專(zhuān)利名稱：電荷耦合裝置支架與導(dǎo)片機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種電荷耦合裝置支架。
背景技術(shù)：
眾所周知，導(dǎo)片機(jī)的作用在于通過(guò)校對(duì)器將晶圓旋轉(zhuǎn)至預(yù)設(shè)的角度，進(jìn)而傳輸?shù)胶罄m(xù)的工藝中，通常，為了確定其位置是否到達(dá)了預(yù)設(shè)的旋轉(zhuǎn)位置，在校對(duì)器的上方設(shè)置有電荷耦合裝置，將其鏡頭正對(duì)晶圓槽口預(yù)設(shè)的旋轉(zhuǎn)位置，如果采集到了槽口，則認(rèn)為晶圓旋轉(zhuǎn)到了預(yù)設(shè)的角度，如果沒(méi)有采集到槽口圖像，則認(rèn)為晶圓未被旋轉(zhuǎn)到預(yù)設(shè)的角度。在現(xiàn)有的技術(shù)流程中，僅僅能夠從電荷耦合裝置中采集信號(hào)，以確定其旋轉(zhuǎn)位置的正確與否，而不能對(duì)其進(jìn)行反饋的控制。·同時(shí)，在現(xiàn)有的電荷耦合裝置支架中，請(qǐng)參考圖1，其為現(xiàn)有技術(shù)中的導(dǎo)片機(jī)的結(jié)構(gòu)不意圖，其中，101—豎直桿；102—旋轉(zhuǎn)件；103 —電荷I禹合裝置；104 —晶圓；105—校對(duì)器。所述電荷耦合裝置支架包括豎直桿101與旋轉(zhuǎn)件102，電荷耦合裝置103安裝在旋轉(zhuǎn)件102上，電荷耦合裝置103正對(duì)晶圓104，晶圓104安置在校對(duì)器105上旋轉(zhuǎn)。在使用現(xiàn)有的導(dǎo)片機(jī)的過(guò)程中，將電荷耦合裝置103的鏡頭位置固定之后，由于運(yùn)輸晶圓的操作臂需要進(jìn)行運(yùn)輸?shù)墓ぷ鳎神詈涎b置103由于電荷耦合裝置支架的旋轉(zhuǎn)件102的位置較為固定，導(dǎo)致了電荷耦合裝置支架將會(huì)影響到操作臂的正常運(yùn)作。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種運(yùn)行位置更靈活的電荷耦合裝置支架，進(jìn)而提高電荷耦合裝置可采集信號(hào)的覆蓋范圍。為了解決這一技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種電荷耦合裝置支架，用于固定和調(diào)節(jié)電荷耦合裝置，包括一端固定設(shè)置于導(dǎo)片機(jī)上的豎直桿以及沿水平方向設(shè)置的第一旋轉(zhuǎn)件，所述第一旋轉(zhuǎn)件的一端與所述豎直桿旋轉(zhuǎn)連接，所述第一旋轉(zhuǎn)件與所述豎直桿相互垂直且能夠繞所述豎直桿轉(zhuǎn)動(dòng)，還包括沿水平方向設(shè)置的第二旋轉(zhuǎn)件，所述第二旋轉(zhuǎn)件的一端與所述第一旋轉(zhuǎn)件的另一端旋轉(zhuǎn)連接，所述調(diào)節(jié)電荷耦合裝置安裝于所述第二旋轉(zhuǎn)件上。所述調(diào)節(jié)電荷耦合裝置相對(duì)于所述第二旋轉(zhuǎn)件沿水平方向滑動(dòng)連接。所述第二旋轉(zhuǎn)件上設(shè)有若干沿水平方向設(shè)置的長(zhǎng)條孔，所述調(diào)節(jié)電荷耦合裝置通過(guò)若干螺栓組件與所述長(zhǎng)條孔安裝于所述第二旋轉(zhuǎn)件上。若干所述長(zhǎng)條孔沿豎直方向排列。 所述長(zhǎng)條孔的數(shù)量為兩個(gè)。所述第一旋轉(zhuǎn)件通過(guò)設(shè)在所述豎直桿上的環(huán)形槽固定所述第一旋轉(zhuǎn)件的位置。所述第一旋轉(zhuǎn)件內(nèi)部設(shè)有與所述環(huán)形槽匹配的環(huán)形緊固裝置。