專(zhuān)利名稱(chēng)：一種硅芯爐用的同軸連接器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及ー種拉制硅芯用的高頻電源槽路與線圈連接部件，具體涉及ー種硅芯爐用的同軸連接器。
背景技術(shù)：
隨著光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，作為主要原料的多晶硅生產(chǎn)也得到迅速發(fā)展，硅芯是多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中生長(zhǎng)多晶的載體。目前，在拉制硅芯生產(chǎn)的エ藝過(guò)程中，大多使用的是ー種單目高頻線圈，其工作原理是工作時(shí)給高頻線圈通入高頻電流，產(chǎn)生磁力線對(duì)原料棒進(jìn)行感應(yīng)加熱，使原料棒上端頭形成熔化區(qū)，然后將仔晶插入熔化區(qū)，慢慢提升仔晶，熔化后的原材料就會(huì)跟隨仔晶上升，就形成一個(gè)新的柱型晶體，這個(gè)新的柱型晶體便是硅芯。然而高頻線圈與控制輸出中間，就必須有ー連接裝置即同軸連接器來(lái)連接，給高頻線圈通入高頻 電流，同軸連接器需要部分伸入到爐室，然而熔化區(qū)與外界是高度隔絕的，禁止氣體內(nèi)外交換，否則會(huì)嚴(yán)重影響到硅芯或其他材料晶體的制成品的質(zhì)量，效率，造成人力以及能源的大量浪費(fèi)，因此對(duì)同軸連接器的密封、結(jié)構(gòu)連接要求極高?，F(xiàn)有的同軸連接器一般都是在原來(lái)拉制單根硅芯基礎(chǔ)上適當(dāng)放大尺寸，在同時(shí)拉制5根或更多根硅芯時(shí)由于高頻阻抗較大，導(dǎo)致陽(yáng)極電壓很高，經(jīng)常出現(xiàn)同軸連接器和エ作線圈打火的問(wèn)題，嚴(yán)重影響生產(chǎn)；并且現(xiàn)有同軸連接器內(nèi)部密封多數(shù)以四氟こ烯管與同軸連接器之間的接觸面緊配合或端面密封，在同軸連接器的內(nèi)外(正負(fù)極)也均以四氟こ烯材料來(lái)絕緣隔離，未充分考慮同軸連接器前端部分伸入爐室，在高頻線圈工作時(shí)，高頻電流渦流感應(yīng)溫度升高對(duì)其四氟こ烯的影響，從而導(dǎo)致不良效果影響生產(chǎn)；另外現(xiàn)有同軸連接器的冷卻水循環(huán)管路加エ比較復(fù)雜，エ序較多。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的發(fā)明目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的問(wèn)題，提供一種硅芯爐用的同軸連接器，該硅芯爐用的同軸連接器減小了同軸連接器自身的高頻阻杭，從而降低了拉晶時(shí)所需要的陽(yáng)極電壓，徹底解決了同軸連接器和工作線圈的打火問(wèn)題，提高了輸出效率，同時(shí)增強(qiáng)了同軸連接器的密封效果，増加了耐溫性能和整體可靠性。本實(shí)用新型進(jìn)ー步的發(fā)明目的在于解決現(xiàn)有技術(shù)中同軸連接器的冷卻水循環(huán)管路加工比較復(fù)雜，エ序較多的問(wèn)題。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案為—種硅芯爐用的同軸連接器，包括底座，所述底座上連接負(fù)極銅柱和正極銅柱，所述正極銅柱與負(fù)極銅柱之間設(shè)有內(nèi)四氟套筒，所述負(fù)極銅柱外圍設(shè)有外四氟套筒，所述正極銅柱和負(fù)極銅柱為由整體銅柱除料制作而成的正極銅柱和負(fù)極銅柱，所述正極銅柱位于負(fù)極銅柱內(nèi)部。該硅芯爐用的同軸連接器的正極銅柱和負(fù)極銅柱由整體的銅柱除料制作而成，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，減小了同軸連接器自身的高頻阻抗，從而降低了拉晶時(shí)所需要的陽(yáng)極電壓，徹底解決了同軸連接器和工作線圈的打火問(wèn)題，提高了輸出效率。