出位置，利用零件安裝機(jī)25的吸附嘴直接拾取該托盤(pán)托板上的托盤(pán)零件。接著，使用圖3 圖6說(shuō)明剝離臺(tái)18的構(gòu)成和片剝離方法。并且在圖3及圖4中，省略切割片29的圖示，僅圖示裸片21和剝離臺(tái)18及吸附嘴30。剝離臺(tái)18配置在托板拉出臺(tái)13的下側(cè)，通過(guò)作為剝離臺(tái)驅(qū)動(dòng)單元的XY機(jī)械手(未圖示)沿著晶圓托板22的切割片29的下表面在XY方向移動(dòng)。剝離臺(tái)18中，朝上形成從切割片29的下表面?zhèn)任懈钇?9的片吸引孔40，在該片吸引孔40中，供給調(diào)整為適于裸片21的片剝離的壓力的負(fù)壓。片吸引孔40由以下構(gòu)成第I吸引孔41，對(duì)本次要拾取的裸片21的粘貼部分進(jìn)行片剝離以能夠拾取該裸片21 ;第2吸引孔42，對(duì)下一要拾取的裸片21的粘貼部分的一部分預(yù)備性地進(jìn)行片剝離。在該實(shí)施例I中，第I吸引孔41和第2吸引孔42形成為以L字狀連接，該第I吸引孔41是相比該第2吸引孔42向滑動(dòng)方向突出的開(kāi)口形狀。該情況下，通過(guò)第I吸引孔41的滑動(dòng)方向側(cè)端部的位置和第2吸引孔42的滑動(dòng)方向側(cè)端部的位置的偏差量，決定通過(guò)第2吸引孔42預(yù)備性地進(jìn)行片剝離的面積，例如，使第I吸引孔41的滑動(dòng)方向側(cè)端部的位置和第2吸引孔42的滑動(dòng)方向側(cè)端部的位置相比，以裸片21的滑動(dòng)方向長(zhǎng)度的1/2尺寸偏移時(shí)，預(yù)備性地進(jìn)行片剝離的面積是裸片的粘貼面積的約1/2。第I吸引孔41和第2吸引孔42的滑動(dòng)方向側(cè)端部的位置偏移量設(shè)定為裸片21的滑動(dòng)方向長(zhǎng)度的1/4 3/4即可，優(yōu)選設(shè)定為1/3 2/3的范圍內(nèi)。第I吸引孔41和第2吸引孔42中，分別在滑動(dòng)方向側(cè)的邊緣部形成凸部43、44，通過(guò)凸部43、44使片剝離的裸片21的粘貼部分浮起的同時(shí)進(jìn)行片剝離(參照?qǐng)D6)。此外， 凸部43、44無(wú)需沿著各吸引孔41、42的滑動(dòng)方向側(cè)的邊緣部整體以一條直線狀形成，可僅在該邊緣部的一部分形成一個(gè)或多個(gè)凸部，并且也可在和各吸引孔41、42的滑動(dòng)方向不同的方向的邊緣部也形成凸部。驅(qū)動(dòng)剝離臺(tái)18的XY機(jī)械手每當(dāng)利用吸附嘴30拾取片剝離后的裸片21時(shí)，如圖3所示，使剝離臺(tái)18向下一要拾取的裸片21的粘貼部分的近前側(cè)移動(dòng)，如圖4所示，使該剝離臺(tái)18向該裸片21的粘貼部分的正下方滑動(dòng)，通過(guò)該第I吸引孔41對(duì)該裸片21的粘貼部分進(jìn)行片剝離以能夠拾取該裸片21，并且通過(guò)第2吸引孔42對(duì)該裸片21之后要拾取的裸片21的粘貼部分的一部分預(yù)備性地進(jìn)行片剝離，反復(fù)進(jìn)行以上動(dòng)作，依次拾取粘貼到切割片29的裸片21。由此，對(duì)各裸片21的粘貼部分分別進(jìn)行2次片剝離動(dòng)作，因此和現(xiàn)有技術(shù)中通過(guò)I次片剝離動(dòng)作對(duì)各裸片21的粘貼部分進(jìn)行片剝離的情況相比，即使加快剝離臺(tái)18的滑動(dòng)速度，也可確保片剝離性能，并且能夠?qū)⑽?負(fù)壓)設(shè)定得較小以避免使裸片21破裂。由此，可使片剝離所需的時(shí)間較短，縮短節(jié)拍時(shí)間。