專利名稱：用于存放半導(dǎo)體元件的容器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型是有關(guān)于一種容器，特別是指一種用于存放半導(dǎo)體元件的容器。
背景技術(shù)：
現(xiàn)代的先進(jìn)晶圓代工廠或半導(dǎo)體制造廠，在晶圓制造技術(shù)上不斷地突破，現(xiàn)已達(dá)到90奈米以下的制程，隨著制程線寬的的縮小與元件積集度的提高，單位晶圓內(nèi)可制造的元件數(shù)目增加。但是這些高積集度的半導(dǎo)體元件對(duì)于污染物的容忍度下降，即便是極微量的污染物(微粒、粉塵、有機(jī)物、氣體或揮發(fā)物等)都會(huì)導(dǎo)致半導(dǎo)體元件的缺陷，甚至使半導(dǎo)體元件受靜電干擾而短路，造成損失。在一般的半導(dǎo)體制程中，都提供無塵室)的環(huán)境以避免空氣中的微粒污染。而半導(dǎo)體元件運(yùn)送的過程也必須避免污染，因此需要一個(gè)一個(gè)提供保護(hù)的容器，避免污染半導(dǎo) 體元件的承載裝置。為了有效降低半導(dǎo)體元件在運(yùn)送或儲(chǔ)存時(shí)可能會(huì)造成的傷害，目前有許多技術(shù)針對(duì)容器中的結(jié)構(gòu)以及用于容器內(nèi)的鎖固機(jī)構(gòu)進(jìn)行改良，希望可以提高對(duì)承載半導(dǎo)體元件的保護(hù)。在標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械界面的作業(yè)系統(tǒng)中，機(jī)臺(tái)的插銷會(huì)插入容器內(nèi)的鎖固機(jī)構(gòu)中的驅(qū)動(dòng)件，用以進(jìn)行容器開闔的操作。而習(xí)知用于容器的鎖固機(jī)構(gòu)的各構(gòu)件間容易產(chǎn)生摩擦，不但使鎖固機(jī)構(gòu)運(yùn)作時(shí)不穩(wěn)定，進(jìn)而使容器無法順暢地進(jìn)行開闔操作，甚至產(chǎn)生污染顆粒于容器中，進(jìn)而污染存放于容器中的半導(dǎo)體元件。為了解決上述的問題，本新型提供一種用于存放半導(dǎo)體元件的容器，容器內(nèi)的鎖固機(jī)構(gòu)是具有至少一鎖固件一驅(qū)動(dòng)件，并于鎖固件上嵌設(shè)一滾動(dòng)件，如此減少鎖固件與驅(qū)動(dòng)件接觸的面積，可減少鎖固件與驅(qū)動(dòng)件產(chǎn)生摩擦，避免于容器中產(chǎn)生污染顆粒而使存放于容器內(nèi)的半導(dǎo)體元件遭受污染，進(jìn)而使容器內(nèi)達(dá)到高潔度。

實(shí)用新型內(nèi)容本新型的目的，在于提供一種用于存放半導(dǎo)體元件的容器，其包含一鎖固機(jī)構(gòu)，鎖固機(jī)構(gòu)具有至少一鎖固件及一驅(qū)動(dòng)件，鎖固件嵌設(shè)一滾動(dòng)件，滾動(dòng)件與驅(qū)動(dòng)件接觸，如此減少鎖固件與驅(qū)動(dòng)件接觸的面積，可減少鎖固件與驅(qū)動(dòng)件產(chǎn)生摩擦，避免于容器中產(chǎn)生污染顆粒而使存放于容器內(nèi)的半導(dǎo)體元件遭受污染，進(jìn)而使容器內(nèi)達(dá)到高潔度。另滾動(dòng)件隨者驅(qū)動(dòng)件轉(zhuǎn)動(dòng)而滾動(dòng)，有效減少與驅(qū)動(dòng)件間的摩擦力，使鎖固機(jī)構(gòu)可順暢地運(yùn)作，進(jìn)而使容器可順暢地進(jìn)行開闔操作。本新型提供一種用于存放半導(dǎo)體元件的容器，是包含一承載本體，其側(cè)壁具有至少一穿孔，其是包含；至少一鎖固件，其設(shè)置于該承載本體內(nèi)，該鎖固件包含一鎖固本體、至少一固定部、一驅(qū)動(dòng)部及一滾動(dòng)件，該固定部設(shè)置于該鎖固本體的一側(cè)，且對(duì)應(yīng)該鎖固部，該驅(qū)動(dòng)部設(shè)置于該鎖固本體的另一側(cè)，該滾動(dòng)件嵌設(shè)于該驅(qū)動(dòng)部；以及一驅(qū)動(dòng)件，其設(shè)置于該承載本體內(nèi)，并抵接于該驅(qū)動(dòng)部，且與該鎖固件的該滾動(dòng)件接觸；以及一罩體，罩設(shè)于該承載本體的外側(cè)，該罩體的側(cè)壁具有至少一鎖固部，該鎖固部對(duì)應(yīng)該穿孔；其中，當(dāng)該驅(qū)動(dòng)件旋轉(zhuǎn)時(shí)，該驅(qū)動(dòng)件帶動(dòng)該鎖固件于該承載本體內(nèi)位移，該鎖固件的該固定部穿過該承載本體的該穿孔并設(shè)置于該鎖固部，以固定該罩體于該承載本體。其中，更包含—密封件,設(shè)置于該罩體與該承載本體之間。如權(quán)利要求I所述的用于存放半導(dǎo)體元件的容器，其特征在于，其中該承載本體更包含至少一支撐件，設(shè)置該承載本體內(nèi)，并位于該鎖固件的下方，以支撐該鎖固件。其中，其中該承載本體更包含二第一限位件，設(shè)置該承載本體內(nèi)，并分別位于該鎖固件的兩側(cè)，并與該鎖固件的·移動(dòng)方向平行。其中，其中該承載本體更包含二第二限位件，設(shè)置該承載本體內(nèi)，并分別位于該驅(qū)動(dòng)件的二限位件之間，該二限位件分別活動(dòng)于該二第二限位件之間。其中，其中該承載本體更包含至少一第三限位件，設(shè)置該承載本體內(nèi)，并穿設(shè)于該鎖固本體的一定位孔。其中，更包含一彈性元件，其一端連接于該承載本體的一連接部，其另一端連接于該鎖固件的
