專利名稱：一種石英舟的制作方法
技術領域：
本技術屬于晶硅太陽電池工裝領域，具體的涉及一種石英舟。
背景技術：
石英舟是晶硅太陽電池擴散工序中用于承載硅片，將硅片置于擴散爐中反應的載具，具有耐高溫和化學穩(wěn)定性。目前，在晶硅太陽電池擴散工序中，如圖1所示，擴散用的石英舟是由石英舟架I和固定在石英舟架I上的四根石英橫桿2組成，其中，平行的且間距較寬的兩根石英橫桿2在石英舟上部，剩下兩根間距較窄的石英橫桿2位于石英舟的底部,每根石英橫桿2上設有垂直于該石英橫桿的插槽3,該插槽3的數(shù)目、寬度相同且 對應，將娃片固定于石英橫桿2的卡槽內，并垂直于石英橫桿2，且硅片上半部分位于石英舟的上方。綜上所述，現(xiàn)有的擴散用石英舟的橫桿是固定的，而目前主流硅片尺寸有5英寸、6英寸，不同尺寸的硅片需要更換不同型號的石英舟來存放，頻繁更換不同型號的石英舟會加大生產成本,也增加了工人的工作量。
發(fā)明內容本實用新型實施例所要解決的技術問題在于，提供一種石英舟?？蛇m應不同規(guī)格的硅片承載任務，而且結構簡單，易于操作。為了解決上述技術問題，本實用新型實施例提供了一種石英舟，包括舟架、設于所述舟架下部的下橫桿和設于所述舟架上部的上橫桿，所述上橫桿兩端設有滑塊，所述舟架上設有滑槽，所述滑塊設于所述滑槽內并可在所述滑槽內按預先設定的行程滑動；所述下橫桿和所述上橫桿上設有插槽。作為上述方案的改進，所述滑槽為豎直對稱設置在所述舟架上的豎滑槽，而且靠近所述舟架中心的所述豎滑槽深度比遠離所述舟架中心的所述豎滑槽的深度大。作為上述方案的改進，所述豎滑槽頂部設有開口，所述滑塊可從所述開口離開或進入所述豎滑槽。作為上述方案的改進，所述滑槽為所述舟架上對稱設置的呈“V”字型擺放的四個
斜滑槽。作為上述方案的改進，所述斜滑槽的兩端設有從所述舟架的頂部穿入的舟架止動孔，所述滑塊豎直設有與所述舟架止動孔大小相同的滑塊止動孔，當所述滑塊滑動至所述斜滑槽兩端時，所述舟架止動孔和所述滑塊止動孔重合。作為上述方案的改進，所述石英舟還包括與所述舟架止動孔和所述滑塊止動孔大小相適應的插銷，所述插銷的長度大于所述舟架止動孔和所述滑塊止動孔深度之和。作為上述方案的改進，所述舟架底部設有支撐腳。作為上述方案的改進，所述石英舟架外側面設有把手，所述把手為兩根垂直于所述石英舟架外側面的石英圓柱。[0014]實施本實用新型實施例，具有如下有益效果:所述上橫桿可以按照預先設定的行程滑動，并固定在特定的位置上，方便在不更換石英舟的情況下承載不同規(guī)格硅片。所述上橫桿通過在所述滑槽滑動的方式調節(jié)上橫桿之間和下橫桿之間的位置，操作簡單，加快了工人的生產效率。

圖1是現(xiàn)有的一種擴散用石英舟的結構示意圖；圖2是本實用新型一種擴散用石英舟的結構示意圖；圖3是本實用新型一種擴散用石英舟一種實施例的結構示意圖；圖4是本實用新型一種擴散用石英舟又一實施例的結構示意圖。
具體實施方式
為使本實用新型的目的、技術方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結合附圖對本實用新型作進一步地詳細描述。如圖2至圖4所示，一種石英舟，包括舟架1、設于所述舟架I下部的下橫桿5和設于所述舟架I上部的上橫桿4，所述上橫桿4兩端設有滑塊6，所述舟架I上設有滑槽，所述滑塊6設于所述滑槽內并可在所述滑槽內按預先設定的行程滑動；所述下橫桿5和所述上橫桿4上設有插槽3。需要說明的是，根據本實用新型實施例，所述下橫桿5可以是一根，也可以是兩根或者多根。所述插槽3依照所述下橫桿5的數(shù)目適當改變所述插槽3的設置方向，如當所述下橫桿5的數(shù)目為兩根或多根時，所述上橫桿4上的所述插槽3為豎直設置，所述下橫桿5上的所述插槽3為水平并垂直于所述下橫桿5設置；當所述下橫桿5的數(shù)目為一根時，所述上橫桿4的所述插槽3對稱向外傾斜45°設置，所述下橫桿5上的所述插槽3為在所述下橫桿5上表面呈“V”型設置，以滿足所述硅片的固定需求。根據本實用新型的一種實施例，結合圖2和圖3，優(yōu)選地，所述滑槽為豎直對稱設置在所述舟架I上的豎滑槽7，而且靠近所述舟架I中心的所述豎滑槽7深度比遠離所述舟架I中心的所述豎滑槽7的深度大。優(yōu)選地，所述豎滑槽7頂部設有開口，所述滑塊6可從所述開口離開或進入所述豎滑槽7。需要說明的是，本實施例的具體原理是:當需要承載不同規(guī)格的硅片時，所述上橫桿4通過所述滑塊6從所述豎滑槽7中水平向上移出，然后按照需要承載的硅片的規(guī)格選擇不同的豎滑槽7，將所述上橫桿4通過所述滑塊6從所述豎滑槽7頂部的所述開口卡進所述舟架1，并且由于重力作用固定于所述豎滑槽7底部。