本實(shí)用新型中，也可將使剝離臺(tái)18從裸片21的粘貼部分的近前側(cè)向該裸片21的粘貼部分的正下方滑動(dòng)的速度設(shè)為一定速度，但由于本次拾取的裸片21的粘貼部分通過(guò)上一次的片剝離動(dòng)作預(yù)備性地進(jìn)行了片剝離，因此在本實(shí)施例I中，使剝離臺(tái)18從裸片21的粘貼部分的近前側(cè)滑動(dòng)時(shí)，使在通過(guò)上一次片剝離動(dòng)作預(yù)備性地進(jìn)行了片剝離的部分的滑動(dòng)速度比在未剝離部分的滑動(dòng)速度快。由此，可僅對(duì)未通過(guò)上一次片剝離動(dòng)作預(yù)備性地進(jìn)行了片剝離的未剝離部分減緩剝離臺(tái)18的滑動(dòng)速度，可緩慢地進(jìn)行片剝離，因此可有效縮短片剝離所需的時(shí)間，可縮短節(jié)拍時(shí)間。[其他實(shí)施例]在上述實(shí)施例I中，僅對(duì)一個(gè)裸片21的粘貼部分通過(guò)第2吸引孔42進(jìn)行預(yù)備性的片剝離，但在圖7及圖9所示的實(shí)施例2、3中，使進(jìn)行預(yù)備性的片剝離的第2吸引孔42a、42b以跨過(guò)2個(gè)裸片21的粘貼部分的方式形成，并形成為，通過(guò)該第2吸引孔42a、42b分別預(yù)備性地對(duì)2個(gè)裸片21的粘貼部分的一部分進(jìn)行片剝離，并且拾取順序靠后的片剝離面積較小。[0049]在圖7所示的實(shí)施例2中，臺(tái)階狀地形成第2吸引孔42a、42b，在該滑動(dòng)方向側(cè)的邊緣部形成凸部44a、44b。并且在圖8所示的實(shí)施例3中，使第2吸引孔42a、42b的滑動(dòng)方向側(cè)的邊緣部向和滑動(dòng)方向相反的方向傾斜，使它們呈一條直線連續(xù)地形成，在該滑動(dòng)方向側(cè)的邊緣部形成凸部44a、44b。在圖7、圖8的任意一個(gè)實(shí)施例中，對(duì)各裸片21的粘貼部分分別進(jìn)行3次片剝離動(dòng)作，因此可提高片剝離性能。此外也可以是，進(jìn)行預(yù)備性的片剝離的第2吸引孔以跨過(guò)3個(gè)以上的裸片21的粘貼部分的方式形成，通過(guò)該第2吸引孔分別預(yù)備性地對(duì)3個(gè)以上的裸片21的粘貼部分的一部分進(jìn)行片剝離。并且，在上述各實(shí)施例I 3中，連續(xù)形成第I吸引孔和第2吸引孔，但也可分離形成第I吸引孔和第2吸引孔，并且第I吸引孔及/或第2吸引孔也可由分離的多個(gè)孔構(gòu)成，并且孔的形狀不限于四邊形，也可是圓、橢圓、長(zhǎng)圓、五邊形以上的多邊形等。總之，形成第I吸引孔和第2吸引孔以使吸引力(負(fù)壓)對(duì)裸片21的粘貼部分從其下表面?zhèn)茸饔眉?可。此外，本實(shí)用新型也可適當(dāng)變更裸片拾取裝置11的構(gòu)成等，在不脫離主旨的范圍內(nèi)可進(jìn)行各種變更并實(shí)施。
權(quán)利要求1.一種裸片拾取裝置，具有吸附嘴，拾取切割片上的裸片，該切割片上粘貼了將晶圓切割為棋盤(pán)格狀而形成的多個(gè)裸片；剝離臺(tái)，從上述切割片的下表面?zhèn)任ㄟ^(guò)上述吸附嘴拾取的裸片的粘貼部分，而對(duì)該裸片的粘貼部分進(jìn)行片剝離；剝離臺(tái)驅(qū)動(dòng)單元，驅(qū)動(dòng)上述剝離臺(tái)，上述剝離臺(tái)具有吸引上述切割片的片吸引孔，通過(guò)上述吸附嘴吸附保持上述切割片上的裸片，且使上述剝離臺(tái)從該裸片的粘貼部分的近前側(cè)滑動(dòng)至該裸片的粘貼部分的正下方，從而通過(guò)上述片吸引孔對(duì)該裸片的粘貼部分逐漸進(jìn)行片剝離，其特征在于， 