專利名稱：一種太陽能電池及減反射膜的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及太陽能電池技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種太陽能電池及減反射膜。
背景技術(shù)：
太陽能電池，也稱光伏電池，是一種將太陽的光能直接轉(zhuǎn)化為電能的半導(dǎo)體器件。由于它是綠色環(huán)保產(chǎn)品，不會(huì)引起環(huán)境污染，而且是可再生資源，所以在當(dāng)今能源短缺的情形下，太陽能電池是一種有廣闊發(fā)展前途的新型能源。最常見的晶體硅太陽能電池的基本結(jié)構(gòu)，如圖1所示，為現(xiàn)有技術(shù)中一種常見太陽能電池的基本結(jié)構(gòu)圖，從上至下依次為:正電極101、減反射膜102、基底103、背電場(chǎng)104、背電極105。其中，減反射膜102是覆蓋在基底103表面的一層深藍(lán)色氮化硅(SiNx:H)固態(tài)薄膜，由于其具有符合減反射原理的折射率和膜厚，所以擁有很好的陷光效應(yīng)，減少了入射光的反射損失，從而能夠提聞太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率；并且減反射I旲層中含有的純化基能夠修復(fù)電池片表面和內(nèi)部存在的缺陷，減少復(fù)合中心，達(dá)到很好的表鈍化和體鈍化的效果，從而增大太陽能電池的短路電流，提高其光電轉(zhuǎn)換效率。由此可見，在電池片表面沉積減反射膜對(duì)于提高太陽能電池的電性能和光電轉(zhuǎn)換效率是非常重要的。但是，在實(shí)際使用過程中發(fā)現(xiàn)，現(xiàn)有技術(shù)中太陽能電池的減反射膜的鈍化和減反射能力有限，影響了太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率的提高。

實(shí)用新型內(nèi)容有鑒于此，本實(shí)用新型提供一種太陽能電池及減反射膜，以達(dá)到增強(qiáng)減反射膜的鈍化和減反射能力，提高太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案:一種太陽能電池，其特征在于，包括:電池本體；覆蓋在所述電池本體表面上的減反射膜，所述減反射膜至少包括三層薄膜，靠近所述電池本體表面的薄膜為第一薄膜，遠(yuǎn)離所述電池本體表面的薄膜為第三薄膜，位于第一薄膜和第三薄膜之間的為第二薄膜，其中，第三薄膜的減反射能力大于第一薄膜和第二薄膜的減反射能力，第一薄膜的鈍化能力大于第二薄膜和第三薄膜的鈍化能力。優(yōu)選的，所述第一薄膜的折射率大于所述第二薄膜的折射率，所述第二薄膜的折射率大于所述第三薄膜的折射率。優(yōu)選的，所述減反射膜的每層薄膜的厚度隨薄膜與電池本體的距離的增大而增大。優(yōu)選的，所述減反射膜的整體厚度為75nm 95nm，包括端點(diǎn)。優(yōu)選的，所述減反射膜中含有的介質(zhì)為氮化硅、氧化硅、氧化鋁、二氧化鈦中的任
意一種。[0015]優(yōu)選的，所述減反射膜的每層薄膜的介質(zhì)材料不同或相同。優(yōu)選的，所述第三薄膜的絕緣能力大于所述第一薄膜和所述第二薄膜的絕緣能力。本實(shí)用新型還提供了一種減反射膜，其特征在于，該減反射膜至少包括三層薄膜，遠(yuǎn)離光入射一側(cè)的薄膜為第一薄膜，靠近光入射一側(cè)的薄膜為第三薄膜，位于第一薄膜和第三薄膜之間的為第二薄膜，其中，第三薄膜的減反射能力大于第一薄膜和第二薄膜的減反射能力，第一薄膜的鈍化能力大于第二薄膜和第三薄膜的鈍化能力。