專利名稱：聯(lián)動(dòng)裝置、拆卸裝置及聯(lián)動(dòng)拆卸組合的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，特別涉及一種聯(lián)動(dòng)裝置、拆卸裝置及聯(lián)動(dòng)拆卸組合。
技術(shù)背景 在半導(dǎo)體制造工藝中，需要對(duì)晶圓選擇性地并重復(fù)性地執(zhí)行光刻、刻蝕、擴(kuò)散、化學(xué)氣相沉積、離子注入以及金屬沉積等工藝，以在晶圓上形成導(dǎo)電層、半導(dǎo)體層和非導(dǎo)電層中的至少一種，并由此形成半導(dǎo)體器件。在制造半導(dǎo)體器件的過程中，晶圓傳送裝置一般置于用于進(jìn)行化學(xué)氣相沉積的腔室中，待沉積的晶圓通過晶圓傳送裝置傳送至腔室內(nèi)，完成氣相沉積后再通過晶圓傳送裝置將晶圓從腔室內(nèi)送出，由另一個(gè)機(jī)臺(tái)的晶圓抓手來抓取晶圓。如圖I所示，其為在半導(dǎo)體制程過程中，制程反應(yīng)腔內(nèi)的晶圓傳送裝置中的聯(lián)動(dòng)裝置，所述聯(lián)動(dòng)裝置經(jīng)常要面臨高真空，高溫，低壓，電漿侵蝕，化學(xué)侵蝕，反應(yīng)物附著等惡劣環(huán)境，其本身固定部分11并沒有設(shè)計(jì)保護(hù)措施以防止聯(lián)動(dòng)裝置被腐蝕。目前，經(jīng)過長時(shí)間實(shí)際應(yīng)用證明，雖然現(xiàn)行設(shè)計(jì)可以在規(guī)定使用時(shí)間內(nèi)提供較高的穩(wěn)定性，但是大多數(shù)并未設(shè)計(jì)成可拆卸式的，以便通過進(jìn)行定期的更換來維持其精度，即使少部分初始設(shè)計(jì)能夠滿足可拆卸更換的基本要求，但是隨著終端客戶因?yàn)榻档统杀镜男枨蠖粩嘧非笫褂脡勖淖畲蠡?，?dǎo)致在更換時(shí)發(fā)現(xiàn)其聯(lián)動(dòng)裝置的固定部分11因?yàn)檫^長時(shí)間的侵蝕或者附著物堆積而造成拆卸難度倍增，嚴(yán)重影響工程師在機(jī)臺(tái)維護(hù)時(shí)的效率。當(dāng)超過使用壽命的時(shí)候，聯(lián)動(dòng)裝置的固定部分11的拆裝工作最終多數(shù)會(huì)因?yàn)橹鬏S12與法蘭13接合部位的長時(shí)間氧化腐蝕而被迫以破壞性的方式拆除，不但增加了工作難度，嚴(yán)重時(shí)還會(huì)對(duì)諸如主軸12等其他上下關(guān)聯(lián)的主體部件造成損傷，從而導(dǎo)致其他部件的使用壽命受到影響，增加設(shè)備維護(hù)成本。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型提供了聯(lián)動(dòng)裝置、拆卸裝置、聯(lián)動(dòng)拆卸組合，以解決的技術(shù)問題在于，針對(duì)反應(yīng)腔內(nèi)的聯(lián)動(dòng)裝置經(jīng)常存在于高溫低壓等惡劣環(huán)境中，聯(lián)動(dòng)裝置的固定部分因?yàn)檫^長時(shí)間的侵蝕或者附著物堆積而造成拆卸難度倍增，嚴(yán)重影響工程師在機(jī)臺(tái)維護(hù)時(shí)的效率的問題。本實(shí)用新型為解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案在于一種聯(lián)動(dòng)裝置，包括主軸和法蘭，所述法蘭安裝于所述主軸頭部；其中，所述主軸根部設(shè)有卡槽；所述法蘭上設(shè)有第一螺孔。在所述的聯(lián)動(dòng)裝置中，所述第一螺孔的數(shù)量為兩個(gè)，兩個(gè)所述第一螺孔關(guān)于所述主軸呈軸對(duì)稱分布。[0014]在所述的聯(lián)動(dòng)裝置中，所述第一螺孔的深度為三十二分之五英寸。在所述的聯(lián)動(dòng)裝置中，所述卡槽的截面寬度為四分之三英寸。一種拆卸裝置包括套筒，所述套筒上設(shè)有把手及第二螺孔。在所述的拆卸裝置中，所述第二螺孔的數(shù)量為兩個(gè)。在所述的拆卸裝置中，所述第二螺孔的深度為三十二分之五英寸。在所述的拆卸裝置中，所述把手的材料為鍍鋅鋼管。在所述的拆卸裝置中，所述把手通過焊接與所述套筒固定連接。一種聯(lián)動(dòng)拆卸組合，包括聯(lián)動(dòng)裝置和拆卸裝置；其中，所述聯(lián)動(dòng)裝置包括主軸和法蘭，所述法蘭安裝于所述主軸頭部；所述主軸根部設(shè)有卡槽；所述法蘭上設(shè)有第一螺孔；所述拆卸裝置包括套筒，所述套筒上設(shè)有把手及第二螺孔；所述聯(lián)動(dòng)裝置與所述拆卸裝置通過螺絲連接。實(shí)施本實(shí)用新型的聯(lián)動(dòng)裝置、拆卸裝置、聯(lián)動(dòng)拆卸組合，具有以下有益效果通過上述拆卸裝置可以更快捷、更省力地對(duì)聯(lián)動(dòng)裝置進(jìn)行拆卸，從而降低因惡劣環(huán)境影響而產(chǎn)生的氧化腐蝕現(xiàn)象造成的拆卸難度，進(jìn)而提高工程師在機(jī)臺(tái)維護(hù)時(shí)的效率。