如初始時承載的是5英寸硅片，則所述上橫桿4的所述滑塊6置于靠內的兩個豎滑槽7中；當需要變換為承載6英寸硅片時，則將所述上橫桿4從所述豎滑槽7向上水平取出，然后卡進靠外的兩個豎滑槽7中，此時所述上橫桿4之間的距離會增大，所述上橫桿4與所述下橫桿5的垂直距離也會增大，適應了 6英寸硅片尺寸增大的要求，而且操作簡便，結構穩(wěn)定。反之亦然。[0028]根據本實用新型又一實施例，結合圖2和圖4，優(yōu)選地，所述滑槽為所述舟架I上對稱設置的呈“V”字型擺放的四個斜滑槽10。優(yōu)選地，所述斜滑槽10的兩端設有從所述舟架I的頂部穿入的舟架止動孔11，所述滑塊6豎直設有與所述舟架止動孔11大小相同的滑塊止動孔(圖中未畫出)，當所述滑塊6滑動至所述斜滑槽10兩端時，所述舟架止動孔11和所述滑塊止動孔重合。優(yōu)選地，所述石英舟還包括與所述舟架止動孔11和所述滑塊止動孔大小相適應的插銷12，所述插銷12的長度大于所述舟架止動孔11和所述滑塊止動孔深度之和。需要說明的是，本實施例通過所述滑塊6在所述斜滑槽10內滑動，再從所述舟架止動孔11和所述滑塊止動孔中插入插銷12固定的方法改變所述上橫桿4的水平距離和垂直距離。具體來說，如初始時承載的是6英寸硅片，所述滑塊6應置于所述斜滑槽10的頂端，并由所述插銷12固定；當需要改為承載5英寸硅片時，先將所述插銷12拔出，使所述滑塊6能在所述斜滑槽10內自由滑動。將所述滑塊6滑至所述斜滑槽10的底部，插入所述插銷12固定，整個變換操作即完成。此時所述上橫桿4的水平距離減少，與所述下橫桿5的垂直距離也相應減少，滿足了 5英寸硅片相對6英寸硅片的四邊尺寸減小的要求，而且操作簡便，結構牢固可靠。優(yōu)選地，所述舟架I底部設有支撐腳8。需要說明的是，所述支撐腳8增大了所述石英舟相對所述底面的投影面積，增強了所述石英舟的穩(wěn)定性，同時節(jié)省材料。優(yōu)選地，所述石英舟架I外側面設有把手9，所述把手9為兩根垂直于所述石英舟架I外側面的石英圓柱。需要說明的是，所述把手9作為操作人員移動所述石英舟時的抓取部位，也可以作為進入擴散爐后的舟體支撐定位之用。以上所揭露的僅為本實用新型一種較佳實施例而已，當然不能以此來限定本實用新型之權利范圍，因此依本實用新型權利要求所作的等同變化，仍屬本實用新型所涵蓋的范圍。
權利要求1.一種石英舟，其特征在于，包括舟架、設于所述舟架下部的下橫桿和設于所述舟架上部的上橫桿，所述上橫桿兩端設有滑塊，所述舟架上設有滑槽，所述滑塊設于所述滑槽內并可在所述滑槽內按預先設定的行程滑動；所述下橫桿和所述上橫桿上設有插槽。
2.如權利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述滑槽為豎直對稱設置在所述舟架上的豎滑槽，而且靠近所述舟架中心的所述豎滑槽深度比遠離所述舟架中心的所述豎滑槽的深度大。
3.如權利要求2所述的石英舟，其特征在于，所述豎滑槽頂部設有開口，所述滑塊可從所述開口離開或進入所述豎滑槽。
4.如權利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述滑槽為所述舟架上對稱設置的呈“V”字型擺放的四個斜滑槽。
5.如權利要求4所述的石英舟，其特征在于，所述斜滑槽的兩端設有從所述舟架的頂部穿入的舟架止動孔，所述滑塊豎直設有與所述舟架止動孔大小相同的滑塊止動孔，當所述滑塊滑動至所述斜滑槽兩端時，所述舟架止動孔和所述滑塊止動孔重合。
6.如權利要求5所述的石英舟，其特征在于，所述石英舟還包括與所述舟架止動孔和所述滑塊止動孔大小相適應的插銷，所述插銷的長度大于所述舟架止動孔和所述滑塊止動孔深度之和。
7.如權利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述舟架底部設有支撐腳。
8.如權利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述石英舟架外側面設有把手，所述把手為兩根垂直于所述石英舟架外側面的石英圓柱。
專利摘要本實用新型公開了一種石英舟，包括舟架、設于所述舟架下部的下橫桿和設于所述舟架上部的上橫桿，所述上橫桿兩端設有滑塊，所述舟架上設有滑槽，所述滑塊設于所述滑槽內并可在所述滑槽內按預先設定的行程滑動；所述下橫桿和所述上橫桿上設有插槽。所述上橫桿可以按照預先設定的行程滑動，并固定在特定的位置上，方便在不更換石英舟的情況下承載不同規(guī)格硅片。
文檔編號H01L21/673GK202940219SQ201220566320
公開日2013年5月15日 申請日期2012年10月31日 優(yōu)先權日2012年10月31日
發(fā)明者胡海平, 班群, 方結彬, 何達能, 陳剛 申請人:廣東愛康太陽能科技有限公司