專(zhuān)利名稱(chēng)：一種盤(pán)狀物夾持裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種夾持裝置，特別是涉及一種盤(pán)狀物夾持裝置。
背景技術(shù)：
目前夾持晶片等盤(pán)狀物的裝置一般采用銷(xiāo)夾盤(pán)和伯努利吸盤(pán)?，F(xiàn)有利用伯努利原理將盤(pán)狀物固定的卡盤(pán)。利用伯努利原理在卡盤(pán)和盤(pán)狀物之間形成一層氣墊，利用氣墊式夾持元件來(lái)夾持盤(pán)狀物，通過(guò)分布在盤(pán)狀物圓周的氣墊式夾持元件來(lái)實(shí)現(xiàn)徑向定位。這種結(jié)構(gòu)很好的減少了盤(pán)狀物與卡盤(pán)的接觸，從而減少了對(duì)盤(pán)狀物的損壞，但是其結(jié)構(gòu)復(fù)雜，不易加工，且由于氣體從軸中間通過(guò)，很容易將管路中產(chǎn)生的顆粒帶到盤(pán)狀物表面而污染盤(pán) 狀物。

實(shí)用新型內(nèi)容(一)要解決的技術(shù)問(wèn)題本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是如何提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、不會(huì)對(duì)盤(pán)狀物造成污染的盤(pán)狀物夾持裝置。(二)技術(shù)方案為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供的一種盤(pán)狀物夾持裝置，包括卡盤(pán)，所述卡盤(pán)盤(pán)面上放置盤(pán)狀物，所述卡盤(pán)盤(pán)面的周向上設(shè)有多個(gè)機(jī)械式夾持元件，所述卡盤(pán)內(nèi)部設(shè)有驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與多個(gè)所述夾持元件連接，用于驅(qū)動(dòng)夾持元件進(jìn)行自旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)進(jìn)而夾持或取放盤(pán)狀物，多個(gè)所述夾持元件所構(gòu)成的有效夾持面與盤(pán)狀物的形狀相匹配。其中，每個(gè)所述夾持元件分別包括夾持頭和支撐筒體，所述夾持頭固定在所述支撐筒體的上端，所述支撐筒體的下端安裝在所述卡盤(pán)盤(pán)面上，所述夾持頭和支撐筒體由所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)一起進(jìn)行自旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。其中，所述夾持頭的一側(cè)與所述卡盤(pán)盤(pán)面之間的夾角小于90°，用于夾持盤(pán)狀物；其另一側(cè)與所述卡盤(pán)盤(pán)面之間的夾角大于或等于90°，用于取放盤(pán)狀物。其中，所述夾持頭與所述卡盤(pán)盤(pán)面小于90°的夾角范圍為10° 10°。其中，多個(gè)所述夾持元件由所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)同時(shí)進(jìn)行自旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。其中，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括傳動(dòng)單元和電機(jī)，所述電機(jī)的輸出軸通過(guò)傳動(dòng)單元與多個(gè)所述夾持元件連接，用于驅(qū)動(dòng)夾持元件進(jìn)行自旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)進(jìn)而夾持或取放盤(pán)狀物。其中，所述夾持元件至少為三個(gè)。其中，所述夾持元件為四、五、六、七或八個(gè)。(三)有益效果上述技術(shù)方案所提供的一種盤(pán)狀物夾持裝置，采用驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)機(jī)械式夾持元件進(jìn)行自旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)并對(duì)盤(pán)狀物進(jìn)行夾持和取放，該結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，在夾持盤(pán)狀物的過(guò)程中不會(huì)對(duì)盤(pán)狀物產(chǎn)生污染；進(jìn)一步地，采用具有夾持頭的夾持元件，增大了盤(pán)狀物夾持力，易于夾持盤(pán)狀物；更進(jìn)一步地，夾持頭與卡盤(pán)盤(pán)面的夾角小于90°的一側(cè)，用于夾持盤(pán)狀物，避免在夾持過(guò)程中盤(pán)狀物掉落而受到損壞，其與卡盤(pán)盤(pán)面的夾角大于或等于90°的另一側(cè)，用于取放盤(pán)狀物。