下面將結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明，附圖中圖I是現(xiàn)有技術(shù)中反應(yīng)腔內(nèi)的聯(lián)動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例的聯(lián)動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例的拆卸裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例的聯(lián)動(dòng)拆卸組合的結(jié)構(gòu)示意具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型提出的聯(lián)動(dòng)裝置、拆卸裝置、聯(lián)動(dòng)拆卸組合作進(jìn)一步詳細(xì)說明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。請參考圖2，其為本實(shí)用新型實(shí)施例的聯(lián)動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所示，一種聯(lián)動(dòng)裝置2，包括主軸21和法蘭22 ;所述法蘭22安裝于所述主軸21頭部；其中，所述主軸21根部設(shè)有一卡槽23，即在遠(yuǎn)離安裝法蘭22的主軸21的一端設(shè)置有卡槽23 ；所述法蘭22上設(shè)有第一螺孔24。具體的，所述卡槽23的截面寬度為四分之三英寸，在大多數(shù)半導(dǎo)體制造過程中，主軸21的直徑通常為一英寸，設(shè)置卡槽23的截面寬度為四分之三英寸是為了適應(yīng)于常用工具(如扳手、大力鉗等)的卡口深度，因此，在主軸21根部設(shè)有一四分之三英寸的卡槽23，使得扳手、大力鉗等工具可以更便捷、更準(zhǔn)確、更牢固地固定主軸21。進(jìn)一步的，所述第一螺孔24的數(shù)量為兩個(gè)，兩個(gè)所述第一螺孔24關(guān)于所述主軸21呈軸對(duì)稱分布。具體的，所述第一螺孔24的深度為三十二分之五英寸，在大多數(shù)半導(dǎo)體制造過程中，常用于固定裝置的螺絲的尺寸為三十二分之五英寸，因此，設(shè)有三十二分之五英寸的第一螺孔24，可以使得當(dāng)需要螺絲穿過第一螺孔24固定裝置時(shí)，裝置與裝置之間不易產(chǎn)生縫隙，可以更緊密、更牢固的連接。 當(dāng)然，在本實(shí)用新型的其他實(shí)施例中，也可根據(jù)不同尺寸的固定工具(如扳手、大力鉗等)及不同尺寸的固定裝置(通常為螺絲)，對(duì)卡槽23的截面寬度以及第一螺孔24的深度做不同的設(shè)置。在此，達(dá)到牢固固定主軸21能與固定裝置緊密連接即可。請參考圖3，其為本實(shí)用新型實(shí)施例的拆卸裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖3所示，一種拆卸裝置3，包括套筒31，其中，所述套筒31上設(shè)有把手及第二螺孔33。具體的，所述螺孔的數(shù)量為兩個(gè)，所述第二螺孔33的深度為三十二分之五英寸，在大多數(shù)半導(dǎo)體制造過程中，常用于固定裝置的螺絲的尺寸為三十二分之五英寸，因此，設(shè)有三十二分之五英寸的第二螺孔33，可以使得當(dāng)需要螺絲穿過第二螺孔33固定裝置時(shí)，裝置與裝置之間不易產(chǎn)生縫隙，可以更緊密、更牢固的連接。進(jìn)一步的，所述套筒31上設(shè)有把手32，所述把手32通過焊接與套筒31固定連接，通過所述把手32可以更便捷、更省力地旋轉(zhuǎn)套筒31 ;優(yōu)選的，所述把手32的材料為鍍鋅鋼管，也可以選擇其他材質(zhì)，比如不銹鋼，但鍍鋅鋼管的性價(jià)比更優(yōu)一些。請參考圖4,其為本實(shí)用新型實(shí)施例的聯(lián)動(dòng)拆卸組合的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖4所示，一種聯(lián)動(dòng)拆卸組合4，包括聯(lián)動(dòng)裝置2和拆卸裝置3 ;其中，所述聯(lián)動(dòng)裝置2，包括主軸21和法蘭22，所述法蘭22安裝于所述主軸21頭部；所述主軸21根部設(shè)有卡槽23 ;所述法蘭22上設(shè)有第一螺孔24 ；所述拆卸裝置3，包括套筒31，所述套筒31上設(shè)有把手32 ；所述聯(lián)動(dòng)裝置2與拆卸裝置3通過螺絲41固定連接。當(dāng)工程師需要檢查并維護(hù)聯(lián)動(dòng)裝置2時(shí)，可以借助輔助工具拆卸裝置3來降低聯(lián)動(dòng)裝置2的拆卸難度，以提高工程師的工作效率。