專利名稱：用于晶圓表面保護(hù)膜撕除的空氣擾流控制系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
用于晶圓表面保護(hù)膜撕除的空氣擾流控制系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及集成電路封裝技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種用于晶圓表面保護(hù)膜撕除的空氣擾流控制系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
[0002]在傳統(tǒng)的晶圓保護(hù)膜撕除系統(tǒng)中主要是通過馬達(dá)驅(qū)動(dòng)滾珠絲桿遠(yuǎn)動(dòng)強(qiáng)行將廢膜丟棄到垃圾箱內(nèi)，廢膜在重力和空氣阻力的影響下隨機(jī)飄動(dòng)，易黏貼在垃圾箱內(nèi)壁，在接下來的連續(xù)撕膜丟棄中會造成廢膜堆積現(xiàn)象，廢膜在垃圾箱內(nèi)的陳放數(shù)量只有30張，超過此數(shù)量后廢膜會超過垃圾箱高度，機(jī)器內(nèi)手臂和工作臺的遠(yuǎn)動(dòng)會將溢出來的廢膜帶到產(chǎn)品上，對產(chǎn)品造成不良。實(shí)用新型內(nèi)容[0003]本實(shí)用新型提供了一種用于晶圓表面保護(hù)膜撕除的空氣擾流控制系統(tǒng)，包括信號板、空氣管路、電磁閥、數(shù)字顯示器和“L”型風(fēng)向擾流器，信號板控制電磁閥開啟，空氣管路通過電磁閥和數(shù)字顯示器與“L”型風(fēng)向擾流器相連。[0004]進(jìn)一步，作為優(yōu)選方案，在電磁閥和數(shù)字顯示器之間安裝有空氣過濾器。[0005]為了改善保護(hù)膜的控制器及動(dòng)作方式，增加風(fēng)向擾流器，使得保護(hù)膜的撕除成功率達(dá)到99. 9%以上，解決了保護(hù)膜在撕除過程中不能丟棄到垃圾箱中，從而產(chǎn)生晶圓破損的現(xiàn)象，進(jìn)而提高生產(chǎn)品質(zhì)，品質(zhì)事故減低為0，減輕作業(yè)人員的工作量，由每天平均清潔 19. 6次，減低到平均每天清潔3. 2次。
[0006]圖1是具體實(shí)施例框圖。
具體實(shí)施方式
[0007]
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例，對本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說明本實(shí)用新型，但不用來限制本實(shí)用新型的范圍。[0008]如圖1所示，一種用于晶圓表面保護(hù)膜撕除的空氣擾流控制系統(tǒng)，其特征在于，包括信號板1、空氣管路2、電磁閥3、數(shù)字顯示器5和“L”型風(fēng)向擾流器6，信號板I控制電磁閥3開啟，空氣管路2通過電磁閥3和數(shù)字顯示器5與 “L”型風(fēng)向擾流器6相連。在電磁閥3和數(shù)字顯示器5之間安裝有空氣過濾器4。[0009]所述設(shè)計(jì)中信號板I用于接收電腦指令及控制電磁閥3工作?？諝夤苈?主要用于氣體傳輸。電磁閥3主要控制氣體的打開和關(guān)閉。電磁閥3打開后氣體傳輸?shù)竭^濾器4, 過濾器4將氣體中的油污及雜質(zhì)過濾保證氣體的質(zhì)量對數(shù)字顯示壓力控制器5正常工作。 數(shù)字顯示器5最終控制擾流氣體的壓力及流量?！癓”型風(fēng)向擾流器6控制廢膜垂直下降，落在垃圾箱低。最終實(shí)現(xiàn)整個(gè)擾流系統(tǒng)的正常工作。[0010]以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)原理的前提下，還可以 做出若干改進(jìn)和變型，這些改進(jìn)和變型也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種用于晶圓表面保護(hù)膜撕除的空氣擾流控制系統(tǒng)，其特征在于，包括信號板(I)、空氣管路(2)、電磁閥(3)、數(shù)字顯示器(5)和“L”型風(fēng)向擾流器(6)，信號板⑴控制電磁閥⑶開啟，空氣管路⑵通過電磁閥⑶和數(shù)字顯示器(5)與“L”型風(fēng)向擾流器(6)相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于晶圓表面保護(hù)膜撕除的空氣擾流控制系統(tǒng)，其特征在于在電磁閥(3)和數(shù)字顯示器(5)之間安裝有空氣過濾器(4)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種用于晶圓表面保護(hù)膜撕除的空氣擾流控制系統(tǒng)，包括信號板、空氣管路、電磁閥、數(shù)字顯示器和“L”型風(fēng)向擾流器，信號板控制電磁閥開啟，空氣管路通過電磁閥和數(shù)字顯示器與“L”型風(fēng)向擾流器相連。通過利用電磁閥控制工作時(shí)電磁閥打開氣體傳輸反之則關(guān)閉避免了氣體浪費(fèi)。數(shù)字顯示器對“L”型擾流器壓力及氣流量的控制增加了氣流的穩(wěn)定性。此設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)簡單，維護(hù)便捷，且不易發(fā)生故障。
文檔編號H01L21/67GK202888139SQ20122018320
公開日2013年4月17日 申請日期2012年4月27日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月27日
發(fā)明者甘宗保 申請人:海太半導(dǎo)體(無錫)有限公司