所述環(huán)形緊固裝置包括緊固件、第一半環(huán)以及與所述第一半環(huán)匹配的第二半環(huán)，所述第一半環(huán)與所述第二半環(huán)的開(kāi)口相對(duì)，所述第一半環(huán)與所述第二半環(huán)的兩端分別互相連接，其中一端通過(guò)所述緊固件連接。所述緊固件連通至所述第一旋轉(zhuǎn)件的外表面。所述環(huán)形槽的數(shù)量為多個(gè)，均勻分布在所述豎直桿上。所述電荷耦合裝置支架為金屬材質(zhì)。本實(shí)用新型還提供了一種導(dǎo)片機(jī)，包括水平設(shè)置的校對(duì)器，正對(duì)所述校對(duì)器設(shè)置的電荷耦合裝置，還包括本實(shí)用新型提供的電荷耦合裝置支架。本實(shí)用新型通過(guò)在第一旋轉(zhuǎn)件的末端增加了可沿水平方向繞其旋轉(zhuǎn)的第二旋轉(zhuǎn)件，通過(guò)二次旋轉(zhuǎn)，使得電荷耦合裝置支架的運(yùn)行位置更靈活，可以有效避開(kāi)操作臂的運(yùn) 動(dòng)軌跡，另外，將電荷耦合裝置與第二旋轉(zhuǎn)件通過(guò)長(zhǎng)條孔滑動(dòng)連接，可以有助于電荷耦合裝置能夠在水平方向上做平移，從而提高了電荷耦合裝置的活動(dòng)范圍，進(jìn)而提高了電荷耦合裝置可采集信號(hào)的覆蓋范圍。

圖I是現(xiàn)有技術(shù)中導(dǎo)片機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型一實(shí)施例提供的導(dǎo)片機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實(shí)用新型一實(shí)施例提供的環(huán)形緊固裝置的機(jī)構(gòu)示意圖；圖中，101—豎直桿；102—旋轉(zhuǎn)件；103—電荷耦合裝置；104—晶圓；105—校對(duì)器；201—豎直桿；202—第一旋轉(zhuǎn)件；203—第二旋轉(zhuǎn)件；204—電荷耦合裝置；205—長(zhǎng)條孔；206—緊固件；207—螺釘；208—旋轉(zhuǎn)軸；209—環(huán)形槽；210—晶圓；211—校對(duì)器301—第一半環(huán)；302—第二半環(huán)。
具體實(shí)施方式
以下將結(jié)合圖2對(duì)本實(shí)用新型提供的電荷耦合裝置支架和導(dǎo)片機(jī)進(jìn)行詳細(xì)的介紹，其僅為本實(shí)用新型一優(yōu)選的實(shí)施例，可以認(rèn)為本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍內(nèi)，根據(jù)本領(lǐng)域的公知的常識(shí)對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行潤(rùn)色和修改。請(qǐng)參考圖2，本實(shí)施例提供了一種電荷耦合裝置支架，用于固定和調(diào)節(jié)電荷耦合裝置204，包括一端固定設(shè)置于導(dǎo)片機(jī)上的豎直桿201以及沿水平方向設(shè)置的第一旋轉(zhuǎn)件202，所述第一旋轉(zhuǎn)件202的一端與所述豎直桿201旋轉(zhuǎn)連接，所述第一旋轉(zhuǎn)件與所述豎直桿相互垂直且能夠繞所述豎直桿201轉(zhuǎn)動(dòng)，所述第一旋轉(zhuǎn)件202 —端設(shè)有供所述豎直桿穿過(guò)的通孔(圖未示)，且通過(guò)所述通孔與所述豎直桿201旋轉(zhuǎn)連接，即第一旋轉(zhuǎn)件202能夠通過(guò)通孔繞所述豎直桿201進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，本實(shí)施例提供的電荷耦合裝置支架還包括沿水平方向設(shè)置的第二旋轉(zhuǎn)件203，所述第二旋轉(zhuǎn)件203的一端與所述第一旋轉(zhuǎn)件202的另一端旋轉(zhuǎn)連接，所述調(diào)節(jié)電荷耦合裝置安裝于所述第二旋轉(zhuǎn)件203上。