圖I是本實(shí)用新型一種盤(pán)狀物夾持裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型的夾持元件的軸測(cè)圖；圖3是本實(shí)用新型打開(kāi)狀態(tài)下的局部示意圖；圖4是本實(shí)用新型夾持狀態(tài)下的局部示意圖。其中，I、卡盤(pán)；2、夾持元件；21、夾持頭；22、支撐筒體；3、盤(pán)狀物。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說(shuō)明本實(shí)用新型，但不用來(lái)限制本實(shí)用新型的范圍。如圖I所示，本實(shí)用新型的一種盤(pán)狀物夾持裝置，包括卡盤(pán)1，該卡盤(pán)盤(pán)面上放置盤(pán)狀物3，該盤(pán)狀物3代表各類(lèi)盤(pán)狀晶片，如半導(dǎo)體晶片、光盤(pán)或是平板顯示器，卡盤(pán)盤(pán)面的周向上設(shè)有多個(gè)機(jī)械式夾持元件2，卡盤(pán)I內(nèi)部設(shè)有驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與多個(gè)夾持元件2連接,用于驅(qū)動(dòng)夾持元件2進(jìn)行自旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)進(jìn)而夾持或取放盤(pán)狀物3,多個(gè)夾持元件2所構(gòu)成的有效夾持面與盤(pán)狀物3的形狀相匹配。采用驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)機(jī)械式夾持元件2進(jìn)行自旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)并對(duì)盤(pán)狀物3進(jìn)行夾持和取放，該結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，在夾持盤(pán)狀物的過(guò)程中不會(huì)對(duì)盤(pán)狀物產(chǎn)生污染。夾持元件2設(shè)置為至少三個(gè)，以確保盤(pán)狀物夾持的穩(wěn)固，優(yōu)選為四、五、六、七或八個(gè)。驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括傳動(dòng)單元和電機(jī)，電機(jī)的輸出軸通過(guò)傳動(dòng)單元與多個(gè)夾持元件2連接，用于驅(qū)動(dòng)夾持元件2進(jìn)行自旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)進(jìn)而夾持或取放盤(pán)狀物3。其中，傳動(dòng)單元可為齒輪組合件或凸輪傳動(dòng)組合件或其它本領(lǐng)域技術(shù)人員不用發(fā)揮創(chuàng)造性就能拿來(lái)替代的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)。如圖2所示，每個(gè)夾持元件2分別包括夾持頭21和支撐筒體22，該夾持頭21固定在支撐筒體22的上端，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)通過(guò)傳動(dòng)單元與支撐筒體22的下端固定，夾持頭21和支撐筒體22在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的控制下同時(shí)進(jìn)行動(dòng)作；支撐筒體22的下端安裝在卡盤(pán)I盤(pán)面上，夾持頭21和支撐筒體22由驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)一起進(jìn)行自旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，多個(gè)夾持元件2的夾持頭21所構(gòu)成的有效夾持面與盤(pán)狀物3的形狀相匹配。夾持頭21在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)下夾持盤(pán)狀物3，采用具有夾持頭21的夾持元件4，增大了盤(pán)狀物夾持力，易于夾持盤(pán)狀物3。夾持頭21的一側(cè)與卡盤(pán)I盤(pán)面之間的夾角小于90°，用于夾持盤(pán)狀物3，避免在夾持過(guò)程中盤(pán)狀物3掉落而受到損壞，優(yōu)選為10° 10°，該角度可對(duì)尺寸范圍較廣的盤(pán)狀物3進(jìn)行夾持并能保證夾持時(shí)不易脫落，為了方便加工，該角度最佳為30°、45°和60° ;夾持頭21的另一側(cè)與卡盤(pán)I盤(pán)面之間的夾角大于或等于90°，用于取放盤(pán)狀物，優(yōu)選為大于90°，以確保無(wú)阻力取放盤(pán)狀物。在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)下，多個(gè)夾持元件2可同時(shí)進(jìn)行自旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，當(dāng)夾持頭21與卡盤(pán)I盤(pán)面之間的夾角小于90°的一側(cè)與盤(pán)狀物3接觸時(shí)，此時(shí)多個(gè)夾持元件的夾持頭21所構(gòu)成的有效夾持面的內(nèi)徑與盤(pán)狀物3的直徑相匹配，夾持元件2處于夾持狀態(tài)，如圖4，夾持頭21托住盤(pán)狀物3并可移動(dòng)盤(pán)狀物3的位置；當(dāng)夾持頭21與卡盤(pán)I盤(pán)面之間的夾角大于或等于90°的一側(cè)與盤(pán)狀物3接觸時(shí)，此時(shí)多個(gè)夾持元件的夾持頭21所構(gòu)成的有效夾持面的內(nèi)徑大于盤(pán)狀物3的直徑，夾持元件2處于打開(kāi)狀態(tài)，如圖3，可對(duì)盤(pán)狀物進(jìn)行取放盤(pán)狀物。上述技術(shù)方案所提供的一種盤(pán)狀物夾持裝置的主要效果為I、采用驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)機(jī)械式夾持元件進(jìn)行自旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)并對(duì)盤(pán)狀物進(jìn)行夾持和取放，該結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，在夾持盤(pán)狀物的過(guò)程中不會(huì)對(duì)盤(pán)狀物產(chǎn)生污染；2、采用具有夾持頭的夾持元件，增大了盤(pán)狀物夾持力，易于夾持盤(pán)狀物； 3、夾持頭與卡盤(pán)盤(pán)面的夾角小于90°的一側(cè)，用于夾持盤(pán)狀物，避免在夾持過(guò)程中盤(pán)狀物掉落而受到損壞，其與卡盤(pán)盤(pán)面的夾角大于或等于90°的另一側(cè)，用于取放盤(pán)狀物。