上述片吸引孔由以下構(gòu)成第I吸引孔，對(duì)本次要拾取的裸片的粘貼部分進(jìn)行片剝離以能夠拾取該裸片;第2吸引孔，對(duì)下一要拾取的裸片的粘貼部分的一部分預(yù)備性地進(jìn)行片剝離， 上述剝離臺(tái)驅(qū)動(dòng)單元，每當(dāng)通過(guò)上述吸附嘴拾取上述切割片上的裸片時(shí)，使上述剝離臺(tái)向下一要拾取的裸片的粘貼部分的近前側(cè)移動(dòng)，使該剝離臺(tái)滑動(dòng)至該裸片的粘貼部分的正下方而通過(guò)上述第I吸引孔對(duì)該裸片的粘貼部分進(jìn)行片剝離以能夠拾取該裸片，并且通過(guò)上述第2吸引孔對(duì)該裸片之后要拾取的裸片的粘貼部分的一部分預(yù)備性地進(jìn)行片剝離。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裸片拾取裝置，其特征在于， 上述剝離臺(tái)驅(qū)動(dòng)單元，使上述剝離臺(tái)從裸片的粘貼部分的近前側(cè)滑動(dòng)時(shí)，使在通過(guò)上一次片剝離動(dòng)作預(yù)備性地進(jìn)行了片剝離的部分的滑動(dòng)速度比在未剝離部分的滑動(dòng)速度快。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的裸片拾取裝置，其特征在于， 上述第2吸引孔形成為，對(duì)多個(gè)裸片的粘貼部分的一部分分別預(yù)備性地進(jìn)行片剝離，并且使得拾取順序靠后的裸片的片剝離面積較小。
4.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的裸片拾取裝置，其特征在于， 在上述第I吸引孔及上述第2吸引孔中，分別在滑動(dòng)方向側(cè)的邊緣部設(shè)有凸部。
5.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的裸片拾取裝置，其特征在于， 上述第I吸引孔及上述第2吸引孔形成為以L字狀連接，該第I吸引孔相比該第2吸引孔向滑動(dòng)方向突出。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種裸片拾取裝置，其能夠使粘貼到切割片上的裸片的片剝離所需的時(shí)間變短而縮短節(jié)拍時(shí)間。剝離臺(tái)(18)的片吸引孔(40)由以下構(gòu)成第1吸引孔(41)，對(duì)本次要拾取的裸片(21)的粘貼部分進(jìn)行片剝離以能夠拾取該裸片(21)；第2吸引孔(42)，對(duì)下一要拾取的裸片(21)的粘貼部分的一部分預(yù)備性地進(jìn)行片剝離，每當(dāng)通過(guò)吸附嘴(30)拾取片剝離后的裸片(21)時(shí)，使剝離臺(tái)(18)向下一要拾取的裸片(21)的粘貼部分的近前側(cè)移動(dòng)，使該剝離臺(tái)(18)滑動(dòng)至該裸片(21)的粘貼部分的正下方而通過(guò)第1吸引孔(41)對(duì)該裸片(21)的粘貼部分進(jìn)行片剝離以能夠拾取該裸片(21)，并且通過(guò)第2吸引孔(42)對(duì)該裸片(21)之后要拾取的裸片(21)的粘貼部分的一部分預(yù)備性地進(jìn)行片剝離。
文檔編號(hào)H01L21/683GK202816896SQ201220045758
公開(kāi)日2013年3月20日 申請(qǐng)日期2012年2月13日 優(yōu)先權(quán)日2011年2月14日
發(fā)明者巖城范明, 濱根剛 申請(qǐng)人:富士機(jī)械制造株式會(huì)社