專利名稱：一種滑蓋式手動(dòng)晶片檢測機(jī)宏觀目檢觀測窗口結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型設(shè)計(jì)半導(dǎo)體集成電路制造領(lǐng)域，且特別涉及一種滑蓋式手動(dòng)晶片檢測機(jī)宏觀目檢觀測窗口結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
對(duì)于晶片的檢查包括宏觀和微觀檢查，其宏觀檢查完全靠人的肉眼去觀察晶片表 面，然后再進(jìn)行拍照記錄分析，對(duì)于不能直接在第一現(xiàn)場對(duì)晶片缺陷進(jìn)行檢查的人員，照片質(zhì)量完全會(huì)直接影響對(duì)晶片外觀缺陷的判斷?，F(xiàn)有技術(shù)中使用的手動(dòng)檢測機(jī)在進(jìn)行晶片的宏觀檢查時(shí)是透過一層透明的隔離層(隔離窗口)來進(jìn)行的，以Nikon 0ST3200手動(dòng)檢測機(jī)臺(tái)為例，晶片是隔著透明隔離層的，晶片檢驗(yàn)人員就是通過透明隔離層來檢查其宏觀缺陷的。但是在對(duì)晶片的宏觀進(jìn)行拍照時(shí)由于外界燈光的影響以致機(jī)臺(tái)內(nèi)的部分影像和外界燈光通過透明隔離層反射到晶片表面，導(dǎo)致宏觀照片不理想，無論是開著宏觀燈還是關(guān)著宏觀燈，外界的燈光和機(jī)臺(tái)部分影像都會(huì)反射到晶片表面。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是，改進(jìn)手動(dòng)晶片檢測機(jī)宏觀觀測窗口，將其設(shè)計(jì)成為透明不透明可切換的模式，如進(jìn)行晶片宏觀檢查就使其觀測窗口保持透明狀態(tài)，如需進(jìn)行晶片宏觀拍照時(shí)就將其觀測窗口調(diào)整為不透明狀態(tài)。這樣既保證了晶片宏觀檢查所需的正常操作模式，也減少了晶片宏觀拍照時(shí)外部燈光環(huán)境對(duì)晶片表面造成的反射，保證了晶片宏觀照片質(zhì)量，避免了由于晶片與機(jī)臺(tái)外環(huán)境直接接觸而產(chǎn)生微粒。為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提出一種滑蓋式手動(dòng)晶片檢測機(jī)宏觀目檢觀測窗口結(jié)構(gòu)，包括透明隔離層，設(shè)置于所述觀測窗口面板上；移動(dòng)滑軌，設(shè)置于所述透明隔離層兩側(cè)邊上；不透明遮擋層，通過其兩側(cè)邊的移動(dòng)滑條滑動(dòng)設(shè)置于所述移動(dòng)滑軌上。進(jìn)一步的，所述不透明遮擋層上設(shè)置有把手。進(jìn)一步的，所述不透明遮擋層設(shè)置有插銷，所述觀測窗口面板設(shè)置有突起桿，所述插銷與所述突起桿卡合固定。進(jìn)一步的，所述不透明遮擋層的插銷上設(shè)置有帶磁性的吸頭，所述觀測窗口面板設(shè)置有帶磁性的突起桿，所述帶磁性的吸頭與帶磁性的突起桿之間相互吸住并卡合固定。進(jìn)一步的，所述觀測窗口面板的窗口兩側(cè)都設(shè)置有突起桿。進(jìn)一步的，所述透明隔離層同樣設(shè)置有插銷和帶磁性的吸頭。本實(shí)用新型的有益效果為將手動(dòng)檢測機(jī)臺(tái)的宏觀觀測窗口設(shè)計(jì)成為透明不透明可切換的結(jié)構(gòu)，在進(jìn)行晶片宏觀拍照時(shí)可以減少外界燈光因素對(duì)晶片表面造成的反射現(xiàn)象，此不透明遮擋層能將宏觀觀測透明隔離層所覆蓋，解決了外界燈光反射問題。避免了為了解決晶片宏觀照片外界燈光環(huán)境問題而將透明隔離層(隔離窗口)拉起而造成晶片表面與機(jī)臺(tái)外界環(huán)境直接接觸產(chǎn)生微粒，間接地保證了晶片質(zhì)量。此不透明遮擋層可以往上移動(dòng)提起，調(diào)節(jié)方便，便于操作。

圖I所示為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的滑蓋式手動(dòng)晶片檢測機(jī)宏觀目檢觀測窗口結(jié)構(gòu)示意圖。圖2所示為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的拉下不透明遮擋層的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
為了更了解本實(shí)用新型的技術(shù)內(nèi)容，特舉具體實(shí)施例并配合所附圖式說明如下。請(qǐng)參考圖1，圖I所示為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的滑蓋式手動(dòng)晶片檢測機(jī)宏觀目檢觀測窗口結(jié)構(gòu)示意圖。本實(shí)用新型提出一種滑蓋式手動(dòng)晶片檢測機(jī)宏觀目檢觀測窗口結(jié)構(gòu)，包括透明隔離層100，設(shè)置于所述觀測窗口面板10上；移動(dòng)滑軌110，設(shè)置于所述透明隔離層100兩側(cè)邊上；不透明遮擋層200，通過其兩側(cè)邊的移動(dòng)滑條210滑動(dòng)設(shè)置于所述移動(dòng)滑軌110上。根據(jù)本實(shí)用新型較佳實(shí)施例，所述不透明遮擋層200上設(shè)置有把手220，所述不透明遮擋層200設(shè)置有插銷300，所述觀測窗口面板10設(shè)置有突起桿400，所述插銷300與所述突起桿400卡合固定。所述不透明遮擋層200的插銷300上設(shè)置有帶磁性的吸頭500，所述觀測窗口面板10設(shè)置有帶磁性的突起桿400，所述帶磁性的吸頭500與帶磁性的突起桿400之間相互吸住并卡合固定。進(jìn)一步的，所述觀測窗口面板10的窗口兩側(cè)都設(shè)置有突起桿400，所述透明隔離層100同樣設(shè)置有插銷300和帶磁性的吸頭500。