[0008]其中，所述正極銅柱前端外圍設(shè)有內(nèi)陶瓷套筒，所述負(fù)極銅柱前端外圍設(shè)有外陶瓷套筒，所述內(nèi)陶瓷套筒連接于內(nèi)四氟套筒上方，所述外陶瓷套筒連接于外四氟套筒上方，所述正極銅柱和負(fù)極銅柱前端之間設(shè)有陶瓷絕緣墊塊和陶瓷件。所述內(nèi)外陶瓷套筒和陶瓷絕緣墊塊、陶瓷件的耐溫性、絕緣性好，増加了同軸連接器的耐溫性能和整體可靠性。所述外四氟套筒與負(fù)極銅柱之間設(shè)有橡膠密封圈，所述內(nèi)四氟套筒與正極銅柱之間設(shè)有橡膠密封圈，所述內(nèi)四氟套筒與負(fù)極銅柱之間設(shè)有橡膠密封圏。通過(guò)橡膠密封圈進(jìn)行密封，確保外界氣體不能進(jìn)入爐體內(nèi)部，保證硅芯或其他材料晶體的制成品的質(zhì)量和生產(chǎn)效率。上述硅芯爐用的同軸連接器還包括冷卻水循環(huán)管路，所述冷卻水循環(huán)管路包括進(jìn)水管和出水管，所述進(jìn)水管、出水管分別位于所述正極銅柱、負(fù)極銅柱的中心位置。這種結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)，使得該硅芯爐用的同軸連接器結(jié)構(gòu)更加簡(jiǎn)潔，便于加工、安裝和維護(hù)。進(jìn)ー步的，所述底座上設(shè)有進(jìn)水管路和出水管路，所述進(jìn)水管路連接進(jìn)水管，所述出水管連接出水管路。
·[0012]更進(jìn)一歩的，所述進(jìn)水管路連接進(jìn)水管處、所述出水管連接出水管路處均設(shè)有橡膠密封圈，所述進(jìn)水管在正極銅柱前端開(kāi)ロ處設(shè)有耐溫硅橡膠密封圈，所述出水管在負(fù)極銅柱前端開(kāi)ロ處設(shè)有耐溫硅橡膠密封圈。通過(guò)橡膠密封圈和耐溫硅橡膠密封圈進(jìn)行冷卻水循環(huán)時(shí)的密封，有效降低同軸連接器和高頻線圈工作時(shí)的溫度。優(yōu)選的，所述正極銅柱和負(fù)極銅柱均通過(guò)沉頭銅螺釘與底座相連。優(yōu)選的，所述橡膠密封圈均為“O “型橡膠密封圏。用“ O”型橡膠密封圈并結(jié)合陶瓷絕緣件與銅件之間的緊配合關(guān)系，增強(qiáng)密封效果，從而使整個(gè)系統(tǒng)的可靠性大大提高。優(yōu)選的，所述耐溫硅橡膠密封圈為“O “型耐溫硅橡膠密封圏。該耐溫硅橡膠密封圈增強(qiáng)冷卻水循環(huán)時(shí)的密封，同時(shí)有效降低同軸連接器和高頻線圈工作時(shí)的溫度。綜上所述，由于采用了上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型的有益效果是本實(shí)用新型的硅芯爐用同軸連接器的正極銅柱和負(fù)極銅柱由整體的銅柱除料制作而成，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，減小了同軸連接器自身的高頻阻抗，從而降低了拉晶時(shí)所需要的陽(yáng)極電壓，徹底解決了同軸連接器和工作線圈的打火問(wèn)題，提高了輸出效率；通過(guò)橡膠密封圈進(jìn)行密封，確保外界氣體不能進(jìn)入爐體內(nèi)部，保證硅芯或其他材料晶體的制成品的質(zhì)量和生產(chǎn)效率；通過(guò)所述內(nèi)外陶瓷套筒和陶瓷絕緣墊塊，増加了同軸連接器的耐溫性能和整體可靠性；所述冷卻水循環(huán)管路位于所述正、負(fù)極銅柱中心位置，使得同軸連接器整個(gè)結(jié)構(gòu)更加簡(jiǎn)潔，便于加工，安裝，維護(hù)。