在本實(shí)施例中，上述聯(lián)動(dòng)拆卸組合4具體通過如下步驟形成 首先，取出聯(lián)動(dòng)裝置2 ；接著，將所述法蘭22中的第一螺孔24與所述套筒31中的第二螺孔33對(duì)齊；然后，將螺絲41穿過第一螺孔24和第二螺孔33，使得所述法蘭22和所述套筒31固定連接。由此，當(dāng)需要將所述法蘭22從所述主軸21上拆卸下時(shí)，在使用固定工具，如扳手固定主軸11的同時(shí)，用手旋轉(zhuǎn)把手32，即可帶動(dòng)套筒31和法蘭22，通過旋轉(zhuǎn)后，即可將法蘭22和主軸21分離，隨后，工程師即可對(duì)聯(lián)動(dòng)裝置2進(jìn)行定期檢查和維護(hù)。通過上述結(jié)構(gòu)的結(jié)合，使用所述拆卸裝置3可以更快捷、更省力地對(duì)聯(lián)動(dòng)裝置2進(jìn)行拆卸，從而降低因惡劣環(huán)境影響而產(chǎn)生的氧化腐蝕現(xiàn)象造成的拆卸難度，進(jìn)而提高工程師在機(jī)臺(tái)維護(hù)時(shí)的效率。上述描述僅是對(duì)本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的描述，并非對(duì)本實(shí)用新型范圍的任何限定，本實(shí)用新型領(lǐng)域的普通技術(shù)人員根據(jù)上述揭示內(nèi)容做的任何變更、修飾，均屬于權(quán)利要求書的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種聯(lián)動(dòng)裝置，其特征在于，包括 主軸和法蘭，所述法蘭安裝于所述主軸頭部；其中， 所述主軸根部設(shè)有卡槽； 所述法蘭上設(shè)有第一螺孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的聯(lián)動(dòng)裝置，其特征在于，所述第一螺孔的數(shù)量為兩個(gè)，兩個(gè)所述第一螺孔關(guān)于所述主軸呈軸對(duì)稱分布。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的聯(lián)動(dòng)裝置，其特征在于，所述第一螺孔的深度為三十二分之五英寸?！?br> 4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的聯(lián)動(dòng)裝置，其特征在于，所述卡槽的截面寬度為四分之三英寸。
5.一種拆卸裝置，其特征在于，包括套筒，所述套筒上設(shè)有把手及第二螺孔。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的拆卸裝置，其特征在于，所述第二螺孔的數(shù)量為兩個(gè)。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的拆卸裝置，其特征在于，所述第二螺孔的深度為三十二分之五英寸。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的拆卸裝置，其特征在于，所述把手的材料為鍍鋅鋼管。
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的拆卸裝置，其特征在于，所述把手通過焊接與所述套筒固定連接。
10.一種聯(lián)動(dòng)拆卸組合，其特征在于，包括聯(lián)動(dòng)裝置和拆卸裝置；其中， 所述聯(lián)動(dòng)裝置包括主軸和法蘭，所述法蘭安裝于所述主軸頭部；所述主軸根部設(shè)有卡槽；所述法蘭上設(shè)有第一螺孔； 所述拆卸裝置包括套筒，所述套筒上設(shè)有把手及第二螺孔；所述聯(lián)動(dòng)裝置與所述拆卸裝置通過螺絲連接。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種聯(lián)動(dòng)裝置，包括主軸和法蘭，所述法蘭安裝于所述主軸頭部；其中，所述主軸根部設(shè)有卡槽；所述法蘭上設(shè)有第一螺孔。還提供了一種拆卸裝置，包括套筒，所述套筒上設(shè)有把手及第二螺孔。又提供了一種聯(lián)動(dòng)拆卸組合，包括聯(lián)動(dòng)裝置和拆卸裝置；其中，所述聯(lián)動(dòng)裝置與拆卸裝置通過螺絲連接。通過上述拆卸裝置可以更快捷、更省力地對(duì)聯(lián)動(dòng)裝置進(jìn)行拆卸，從而降低因惡劣環(huán)境影響而產(chǎn)生的氧化腐蝕現(xiàn)象造成的拆卸難度，進(jìn)而提高工程師在機(jī)臺(tái)維護(hù)時(shí)的效率。
文檔編號(hào)H01L21/67GK202796883SQ201220520489
公開日2013年3月13日 申請日期2012年10月11日 優(yōu)先權(quán)日2012年10月11日
發(fā)明者陳雄博, 王昕昕, 羅力銘 申請人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司