一連接部。其中，其中該彈性元件具有一第一部及一第二部，該第一部的一端連接于該承載本體的該連接部，該第二部的一端連接于該鎖固件的該連接部，該第二部相對(duì)于該第一部?jī)A斜。其中，其中該驅(qū)動(dòng)件是包含—驅(qū)動(dòng)本體，具有一第一表面及與該第一表面相對(duì)應(yīng)的一第二表面,該第一表面與該鎖固件接觸；以及—旋轉(zhuǎn)軸，設(shè)置于該驅(qū)動(dòng)本體的該第一表面，該旋轉(zhuǎn)軸設(shè)置于該承載本體的一樞接部。其中，其中該承載本體更包含一軸承，設(shè)置于該樞接部，該旋轉(zhuǎn)軸設(shè)置于該軸承。其中，其中該驅(qū)動(dòng)件更包含至少一導(dǎo)引結(jié)構(gòu)，凸設(shè)于該驅(qū)動(dòng)本體的該第一表面，并從該旋轉(zhuǎn)軸向該驅(qū)動(dòng)本體的周緣延伸，且與該鎖固本體的一驅(qū)動(dòng)部相抵接。其中，更包含一封板，固鎖于該承載本體下方，并覆蓋該鎖固件及該驅(qū)動(dòng)件。其中，其中該封板更包含至少一插入孔，對(duì)應(yīng)該驅(qū)動(dòng)本體的至少一穿孔，并供至少一插銷穿過，該插銷穿過該插入孔而插入該穿孔，并移動(dòng)于該插入孔內(nèi)，以轉(zhuǎn)動(dòng)該驅(qū)動(dòng)件。其中，其中該驅(qū)動(dòng)件更包含至少一抵壓部，凸設(shè)于該驅(qū)動(dòng)本體的該第一表面，并與該滾動(dòng)件接觸。[0035]其中，其中該抵壓部對(duì)應(yīng)該驅(qū)動(dòng)部的表面為一導(dǎo)引面，該鎖固件具有該驅(qū)動(dòng)部的一側(cè)沿著該斜面作升降，該滾動(dòng)件抵接于該抵壓部的該導(dǎo)引面。其中，其中該導(dǎo)引面的末端具有一定位凹槽，該滾動(dòng)件設(shè)置于該定位凹槽內(nèi)。其中，其中該滾動(dòng)件為一軸承。其中，其中該驅(qū)動(dòng)件鎖固于該承載本體內(nèi)。其中，其中該驅(qū)動(dòng)件樞設(shè)于該承載本體內(nèi)。其中，其中該驅(qū)動(dòng)件樞設(shè)于該承載本體內(nèi)，該封板固鎖于該承載本體下方,并抵住該驅(qū)動(dòng)件于該承載本體上。其中，更包含 一耐磨件，設(shè)置該封板，并對(duì)應(yīng)該驅(qū)動(dòng)件。其中，其中該驅(qū)動(dòng)件更包含至少一滾動(dòng)件，嵌設(shè)于該驅(qū)動(dòng)本體，并與該封板接觸。其中，其中該滾動(dòng)件是一軸承。本實(shí)用新型的有益效果本新型提供一種用于存放半導(dǎo)體元件的容器，其罩體透過設(shè)置于承載本體內(nèi)的鎖固機(jī)構(gòu)固定于承載本體，以密封容器并防止外部的污染物進(jìn)入容器內(nèi)。而本新型的鎖固機(jī)構(gòu)是由至少一鎖固件與驅(qū)動(dòng)件搭配，鎖固件與驅(qū)動(dòng)件設(shè)置于承載本體，然利用封板抵住驅(qū)動(dòng)件的方式固定驅(qū)動(dòng)件于承載本體內(nèi)，而非利用螺絲鎖固方式固定，如此使驅(qū)動(dòng)件可穩(wěn)定地旋轉(zhuǎn)。然驅(qū)動(dòng)件設(shè)有二滾動(dòng)件，二滾動(dòng)件減少驅(qū)動(dòng)件與封板接觸的面積，避免驅(qū)動(dòng)件與封板磨擦而產(chǎn)生污染顆粒于容器內(nèi)，以防止存放于容器內(nèi)的半導(dǎo)體元件受到污染；而更于封板與二滾動(dòng)件接觸的位置貼附耐磨件，如此減少二滾動(dòng)件與封板摩擦而產(chǎn)生污染顆粒，更能降低于容器內(nèi)產(chǎn)生污染顆粒的機(jī)會(huì)。另外，本新型的鎖固機(jī)構(gòu)的每一鎖固件設(shè)有一滾動(dòng)件，滾動(dòng)件與驅(qū)動(dòng)件接觸，如此減少驅(qū)動(dòng)件與鎖固件接觸的面積，避免驅(qū)動(dòng)件與鎖固件產(chǎn)生磨擦而產(chǎn)生污染顆粒于容器內(nèi)，以防止存放于容器內(nèi)的半導(dǎo)體元件受到污染；而滾動(dòng)件是隨著驅(qū)動(dòng)件轉(zhuǎn)動(dòng)而滾動(dòng)，并減少與驅(qū)動(dòng)件接觸所產(chǎn)生的摩擦力，使驅(qū)動(dòng)件可順暢地帶動(dòng)鎖固件位移于承載本體內(nèi)，以使鎖固機(jī)構(gòu)可順暢地運(yùn)作，進(jìn)而使容器可順暢地進(jìn)行開闔操作