圖I是本實(shí)用新型硅芯爐用的同軸連接器的外形示意圖；圖2為圖I的俯視圖；圖3為圖I的仰視圖；圖4為圖3沿AA線的剖視圖；圖5為圖4中B部放大圖；圖6為圖4中C部放大圖；圖7為負(fù)極銅柱俯視圖；[0025]圖8為負(fù)極銅柱外形結(jié)構(gòu)示意圖；圖9為圖8沿QQ線的剖視圖；圖10為正極銅柱結(jié)構(gòu)示意圖；圖11為高頻線圈與同軸連接器連接示意圖；圖12為高頻線圈與同軸連接器中水循環(huán)示意圖；圖13為圖12中D部放大圖。圖中標(biāo)記1-出水管路，2-進(jìn)水管路，3-內(nèi)四氟套筒，4-外四氟套筒，5-負(fù)極銅柱，6-正極銅柱，51-孔洞，7-陶瓷絕緣墊塊，8-外陶瓷套筒，9-內(nèi)陶瓷套筒，10-橡膠密封圏，11-橡膠密封圏，12-橡膠密封圏，13-橡膠密封圏，14-耐溫硅橡膠密封圏，15-沉頭銅螺 釘，16-出水管，17-進(jìn)水管，18-高頻線圏，19-底座，20-高頻線圈連接孔，21-陶瓷件。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型作詳細(xì)的說(shuō)明。為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，
以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一歩詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。
實(shí)施例如圖I至圖10所示，本優(yōu)選實(shí)施例的硅芯爐用的同軸連接器包括底座19，所述底座19上連接負(fù)極銅柱5和正極銅柱6，所述正極銅柱6與負(fù)極銅柱5之間設(shè)有內(nèi)四氟套筒3，所述負(fù)極銅柱5外圍設(shè)有外四氟套筒4，所述正極銅柱6和負(fù)極銅柱5為由整體銅柱除料制作而成的正極銅柱6和負(fù)極銅柱5，所述正極銅柱6位于負(fù)極銅柱5內(nèi)部，負(fù)極銅柱5半徑大于正極銅柱5的半徑，通過(guò)內(nèi)四氟套筒3將正極銅柱6和負(fù)極銅柱5隔開(kāi)，具體的，所述負(fù)極銅柱5上設(shè)有正極銅柱6插入的孔洞51，正極銅柱6伸入所述孔洞51內(nèi)，正極銅柱6與負(fù)極銅柱5之間設(shè)有內(nèi)四氟套筒3將正極銅柱6和負(fù)極銅柱5隔開(kāi)，內(nèi)四氟套筒3套在正極銅柱6外國(guó)。該硅芯爐用的同軸連接器的正極銅柱6和負(fù)極銅柱5由整體的銅柱除料制作而成，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，減小了同軸連接器自身的高頻阻抗，從而降低了拉晶時(shí)所需要的陽(yáng)極電壓，徹底解決了同軸連接器和工作線圈的打火問(wèn)題，提高了輸出效率。其中，所述正極銅柱6前端外圍設(shè)有內(nèi)陶瓷套筒9，所述負(fù)極銅柱5前端外圍設(shè)有外陶瓷套筒8，所述內(nèi)陶瓷套筒9連接于內(nèi)四氟套筒3上方，所述外陶瓷套筒8連接于外四氟套筒4上方，所述正極銅柱6和負(fù)極銅柱5前端之間設(shè)有陶瓷絕緣墊塊7和陶瓷件21，陶瓷絕緣墊塊7和陶瓷件21將正極銅柱6和負(fù)極銅柱5前端隔開(kāi)。所述內(nèi)陶瓷套筒9、外陶瓷套筒8和陶瓷絕緣墊塊7、陶瓷件21的耐溫性、絕緣性好，増加了同軸連接器前端的耐溫性能和同軸連接器整體可靠性，因?yàn)楝F(xiàn)有的同軸連接器前端要伸入爐室內(nèi)，在高頻線圈エ作時(shí)，高頻電流渦流感應(yīng)溫度升高對(duì)四氟こ烯的影響可能導(dǎo)致不良效果從而影響生產(chǎn)。所述外四氟套筒4與負(fù)極銅柱5之間設(shè)有橡膠密封圈11，所述內(nèi)四氟套筒3與正極銅柱6之間設(shè)有橡膠密封圈13，所述內(nèi)四氟套筒3與負(fù)極銅柱5之間設(shè)有橡膠密封圈10。通過(guò)橡膠密封圈進(jìn)行密封，確保外界氣體不能進(jìn)入爐體內(nèi)部，從而保證硅芯或其他材料晶體的制成品的質(zhì)量和生產(chǎn)效率。[0036]本實(shí)施例的硅芯爐用的同軸連接器還包括冷卻水循環(huán)管路，所述冷卻水循環(huán)管路包括進(jìn)水管17和出水管16，所述進(jìn)水管17、出水管16分別位于所述正極銅柱6、負(fù)極銅柱5的中心位置，所述進(jìn)水管17和出水管16是通過(guò)在正極銅柱6和負(fù)極銅柱5上打孔、再經(jīng)絕緣處理后形成進(jìn)水管17和出水管16。所述底座19上設(shè)有進(jìn)水管路2和出水管路I,所述進(jìn)水管路2連接進(jìn)水管17，所述出水管16連接出水管路I。