在本實(shí)施例中，第一旋轉(zhuǎn)件202與第二旋轉(zhuǎn)件203通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸208在水平方向上進(jìn)行旋轉(zhuǎn)連接。本實(shí)施例通過(guò)在第一旋轉(zhuǎn)件202的末端增加了可沿水平方向繞其旋轉(zhuǎn)的第二旋轉(zhuǎn)件203，通過(guò)二次旋轉(zhuǎn)，使得電荷耦合裝置支架的運(yùn)行位置更靈活，可以有效避開(kāi)操作臂的運(yùn)動(dòng)軌跡，提高了電荷耦合裝置204的活動(dòng)范圍，進(jìn)而提高了電荷耦合裝置204可采集信號(hào)的覆蓋范圍。[0029]所述調(diào)節(jié)電荷耦合裝置204相對(duì)于所述第二旋轉(zhuǎn)件203沿水平方向滑動(dòng)連接。所述第二旋轉(zhuǎn)件203上設(shè)有若干沿水平方向設(shè)置的長(zhǎng)條孔205，所述調(diào)節(jié)電荷耦合裝置204通過(guò)若干螺栓組件與所述長(zhǎng)條孔205安裝于所述第二旋轉(zhuǎn)件203上。在本實(shí)施例中，所述電荷耦合裝置204通過(guò)設(shè)在所述第二旋轉(zhuǎn)件203上的若干長(zhǎng)條孔205和螺釘207與所述第二旋轉(zhuǎn)件203滑動(dòng)連接，所述長(zhǎng)條孔205沿水平方向設(shè)置。將電荷耦合裝置204與第二旋轉(zhuǎn)件203通過(guò)長(zhǎng)條孔205滑動(dòng)連接，可以有助于電荷耦合裝置204能夠在水平方向上做平移，有效地提升了電荷耦合裝置204的活動(dòng)范圍。同時(shí)，在本實(shí)施例中，請(qǐng)參考圖2，將螺釘207穿過(guò)長(zhǎng)條孔205，固定安裝在電荷耦合裝置204上，保證了耦合電荷裝置204位置的穩(wěn)固，同時(shí)也能實(shí)現(xiàn)電荷耦合裝置204的水平移動(dòng)。若干所述長(zhǎng)條孔205沿豎直方向排列。所述長(zhǎng)條孔205的數(shù)量為兩個(gè)。兩個(gè)長(zhǎng)條孔205既能保證電荷耦合裝置204的位置穩(wěn)固，同樣也能實(shí)現(xiàn)電荷耦合裝置204的水平移 動(dòng)。所述第一旋轉(zhuǎn)件202通過(guò)設(shè)在所述豎直桿201上的環(huán)形槽209固定所述第一旋轉(zhuǎn)件202的位置。所述第一旋轉(zhuǎn)件202內(nèi)部設(shè)有與所述環(huán)形槽209匹配的環(huán)形緊固裝置。在本實(shí)施例中，所述環(huán)形槽209的數(shù)量為多個(gè)，均勻分布于所述豎直桿201上。請(qǐng)參考圖3，其為本實(shí)施例提供的環(huán)形緊固裝置，其僅僅為本實(shí)施例采用的技術(shù)手段，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可對(duì)其進(jìn)行修改，只需要滿足將之與環(huán)形槽匹配連接，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)所述第一旋轉(zhuǎn)件202與所述豎直桿201之間連接的環(huán)形緊固的作用即可。本實(shí)施例提供的環(huán)形緊固裝置包括緊固件206、第一半環(huán)301與與所述第一半環(huán)301匹配的第二半環(huán)302，所述第一半環(huán)301與所述第二半環(huán)302的開(kāi)口相對(duì)，所述第一半環(huán)301與所述第二半環(huán)302的兩端分別互相連接，其中一端通過(guò)所述緊固件206連接。在本實(shí)施例中，所述第一半環(huán)301與第二半環(huán)302的一端固定連接，另一端通過(guò)緊固件206連接，通過(guò)控制緊固件206能夠改變第一半環(huán)301與第二半環(huán)302之間的緊固狀態(tài)，進(jìn)而改變第一旋轉(zhuǎn)件202與豎直桿201之間的緊固狀態(tài)。