圖I為本新型的第一實(shí)施例的容器的分解圖；圖2為本新型的第一實(shí)施例的容器的部分分解圖；圖3為本新型的第一實(shí)施例的容器的另一部分分解圖；圖4為本新型的第一實(shí)施例的驅(qū)動(dòng)件的立體圖；圖5為本新型的第一實(shí)施例的鎖固件與驅(qū)動(dòng)件的立體圖；圖6為本新型的第一實(shí)施例的承載本體的立體圖；圖7為本新型的第一實(shí)施例的彈性元件的示意圖；圖8為本新型的第二實(shí)施例的容器的部分分解圖；以及圖9為本新型的第二實(shí)施例的鎖固件與驅(qū)動(dòng)件的立體圖。圖號(hào)對(duì)照說明[0059]I容器10罩體102鎖固部111承載本體1110穿孔1111內(nèi)表面1112側(cè)壁1113樞接部1114軸承1115第一限位件11151缺口1116第二限位件1117第三限位件1118支撐件1119連接部112封板 1121插入孔1122耐磨件121鎖固件1211鎖固本體12110滾動(dòng)件12111斜面1212固定部1213驅(qū)動(dòng)部1214定位孔1215連接部122驅(qū)動(dòng)件1221驅(qū)動(dòng)本體12211第一表面12212第二表面1222旋轉(zhuǎn)軸1223導(dǎo)引結(jié)構(gòu)1224驅(qū)動(dòng)孔1225限位件1226抵壓部12261導(dǎo)引面12262定位凹槽1227滾動(dòng)件13 彈性元件131第一部132 第二部14密封件2 插銷
具體實(shí)施方式
為使對(duì)本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)特征及所達(dá)成的功效有更進(jìn)一步的了解與認(rèn)識(shí)，用以較佳的實(shí)施例及附圖配合詳細(xì)的說明，說明如下習(xí)知用于容器的鎖固機(jī)構(gòu)的各構(gòu)件間容易產(chǎn)生摩擦，不但使鎖固機(jī)構(gòu)運(yùn)作時(shí)不穩(wěn)定，進(jìn)而使容器無法順暢地進(jìn)行開闔操作，甚至產(chǎn)生污染顆粒于容器中，進(jìn)而污染存放于容器中的半導(dǎo)體元件。有鑒于上述問題，本新型提供一種用于存放半導(dǎo)體元件的容器，并可改善上述問題。請(qǐng)參閱圖I、圖2及圖3，是本新型的第一實(shí)施例的容器的分解圖及部分分解圖。如圖所示，本實(shí)施例是提供一種用于存放半導(dǎo)體元件的容器1，容器I包含一罩體10、一承載本體111及一封板112 (請(qǐng)參閱圖2及圖3)，承載本體111的外側(cè)表面承載至少一半導(dǎo)體元件，罩體10罩設(shè)于承載本體111承載半導(dǎo)體元件的外側(cè)表面上。且承載本體111內(nèi)設(shè)有一鎖固機(jī)構(gòu)，封板112抵住鎖固機(jī)構(gòu)，以固定鎖固機(jī)構(gòu)于承載本體111內(nèi)。罩體10透過鎖固機(jī)構(gòu)固定于承載本體111上，使容器I完全密封，進(jìn)而防止外部的污染物進(jìn)入容器I內(nèi)，以避免存放于容器I內(nèi)的至少一半導(dǎo)體元件(例如光罩、晶圓或其他半導(dǎo)體元件)受到污染。然后，為了增加容器I的密封性，更于罩體10與承載本體111間設(shè)置一密封件14，更能防止外部的污染物進(jìn)入容器I內(nèi)，使容器I內(nèi)部達(dá)到高潔度。[0084]承載本體111具有一內(nèi)表面1111及一側(cè)壁1112，側(cè)壁1112環(huán)繞內(nèi)表面1111的周緣，并形成一容置空間。而本實(shí)施例的鎖固機(jī)構(gòu)容置于容置空間內(nèi)，并包含二鎖固件121及一驅(qū)動(dòng)件122。二鎖固件121相互對(duì)稱地設(shè)置于承載本體111的內(nèi)表面1111上，每一鎖固件121具有一鎖固本體1211，鎖固本體1211的一側(cè)設(shè)有二固定部1212，而承載本體111的側(cè)壁1112具有四穿孔1110，并分別對(duì)應(yīng)二鎖固件121的四固定部1212，然，罩體10的側(cè)壁亦設(shè)有四鎖固部102 (請(qǐng)參閱圖I)，四鎖固部102對(duì)應(yīng)承載本體111的四穿孔1110，所以二鎖固件121的四固定部1212可分別穿過承載本體111的二穿孔1110，并設(shè)置于對(duì)應(yīng)的鎖固部102，以鎖固罩體10于承載本體111上。本實(shí)施例的固定部1212為凸件，對(duì)應(yīng)固定部1212的鎖固部102為一凹槽，此僅為本新型的一實(shí)施例，固定部1212與鎖固部102可為其他結(jié)構(gòu)并達(dá)到相互卡合即可，于此不再贅述。請(qǐng)一并參閱圖4，是本新型的第一實(shí)施例的驅(qū)動(dòng)件的立體圖。如圖所示，驅(qū)動(dòng)件122設(shè)置于承載本體111的內(nèi)表面1111上，并位于二鎖固件121之間。承載本體111的內(nèi)表面1111具有一樞接部1113(請(qǐng)參閱圖3)，驅(qū)動(dòng)件122具有一驅(qū)動(dòng)本體1221，驅(qū)動(dòng)本體