所述進(jìn)水管路2連接進(jìn)水管17處、所述出水管16連接出水管路I處均設(shè)有橡膠密封圈12，所述進(jìn)水管17在正極銅柱6前端開(kāi)ロ處設(shè)有耐溫硅橡膠密封圈14，所述出水管16在負(fù)極銅柱5前端開(kāi)ロ處設(shè)有耐溫硅橡膠密封圈14。通過(guò)橡膠密封圈12和耐溫硅橡膠密封圈14進(jìn)行冷卻水循環(huán)時(shí)的密封，有效降低同軸連接器和高頻線圈工作時(shí)的溫度。優(yōu)選的，所述正極銅柱6和負(fù)極銅柱5均通過(guò)沉頭銅螺釘15與底座19相連；所述橡膠密封圈(10、11、12、13)均為“O “型橡膠密封圏。用“ O”型密封圈并結(jié)合絕緣件與銅件之間的緊配合關(guān)系，增強(qiáng)密封效果，從而使整個(gè)系統(tǒng)的可靠性大大提高。所述耐溫硅橡膠密封圈14也為“0“型耐溫硅橡膠密封圈，該耐溫硅橡膠密封圈14增強(qiáng)冷卻水循環(huán)時(shí)的密封，同時(shí)有效降低同軸連接器和高頻線圈工作時(shí)的溫度。如圖2、圖7、圖8和圖9所示，工作時(shí)，本實(shí)施例的芯爐用的同軸連接器連接高頻 線圈18，所述高頻線圈18連接于正極銅柱6和負(fù)極銅柱5上方，所述高頻線圈18的水流管路與所述進(jìn)水管17和出水管16分別連接。具體的，所述正極銅柱6、負(fù)極銅柱5頂部進(jìn)水管17、出水管16兩側(cè)都均勻分布有高頻線圈連接孔20，所述高頻線圈18通過(guò)高頻線圈連接孔20連接于正極銅柱6和負(fù)極銅柱5上方，高頻線圈18與同軸連接器鏈接固定，均勻分布，增強(qiáng)水循環(huán)密封效果。生產(chǎn)時(shí)給高頻線圈18通入高頻電流，產(chǎn)生磁力線對(duì)原料棒進(jìn)行感應(yīng)加熱，使原料棒上端頭形成熔化區(qū)，然后將仔晶插入熔化區(qū)，慢慢提升仔晶，熔化后的原材料就會(huì)跟隨仔晶上升，便形成一個(gè)新的柱型晶體，即硅芯。冷卻水循環(huán)流動(dòng)，降低同軸連接器與高頻線圈18工作時(shí)的溫度。本實(shí)用新型的硅芯爐用同軸連接器的正極銅柱和負(fù)極銅柱由整體的銅柱除料制作而成，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，減小了同軸連接器自身的高頻阻抗，從而降低了拉晶時(shí)所需要的陽(yáng)極電壓，徹底解決了同軸連接器和工作線圈的打火問(wèn)題，提高了輸出效率；通過(guò)橡膠密封圈進(jìn)行密封，確保外界氣體不能進(jìn)入爐體內(nèi)部，保證硅芯或其他材料晶體的制成品的質(zhì)量和生產(chǎn)效率；通過(guò)所述內(nèi)外陶瓷套筒和陶瓷絕緣墊塊，増加了同軸連接器的耐溫性能和整體可靠性；所述冷卻水循環(huán)管路位于所述正、負(fù)極銅柱中心位置，使得同軸連接器整個(gè)結(jié)構(gòu)更加簡(jiǎn)潔，便于加工，安裝，維護(hù)。通過(guò)測(cè)試，在保證同樣エ藝的情況下，原來(lái)化料電壓需要8. 7KV才能融化母料，使用本實(shí)用新型的硅芯爐用的同軸連接器只需要7. 3KV就能融化母料，エ作線圈打火的情況也消失了，同時(shí)降低了同軸連接器的高頻阻抗，提高輸出效率，通過(guò)實(shí)際測(cè)試比現(xiàn)有的同軸連接器效率高10%。以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種硅芯爐用的同軸連接器，包括底座(19)，所述底座(19)上連接負(fù)極銅柱(5)和正極銅柱(6)，所述正極銅柱(6)與負(fù)極銅柱(5)之間設(shè)有內(nèi)四氟套筒(3)，所述負(fù)極銅柱(5)外圍設(shè)有外四氟套筒(4)，其特征在于所述正極銅柱(6)和負(fù)極銅柱(5)為由整體銅柱除料制作而成的正極銅柱(6)和負(fù)極銅柱(5)，所述正極銅柱(6)位于負(fù)極銅柱(5)內(nèi)部。