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型至少具有以下優(yōu)點(diǎn):本實(shí)用新型所提供的太陽能電池的減反射膜采用至少三層的薄膜結(jié)構(gòu)，合理搭配每層薄膜的介質(zhì)材料，使靠近電池本體的薄膜的鈍化能力強(qiáng)于遠(yuǎn)離電池本體的薄膜的鈍化能力，遠(yuǎn)離電池本體的薄膜的減反射能力強(qiáng)于靠近電池本體的薄膜的減反射能力，并且根據(jù)減反射原理，合理設(shè)置每層薄膜的折射率和厚度，使每層薄膜的折射率和厚度按照一定的規(guī)律變化，最終使減反射膜能夠最大限度的發(fā)揮其鈍化和減反射的作用，避免了現(xiàn)有技術(shù)中減反射I旲的純化和減反射能力有限的缺陷，提聞了減反射I旲的性能，最終達(dá)到了提聞太陽能電池光電轉(zhuǎn)換效率的目的。進(jìn)一步的，本實(shí)用新型所提供的太陽能電池的減反射膜的總體厚度不大于現(xiàn)有技術(shù)中減反射膜的厚度，且各層薄膜的折射率、厚度、所含介質(zhì)的種類及量都經(jīng)過總體調(diào)配，一方面使得各層薄膜的制備條件存在差異，鍍膜時(shí)間不同，從而使本實(shí)用新型所提供的減反射膜的整體鍍膜時(shí)間較現(xiàn)有技術(shù)減少，提高了生產(chǎn)效率；另一方面使得產(chǎn)生各層薄膜中介質(zhì)的材料(如:硅烷、氨氣、三甲基鋁、氧化二氮、氧氣等)的用量為最佳配比，沒有多余的用量，從而本實(shí)用新型制備減反射膜所用的材料的總體用量較現(xiàn)有技術(shù)減少，降低了生產(chǎn)成本。

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為現(xiàn)有技術(shù)中一種常見太陽能電池的基本結(jié)構(gòu)圖；圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的太陽能電池的基本結(jié)構(gòu)圖。
具體實(shí)施方式
正如背景技術(shù)所述，現(xiàn)有技術(shù)中的減反射膜的鈍化和減反射能力有限，從而影響太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，出現(xiàn)這種問題的原因是，現(xiàn)有技術(shù)中太陽能電池的減反射膜通常是單層結(jié)構(gòu)，所含有的介質(zhì)的種類單一、量少，從而導(dǎo)致減反射膜的減反射和鈍化能力有限，影響了太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率的提高?；谏鲜霈F(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種太陽能電池，包括:電池本體；覆蓋在所述電池本體表面上的減反射膜，所述減反射膜至少包括三層薄膜，靠近所述電池本體表面的薄膜為第一薄膜，遠(yuǎn)離所述電池本體表面的薄膜為第三薄膜，位于第一薄膜和第三薄膜之間的為第二薄膜，其中，第三薄膜的減反射能力大于第一薄膜和第二薄膜的減反射能力，第一薄膜的鈍化能力大于第二薄膜和第三薄膜的鈍化能力。本實(shí)用新型所提供的太陽能電池的減反射膜采用至少三層的薄膜結(jié)構(gòu)，合理搭配每層薄膜的介質(zhì)材料，使靠近電池本體的薄膜的鈍化能力強(qiáng)于遠(yuǎn)離電池本體的薄膜的鈍化能力，遠(yuǎn)離電池本體的薄膜的減反射能力強(qiáng)于靠近電池本體的薄膜的減反射能力，并且根據(jù)減反射原理，合理設(shè)置每層薄膜的折射率和厚度，使每層薄膜的折射率和厚度按照一定的規(guī)律變化，最終使得減反射膜的能夠最大限度的發(fā)揮其鈍化和減反射的作用，避免了現(xiàn)有技術(shù)中單層減反射膜的鈍化和減反射能力有限的缺陷，提高了減反射膜的性能，最終達(dá)到了提高太陽能電池光電轉(zhuǎn)換效率的目的。以上是本實(shí)用新型的基本思想，為使本實(shí)用新型的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
