專利名稱：用于圓片上光敏bcb顯影的夾具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種用于光敏BCB中顯影的夾具，特別涉及一種在圓片級封裝中用于光敏BCB顯影的夾具，屬于圓片級高頻封裝領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
圓片級封裝可以節(jié)省成本，提聞效率。而在聞頻系統(tǒng)封裝中，為了減低RC延時及功率損耗，一方面可以采用低電阻率金屬，降低互連電阻，另外一方面可以降低介質(zhì)層產(chǎn)生的寄生電容C，而后者減小互連延遲的效果更明顯。降低寄生電容C帶來的高頻損耗可采用以下幾種方式1.采用低介電常數(shù)的材料作為介質(zhì)層；2.增加介質(zhì)層厚度。BCB (苯并環(huán)丁烯)是一種優(yōu)異的低介電常數(shù)的有機材料，具有低的介電常數(shù)、低的吸濕率、高的熱穩(wěn)定性和化學穩(wěn)定性，以及高的薄膜平整度，低的固化溫度。BCB易于與金屬(銅、金和鋁等)以及非金屬(硅和二氧化硅等)進行粘合，在較寬的頻率和溫度范圍內(nèi)，BCB均表現(xiàn)出很低的介電常數(shù)和介電損耗，能夠減小單位長度上的布線電容，使相鄰金屬間的交互串擾變得更低，從而提高信號的傳輸性能。BCB由于其優(yōu)異的綜合性能，而被廣泛用于微波器件封裝的介質(zhì)層材料。隨著BCB材料的發(fā)展以及成本控制的考慮，光敏BCB被廣泛應用在多層封裝工藝中，光敏BCB制備通孔的工藝省卻了干法刻蝕BCB中掩膜層的制備和去除工藝，直接利用BCB的光敏特性通過曝光顯影來制備通孔?，F(xiàn)有技術(shù)中，光敏BCB的顯影通常采用常規(guī)工藝，其一般步驟是I.用鑷子將涂覆有光敏BCB的圓片放入盛有顯影液(40°C)的燒杯中，六分鐘之后用鑷子將圓片夾起。2.用鑷子將圓片放入常溫顯影液中，1-2分鐘后，用鑷子將圓片夾起，吹干。現(xiàn)有的顯影方法中，將圓片從燒杯中取出時，需要不斷攪拌顯影液，使圓片在顯影液中轉(zhuǎn)動，在圓片豎立時用鑷子將圓片取出，這種顯影方法操作麻煩，并且由于人為的影響，光敏BCB的顯影時間不能得到有效控制，有可能會造成光敏BCB的顯影不充分或者過顯，因此，迫切需要一種用于光敏BCB顯影的夾具來精確控制BCB的顯影。

實用新型內(nèi)容鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點，本實用新型的目的在于提供一種用于圓片上光敏BCB顯影的夾具，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中BCB的顯影難以控制的問題。為實現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實用新型提供一種用于圓片上光敏BCB顯影的夾具，該夾具包括手柄、連接桿、大圓環(huán)、小圓環(huán)以及若干固定連接桿，所述大圓環(huán)與小圓環(huán)平行設(shè)置并通過所述若干固定連接桿連接；所述連接桿一端與所述大圓環(huán)連接，另一端與所述手柄連接。優(yōu)選地，所述固定連接桿為四個，均勻分布在大圓環(huán)和小圓環(huán)之間。優(yōu)選地，所述連接桿為2個，一端對稱設(shè)置在大圓環(huán)上，另一端連接于手柄兩端。[0013]優(yōu)選地，所述的小圓環(huán)的半徑略小于圓片的半徑，所述的大圓環(huán)的半徑略大于圓片的半徑。優(yōu)選地，所述手柄的長度大于大圓環(huán)的直徑。優(yōu)選地，所述手柄、連接桿、大圓環(huán)、小圓環(huán)以及固定連接桿為玻璃材質(zhì)。本實用新型主要有益效果是通過一種用于光敏BCB顯影的夾具，使光敏BCB的顯影操作更加簡便，顯影過程更能得到有效控制。本實用新型解決了現(xiàn)有光敏BCB的顯影操作麻煩，并且顯影時間不能得到有效控制的問題，提供一種操作簡便，能精確控制BCB顯影的夾具。

圖I為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實用新型的俯視圖。元件標號說明I手柄2連接桿3固定連接桿4大圓環(huán)5小圓環(huán)
具體實施方式
以下由特定的具體實施例說明本實用新型的實施方式，熟悉此技術(shù)的人士可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實用新型的其他優(yōu)點及功效。請參閱圖I至圖2。須知，本說明書所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀，并非用以限定本實用新型可實施的限定條件，故不具技術(shù)上的實質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本實用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達成的目的下，均應仍落在本實用新型所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時，本說明書中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本實用新型可實施的范圍，其相對關(guān)系的改變或調(diào)整，在無實質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下，當亦視為本實用新型可實施的范疇。如圖I所示，本實用新型的用于圓片上光敏BCB顯影的夾具，包括手柄I、連接桿
