專利名稱：一種新型的高精度自動補液系統(tǒng)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型應(yīng)用于晶體硅太陽能電池片制程中，涉及硅片的化學(xué)腐蝕清洗機臺的自動補液系統(tǒng)，特別是一種新型的高精度自動補液系統(tǒng)裝置。
背景技術(shù)：
目前，晶體硅太陽能電池制程中硅片的化學(xué)腐蝕清洗機臺的自動補液如圖I是通過氣動閥控制截留片來控制流量，再通過補液時間來確定補液的量，補液量=流量*時間，其中“流量”為新設(shè)備安裝時測試值，后續(xù)默認(rèn)為固定值，通過設(shè)定補液時間，來控制補 液量。但由于截留片孔徑約為3_很小易堵塞，氣動閥氣壓影響氣動閥打開程度及液體壓力等因素影響了補液流量，所以補液量會產(chǎn)生波動，影響補液精度，導(dǎo)致制程異常。并且管道中均是高濃度的HN03、HF等高?；瘜W(xué)品，如果截留片堵塞，拆除清洗或更換時也存在安全隱患。目前補加O. 5L耗時需要60s左右，如果藥液補加量較大時，由于孔徑小，耗時較長，更不能實現(xiàn)快速補液。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型提供一種通過對自動補液系統(tǒng)中液位管貼上刻度并增加了補液液位感應(yīng)器，從而達(dá)到補液系統(tǒng)的高精度與高效率的高精度自動補液系統(tǒng)裝置。本實用新型的技術(shù)方案是一種新型的高精度自動補液系統(tǒng)裝置，其中槽體通過管道與補液氣動閥連接，補液氣動閥通過管道與藥液盒連接，液位管設(shè)在藥液盒上并與藥液盒連通，液位管靠近底部設(shè)有低液位感應(yīng)器，補液液位感應(yīng)器位于低液位感應(yīng)器之上，工作液位感應(yīng)器位于補液液位感應(yīng)器之上，高液位感應(yīng)器位于工作液位感應(yīng)器之上，藥液盒通過管道與進液氣動閥連接。本實用新型的優(yōu)點在于普通的補液系統(tǒng)通過流量和時間來控制藥液補加量，流量的波動會引起藥液補加量的誤差，本實用新型補液系統(tǒng)裝置在液位管上中的液位管貼上刻度并增加補液液位感應(yīng)器，還去除了補液氣動閥中的截留片，解決了通過流量和時間來控制補液量而受到流量波動影響；使得補液系統(tǒng)在補液過程中更加高效率與高精度。

圖I為現(xiàn)有補液系統(tǒng)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實用新型補液系統(tǒng)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；附圖標(biāo)記槽體I、補液氣動閥2、藥液盒3、液位管4、低液位感應(yīng)器5、補液液位感應(yīng)器6、工作液位感應(yīng)器7、高液位感應(yīng)器8、進液動氣閥9。
具體實施方式
實施例I、一種新型的高精度自動補液系統(tǒng)裝置，其中槽體I通過管道與補液氣動閥2連接，補液氣動閥2通過管道與藥液盒3連接，液位管4設(shè)在藥液盒3上并與藥液盒3連通，液位管4靠近底部設(shè)有低液位感應(yīng)器5，補液液位感應(yīng)器6位于低液位感應(yīng)器5之上，工作液位感應(yīng)器7位于補液液位感應(yīng)器6之上，高液位感應(yīng)器8位于工作液位感應(yīng)器7之上，藥液盒3通過管道與進液氣動閥9連接。工作原理將液位管4上貼上刻度，可以通過調(diào)節(jié)補液液位感應(yīng)器6的高度，方便的實現(xiàn)補液量的調(diào)整，高液位感應(yīng)器8用于保護藥液盒3，低液位感應(yīng)器5用于排空藥液盒3，補液時，藥液盒3處于工作液位由工作液位感應(yīng)器7控制，補液氣動閥2打開；藥液盒的進液氣動閥9保持關(guān)閉狀態(tài)；當(dāng)液位降低到補液液位時由補液液位感應(yīng)器6控制補液氣動閥2關(guān)閉，并 打開進液氣動閥9，將液位補充到工作液位；去除補液氣動閥2中的截留片，增大了補液管路的孔徑，實現(xiàn)了快速補液的功能。
權(quán)利要求1.一種新型的高精度自動補液系統(tǒng)裝置，其特征在于槽體(I)通過管道與補液氣動閥(2 )連接，補液氣動閥(2 )通過管道與藥液盒(3 )連接，液位管(4)設(shè)在藥液盒(3 )上并與藥液盒(3 )連通，液位管(4)靠近底部設(shè)有低液位感應(yīng)器(5 )，補液液位感應(yīng)器(6 )位于低液位感應(yīng)器(5)之上，工作液位感應(yīng)器(7)位于補液液位感應(yīng)器(6)之上，高液位感應(yīng)器(8)位于工作液位感應(yīng)器(7)之上，藥液盒(3)通過管道與進液氣動閥(9)連接。
專利摘要本實用新型涉及一種新型的高精度自動補液系統(tǒng)裝置。普通的補液系統(tǒng)通過流量和時間來控制藥液補加量，流量的波動會引起藥液補加量的誤差，本實用新型補液系統(tǒng)裝置在液位管上中的液位管貼上刻度并增加補液液位感應(yīng)器，還去除了補液氣動閥中的截留片，解決了通過流量和時間來控制補液量而受到流量波動影響；使得補液系統(tǒng)在補液過程中更加高效率與高精度。
文檔編號H01L21/67GK202616277SQ20122025483
公開日2012年12月19日 申請日期2012年6月1日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月1日
發(fā)明者柳杉, 黃治國, 王鵬, 梅超, 包兵兵 申請人:上饒光電高科技有限公司