專(zhuān)利名稱(chēng)：一種慣量少移動(dòng)質(zhì)量輕的直驅(qū)取放裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種直驅(qū)取放裝置，特別是涉及一種慣量少移動(dòng)質(zhì)量輕的直驅(qū)取放裝置。
背景技術(shù)：
直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)和音圈電機(jī)目前廣泛的應(yīng)用于電子元件和半導(dǎo)體設(shè)備制造中。采用直接驅(qū)動(dòng)的主要優(yōu)點(diǎn)是加速度更大、速度更快、精度更高、移動(dòng)質(zhì)量減小、設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔，無(wú)需復(fù)雜的傳輸系統(tǒng)，可靠性更高，不存在傳動(dòng)裝置活動(dòng)部件的磨損。使用直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)和音圈電機(jī)的直驅(qū)取放系統(tǒng)是TZ工作臺(tái)常用的一種直驅(qū)取放 系統(tǒng)類(lèi)型，直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)負(fù)責(zé)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，音圈電機(jī)負(fù)責(zé)垂直上下運(yùn)動(dòng)。整個(gè)系統(tǒng)的效率由直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)和音圈電機(jī)運(yùn)動(dòng)所需的時(shí)間來(lái)決定的，而因?yàn)橐羧﹄姍C(jī)所需的運(yùn)動(dòng)距離短，運(yùn)動(dòng)時(shí)間短，所以關(guān)鍵的因素還是在于直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)的效率。現(xiàn)在所用的直驅(qū)取放系統(tǒng)，直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)在運(yùn)動(dòng)時(shí)，帶動(dòng)整個(gè)音圈電機(jī)，包括固定機(jī)構(gòu)一起在旋轉(zhuǎn)，要提高整個(gè)系統(tǒng)的性能，除了需要提高直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)本身的性能，還需改進(jìn)其裝配方式。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型就是為了解決上述問(wèn)題，克服現(xiàn)有技術(shù)中直驅(qū)取放裝置所存在的問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種慣量少移動(dòng)質(zhì)量輕的直驅(qū)取放裝置以滿足需求。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下—種慣量少移動(dòng)質(zhì)量輕的直驅(qū)取放裝置，包括直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)和音圈電機(jī)，其特征在于，所述直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)包括定子、轉(zhuǎn)子和反饋裝置，所述轉(zhuǎn)子設(shè)置于定子外側(cè)，所述反饋裝置設(shè)置于轉(zhuǎn)子外側(cè)，所述音圈電機(jī)包括定子和設(shè)置于定子內(nèi)的動(dòng)子，所述直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)的定子的中心設(shè)置有安裝孔，所述音圈電機(jī)的定子設(shè)置于安裝孔內(nèi)，并且音圈電機(jī)的定子上設(shè)置有定子安裝面，所述定子安裝面通過(guò)螺栓連接在直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)的定子上。上述一種慣量少移動(dòng)質(zhì)量輕的直驅(qū)取放裝置，其特征在于，所述音圈電機(jī)的定子的外徑小于直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)的定子上的安裝孔的直徑。上述一種慣量少移動(dòng)質(zhì)量輕的直驅(qū)取放裝置，其特征在于，所述音圈電機(jī)的定子與直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)的定子上的安裝孔的軸心為同一直線。上述一種慣量少移動(dòng)質(zhì)量輕的直驅(qū)取放裝置，其特征在于，還包括用于連接被取放物品的連接件，所述連接件包括固定模塊和移動(dòng)模塊，所述固定模塊上設(shè)置有軌道，所述移動(dòng)模塊設(shè)置于軌道上，所述固定模塊連接在直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)的轉(zhuǎn)子上，所述音圈電機(jī)的動(dòng)子連接移動(dòng)模塊。上述一種慣量少移動(dòng)質(zhì)量輕的直驅(qū)取放裝置，其特征在于，所述音圈電機(jī)的動(dòng)子的頂端設(shè)置有動(dòng)子安裝面，所述移動(dòng)模塊通過(guò)螺絲連接固定在動(dòng)子的動(dòng)子安裝面上。本實(shí)用新型的有益效果是本裝置采用的都是直驅(qū)電機(jī)，不使用任何傳導(dǎo)裝置直接驅(qū)動(dòng)負(fù)載。本系統(tǒng)采用的裝配結(jié)構(gòu)，有效的減輕了直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)運(yùn)動(dòng)時(shí)的負(fù)載，減少了慣量，從而提聞了直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)的功效，同樣提聞了整個(gè)系統(tǒng)的效率。