1221具有一第一表面12211及一第二表面12212，驅(qū)動(dòng)本體1221的第一表面12211上設(shè)有一旋轉(zhuǎn)軸1222 (請(qǐng)參閱圖2)，旋轉(zhuǎn)軸1222樞接于樞接部1113(請(qǐng)參閱圖3)，使驅(qū)動(dòng)件122轉(zhuǎn)動(dòng)于承載本體111上。此外，承載本體111更設(shè)有一軸承1114，并設(shè)置于樞接部1113，旋轉(zhuǎn)軸1222樞接于軸承1114，以與樞接部1113樞接，軸承1114是可減少樞接部1113與旋轉(zhuǎn)軸1222間的摩擦，使驅(qū)動(dòng)件122可順暢地旋轉(zhuǎn)于承載本體111上。再一并參閱圖5，是本新型的第一實(shí)施例的鎖固件與驅(qū)動(dòng)件的立體圖。如圖所示，驅(qū)動(dòng)件122具有二導(dǎo)引結(jié)構(gòu)1223(參閱圖2)，本實(shí)施例的二導(dǎo)引結(jié)構(gòu)1223分別為一凸柱，二導(dǎo)引結(jié)構(gòu)1223凸設(shè)于驅(qū)動(dòng)本體1221的第一表面12211，并分別從旋轉(zhuǎn)軸1222向驅(qū)動(dòng)本體1221的周緣延伸，而每一鎖固件121的鎖固本體1211的另一側(cè)更設(shè)有一驅(qū)動(dòng)部1213，二鎖固件121的二驅(qū)動(dòng)部1213分別位于驅(qū)動(dòng)件122的二導(dǎo)引結(jié)構(gòu)1223之間，二導(dǎo)引結(jié)構(gòu)1223分別抵接于對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)部1213。封板112固鎖于承載本體111下方，并抵住驅(qū)動(dòng)件122的驅(qū)動(dòng)本體1221的第二表面12212，使驅(qū)動(dòng)件122被固定于承載本體111的內(nèi)表面1111與封板112之間，以固定鎖固機(jī)構(gòu)于承載本體111內(nèi)。本實(shí)施例的驅(qū)動(dòng)件122的旋轉(zhuǎn)軸1222非利用鎖固方式固定于承載本體111上,如此避免驅(qū)動(dòng)件122的外周緣產(chǎn)生與旋轉(zhuǎn)軸1222相反的作用力，進(jìn)而避免此作用力讓驅(qū)動(dòng)件122于旋轉(zhuǎn)時(shí)不穩(wěn)定。復(fù)參閱圖3，封板112具有二插入孔1121，本實(shí)施例的二插入孔1121分別呈弧狀，而驅(qū)動(dòng)件122的驅(qū)動(dòng)本體1221更設(shè)有二驅(qū)動(dòng)孔1224，本實(shí)施例二驅(qū)動(dòng)孔1224分別貫穿驅(qū)動(dòng)本體122至對(duì)應(yīng)的導(dǎo)引結(jié)構(gòu)1223內(nèi)，但未貫穿導(dǎo)引結(jié)構(gòu)1223，所以驅(qū)動(dòng)孔1224即為一盲孔，而封板112的二插入孔1121對(duì)應(yīng)驅(qū)動(dòng)件122的二驅(qū)動(dòng)孔1224。欲旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)件122時(shí)，一插銷2從插入孔1121插入，并插入二驅(qū)動(dòng)孔1224，且于插入孔1121內(nèi)移動(dòng)，以帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)件122旋轉(zhuǎn)。當(dāng)驅(qū)動(dòng)件122旋轉(zhuǎn)時(shí)，驅(qū)動(dòng)件122的二導(dǎo)引結(jié)構(gòu)1223推動(dòng)二鎖固件121的二驅(qū)動(dòng)部1213，使二鎖固件121橫向位移于承載本體111內(nèi)。當(dāng)驅(qū)動(dòng)件122作逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)時(shí)，二導(dǎo)引結(jié)構(gòu)1223推動(dòng)二鎖固件121的二驅(qū)動(dòng)部1213，二鎖固件121分別往承載本體111的兩側(cè)移動(dòng)，使每一鎖固件121的固定部1212往罩體10的鎖固部102移動(dòng)，并卡設(shè)于鎖固部102內(nèi)，以鎖固承載本體111于罩體10上。當(dāng)驅(qū)動(dòng)件122作順時(shí)針旋轉(zhuǎn)時(shí)，二導(dǎo)引結(jié)構(gòu)1223推動(dòng)二鎖固件121的二驅(qū)動(dòng)部1213向承載本體111中心移動(dòng)，使每一鎖固件121的固定部1212脫離罩體10的鎖固部102，進(jìn)而使罩體10與承載本體111分離。