欧美在线观看视频网站,亚洲熟妇色自偷自拍另类,啪啪伊人网,中文字幕第13亚洲另类,中文成人久久久久影院免费观看 ,精品人妻人人做人人爽,亚洲a视频

一種氣體傳送裝置的制作方法

文檔序號(hào):7120608閱讀:201來源:國(guó)知局
專利名稱:一種氣體傳送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及一種氣體傳送裝置,特別是指可應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備內(nèi)的裝置,可承載晶片,并傳送氣體至晶片表面。
背景技術(shù)
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在中國(guó)臺(tái)灣近年來發(fā)展速度相當(dāng)快,并成為中國(guó)臺(tái)灣的科技工業(yè)龍頭,因此,中國(guó)臺(tái)灣擁有相當(dāng)多的半導(dǎo)體相關(guān)技術(shù)及人才;隨著電子技術(shù)的日新月異,高科技電子產(chǎn)業(yè)的相繼問世,使得更人性化、功能更佳的電子產(chǎn)品不斷地推陳出新,并朝向輕、薄、短、小的趨勢(shì)設(shè)計(jì),而為了因應(yīng)電子產(chǎn)品不斷改良的需求,半導(dǎo)體的線寬逐漸降低,合格率向上提升,制作技術(shù)也跟著更新。在現(xiàn)行許多應(yīng)用于不同制作過程的半導(dǎo)體設(shè)備中,都需要將氣體通入真空氣室、 常壓氣室或是制作裝置內(nèi),以利制作過程進(jìn)行,請(qǐng)參考圖IA及圖1B,分別為現(xiàn)有氣體傳送裝置的俯視圖和剖面示意圖,其中,一氣體傳送單元Hl具有多個(gè)氣孔H11,且該多個(gè)氣孔Hll分布在該氣體傳送單元Hl的中央以外的位置,而作業(yè)氣體經(jīng)過多個(gè)氣孔Hll至真空氣室H2 ;如圖IB所示,作業(yè)氣體進(jìn)入真空氣室H2后,容易在真空氣室H2的中央位置產(chǎn)生紊流,該紊流效應(yīng)會(huì)隨著作業(yè)氣體通入的速度增加而相對(duì)提高,并影響制作過程進(jìn)行,甚至產(chǎn)品的合格率。因此,有鑒于上述該現(xiàn)有氣體傳送裝置,尚具有許多進(jìn)步的空間,故,本實(shí)用新型的設(shè)計(jì)人極力設(shè)計(jì),終于設(shè)計(jì)出本實(shí)用新型的一種氣體傳送裝置。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的主要目的,在于提供一種氣體傳送裝置,能夠避免紊流產(chǎn)生,使得制作過程進(jìn)行得以穩(wěn)定,產(chǎn)品的合格率得以被有效控制。為了實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的目的,本實(shí)用新型的設(shè)計(jì)人提出的技術(shù)方案如下一種氣體傳送裝置,包括有一承載主體,包含一容置槽及多個(gè)吸附孔,其中,該多個(gè)吸附孔形成在該容置槽內(nèi);一上壓板,設(shè)置在該承載主體的上方,并至少在其中央形成一氣體傳送孔;及一固定環(huán),設(shè)置在該上壓板的下方。進(jìn)一步,如上所述的一種氣體傳送裝置,其中,該承載主體呈圓形,并還具有多個(gè)定位孔及多個(gè)定位槽;該多個(gè)定位槽相對(duì)于該容置槽而設(shè)置在該承載主體的一側(cè)。進(jìn)一步,如上所述的一種氣體傳送裝置,其中,該上壓板呈圓形,并為透明材料制成,且透明材料為玻璃或石英。進(jìn)一步,如上所述的一種氣體傳送裝置,其中,該氣體傳送孔形成于該上壓板的形心的位置,并呈圓形。進(jìn)一步,如上所述的一種氣體傳送裝置,還包括一隔離片,設(shè)置在該固定環(huán)的下方。進(jìn)一步,如上所述的一種氣體傳送裝置,其中,該固定環(huán)的側(cè)邊具有多個(gè)定位元件。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的有益效果在于在本實(shí)用新型的一種氣體傳送裝置中,該氣體傳送孔形成于該上壓板的中央,所以當(dāng)氣體被通入氣室后,不會(huì)產(chǎn)生紊流如此,就算氣體被通入的速度很快,紊流還是不易產(chǎn)生,因此,通過本實(shí)用新型的設(shè)計(jì),制作過程進(jìn)行得以穩(wěn)定,產(chǎn)品的合格率得以被有效控制。