做詳細(xì)的說明。在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本實(shí)用新型，但是本實(shí)用新型還可以采用其他不同于在此描述的其它方式來實(shí)施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本實(shí)用新型內(nèi)涵的情況下做類似推廣，因此本實(shí)用新型不受下面公開的具體實(shí)施例的限制。其次，本實(shí)用新型結(jié)合示意圖進(jìn)行詳細(xì)描述，在詳述本實(shí)用新型實(shí)施例時(shí)，為便于說明，表示器件結(jié)構(gòu)的剖面圖會(huì)不依一般比例作局部放大，而且所述示意圖只是示例，其在此不應(yīng)限制本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。此外，在實(shí)際制作中應(yīng)包含長(zhǎng)度、寬度及深度的三維空間尺寸。本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種太陽能電池，如圖2所示，為本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的太陽能電池的基本結(jié)構(gòu)圖，包括:電池本體200以及覆蓋在電池本體200表面上的減反射膜，其中減反射膜包括靠近電池本體200的第一薄膜201、遠(yuǎn)離電池本體200的第三薄膜203及位于第一薄膜201和第三薄膜203中間的第二薄膜202。需要說明的是，本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的太陽能電池的電池本體的基本材料可以為包括N型單晶硅、P型單晶硅、N型多晶硅和P型多晶硅在內(nèi)的硅材料，也可以為砷化鎵II1- V化合物、硫化鎘、銅銦硒等多元無機(jī)鹽化合物，還包括功能高分子材料或者納米晶材料。本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的太陽能電池的減反射膜的制備采用膜淀積技術(shù)，其材料可以為氮化硅、二氧化硅、氧化鋁、二氧化鈦中的一種或幾種。膜淀積技術(shù)主要包括:CVD (化學(xué)氣相淀積)、電鍍、PVD (物理氣相淀積)、蒸發(fā)和旋涂方法，下面以采用PECVD技術(shù)制備氮化硅減反射膜為例對(duì)太陽能電池減反射膜的制備過程進(jìn)行詳細(xì)的說明。采用PECVD (等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)技術(shù)制備氮化硅減反射膜的基本過程為，利用低溫等離子體作能量源，將電池本體置于低氣壓下輝光放電的陰極上，利用輝光放電(或者另外的發(fā)熱體)使電池本體升溫到預(yù)定的溫度，然后通入適量氨氣和硅烷作為反應(yīng)氣體，氨氣和硅烷經(jīng)過一系列化學(xué)反應(yīng)和等離子體反應(yīng)后，會(huì)在電池本體的表面形成固態(tài)的深藍(lán)色SiNx: H薄膜，這就是氮化硅減反射膜。需要指出的是，SiNx:H減反射膜中SiNx (即氮化娃)起減反射作用，而H (即氫原子)可以起到表鈍化和體鈍化的作用。減反射膜一方面由于符合減反射原理，所以可以減少光的反射，增大電池對(duì)光的吸收率；另一方面由于在制備減反射膜的過程中大量的氫原子達(dá)到電池本體表面,并進(jìn)入電池本體內(nèi)部,這些氫原子會(huì)與電池本體表面的切割造成的懸掛鍵和雜質(zhì)引起的不飽和的共價(jià)鍵結(jié)合，并且與電池本體內(nèi)部的位錯(cuò)、晶體缺陷或其他雜質(zhì)產(chǎn)生的不飽和共價(jià)鍵結(jié)合，減少復(fù)合中心，提高光生載流子的收集率，從而起到很好的表鈍化和體鈍化的效果，提高了短路電流和開路電壓，最終達(dá)到提高太陽能電池的光電轉(zhuǎn)化效率的效果。