圖I是直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)的示意圖；圖2是音圈電機(jī)的示意圖；圖3是直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)和音圈電機(jī)的組裝示意圖；圖4是直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)和音圈電機(jī)的組裝后剖視圖；圖5為連接件的示意圖；圖6為本實(shí)用新型與連接件裝配后的剖視圖。
具體實(shí)施方式
為了使本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解，下面結(jié)合具體圖示，進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型。參看圖I，一種慣量少移動(dòng)質(zhì)量輕的直驅(qū)取放裝置，包括直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)100和音圈電機(jī)200，直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)100帶動(dòng)被取放物品沿旋轉(zhuǎn)方向旋轉(zhuǎn)，音圈電機(jī)200則帶動(dòng)被取放物品沿垂直方向平移。直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)100包括定子110、轉(zhuǎn)子120和反饋裝置130，轉(zhuǎn)子120設(shè)置于定子110外側(cè)，反饋裝置130設(shè)置于轉(zhuǎn)子120外側(cè)，工作的時(shí)候，轉(zhuǎn)子120在定子110的作用下旋轉(zhuǎn)，反饋裝置130用于記錄轉(zhuǎn)子120的旋轉(zhuǎn)位置。參看圖2，音圈電機(jī)200包括定子210和設(shè)置于定子210內(nèi)的動(dòng)子220，工作的時(shí)候，動(dòng)子220在定子210的作用下沿著定子210內(nèi)的孔道上下運(yùn)動(dòng)。參看圖3和圖4，直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)100的定子110的中心設(shè)置有安裝孔140，音圈電機(jī)200的定子210設(shè)置于安裝孔140內(nèi)，并且音圈電機(jī)200的定子210上設(shè)置有定子安裝面230，定子安裝面230通過(guò)螺栓連接在直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)100的定子110上，這樣的裝配將直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)100和音圈電機(jī)200組合起來(lái)。如果要滿足這樣的裝配，音圈電機(jī)200的定子210的外徑小于直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)100的定子110上的安裝孔140的直徑，這樣才能將定子210放置到安裝孔140中。同時(shí)音圈電機(jī)200的定子210與直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)100的定子110上的安裝孔140的軸心為同一直線，保證了結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性和運(yùn)轉(zhuǎn)的平穩(wěn)性。參看圖5，在取放裝置的時(shí)候，本實(shí)用新型還包括用于連接被取放物品的連接件300，連接件300包括固定模塊310和移動(dòng)模塊320，固定模塊310上設(shè)置有軌道330，移動(dòng)模塊320設(shè)置于軌道330上，并能沿軌道330進(jìn)行滑動(dòng)。參看圖6，連接件300的固定模塊310連接在直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)100的轉(zhuǎn)子120上，當(dāng)直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)100的轉(zhuǎn)子120旋轉(zhuǎn)的時(shí)候，帶動(dòng)連接件300的固定模塊310旋轉(zhuǎn)，完成旋轉(zhuǎn)方向的運(yùn)動(dòng)，而連接件300的移動(dòng)模塊320連接音圈電機(jī)200的動(dòng)子220，當(dāng)音圈電機(jī)200的動(dòng)子220上下移動(dòng)的時(shí)候帶動(dòng)移動(dòng)模塊320上下移動(dòng)。在本實(shí)用新型的其中一個(gè)實(shí)施方式，音圈電機(jī)200的動(dòng)子220的頂端設(shè)置有動(dòng)子安裝面240，移動(dòng)模塊320通過(guò)螺絲連接固定在動(dòng)子220的動(dòng)子安裝面240上。本裝置采用的都是直驅(qū)電機(jī)，不使用任何傳導(dǎo)裝置直接驅(qū)動(dòng)負(fù)載。本系統(tǒng)采用的裝配結(jié)構(gòu)，有效的減輕了直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)運(yùn)動(dòng)時(shí)的負(fù)載，減少了慣量，從而提高了直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)的功效，同樣提高了整個(gè)系統(tǒng)的效率。以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理、主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說(shuō)明書(shū)中描述 的只是說(shuō)明本實(shí)用新型的原理，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下本實(shí)用新型還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。本實(shí)用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書(shū)及其等同物界定。