在本實(shí)施例中，通過(guò)緊固件206將第一半環(huán)301與第二半環(huán)302緊固后，其內(nèi)徑與所述環(huán)形槽209的直徑相匹配。所述緊固件206連通至所述第一旋轉(zhuǎn)件202的外表面。所述環(huán)形緊固裝置通過(guò)連通至所述第一旋轉(zhuǎn)件202外表面的緊固件206控制所述第一旋轉(zhuǎn)件202與所述豎直桿201之間連接的緊固與放松。所述緊固件206的一端與所述第一半環(huán)301和第二半環(huán)302連接，另一端連通至所述第一旋轉(zhuǎn)件202的外表面，以便于控制所述緊固件206的松緊。所述電荷耦合裝置支架為金屬材質(zhì)。本實(shí)用新型還提供了一種導(dǎo)片機(jī)，包括水平設(shè)置的校對(duì)器211，正對(duì)所述校對(duì)器設(shè)置的電荷耦合裝置204，還包括本實(shí)施例提供的電荷耦合裝置支架。在使用本實(shí)施例提供的電荷耦合裝置支架與導(dǎo)片機(jī)時(shí)，首先，確認(rèn)第一旋轉(zhuǎn)件202和第二旋轉(zhuǎn)件203的高度，豎直移動(dòng)第一旋轉(zhuǎn)件202，選定位置后，將環(huán)形緊固裝置與對(duì)應(yīng)高度位置的環(huán)形槽209匹配，同時(shí)，旋轉(zhuǎn)第一旋轉(zhuǎn)件202到合適的位置，通過(guò)緊固件206將第一旋轉(zhuǎn)件202的位置固定。然后旋轉(zhuǎn)第二旋轉(zhuǎn)件203，同時(shí)通過(guò)長(zhǎng)條孔205水平移動(dòng)電荷耦合裝置204的位置，使其對(duì)準(zhǔn)預(yù)設(shè)的晶圓210正確旋轉(zhuǎn)時(shí)的晶圓槽口的位置。位置固定后，首先通過(guò)操作臂將晶圓210放置到校對(duì)器211，導(dǎo)片機(jī)開(kāi)始運(yùn)作，校對(duì)器211進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，電荷耦合裝置204的鏡頭豎直向下對(duì)準(zhǔn)預(yù)設(shè)的晶圓210正確旋轉(zhuǎn)時(shí)的晶圓槽口的位置，機(jī)臺(tái)將根據(jù)采集到的信號(hào)進(jìn)行判斷，如果采集到了晶圓槽口的信息，則導(dǎo)片機(jī)繼續(xù)正常運(yùn)作，如果未能采集到晶圓槽口的信息，機(jī)臺(tái)將自動(dòng)停止運(yùn)作，以便進(jìn)行校正。綜上所述，本實(shí)用新型通過(guò)在第一旋轉(zhuǎn)件202的末端增加了可沿水平方向繞其旋轉(zhuǎn)的第二旋轉(zhuǎn)件203，通過(guò)二次旋轉(zhuǎn)，使得電荷耦合裝置支架的運(yùn)行位置更靈活，可以有效避開(kāi)操作臂的運(yùn)動(dòng)軌跡，同時(shí)，將電荷耦合裝置204與第二旋轉(zhuǎn)件203通過(guò)長(zhǎng)條孔207滑動(dòng) 連接，可以有助于電荷耦合裝置204能夠在水平方向上做平移，從而提高了電荷耦合裝置204的活動(dòng)范圍，進(jìn)而提高了電荷耦合裝置204可采集信號(hào)的覆蓋范圍。
權(quán)利要求1.一種電荷耦合裝置支架，用于固定和調(diào)節(jié)電荷耦合裝置，包括一端固定設(shè)置于導(dǎo)片機(jī)上的豎直桿以及沿水平方向設(shè)置的第一旋轉(zhuǎn)件，所述第一旋轉(zhuǎn)件的一端與所述豎直桿旋轉(zhuǎn)連接，所述第一旋轉(zhuǎn)件與所述豎直桿相互垂直且能夠繞所述豎直桿轉(zhuǎn)動(dòng)，其特征在于還包括沿水平方向設(shè)置的第二旋轉(zhuǎn)件，所述第二旋轉(zhuǎn)件的一端與所述第一旋轉(zhuǎn)件的另一端旋轉(zhuǎn)連接，所述調(diào)節(jié)電荷耦合裝置安裝于所述第二旋轉(zhuǎn)件上。
