專利名稱：一種擴(kuò)張翻轉(zhuǎn)一體化設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體行業(yè)芯片生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及新型擴(kuò)張翻轉(zhuǎn)一體化設(shè)備。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體芯片尺寸小，排列密集，生產(chǎn)過(guò)程中為了測(cè)試、分選通常需要將晶圓進(jìn)行擴(kuò)張；同時(shí)由于主流切割工藝是切割晶圓的背面，而測(cè)試時(shí)又要求晶圓正面向上，所以需要將擴(kuò)張后的晶圓進(jìn)行翻轉(zhuǎn)。現(xiàn)在的普通生產(chǎn)流程是先將晶圓進(jìn)行擴(kuò)張、套上子母環(huán)、切下多余白膜，然后粘在藍(lán)膜上一起上翻轉(zhuǎn)機(jī)、取下后撕掉白膜?，F(xiàn)在的操作方式存在幾個(gè)主要的缺點(diǎn):首先，套子母環(huán)的過(guò)程中容易造成擴(kuò)張不均勻，即芯片排列不齊。其次，生產(chǎn)步驟多，操作時(shí)間長(zhǎng)，增加子母環(huán)的損耗。再次，需要采用擴(kuò)張機(jī)和翻轉(zhuǎn)機(jī)兩種設(shè)備，在成本上較高。所以該種生產(chǎn)方式有一定的局限性，不利于簡(jiǎn)化生產(chǎn)步驟、降低生產(chǎn)時(shí)間、提高產(chǎn)品良率，這是現(xiàn)在技術(shù)存在的主要問(wèn)題。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型為克服上述現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷，提供了一種擴(kuò)張翻轉(zhuǎn)一體化設(shè)備，能簡(jiǎn)化生產(chǎn)步驟和時(shí)間。本實(shí)用新型的技術(shù)方案是:一種擴(kuò)張翻轉(zhuǎn)一體化設(shè)備，包括操作臺(tái)、支撐架、上氣缸、上托盤(pán)、下托盤(pán)、金屬環(huán)支架、切膜刀和鎖扣；所述支撐架固定在操作臺(tái)上方；所述上氣缸固定在支撐架上；所述上托盤(pán)安裝在上氣缸下部，可由上氣缸帶動(dòng)上下運(yùn)動(dòng)；所述下托盤(pán)安裝在操作臺(tái)上，位置與上托盤(pán)相對(duì)應(yīng)，并可上下運(yùn)動(dòng)；所述金屬環(huán)支架設(shè)置在操作臺(tái)上，環(huán)繞在下托盤(pán)周?chē)⒖缮舷逻\(yùn)動(dòng)，通過(guò)所述鎖扣與操作臺(tái)鎖緊固定；金屬環(huán)支架帶有滑道；所述切膜刀設(shè)有與金屬環(huán)支架的滑道相匹配的滑道，與金屬環(huán)支架通過(guò)滑道相連接；切膜刀設(shè)有刀片，所述刀片可在金屬環(huán)支架的半徑方向上擺動(dòng)。一種優(yōu)選方案為所述切膜刀設(shè)有馬達(dá)，由馬達(dá)推動(dòng)切膜刀繞金屬環(huán)支架做圓周運(yùn)動(dòng)。本實(shí)用新型可實(shí)現(xiàn)擴(kuò)張和反轉(zhuǎn)晶圓的功能，具體操作方法為:抬起金屬環(huán)支架，將需要進(jìn)行擴(kuò)張的帶有晶圓的白膜放置在下托盤(pán)上，擺正后壓下金屬環(huán)支架，鎖住鎖扣，壓住白膜；啟動(dòng)設(shè)備，下托盤(pán)開(kāi)始上升，達(dá)到預(yù)設(shè)高度后，下托盤(pán)自動(dòng)停止；[0021]將粘好鐵環(huán)的藍(lán)膜放到白膜上方，再次啟動(dòng)設(shè)備，此時(shí)上氣缸帶動(dòng)上托盤(pán)開(kāi)始下降，以預(yù)設(shè)的壓力值壓在下托盤(pán)上；切膜刀的刀片擺向白膜處，切膜刀由手動(dòng)或在馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)下繞金屬環(huán)支架運(yùn)動(dòng)一周，將白I吳切開(kāi)；當(dāng)上托盤(pán)壓膜的預(yù)設(shè)時(shí)間達(dá)到后，上托盤(pán)升起，取出鐵環(huán)，此時(shí)白膜貼附在藍(lán)膜上，撕掉白膜即可。本實(shí)用新型大大地簡(jiǎn)化了生產(chǎn)步驟，提高生產(chǎn)效率，同時(shí)避免了常規(guī)擴(kuò)張步驟中套子母環(huán)的操作，將大幅提升良率，降低耗材的使用量；一套設(shè)備實(shí)現(xiàn)了原有兩套設(shè)備的功能，大大降低設(shè)備成本。