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的硅芯爐用的同軸連接器，其特征在于，所述正極銅柱(6)前端外圍設(shè)有內(nèi)陶瓷套筒(9)，所述負(fù)極銅柱(5)前端外圍設(shè)有外陶瓷套筒(8)，所述內(nèi)陶瓷套筒(9)連接于內(nèi)四氟套筒(3)上方，所述外陶瓷套筒(8)連接于外四氟套筒(4)上方，所述正極銅柱(6)和負(fù)極銅柱(5)前端之間設(shè)有陶瓷絕緣墊塊(7)和陶瓷件(21)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅芯爐用的同軸連接器，其特征在于，所述所述外四氟套筒(4)與負(fù)極銅柱(5)之間設(shè)有橡膠密封圈(11)，所述內(nèi)四氟套筒(3)與正極銅柱(6)之間設(shè)有橡膠密封圈(13)，所述內(nèi)四氟套筒(3)與負(fù)極銅柱(5)之間設(shè)有橡膠密封圈(10)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅芯爐用的同軸連接器，其特征在于，還包括冷卻水循環(huán)管路，所述冷卻水循環(huán)管路包括進(jìn)水管(17)和出水管(16)，所述進(jìn)水管(17)、出水管(16)分別位于所述正極銅柱(6)、負(fù)極銅柱(5)的中心位置。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的硅芯爐用的同軸連接器，其特征在于，所述底座(19)上設(shè)有進(jìn)水管路(2)和出水管路(1)，所述進(jìn)水管路(2)連接進(jìn)水管(17)，所述出水管(16)連接出水管路(I)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的硅芯爐用的同軸連接器，其特征在于，所述進(jìn)水管路(2)連接進(jìn)水管(17)處、所述出水管(16)連接出水管路(I)處均設(shè)有橡膠密封圈(12)，所述進(jìn)水管(17)在正極銅柱(6)前端開(kāi)口處設(shè)有耐溫硅橡膠密封圈(14)，所述出水管(16)在負(fù)極銅柱(5)前端開(kāi)口處設(shè)有耐溫硅橡膠密封圈(14)。
7.根據(jù)權(quán)利要求I至6任一項(xiàng)所述的硅芯爐用的同軸連接器，其特征在于，所述正極銅柱(6)和負(fù)極銅柱(5)均通過(guò)沉頭銅螺釘(15)與底座(19)相連。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的硅芯爐用的同軸連接器，其特征在于，所述橡膠密封圈(10、.11、12、13)均為“O “型橡膠密封圈。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的硅芯爐用的同軸連接器，其特征在于，所述耐溫硅橡膠密封圈(14)為“O “型耐溫硅橡膠密封圈。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及一種硅芯爐用的同軸連接器，包括底座，所述底座上連接負(fù)極銅柱和正極銅柱，所述正極銅柱與負(fù)極銅柱之間設(shè)有內(nèi)四氟套筒，所述負(fù)極銅柱外圍設(shè)有外四氟套筒，所述正極銅柱和負(fù)極銅柱為由整體銅柱除料制作而成的正極銅柱和負(fù)極銅柱，所述正極銅柱位于負(fù)極銅柱內(nèi)部。本實(shí)用新型硅芯爐用的同軸連接器減小了同軸連接器自身的高頻阻抗，從而降低了拉晶時(shí)所需要的陽(yáng)極電壓，徹底解決了同軸連接器和工作線圈的打火問(wèn)題，提高了輸出效率，同時(shí)增強(qiáng)了同軸連接器的密封效果，增加了耐溫性能和整體可靠性。
文檔編號(hào)H01R13/00GK202454751SQ20122008783
公開(kāi)日2012年9月26日 申請(qǐng)日期2012年3月9日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月9日
發(fā)明者曹永安, 李文斌, 黃陽(yáng) 申請(qǐng)人:四川英杰電氣股份有限公司