2、大圓環(huán)4、小圓環(huán)5、固定連接桿3，所述大圓環(huán)4與小圓環(huán)5通過固定連接桿3連接在一起，用于固定圓片；所述手柄I通過連接桿2與大圓環(huán)4相連接。所述的固定連接桿3優(yōu)選為4個，其以90度角的間隔均勻分布在大圓環(huán)4和小圓環(huán)5之間。所述的小圓環(huán)5的半徑略小于圓片的半徑，所述的大圓環(huán)4的半徑略大于圓片的半徑，以便進行圓片的固定。所述的手柄I的長度略大于大圓環(huán)4的直徑。所述的手柄I、連接桿2、大圓環(huán)4、小圓環(huán)5、固定連接桿3為玻璃材質(zhì)。在進行光敏BCB顯影時，分為以下兩步進行1.用鑷子將涂覆有光敏BCB的圓片放入夾具中，圓片被固定在兩個圓環(huán)之間，握緊手柄，將夾具放入盛有顯影液(40°C)的燒杯中，六分鐘之后將夾具拿出。2.將夾具放入常溫顯影液中，1-2分鐘后，將夾具拿出，用鑷子將圓片取出，吹干。本實用新型主要有益效果是通過一種用于光敏BCB顯影的夾具，使光敏BCB的顯影操作更加簡便，顯影過程更能得到有效控制。本實用新型解決了現(xiàn)有光敏BCB的顯影操作麻煩，并且顯影時間不能得到有效控制的問題，提供一種操作簡便，能精確控制BCB顯影的夾具。綜上所述，本實用新型有效克服了現(xiàn)有技術(shù)中的種種缺點而具高度產(chǎn)業(yè)利用價值。上述實施例僅例示性說明本實用新型的原理及其功效，而非用于限制本實用新 型。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本實用新型的精神及范疇下，對上述實施例進行修飾或改變。因此，舉凡所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者在未脫離本實用新型所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應由本實用新型的權(quán)利要求所涵蓋。
權(quán)利要求1.一種用于圓片上光敏BCB顯影的夾具，其特征在于該夾具包括手柄(I)、連接桿(2)、大圓環(huán)(4)、小圓環(huán)(5)以及若干固定連接桿(3)，所述大圓環(huán)(4)與小圓環(huán)(5)平行設(shè)置并通過所述若干固定連接桿(3)連接；所述連接桿(2)—端與所述大圓環(huán)(4)連接，另一端與所述手柄(I)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于圓片上光敏BCB顯影的夾具，其特征在于所述固定連接桿(3)為四個，均勻分布在大圓環(huán)(4)和小圓環(huán)(5)之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于圓片上光敏BCB顯影的夾具，其特征在于所述連接桿(2 )為2個，一端對稱設(shè)置在大圓環(huán)(4 )上，另一端連接于手柄(I)兩端。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于圓片上光敏BCB顯影的夾具，其特征在于所述的小圓環(huán)(5)的半徑略小于圓片的半徑，所述的大圓環(huán)(4)的半徑略大于圓片的半徑。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于圓片上光敏BCB顯影的夾具，其特征在于所述手柄(I)的長度大于大圓環(huán)(4)的直徑。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于圓片上光敏BCB顯影的夾具，其特征在于所述手柄(I)、連接桿(2)、大圓環(huán)(4)、小圓環(huán)(5)以及固定連接桿(3)為玻璃材質(zhì)。
專利摘要本實用新型涉及一種用于圓片上光敏BCB顯影的夾具，其特征在于該夾具包括手柄(1)、連接桿(2)、大圓環(huán)(4)、小圓環(huán)(5)以及若干固定連接桿(3)，所述大圓環(huán)(4)與小圓環(huán)(5)平行設(shè)置并通過所述若干固定連接桿(3)連接；所述連接桿(2)一端與所述大圓環(huán)(4)連接，另一端與所述手柄(1)連接。本實用新型解決了現(xiàn)有光敏BCB顯影操作麻煩，顯影時間不能得到有效控制從而造成光敏BCB的顯影不充分或者過顯的問題，使光敏BCB顯影操作更加簡便，BCB顯影的時間得以精確控制。
文檔編號H01L21/687GK202736903SQ20122041335
公開日2013年2月13日 申請日期2012年8月17日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月17日
發(fā)明者孫曉瑋, 呂文倩, 陳敏華, 吳亮 申請人:中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所