本實(shí)用新型實(shí)施例中的第一薄膜201位于靠近電池本體200的一側(cè)，與電池本體200的正面接觸，其介質(zhì)材料為二氧化硅、折射率為2.5、厚度為IOnm ;第三薄膜203位于遠(yuǎn)離電池本體200的一側(cè)，即位于太陽能電池的最外側(cè)，其介質(zhì)材料為氮化硅、折射率為
2.05、厚度為50nm ;第二薄膜202位于第一薄膜201與第三薄膜203之間，其介質(zhì)材料為氮化硅、折射率為2.1、厚度為30nm。需要指出的是，由于電池本體200的表面在切割的過程中，會(huì)造成損傷，形成較多的懸掛鍵，同時(shí)電池本體200的表面存在的一些雜質(zhì)會(huì)產(chǎn)生不飽和的共價(jià)鍵，另外，電池本體200內(nèi)部本身存在的一些內(nèi)部位錯(cuò)、晶格缺陷或其它雜質(zhì)都會(huì)產(chǎn)生不飽和的共價(jià)鍵，這些懸掛鍵和共價(jià)鍵作為復(fù)合中心非常容易復(fù)合電流，引起短路電流的減小，影響太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率，所以需要對(duì)電池本體200進(jìn)行表鈍化和體鈍化，以結(jié)合上述的懸掛鍵和共價(jià)鍵，增加短路電流，提高太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率。本實(shí)用新型實(shí)施例通過使鈍化效果好的二氧化硅薄膜(即第一薄膜201)與電池本體200距離最近，從而二氧化硅薄膜中的鈍化基能夠最大限度的到達(dá)電池本體200的表面和內(nèi)部，將電池本體200所含有的懸掛鍵和不飽和共價(jià)鍵結(jié)合，很好地發(fā)揮其鈍化功能。本實(shí)用新型實(shí)施例還可以選用其它鈍化效果好的介質(zhì)材料作為第一薄膜，例如:氧化鋁、氮化硅等，并且，鈍化效果好的介質(zhì)材料所構(gòu)成的薄膜并不僅限于減反射膜相對(duì)于電池本體200的第一層薄膜，只要滿足靠近電池本體200的薄膜的鈍化能力大于遠(yuǎn)離電池本體200的薄膜的鈍化能力的條件，該鈍化效果好的介質(zhì)材料所構(gòu)成的薄膜可以位于其它位置。在本實(shí)用新型的其它實(shí)施例中，若減反射膜的層數(shù)大于3，令靠近電池本體表面的薄膜為第一薄膜，遠(yuǎn)離電池本體表面的薄膜為第三薄膜，位于第一薄膜和第三薄膜之間的為第二薄膜，優(yōu)選的可以使第一薄膜中含有的鈍化基的量大于第二薄膜中含有的鈍化基的量，第二減薄膜中含有的鈍化基的量大于第三薄膜中含有的鈍化基的量，以使更多的鈍化基進(jìn)入到太陽能電池的表面和內(nèi)部，發(fā)揮表鈍化和體鈍化的功能。需要說明的是，本實(shí)用新型實(shí)施例采用減反射效果好的氮化硅薄膜作為第三薄膜203，使其位于太陽能電池的最外側(cè)，這是由于氮化硅薄膜的折射率接近2，相對(duì)于其它介質(zhì)材料最接近太陽能電池所需的最佳折射率1.96，具有最好的減反射的效果，從而能夠增加光的吸收，提高太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率，并且，氮化硅薄膜質(zhì)硬耐磨、疏水性好、針孔密度低，氣體和水汽極難穿透，能夠很好的保護(hù)太陽能電池。