圖1A、圖IB分別現(xiàn)有氣體傳送裝置的俯視圖和剖面示意圖;圖2為本實(shí)用新型的一種氣體傳送裝置的分解圖;圖3A、圖3 B分別為本實(shí)用新型的一種氣體傳送裝置移動(dòng)前后的示意圖;圖4為本實(shí)用新型的承載主體的仰視圖;及圖5為本實(shí)用新型的一種氣體傳送裝置的側(cè)視剖面圖。主要元件符號(hào)說明11 :承載主體111 :容置槽112:吸附孔113:定位孔114:定位槽12 :上壓板121 :氣體傳送孔13:固定環(huán)131 :定位元件14 :氣室15:隔離片W:晶片Hl :氣體傳送單元Hll :氣孔H2 :真空氣室。
具體實(shí)施方式
為了能夠更清楚地描述本實(shí)用新型所提出的一種氣體傳送裝置,以下將配合圖式,詳盡說明本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例。首先,先介紹本實(shí)用新型的主要元件,請(qǐng)先參閱圖2、圖3A和圖3B,圖2為本實(shí)用新型的一種氣體傳送裝置的分解圖,圖3A和圖3B分別為本實(shí)用新型一種氣體傳送裝置移動(dòng)前后的示意圖;一種氣體傳送裝置,包括有一承載主體11,包含一容置槽111及多個(gè)吸附孔112,其中,該多個(gè)吸附孔112形成在該容置槽111內(nèi),而該容置槽111內(nèi)可容置一晶片W,且當(dāng)該晶片W被容置于該容置槽111時(shí),可被吸附在該多個(gè)吸附孔112之上;一上壓板12,設(shè)置在該承載主體11的上方,并至少在其中央形成一氣體傳送孔121 ;及一固定環(huán)13,設(shè)置在該上壓板12的下方。接續(xù)上述,并參考圖3A和圖3B,本實(shí)用新型的裝置可被應(yīng)用在許多半導(dǎo)體設(shè)備機(jī)臺(tái),當(dāng)本實(shí)用新型裝置被裝設(shè)在設(shè)備機(jī)臺(tái)內(nèi)時(shí),如圖3A所示,一晶片W可以被傳送至承載主體11與上壓板12之間,然后該晶片W被容置于該容置槽111內(nèi),且被吸附在該多個(gè)吸附孔112之上,之后,如圖3B所示,該上壓板12及該固定環(huán)13—起向下移動(dòng),并與該承載主體11的容置槽111之間形成一氣室14 ;之后,任一氣體可經(jīng)由該氣體傳送孔121被通入該氣室14 ;由于該氣體傳送孔121形成于該上壓板12的形心的位置,并呈圓形,因此,氣體被通入該氣室14后,不會(huì)在該氣室14的中央產(chǎn)生紊流。請(qǐng)參考圖4,為本實(shí)用新型承載主體的仰視圖,并同時(shí)參考圖2,其中,該承載主體11呈圓形,并具有多個(gè)定位孔113及多個(gè)定位槽114 ;該多個(gè)定位槽114相對(duì)于該容置槽111而設(shè)置在該承載主體11的一側(cè),當(dāng)本實(shí)用新型的裝置被裝設(shè)在設(shè)備機(jī)臺(tái)內(nèi)時(shí),該多個(gè)定位槽114可用于與設(shè)備機(jī)臺(tái)內(nèi)的結(jié)構(gòu)匹配,如此,該承載主體11的容置槽111的圓心即
可被置于預(yù)定的位置上;而在該承載主體11完成匹配后,該承載主體11則可通過該多個(gè)定位孔113固定于設(shè)備機(jī)臺(tái)上。請(qǐng)繼續(xù)參考圖2,在本實(shí)用新型中,該上壓板12呈圓形,并可以玻璃或石英等透明材料來制成;另外,本實(shí)用新型的氣體傳送裝置還具有一隔離片15,可被設(shè)置在該固定環(huán)13的下方,其中,通入該氣體傳送孔121的氣體可通過該隔離片15被通入該氣室14 ;本實(shí)用新型裝置可被應(yīng)用在許多半導(dǎo)體設(shè)備機(jī)臺(tái),而固定環(huán)13為了能夠被裝設(shè)在上,該固定環(huán)13的側(cè)邊具有多個(gè)定位元件131,且該固定環(huán)13可通過該多個(gè)定位元件131被固定在設(shè)備機(jī)臺(tái)上,其中,固定的方式可以螺絲鎖固或是插銷。