再參閱圖3，為了使鎖固件121作線性位移，承載本體111更設(shè)有二第一限位件1115, 二第一限位件1115分別位于二鎖固件121的兩側(cè),使二鎖固件121橫向移動(dòng)于二第一限位件1115之間，即二第一限位件1115平行于二鎖固件121的移動(dòng)方向。然，承載本體111更設(shè)有二第二限位件1116，并位于驅(qū)動(dòng)件122的兩側(cè)，而驅(qū)動(dòng)件122的驅(qū)動(dòng)本體1221的周緣更設(shè)有二限位件1225，二限位件1225分別位于二第二限位件1116之間。請(qǐng)一并參閱圖6，當(dāng)驅(qū)動(dòng)件122旋轉(zhuǎn)時(shí)，驅(qū)動(dòng)件122的二限位件1225分別活動(dòng)于二第二限位件1116之間，以限制驅(qū)動(dòng)件122的旋轉(zhuǎn)角度。此外，承載本體111的內(nèi)表面1111更設(shè)有二第三限位件1117，而每一鎖固件121的鎖固本體1211更設(shè)有一定位孔1214，二第三限位件1117分別位于對(duì)應(yīng)的鎖固件121的定位孔1214內(nèi)，如此限制二鎖固件121于承載本體111內(nèi)的位置。然，承載本體111內(nèi)更設(shè)有復(fù)數(shù)支撐件1118，該些支撐件1118設(shè)置于二第一限位件1115之間，并位于二鎖固件121下方，以支撐二鎖固件121，且使二鎖固件121遠(yuǎn)離承載 本體111的內(nèi)表面1111，減少二鎖固件121與承載本體111的內(nèi)表面1111接觸的面積，進(jìn)而減少二鎖固件121于移動(dòng)時(shí)與承載本體111的內(nèi)表面1111間的摩擦力，使二鎖固件121可順暢地位移于承載本體111的內(nèi)表面1111上。復(fù)參閱圖2-5，本實(shí)施例的驅(qū)動(dòng)件122更包含二抵壓部1226，每一抵壓部1226為一凸塊，抵壓部1226是從驅(qū)動(dòng)本體1221的第一表面12211凸起，二抵壓部1226分別位于二導(dǎo)引結(jié)構(gòu)1223之間。而抵壓部1226具有一導(dǎo)引面12261，當(dāng)驅(qū)動(dòng)件122作逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)時(shí)，每一鎖固件121具有驅(qū)動(dòng)部1213的一側(cè)抵接于對(duì)應(yīng)的抵壓部1226的導(dǎo)引面12261，隨著驅(qū)動(dòng)件122轉(zhuǎn)動(dòng)，導(dǎo)引面12261抵接于驅(qū)動(dòng)部1213的表面，并沿著驅(qū)動(dòng)部1213的表面前進(jìn)，使鎖固件121具有驅(qū)動(dòng)部1213的一側(cè)沿著導(dǎo)引面12261降低，而鎖固件121具有固定部1212的一側(cè)抬升，以使固定部1212卡設(shè)于罩體10的鎖固部102，進(jìn)而使容器I具有良好的氣密性。而每一鎖固件121的驅(qū)動(dòng)部1213抵接于抵壓部1226的一側(cè)具有一斜面12111，斜面12111位于驅(qū)動(dòng)部1213的一側(cè)。抵壓部1226容易沿著鎖固本體1211的斜面12111移至驅(qū)動(dòng)部1213的表面上并沿著驅(qū)動(dòng)部1213的表面前進(jìn)(請(qǐng)參閱圖5)。驅(qū)動(dòng)件122的驅(qū)動(dòng)本體1221更設(shè)有二滾動(dòng)件1227，二滾動(dòng)件1227是嵌設(shè)于驅(qū)動(dòng)本體1221，并位于抵壓部1226的下方。當(dāng)驅(qū)動(dòng)件122旋轉(zhuǎn)時(shí)，二滾動(dòng)件1227是使驅(qū)動(dòng)件122不與封板112直接接觸，即減少驅(qū)動(dòng)件122與封板112接觸的面積，以減少驅(qū)動(dòng)件122與封板112間的摩擦力，且二滾動(dòng)件1227隨著驅(qū)動(dòng)件122旋轉(zhuǎn)而滾動(dòng)，使驅(qū)動(dòng)件122可穩(wěn)定地旋轉(zhuǎn)，如此減少因驅(qū)動(dòng)件122與封板112摩擦而產(chǎn)生污染顆粒的機(jī)會(huì)，以避免存放于容器I內(nèi)的半導(dǎo)體元件2受到污染的問題產(chǎn)生。本實(shí)施例的滾動(dòng)件1227為一軸承，亦可為其他元件，于此不再贅述。二滾動(dòng)件1227可使驅(qū)動(dòng)件122作穩(wěn)定地旋轉(zhuǎn)，可是會(huì)與封板112產(chǎn)生摩擦，亦有可能地于容器I內(nèi)產(chǎn)生污染顆粒而污染容器I內(nèi)的半導(dǎo)體元件2。因此本實(shí)施例是于封板112上貼附用于減少摩擦的一耐磨件1122，此耐磨件1122位于封板112與二滾動(dòng)件1227產(chǎn)生摩擦的位置，減少二滾動(dòng)件1227與封板112間的摩擦，并能減少二滾動(dòng)件1227磨損封板112的機(jī)會(huì)，更能減少污染顆粒的產(chǎn)生而避免污染容器I內(nèi)的半導(dǎo)體元件2。