本實(shí)施例僅以氮化硅薄膜作為第三薄膜為例進(jìn)行說明，在本實(shí)用新型的其它實(shí)施例中，還可以采用其它減反射效果好的介質(zhì)材料形成第三薄膜，并且，減反射效果好的介質(zhì)材料所構(gòu)成的薄膜并不僅限于減反射膜相對(duì)于電池本體200的最外層薄膜，只要滿足遠(yuǎn)離電池本體200的薄膜的減反射能力大于靠近電池本體200的薄膜的減反射能力的條件，該減反射效果好的介質(zhì)材料所構(gòu)成的薄膜可以位于其它位置。需要指出的是，本實(shí)施例所提供的太陽能電池的減反射膜的三層薄膜的折射率隨薄膜與電池本體的距離的增大而減小，這樣的設(shè)計(jì)使光反射進(jìn)入薄膜時(shí)，是從光密介質(zhì)進(jìn)入光疏介質(zhì)，增加了發(fā)生全反射的概率，使更多的光留在薄膜內(nèi)，也即增加了太陽能電池對(duì)光的吸收，從而可以提高其光電轉(zhuǎn)換效率。這里需要強(qiáng)調(diào)減反射膜的折射率主要受介質(zhì)材料的影響，不同的介質(zhì)材料其自身的物理屬性決定了折射率的不同；除此之外，形成減反射膜時(shí)的沉積速率也是影響薄膜折射率的一個(gè)重要因素，這是由于沉積速率的快慢會(huì)影響形成的薄膜的致密性，即使介質(zhì)材料相同，所形成的薄膜的折射率也會(huì)不同，而影響沉積速率的因素主要有鍍膜場(chǎng)的溫度、電場(chǎng)強(qiáng)度、氣體壓力等。在本實(shí)用新型的其它實(shí)施例中，若減反射膜的層數(shù)大于3，令靠近電池本體表面的薄膜為第一薄膜，遠(yuǎn)離電池本體表面的薄膜為第三薄膜，位于第一薄膜和第三薄膜之間的為第二薄膜，優(yōu)選的可以按照第一薄膜的折射率大于所述第二薄膜的折射率，第二薄膜的折射率大于第三薄膜的折射率的規(guī)律進(jìn)行設(shè)計(jì)，以增加太陽能電池對(duì)光的吸收。需要說明的是，本實(shí)施例所提供的太陽能電池的減反射膜的三層薄膜的厚度隨薄膜與電池本體的距離的增大而增大，這樣的設(shè)計(jì)原因主要有:由于薄膜內(nèi)的鈍化基需要穿透薄膜到達(dá)太陽能電池的表面和內(nèi)部，在設(shè)計(jì)時(shí)減反射膜時(shí)如果使靠近太陽能電池表面的薄膜的厚度薄一些，就會(huì)有更多的鈍化基到達(dá)太陽能電池的表面和內(nèi)部，發(fā)揮表鈍化和體鈍化的功能；并且，由于太陽能電池最外側(cè)的薄膜首先與光接觸，且直接與外界環(huán)境接觸，這就要求靠近外側(cè)的薄膜有較厚的厚度，以增加光的吸收，同時(shí)抵擋外界環(huán)境中的不利影響。需要強(qiáng)調(diào)的是，本實(shí)用新型僅以減反射膜的各層薄膜的厚度隨薄膜與電池本體的距離的增大而增大的設(shè)計(jì)進(jìn)行說明，但是本實(shí)用新型中減反射膜的各層薄膜的厚度的變化并不限定于以上設(shè)計(jì)，在本實(shí)用新型的其它實(shí)施例中，只要滿足靠近太陽能電池表面的薄膜的折射率最小的條件下，靠近太陽能電池表面的薄膜的厚度也可以較靠近太陽能電池外側(cè)的薄膜的厚度厚，或者減反射膜的各層薄膜中也可以有兩層或兩層以上的薄膜的厚度相同。并且，本實(shí)施例通過對(duì)鍍膜時(shí)間、鍍膜場(chǎng)的電場(chǎng)強(qiáng)度、溫度等參數(shù)的有效控制，使不同的薄膜具有不同的厚度。在本實(shí)用新型的其它實(shí)施例中，若減反射膜的層數(shù)大于3，優(yōu)選的可以按照厚度隨薄膜與電池本體的距離的增大而增大的規(guī)律進(jìn)行設(shè)計(jì)，以增加太陽能電池對(duì)光的吸收，并增加太陽能電池抵擋外界環(huán)境中不利影響的能力。另外，需要強(qiáng)調(diào)的是，本實(shí)用新型實(shí)施例根據(jù)不同介質(zhì)材料的不同屬性，和不同位置薄膜所需要起到的主要作用，來總體調(diào)配每層薄膜所需的介質(zhì)材料的種類和用量，使每層薄膜中的介質(zhì)材料能最大限度發(fā)揮自身應(yīng)起的作用，并使每種介質(zhì)材料的用量達(dá)到最佳配比，不產(chǎn)生多余的用量，因此本實(shí)用新型制備減反射膜所用介質(zhì)材料的總體用量較現(xiàn)有技術(shù)減少，從而能夠達(dá)到降低生產(chǎn)成本的目的。