2.如權(quán)利要求I所述的電荷耦合裝置支架，其特征在于所述調(diào)節(jié)電荷耦合裝置相對(duì)所述第二旋轉(zhuǎn)件沿水平方向滑動(dòng)連接。
3.如權(quán)利要求2所述的電荷耦合裝置支架，其特征在于所述第二旋轉(zhuǎn)件上設(shè)有若干沿水平方向設(shè)置的長(zhǎng)條孔，所述調(diào)節(jié)電荷耦合裝置通過(guò)若干螺栓組件與所述長(zhǎng)條孔安裝于所述第二旋轉(zhuǎn)件上。
4.如權(quán)利要求3所述的電荷耦合裝置支架，其特征在于若干所述長(zhǎng)條孔沿豎直方向排列。
5.如權(quán)利要求4所述的電荷耦合裝置支架，其特征在于所述長(zhǎng)條孔的數(shù)量為兩個(gè)。
6.如權(quán)利要求I所述的電荷耦合裝置支架，其特征在于所述第一旋轉(zhuǎn)件通過(guò)設(shè)在所述豎直桿上的環(huán)形槽固定所述第一旋轉(zhuǎn)件的位置。
7.如權(quán)利要求6所述的電荷耦合裝置支架，其特征在于所述第一旋轉(zhuǎn)件內(nèi)部設(shè)有與所述環(huán)形槽匹配的環(huán)形緊固裝置。
8.如權(quán)利要求7所述的電荷耦合裝置支架，其特征在于所述環(huán)形緊固裝置包括緊固件、第一半環(huán)以及與所述第一半環(huán)匹配的第二半環(huán)，所述第一半環(huán)與所述第二半環(huán)的開(kāi)口相對(duì)，所述第一半環(huán)與所述第二半環(huán)的兩端分別互相連接，其中一端通過(guò)所述緊固件連接。
9.如權(quán)利要求8所述的電荷耦合裝置支架，其特征在于所述緊固件連通至所述第一旋轉(zhuǎn)件的外表面。
10.如權(quán)利要求6所述的電荷耦合裝置支架，其特征在于所述環(huán)形槽的數(shù)量為多個(gè)，均勻分布在所述豎直桿上。
11.如權(quán)利要求I所述的電荷耦合裝置支架，其特征在于所述電荷耦合裝置支架為金屬材質(zhì)。
12.—種導(dǎo)片機(jī)，包括水平設(shè)置的校對(duì)器，正對(duì)所述校對(duì)器設(shè)置的電荷耦合裝置，其特征在于還包括如權(quán)利要求I至11任意之一所述的電荷耦合裝置支架。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型提供了一種電荷耦合裝置支架，用于固定和調(diào)節(jié)電荷耦合裝置，包括一端固定設(shè)置于導(dǎo)片機(jī)上的豎直桿以及沿水平方向設(shè)置的第一旋轉(zhuǎn)件，所述第一旋轉(zhuǎn)件的一端與所述豎直桿旋轉(zhuǎn)連接，所述第一旋轉(zhuǎn)件與所述豎直桿相互垂直且能夠繞所述豎直桿轉(zhuǎn)動(dòng)，還包括沿水平方向設(shè)置的第二旋轉(zhuǎn)件，所述第二旋轉(zhuǎn)件的一端與所述第一旋轉(zhuǎn)件的另一端旋轉(zhuǎn)連接，所述調(diào)節(jié)電荷耦合裝置安裝于所述第二旋轉(zhuǎn)件上。本實(shí)用新型通過(guò)在第一旋轉(zhuǎn)件的末端增加了可沿水平方向繞其旋轉(zhuǎn)的第二旋轉(zhuǎn)件，通過(guò)二次旋轉(zhuǎn)，使得電荷耦合裝置支架的運(yùn)行位置更靈活，可以有效避開(kāi)操作臂的運(yùn)動(dòng)軌跡，進(jìn)而提高了電荷耦合裝置可采集信號(hào)的覆蓋范圍。
文檔編號(hào)H01L21/677GK202796884SQ20122052049
公開(kāi)日2013年3月13日 申請(qǐng)日期2012年10月11日 優(yōu)先權(quán)日2012年10月11日
發(fā)明者蘇陶炯, 閆曉東, 嚴(yán)峻, 關(guān)業(yè)群 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司