然，復(fù)參閱圖6，承載本體111內(nèi)更設(shè)有二連接部1119，二連接部1119分別位于對(duì)應(yīng)的鎖固件121的一側(cè)，而每一鎖固件121的鎖固本體1211更設(shè)有一連接部1215，每一連接部1119透過一彈性元件13連接對(duì)應(yīng)的鎖固件121的連接部1215。而承載本體111的二第一限位件1115分別具有一缺口 11151，該些缺口 11151是供對(duì)應(yīng)的彈性元件13穿過，使彈性元件13的高度小于承載本體111的厚度，以讓容器I的封板112可密封承載本體111。于此限定二鎖固件121鎖固于罩體10的鎖固部102時(shí)，二鎖固件121的位置為原始位置，當(dāng)二鎖固件121往承載本體111中心移動(dòng)時(shí)，彈性元件13隨著鎖固件121往承載本體111中心移動(dòng)，亦受缺口 11151的側(cè)邊抵擋，以限制鎖固件121往承載本體111中心移動(dòng)。彈性元件13因本身材質(zhì)具有彈性，當(dāng)彈性元件13接觸缺口 11151的側(cè)邊時(shí)，彈性元件13受缺口 11151抵擋而產(chǎn)生一回復(fù)力，此回復(fù)力使鎖固件121回復(fù)原始位置，如此，當(dāng)驅(qū)動(dòng)件122未正常運(yùn)作時(shí)，彈性元件13可使鎖固件121回復(fù)原始位置，即鎖固件121鎖固于罩體10的鎖固部102，以防止承載本體111與罩體10脫離。 請(qǐng)一并參閱圖7，是本新型的第一實(shí)施例的彈性元件的示意圖。如圖所示，彈性元件13具有一第一部131及與第一部131連接的一第二部132，彈性元件13的第二部132相對(duì)彈性元件13的第一部131向下傾斜。然，彈性元件13的第一部131的一端設(shè)置于承載本體111的連接部1119，彈性元件13的第二部132的一端設(shè)置于鎖固件121的連接部1215。而彈性元件13的第二部132相對(duì)彈性元件13的第一部131向下傾斜，以抵壓于鎖固件121的鎖固本體1211。當(dāng)鎖固件121的驅(qū)動(dòng)部1213受驅(qū)動(dòng)件122的抵壓部1226抵壓時(shí)，使鎖固件121的固定部1212抬升并鎖固于罩體10的鎖固部102，而彈性元件13的第二部132相對(duì)彈性元件13的第一部131向下傾斜，以抵壓于鎖固件121的鎖固本體1211，使鎖固件121的固定部1212維持抬升狀態(tài)并鎖固于罩體10的鎖固部102，進(jìn)而使容器I具有良好的氣密性。請(qǐng)參閱圖8及圖9，是本新型的第二實(shí)施例的容器的部分分解圖及立體圖。如圖所示，上述實(shí)施例中，當(dāng)驅(qū)動(dòng)件122旋轉(zhuǎn)時(shí)，驅(qū)動(dòng)件122與鎖固件121的驅(qū)動(dòng)部1213的部分表面接觸，使驅(qū)動(dòng)件122的抵壓部1226與驅(qū)動(dòng)部1213的表面之間產(chǎn)生摩擦。為了減少驅(qū)動(dòng)件122與驅(qū)動(dòng)部1213之間所產(chǎn)生的摩擦，因此于每一鎖固件121的驅(qū)動(dòng)部1213與驅(qū)動(dòng)件122的抵壓部1226產(chǎn)生摩擦的位置嵌設(shè)一滾動(dòng)件12110，如此驅(qū)動(dòng)件122的抵壓部1226的導(dǎo)引面12261與位于鎖固件121的驅(qū)動(dòng)部1213的滾動(dòng)件12110接觸，以減少驅(qū)動(dòng)部1213與抵壓部1226接觸的面積，進(jìn)而減少驅(qū)動(dòng)部1213與抵壓部1226之間所產(chǎn)生的摩擦，并避免產(chǎn)生污染顆粒于容器內(nèi)而污染存放于容器內(nèi)的半導(dǎo)體元件。當(dāng)驅(qū)動(dòng)件122旋轉(zhuǎn)時(shí)，驅(qū)動(dòng)件122的抵壓部1226的導(dǎo)引面12261與位于鎖固件121的驅(qū)動(dòng)部1213的滾動(dòng)件12110接觸，驅(qū)動(dòng)件122帶動(dòng)滾動(dòng)件12110滾動(dòng)，滾動(dòng)件12110是沿著導(dǎo)引面12261滾動(dòng)并移動(dòng)，而導(dǎo)引面12261的末端具有一定位凹槽12262，當(dāng)滾動(dòng)件12110沿著導(dǎo)引面12261移動(dòng)至定位凹槽12262時(shí)，定位凹槽12262是阻擋滾動(dòng)件12110移動(dòng)并定位滾動(dòng)件12110，使鎖固件121的固定部1212鎖固于罩體的鎖固部。本實(shí)施例的滾動(dòng)件12110可滾動(dòng)于導(dǎo)引面12261，以減少滾動(dòng)件12110與導(dǎo)引面12261間的摩擦力，使驅(qū)動(dòng)件122可順暢地帶動(dòng)鎖固件121位移于承載本體111內(nèi)，并使鎖固機(jī)構(gòu)可順暢地運(yùn)作，進(jìn)而使容器可順暢地進(jìn)行開闔操作。