下面結(jié)合具體的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)對(duì)上述有益效果進(jìn)行說明。表I為本實(shí)用新型工藝與常規(guī)工藝所消耗的氨氣的量的對(duì)比結(jié)果，表2為本實(shí)用新型工藝與常規(guī)工藝所消耗的硅烷的量的對(duì)比結(jié)果。表I
權(quán)利要求1.一種太陽能電池，其特征在于，包括: 電池本體； 覆蓋在所述電池本體表面上的減反射膜，所述減反射膜至少包括三層薄膜，靠近所述電池本體表面的薄膜為第一薄膜，遠(yuǎn)離所述電池本體表面的薄膜為第三薄膜，位于第一薄膜和第三薄膜之間的為第二薄膜，其中，第三薄膜的減反射能力大于第一薄膜和第二薄膜的減反射能力，第一薄膜的鈍化能力大于第二薄膜和第三薄膜的鈍化能力。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池，其特征在于，所述第一薄膜的折射率大于所述第二薄膜的折射率，所述第二薄膜的折射率大于所述第三薄膜的折射率。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池，其特征在于，所述減反射膜的每層薄膜的厚度隨薄膜與電池本體的距離的增大而增大。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池，其特征在于，所述減反射膜的整體厚度為75nm 95nm,包括端點(diǎn)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池，其特征在于，所述減反射膜中含有的介質(zhì)為氮化硅、氧化硅、氧化鋁、二氧化鈦中的任意一種。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池，其特征在于，所述減反射膜的每層薄膜的介質(zhì)材料不同或相同。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池，其特征在于，所述第三薄膜的絕緣能力大于所述第一薄膜和所述第二薄膜的絕緣能力。
8.一種減反射膜，其特征在于，該減反射膜至少包括三層薄膜，遠(yuǎn)離光入射一側(cè)的薄膜為第一薄膜，靠近光入射一側(cè)的薄膜為第三薄膜，位于第一薄膜和第三薄膜之間的為第二薄膜，其中，第三薄膜的減反射能力大于第一薄膜和第二薄膜的減反射能力，第一薄膜的鈍化能力大于第二薄膜和第三薄膜的鈍化能力。
專利摘要本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種太陽能電池，包括電池本體及減反射膜，所述減反射膜至少包括三層薄膜，靠近所述電池本體表面的薄膜為第一薄膜，遠(yuǎn)離所述電池本體表面的薄膜為第三薄膜，位于第一薄膜和第三薄膜之間的為第二薄膜，其中，第三薄膜的減反射能力大于第一薄膜和第二薄膜的減反射能力，第一薄膜的鈍化能力大于第二薄膜和第三薄膜的鈍化能力。本實(shí)用新型所提供的太陽能電池的減反射膜能夠最大限度的發(fā)揮鈍化和減反射的作用，提高了減反射膜的性能，最終達(dá)到了提高太陽能電池光電轉(zhuǎn)換效率的目的。
文檔編號(hào)H01L31/0216GK202977429SQ20122056315
公開日2013年6月5日 申請(qǐng)日期2012年10月30日 優(yōu)先權(quán)日2012年10月30日
發(fā)明者彭麗霞, 王家道, 吳衛(wèi)平, 付志強(qiáng), 朱志文 申請(qǐng)人:海南英利新能源有限公司