專利名稱:一種用于硅片清洗的噴淋系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實用新型涉及硅片清洗設備,具體是一種單片硅片的清洗噴淋系統(tǒng)。
背景技術(shù):
作為集成電路生產(chǎn)過程的一部分,硅片噴淋系統(tǒng)在各個生產(chǎn)過程中是很重要的。傳統(tǒng)的方法大都是單根噴淋臂只能達到一種功能,由于半導體工藝功能需求很多,多根單一功能的噴淋臂將造成功能使用上的浪費,同時會增加成本,降低工作效率。為了解決以上問題,本實用新型做了有益改進
實用新型內(nèi)容
(一)要解決的技術(shù)問題本實用新型的目的是提供一種能夠在單根噴淋臂上集成多種功能的硅片噴淋系統(tǒng)。(二)技術(shù)方案本實用新型是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的一種用于硅片清洗的噴淋系統(tǒng),包括至少一個噴淋臂,每個噴淋臂上集成有氣體管路和液體管路。進一步,該噴淋系統(tǒng)包括至少兩個噴淋臂,所述的兩個噴淋臂對應設置在硅片上部,并且可同時擺動。(三)有益效果與現(xiàn)有技術(shù)和產(chǎn)品相比,本實用新型有如下優(yōu)點I.使用具有多重功能的噴淋臂,降低了生產(chǎn)成本,提高了工作效率。2.多個噴淋臂同時工作可以有效降低硅片的藥液噴灑及甩干時間,提高了工作效率。3.由于噴淋臂的多重功能,減少硅片表面水痕殘留的可能性。4.多個噴淋臂同時工作,提高硅片清洗過程中表面的氣流均勻性。
圖I是本實用新型的噴淋臂的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2是本實用新型在工作狀態(tài)下的示意圖;圖3是本實用新型工作狀態(tài)的俯視圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型的具體實施方式
做一個詳細的說明。如圖I和圖2所示,一種在集成電路生產(chǎn)過程中,用于硅片清洗的噴淋系統(tǒng)。該系統(tǒng)可包含若干根噴淋臂;每個噴淋臂上設有氣體管路I和液體管路2 ;這樣,一根噴淋臂就可同時將藥液和氣體集成在一起進行噴淋操作,有效節(jié)省了工作空間,提高了工作效率,還節(jié)約了成本。本實用新型優(yōu)選使用兩個噴淋臂的噴淋系統(tǒng),即包括第一噴淋臂3和第二噴淋臂4,兩個噴淋臂對應設置在硅片5上部,同時擺動,從而完成對硅片5的清洗。如圖2和圖3所示,腔室7中的卡盤6帶動硅片5旋轉(zhuǎn),第一噴淋臂3和第二噴淋臂4在硅片上部噴灑氣體或液體,同時進行擺動,每個噴淋臂在1/2硅片區(qū)域進行工作,提高了工藝效率,降低了工作時間。以上所述僅為本實用新型的較佳實施例,并不用以限制本實用新型,凡在本實用 新型的精神和原則之內(nèi),所作的任何修改、等同替換、改進等,均應包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種用于硅片清洗的噴淋系統(tǒng),其特征在于,包括至少一個噴淋臂,每個噴淋臂上集成有氣體管路和液體管路。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于硅片清洗的噴淋系統(tǒng),其特征在于,其包括至少兩個噴淋臂,所述的兩個噴淋臂對應設置在硅片上部,并且可同時擺動。
專利摘要本實用新型涉及硅片清洗設備,具體是一種用于硅片清洗的噴淋系統(tǒng),包括至少一個噴淋臂,每個噴淋臂上集成有氣體管路和液體管路。使用本實用新型提供的具有多重功能的噴淋臂,降低了生產(chǎn)成本,增強了清潔效果,提高了工作效率。
文檔編號H01L21/67GK202796879SQ20122040062
公開日2013年3月13日 申請日期2012年8月13日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月13日
發(fā)明者賈星杰, 王波雷 申請人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司