本實(shí)施例的滾動(dòng)件12110為一軸承，亦可為其他元件，于此不再贅述。本實(shí)施例的該些滾動(dòng)件12110亦可用于驅(qū)動(dòng)件122鎖固于承載本體111的結(jié)構(gòu)，于此不再贅述。綜上所述，本新型提供一種用于存放半導(dǎo)體元件的容器，其罩體透過設(shè)置于承載本體內(nèi)的鎖固機(jī)構(gòu)固定于承載本體，以密封容器并防止外部的污染物進(jìn)入容器內(nèi)。而本新型的鎖固機(jī)構(gòu)是由至少一鎖固件與驅(qū)動(dòng)件搭配，鎖固件與驅(qū)動(dòng)件設(shè)置于承載本體，然利用封板抵住驅(qū)動(dòng)件的方式固定驅(qū)動(dòng)件于承載本體內(nèi)，而非利用螺絲鎖固方式固定，如此使驅(qū)動(dòng)件可穩(wěn)定地旋轉(zhuǎn)。然驅(qū)動(dòng)件設(shè)有二滾動(dòng)件，二滾動(dòng)件減少驅(qū)動(dòng)件與封板接觸的面積，避免驅(qū)動(dòng)件與封板磨擦而產(chǎn)生污染顆粒于容器內(nèi)，以防止存放于容器內(nèi)的半導(dǎo)體元件受到污染；而更于封板與二滾動(dòng)件接觸的位置貼附耐磨件，如此減少二滾動(dòng)件與封板摩擦而產(chǎn)生污染顆粒，更能降低于容器內(nèi)產(chǎn)生污染顆粒的機(jī)會(huì)。另外，本新型的鎖固機(jī)構(gòu)的每一鎖固件設(shè)有一滾動(dòng)件，滾動(dòng)件與驅(qū)動(dòng)件接觸 ，如此減少驅(qū)動(dòng)件與鎖固件接觸的面積，避免驅(qū)動(dòng)件與鎖固件產(chǎn)生磨擦而產(chǎn)生污染顆粒于容器內(nèi)，以防止存放于容器內(nèi)的半導(dǎo)體元件受到污染；而滾動(dòng)件是隨著驅(qū)動(dòng)件轉(zhuǎn)動(dòng)而滾動(dòng)，并減少與驅(qū)動(dòng)件接觸所產(chǎn)生的摩擦力，使驅(qū)動(dòng)件可順暢地帶動(dòng)鎖固件位移于承載本體內(nèi)，以使鎖固機(jī)構(gòu)可順暢地運(yùn)作，進(jìn)而使容器可順暢地進(jìn)行開闔操作。
權(quán)利要求1.一種用于存放半導(dǎo)體元件的容器，其特征在于，是包含 ー承載本體，其側(cè)壁具有至少ー穿孔，其是包含； 至少ー鎖固件，設(shè)置于該承載本體內(nèi)，該鎖固件包含ー鎖固本體、至少ー固定部、ー驅(qū)動(dòng)部及ー滾動(dòng)件，該固定部設(shè)置于該鎖固本體的ー側(cè)，且對(duì)應(yīng)該鎖固部，該驅(qū)動(dòng)部設(shè)置于該鎖固本體的另ー側(cè)，該滾動(dòng)件嵌設(shè)于該驅(qū)動(dòng)部；以及 ー驅(qū)動(dòng)件，設(shè)置于該承載本體內(nèi)，并抵接于該驅(qū)動(dòng)部，且與該鎖固件的該滾動(dòng)件接觸；以及 ー罩體，罩設(shè)于該承載本體的外側(cè)，該罩體的側(cè)壁具有至少ー鎖固部，該鎖固部對(duì)應(yīng)該穿孔； 其中，當(dāng)該驅(qū)動(dòng)件旋轉(zhuǎn)時(shí)，該驅(qū)動(dòng)件帶動(dòng)該鎖固件于該承載本體內(nèi)位移，該鎖固件的該固定部穿過該承載本體的該穿孔并設(shè)置于該鎖固部，以固定該罩體于該承載本體。
2.如權(quán)利要求I所述的用于存放半導(dǎo)體元件的容器，其特征在于，更包含 一密封件，設(shè)置于該罩體與該承載本體之間。
3.如權(quán)利要求I所述的用于存放半導(dǎo)體元件的容器，其特征在于，其中該承載本體更包含 至少ー支撐件，設(shè)置該承載本體內(nèi)，并位于該鎖固件的下方，以支撐該鎖固件。
4.如權(quán)利要求I所述的用于存放半導(dǎo)體元件的容器，其特征在于，其中該承載本體更包含 ニ第一限位件，設(shè)置該承載本體內(nèi)，并分別位于該鎖固件的兩側(cè)，并與該鎖固件的移動(dòng)方向平行。
5.如權(quán)利要求I所述的用于存放半導(dǎo)體元件的容器，其特征在于，其中該承載本體更包含 ニ第二限位件，設(shè)置該承載本體內(nèi)，井分別位于該驅(qū)動(dòng)件的ニ限位件之間，該ニ限位件分別活動(dòng)于該ニ第二限位件之間。
6.如權(quán)利要求I所述的用于存放半導(dǎo)體元件的容器，其特征在于，其中該承載本體更包含 至少ー第三限位件，設(shè)置該承載本體內(nèi)，并穿設(shè)于該鎖固本體的一定位孔。
7.如權(quán)利要求I所述的用于存放半導(dǎo)體元件的容器，其特征在于，更包含 一弾性元件，其一端連接于該承載本體的ー連接部，其另一端連接于該鎖固件的ー連接部。
8.如權(quán)利要求7所述的用于存放半導(dǎo)體元件的容器，其特征在于，其中該彈性元件具有一第一部及一第二部，該第一部的一端連接于該承載本體的該連接部，該第二部的一端連接于該鎖固件的該連接部，該第二部相對(duì)于該第一部?jī)A斜。