以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和替換，這些改進(jìn)和替換也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種盤(pán)狀物夾持裝置，其特征在于，包括卡盤(pán)，所述卡盤(pán)盤(pán)面上放置盤(pán)狀物，所述卡盤(pán)盤(pán)面的周向上設(shè)有多個(gè)機(jī)械式夾持元件，所述卡盤(pán)內(nèi)部設(shè)有驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與多個(gè)所述夾持元件連接，用于驅(qū)動(dòng)所述夾持元件進(jìn)行自旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)進(jìn)而夾持或取放盤(pán)狀物，多個(gè)所述夾持元件所構(gòu)成的有效夾持面與盤(pán)狀物的形狀相匹配。
2.如權(quán)利要求I所述的盤(pán)狀物夾持裝置，其特征在于，每個(gè)所述夾持元件分別包括夾持頭和支撐筒體，所述夾持頭固定在所述支撐筒體的上端，所述支撐筒體的下端安裝在所述卡盤(pán)盤(pán)面上，所述夾持頭和支撐筒體由所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)一起進(jìn)行自旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。
3.如權(quán)利要求2所述的盤(pán)狀物夾持裝置，其特征在于，所述夾持頭的一側(cè)與所述卡盤(pán)盤(pán)面之間的夾角小于90°，用于夾持盤(pán)狀物；其另一側(cè)與所述卡盤(pán)盤(pán)面之間的夾角大于或等于90°，用于取放盤(pán)狀物。
4.如權(quán)利要求3所述的盤(pán)狀物夾持裝置，其特征在于，所述夾持頭與所述卡盤(pán)盤(pán)面小于90°的夾角范圍為10° 80°。
5.如權(quán)利要求I所述的盤(pán)狀物夾持裝置，其特征在于，多個(gè)所述夾持元件由所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)同時(shí)進(jìn)行自旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。
6.如權(quán)利要求I所述的盤(pán)狀物夾持裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括傳動(dòng)單元和電機(jī)，所述電機(jī)的輸出軸通過(guò)傳動(dòng)單元與多個(gè)所述夾持元件連接，用于驅(qū)動(dòng)夾持元件進(jìn)行自旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)進(jìn)而夾持或取放盤(pán)狀物。
7.如權(quán)利要求I所述的盤(pán)狀物夾持裝置，其特征在于，所述夾持元件至少為三個(gè)。
8.如權(quán)利要求7所述的盤(pán)狀物夾持裝置，其特征在于，所述夾持元件為四、五、六、七或八個(gè)。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及一種夾持裝置，公開(kāi)了一種盤(pán)狀物夾持裝置，該夾持裝置包括卡盤(pán)、所述卡盤(pán)盤(pán)面上放置盤(pán)狀物，所述卡盤(pán)盤(pán)面的周向上設(shè)有多個(gè)機(jī)械式夾持元件，所述卡盤(pán)內(nèi)部設(shè)有驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與多個(gè)所述夾持元件連接，用于驅(qū)動(dòng)夾持元件進(jìn)行自旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)進(jìn)而夾持或取放盤(pán)狀物，多個(gè)夾持元件所構(gòu)成的有效夾持面與盤(pán)狀物的形狀相匹配。本實(shí)用新型采用驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)夾持元件進(jìn)行自旋轉(zhuǎn)并對(duì)盤(pán)狀物進(jìn)行夾持和取放，該結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，在夾持盤(pán)狀物的過(guò)程中不會(huì)對(duì)盤(pán)狀物產(chǎn)生污染；進(jìn)一步地，夾持頭與卡盤(pán)盤(pán)面的夾角小于90°的一側(cè)，用于夾持盤(pán)狀物，避免在夾持過(guò)程中盤(pán)狀物掉落而受到損壞，其與卡盤(pán)盤(pán)面的夾角大于或等于90°的另一側(cè)，用于取放盤(pán)狀物。
文檔編號(hào)H01L21/687GK202796898SQ20122039480
公開(kāi)日2013年3月13日 申請(qǐng)日期2012年8月9日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月9日
發(fā)明者高 浩, 張豹 申請(qǐng)人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司