請(qǐng)參考圖2，圖2所示為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的拉下不透明遮擋層的結(jié)構(gòu)示意圖。在進(jìn)行晶片宏觀檢查時(shí)如需進(jìn)行拍照就首先將固定不透明遮擋層200的插銷300放松，然后使此滑蓋式不透明遮擋層200順著移動(dòng)滑條210慢慢滑下移動(dòng)滑軌110直到將透明隔離層100完全蓋住后就可以進(jìn)行宏觀拍照了。拍完照后首先將不透明遮擋層200通過把手220將其拉起，然后再通過帶磁性的吸頭500與帶磁性的突起桿400之間相互吸住，和固定不透明遮擋層200的插銷300通過帶磁性的突起桿400卡住雙重保護(hù)來保證不透明遮擋層200不往下滑落。綜上所述，將手動(dòng)檢測機(jī)臺(tái)的宏觀觀測窗口設(shè)計(jì)成為透明不透明可切換的結(jié)構(gòu)，在進(jìn)行晶片宏觀拍照時(shí)可以減少外界燈光因素對(duì)晶片表面造成的反射現(xiàn)象，此不透明遮擋層能將宏觀觀測透明隔離層所覆蓋，解決了外界燈光反射問題。避免了為了解決晶片宏觀照片外界燈光環(huán)境問題而將透明隔離層(隔離窗口)拉起而造成晶片表面與機(jī)臺(tái)外界環(huán)境直接接觸產(chǎn)生微粒，間接地保證了晶片質(zhì)量。此不透明遮擋層可以往上移動(dòng)提起，調(diào)節(jié)方便，便于操作。雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本實(shí)用新型。本實(shí)用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作各種的更動(dòng)與潤飾。因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求書所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1.一種滑蓋式手動(dòng)晶片檢測機(jī)宏觀目檢觀測窗口結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括 透明隔離層，設(shè)置于所述觀測窗口面板上； 移動(dòng)滑軌，設(shè)置于所述透明隔離層兩側(cè)邊上； 不透明遮擋層，通過其兩側(cè)邊的移動(dòng)滑條滑動(dòng)設(shè)置于所述移動(dòng)滑軌上。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的滑蓋式手動(dòng)晶片檢測機(jī)宏觀目檢觀測窗口結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述不透明遮擋層上設(shè)置有把手。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的滑蓋式手動(dòng)晶片檢測機(jī)宏觀目檢觀測窗口結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述不透明遮擋層設(shè)置有插銷，所述觀測窗口面板設(shè)置有突起桿，所述插銷與所述突起桿卡合固定。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的滑蓋式手動(dòng)晶片檢測機(jī)宏觀目檢觀測窗口結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述不透明遮擋層的插銷上設(shè)置有帶磁性的吸頭，所述觀測窗口面板設(shè)置有帶磁性的突起桿，所述帶磁性的吸頭與帶磁性的突起桿之間相互吸住并卡合固定。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的滑蓋式手動(dòng)晶片檢測機(jī)宏觀目檢觀測窗口結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述觀測窗口面板的窗口兩側(cè)都設(shè)置有突起桿。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的滑蓋式手動(dòng)晶片檢測機(jī)宏觀目檢觀測窗口結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述透明隔離層同樣設(shè)置有插銷和帶磁性的吸頭。
專利摘要本實(shí)用新型提出一種滑蓋式手動(dòng)晶片檢測機(jī)宏觀目檢觀測窗口結(jié)構(gòu)，包括透明隔離層，設(shè)置于所述觀測窗口面板上；移動(dòng)滑軌，設(shè)置于所述透明隔離層兩側(cè)邊上；不透明遮擋層，通過其兩側(cè)邊的移動(dòng)滑條滑動(dòng)設(shè)置于所述移動(dòng)滑軌上。本實(shí)用新型提出的改進(jìn)手動(dòng)晶片檢測機(jī)宏觀觀測窗口，將其設(shè)計(jì)成為透明不透明可切換的模式，如進(jìn)行晶片宏觀檢查就使其觀測窗口保持透明狀態(tài)，如需進(jìn)行晶片宏觀拍照時(shí)就將其觀測窗口調(diào)整為不透明狀態(tài)。這樣既保證了晶片宏觀檢查所需的正常操作模式，也減少了晶片宏觀拍照時(shí)外部燈光環(huán)境對(duì)晶片表面造成的反射，保證了晶片宏觀照片質(zhì)量，避免了由于晶片與機(jī)臺(tái)外環(huán)境直接接觸而產(chǎn)生微粒。
文檔編號(hào)H01L21/66GK202651075SQ201220310748
公開日2013年1月2日 申請(qǐng)日期2012年6月28日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月28日
發(fā)明者瞿丹紅, 姜舜, 陳麗娟 申請(qǐng)人:上海華力微電子有限公司