9.如權(quán)利要求I所述的用于存放半導(dǎo)體元件的容器，其特征在于，其中該驅(qū)動(dòng)件是包含 ー驅(qū)動(dòng)本體，具有一第一表面及與該第一表面相對(duì)應(yīng)的一第二表面，該第一表面與該鎖固件接觸；以及 一旋轉(zhuǎn)軸，設(shè)置于該驅(qū)動(dòng)本體的該第一表面，該旋轉(zhuǎn)軸設(shè)置于該承載本體的ー樞接部。
10.如權(quán)利要求9所述的用于存放半導(dǎo)體元件的容器，其特征在于，其中該承載本體更包含 ー軸承，設(shè)置于該樞接部，該旋轉(zhuǎn)軸設(shè)置于該軸承。
11.如權(quán)利要求9所述的用于存放半導(dǎo)體元件的容器，其特征在于，其中該驅(qū)動(dòng)件更包含 至少ー導(dǎo)引結(jié)構(gòu)，凸設(shè)于該驅(qū)動(dòng)本體的該第一表面，并從該旋轉(zhuǎn)軸向該驅(qū)動(dòng)本體的周緣延伸，且與該鎖固本體的ー驅(qū)動(dòng)部相抵接。
12.如權(quán)利要求9所述的用于存放半導(dǎo)體元件的容器，其特征在于，更包含 一封板，固鎖于該承載本體下方，井覆蓋該鎖固件及該驅(qū)動(dòng)件。
13.如權(quán)利要求12所述的用于存放半導(dǎo)體元件的容器，其特征在于，其中該封板更包含 至少ー插入孔，對(duì)應(yīng)該驅(qū)動(dòng)本體的至少ー穿孔，并供至少ー插銷穿過，該插銷穿過該插入孔而插入該穿孔，并移動(dòng)于該插入孔內(nèi)，以轉(zhuǎn)動(dòng)該驅(qū)動(dòng)件。
14.如權(quán)利要求9所述的用于存放半導(dǎo)體元件的容器，其特征在于，其中該驅(qū)動(dòng)件更包含 至少ー抵壓部，凸設(shè)于該驅(qū)動(dòng)本體的該第一表面，并與該滾動(dòng)件接觸。
15.如權(quán)利要求14所述的用于存放半導(dǎo)體元件的容器，其特征在于，其中該抵壓部對(duì)應(yīng)該驅(qū)動(dòng)部的表面為ー導(dǎo)引面，該鎖固件具有該驅(qū)動(dòng)部的ー側(cè)沿著該斜面作升降，該滾動(dòng)件抵接于該抵壓部的該導(dǎo)引面。
16.如權(quán)利要求15所述的用于存放半導(dǎo)體元件的容器，其特征在于，其中該導(dǎo)引面的末端具有一定位凹槽，該滾動(dòng)件設(shè)置于該定位凹槽內(nèi)。
17.如權(quán)利要求I所述的用于存放半導(dǎo)體元件的容器，其特征在于，其中該滾動(dòng)件為ー軸承。
18.如權(quán)利要求I所述的用于存放半導(dǎo)體元件的容器，其特征在于，其中該驅(qū)動(dòng)件鎖固于該承載本體內(nèi)。
19.如權(quán)利要求I所述的用于存放半導(dǎo)體元件的容器，其特征在于，其中該驅(qū)動(dòng)件樞設(shè)于該承載本體內(nèi)。
20.如權(quán)利要求12所述的用于存放半導(dǎo)體元件的容器，其特征在于，其中該驅(qū)動(dòng)件樞設(shè)于該承載本體內(nèi)，該封板固鎖于該承載本體下方，并抵住該驅(qū)動(dòng)件于該承載本體上。
21.如權(quán)利要求12所述的用于存放半導(dǎo)體元件的容器，其特征在于，更包含 ー耐磨件，設(shè)置該封板，并對(duì)應(yīng)該驅(qū)動(dòng)件。
22.如權(quán)利要求12所述的用于存放半導(dǎo)體元件的容器，其特征在于，其中該驅(qū)動(dòng)件更包含 至少ー滾動(dòng)件，嵌設(shè)于該驅(qū)動(dòng)本體，并與該封板接觸。
23.如權(quán)利要求22所述的用于存放半導(dǎo)體元件的容器，其特征在于，其中該滾動(dòng)件是ー軸承。
專利摘要本實(shí)用新型是關(guān)于一種用于存放半導(dǎo)體元件的容器，其是包含一承載本體及一罩體，承載本體內(nèi)更設(shè)有至少一鎖固件及驅(qū)動(dòng)件，而鎖固件更設(shè)有一滾動(dòng)件，滾動(dòng)件與驅(qū)動(dòng)件接觸。當(dāng)驅(qū)動(dòng)件旋轉(zhuǎn)時(shí)，驅(qū)動(dòng)件帶動(dòng)鎖固件于承載本體內(nèi)位移，鎖固件的固定部往罩體的鎖固部移動(dòng)，固定部設(shè)置于鎖固部，以鎖固罩體于承載本體上。另滾動(dòng)件減少鎖固件與驅(qū)動(dòng)件接觸的面積，可減少鎖固件與驅(qū)動(dòng)件產(chǎn)生摩擦，避免于容器中產(chǎn)生污染顆粒而使存放于容器內(nèi)的半導(dǎo)體元件遭受污染，進(jìn)而使容器內(nèi)達(dá)到高潔度。
文檔編號(hào)H01L21/673GK202585366SQ201220120649
公開日2012年12月5日 申請(qǐng)日期2012年3月26日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月26日
發(fā)明者古震維, 王圣元, 李承儒 申請(qǐng)人:家登精密工業(yè)股份有限公司