權(quán)利要求1.一種慣量少移動(dòng)質(zhì)量輕的直驅(qū)取放裝置，包括直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)和音圈電機(jī)，其特征在于，所述直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)包括定子、轉(zhuǎn)子和反饋裝置，所述轉(zhuǎn)子設(shè)置于定子外側(cè)，所述反饋裝置設(shè)置于轉(zhuǎn)子外側(cè)，所述音圈電機(jī)包括定子和設(shè)置于定子內(nèi)的動(dòng)子，所述直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)的定子的中心設(shè)置有安裝孔，所述音圈電機(jī)的定子設(shè)置于安裝孔內(nèi)，并且音圈電機(jī)的定子上設(shè)置有定子安裝面，所述定子安裝面通過(guò)螺栓連接在直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)的定子上。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述一種慣量少移動(dòng)質(zhì)量輕的直驅(qū)取放裝置，其特征在于，所述音圈電機(jī)的定子的外徑小于直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)的定子上的安裝孔的直徑。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述一種慣量少移動(dòng)質(zhì)量輕的直驅(qū)取放裝置，其特征在于，所述音圈電機(jī)的定子與直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)的定子上的安裝孔的軸心為同一直線。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述一種慣量少移動(dòng)質(zhì)量輕的直驅(qū)取放裝置，其特征在于，還包括用于連接被取放物品的連接件，所述連接件包括固定模塊和移動(dòng)模塊，所述固定模塊上設(shè)置有軌道，所述移動(dòng)模塊設(shè)置于軌道上，所述固定模塊連接在直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)的轉(zhuǎn)子上，所述音圈電機(jī)的動(dòng)子連接移動(dòng)模塊。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述一種慣量少移動(dòng)質(zhì)量輕的直驅(qū)取放裝置，其特征在于，所述音圈電機(jī)的動(dòng)子的頂端設(shè)置有動(dòng)子安裝面，所述移動(dòng)模塊通過(guò)螺絲連接固定在動(dòng)子的動(dòng)子安裝面上。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及一種慣量少移動(dòng)質(zhì)量輕的直驅(qū)取放裝置，包括直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)和音圈電機(jī)，直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)包括定子、轉(zhuǎn)子和反饋裝置，轉(zhuǎn)子設(shè)置于定子外側(cè)，反饋裝置設(shè)置于轉(zhuǎn)子外側(cè)，音圈電機(jī)包括定子和設(shè)置于定子內(nèi)的動(dòng)子，直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)的定子的中心設(shè)置有安裝孔，音圈電機(jī)的定子設(shè)置于安裝孔內(nèi)，并且音圈電機(jī)的定子上設(shè)置有定子安裝面，定子安裝面通過(guò)螺栓連接在直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)的定子上。本實(shí)用新型的有益效果是本裝置采用的都是直驅(qū)電機(jī)，不使用任何傳導(dǎo)裝置直接驅(qū)動(dòng)負(fù)載。本系統(tǒng)采用的裝配結(jié)構(gòu)，有效的減輕了直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)運(yùn)動(dòng)時(shí)的負(fù)載，減少了慣量，從而提高了直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)的功效，同樣提高了整個(gè)系統(tǒng)的效率。
文檔編號(hào)H01L21/683GK202513133SQ20122010693
公開(kāi)日2012年10月31日 申請(qǐng)日期2012年3月19日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月19日
發(fā)明者周朝淵, 廖永平, 林浩元, 魏瀟春 申請(qǐng)人:雅科貝思精密機(jī)電(上海)有限公司