上述已經(jīng)完整且清楚地揭露本實(shí)用新型的一種氣體傳送裝置,并且,由上述可知,在本實(shí)用新型的一種氣體傳送裝置中,該氣體傳送孔121形成于該上壓板12的中央,所以當(dāng)氣體被通入氣室14后,不會(huì)產(chǎn)生紊流,如圖5所示,本實(shí)用新型一種氣體傳送裝置的側(cè)視剖面圖,其中,氣體如圖中箭頭所示的方向,被通入氣室14,而由于該氣體傳送孔121形成于該上壓板12的中央,所以氣體不會(huì)在氣室14中央產(chǎn)生紊流,如此,就算氣體被通入的速度很快,紊流還是不易產(chǎn)生,因此,通過本實(shí)用新型的設(shè)計(jì),制作過程進(jìn)行得以穩(wěn)定,產(chǎn)品的合格率得以被有效控制。以上實(shí)施例僅為本發(fā)明的示例性實(shí)施例,不用于限制本發(fā)明,本發(fā)明的保護(hù)范圍由權(quán)利要求書限定。本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在本發(fā)明的實(shí)質(zhì)和保護(hù)范圍內(nèi),對(duì)本發(fā)明做出各種修改或等同替換,這種修改或等同替換也應(yīng)視為落在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種氣體傳送裝置,其特征在于,包括有 一承載主體,包含一容置槽及多個(gè)吸附孔,其中,該多個(gè)吸附孔形成在該容置槽內(nèi); 一上壓板,設(shè)置在該承載主體的上方,并至少在其中央形成一氣體傳送孔 '及 一固定環(huán),設(shè)置在該上壓板的下方。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種氣體傳送裝置,其特征在于,其中,該承載主體呈圓形,并還具有多個(gè)定位孔及多個(gè)定位槽;該多個(gè)定位槽相對(duì)于該容置槽而設(shè)置在該承載主體的一側(cè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種氣體傳送裝置,其特征在于,其中,該上壓板呈圓形,并為透明材料制成,且透明材料為玻璃或石英。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種氣體傳送裝置,其特征在于,其中,該氣體傳送孔形成于該上壓板的形心的位置,并呈圓形。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種氣體傳送裝置,其特征在于,還包括一隔離片,設(shè)置在該固定環(huán)的下方。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種氣體傳送裝置,其特征在于,其中,該固定環(huán)的側(cè)邊具有多個(gè)定位元件。
專利摘要本實(shí)用新型為一種氣體傳送裝置,其中包括有一承載主體,包含一容置槽及多個(gè)吸附孔,其中,該多個(gè)吸附孔形成在該容置槽內(nèi),而該容置槽內(nèi)容置一晶片,且當(dāng)該晶片被容置于該容置槽時(shí),被吸附在該多個(gè)吸附孔之上;一上壓板,設(shè)置在該承載主體的上方,并至少在其中央形成一氣體傳送孔;及一固定環(huán),設(shè)置在該上壓板的下方,如此,制作過程進(jìn)行得以穩(wěn)定,產(chǎn)品的合格率得以被有效控制。
文檔編號(hào)H01L21/677GK202712142SQ201220264500
公開日2013年1月30日 申請(qǐng)日期2012年6月6日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月6日
發(fā)明者蕭恩信, 吳宗勇, 蘇奕全 申請(qǐng)人:聚昌科技股份有限公司
網(wǎng)友詢問留言 已有0條留言
  • 還沒有人留言評(píng)論。精彩留言會(huì)獲得點(diǎn)贊!
1
保亭| 关岭| 伊金霍洛旗| 内乡县| 湘乡市| 满城县| 遂平县| 石渠县| 岚皋县| 阳曲县| 朝阳县| 藁城市| 陵水| 濉溪县| 诸暨市| 三穗县| 望奎县| 定安县| 鄯善县| 泗阳县| 鄱阳县| 渝北区| 井研县| 南充市| 偏关县| 昌平区| 都昌县| 卫辉市| 繁昌县| 乌拉特前旗| 广州市| 河南省| 竹北市| 大丰市| 日喀则市| 绩溪县| 子洲县| 大悟县| 绿春县| 云龙县| 大港区|