圖1為本實(shí)用新型正面的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型側(cè)面的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為金屬環(huán)支架示意圖；圖4為切膜刀與金屬環(huán)支架連接示意圖；其中:1_上氣缸；2_上托盤(pán)；3_下托盤(pán)；4_金屬環(huán)支架；5_白膜鐵環(huán)；6_藍(lán)膜；7-支撐架；8_切膜刀；9-鎖扣；10_白膜；11_操作臺(tái)；12_刀片。
具體實(shí)施方式
實(shí)施例1如圖1、2所示，一種擴(kuò)張翻轉(zhuǎn)一體化設(shè)備，包括操作臺(tái)、支撐架、上氣缸、上托盤(pán)、下托盤(pán)、金屬環(huán)支架、切膜刀和鎖扣。支撐架固定在操作臺(tái)上方，跨接在操作臺(tái)的兩側(cè)；上氣缸固定在支撐架上，位于操作臺(tái)中間上方位置；上托盤(pán)安裝在上氣缸下部，可由上氣缸帶動(dòng)上下運(yùn)動(dòng)；下托盤(pán)安裝在操作臺(tái)上，位置與上托盤(pán)相對(duì)應(yīng)，并可上下運(yùn)動(dòng)；金屬環(huán)支架設(shè)置在操作臺(tái)上，環(huán)繞在下托盤(pán)周?chē)?，并可上下運(yùn)動(dòng)，通過(guò)所述鎖扣與操作臺(tái)鎖緊固定；金屬環(huán)支架帶有滑道，該滑道與金屬環(huán)支架同樣繞下托盤(pán)一周；如圖4所示，切膜刀設(shè)有與金屬環(huán)支架的滑道相匹配的滑道，與金屬環(huán)支架通過(guò)滑道相連接，可繞下托盤(pán)旋轉(zhuǎn)一周；切膜刀設(shè)有刀片，該刀片可在金屬環(huán)支架的半徑方向上擺動(dòng)，當(dāng)需要切割白膜時(shí)擺向白膜的位置，不需要切割時(shí)擺離白膜的位置。切膜刀設(shè)有馬達(dá)，由馬達(dá)推動(dòng)切膜刀繞金屬環(huán)支架做圓周運(yùn)動(dòng)。該實(shí)施例中擴(kuò)張翻轉(zhuǎn)一體化設(shè)備的使用過(guò)程為:抬起金屬環(huán)支架，將需要進(jìn)行擴(kuò)張的帶有晶圓的白膜放置在下托盤(pán)上，擺正后壓下金屬環(huán)支架，鎖住鎖扣，壓住白膜；啟動(dòng)設(shè)備，下托盤(pán)開(kāi)始上升，達(dá)到預(yù)設(shè)高度后，下托盤(pán)自動(dòng)停止；將粘好鐵環(huán)的藍(lán)膜放到白膜上方，再次啟動(dòng)設(shè)備，此時(shí)上氣缸帶動(dòng)上托盤(pán)開(kāi)始下降，以預(yù)設(shè)的壓力值壓在下托盤(pán)上；切膜刀的刀片擺向白膜處，切膜刀由馬達(dá)驅(qū)動(dòng)繞金屬環(huán)支架運(yùn)動(dòng)一周，將白膜切開(kāi)；當(dāng)上托盤(pán)壓膜的預(yù)設(shè)時(shí)間達(dá)到后，上托盤(pán)升起，取出鐵環(huán)，此時(shí)白膜貼附在藍(lán)膜上，撕掉白膜即可。實(shí)施例2該實(shí)施例的結(jié)構(gòu)與實(shí)施例1基本相同，區(qū)別在于切膜刀未設(shè)有馬達(dá)，由手動(dòng)實(shí)現(xiàn)繞金屬環(huán)支架運(yùn)動(dòng)一周。
權(quán)利要求1.一種擴(kuò)張翻轉(zhuǎn)一體化設(shè)備，其特征在于:包括操作臺(tái)、支撐架、上氣缸、上托盤(pán)、下托盤(pán)、金屬環(huán)支架、切膜刀和鎖扣； 所述支撐架固定在操作臺(tái)上方； 所述上氣缸固定在支撐架上； 所述上托盤(pán)安裝在上氣缸下部，可由上氣缸帶動(dòng)上下運(yùn)動(dòng)； 所述下托盤(pán)安裝在操作臺(tái)上，位置與上托盤(pán)相對(duì)應(yīng)，并可上下運(yùn)動(dòng)； 所述金屬環(huán)支架設(shè)置在操作臺(tái)上，環(huán)繞在下托盤(pán)周?chē)?，并可上下運(yùn)動(dòng)，通過(guò)所述鎖扣與操作臺(tái)鎖緊固定；金屬環(huán)支架帶有滑道； 所述切膜刀設(shè)有與金屬環(huán)支架的滑道相匹配的滑道，與金屬環(huán)支架通過(guò)滑道相連接；切膜刀設(shè)有刀片，所述刀片可在金屬環(huán)支架的半徑方向上擺動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴(kuò)張翻轉(zhuǎn)一體化設(shè)備，其特征在于:所述切膜刀設(shè)有馬達(dá)。
專利摘要一種擴(kuò)張翻轉(zhuǎn)一體化設(shè)備，涉及半導(dǎo)體行業(yè)晶圓擴(kuò)張、翻轉(zhuǎn)技術(shù)領(lǐng)域。該設(shè)備包括操作臺(tái)、支撐架、上氣缸、上托盤(pán)、下托盤(pán)、金屬環(huán)支架、切膜刀和鎖扣。本實(shí)用新型既可以實(shí)現(xiàn)常規(guī)的擴(kuò)張步驟，也可以實(shí)現(xiàn)翻轉(zhuǎn)步驟，達(dá)到投資費(fèi)用低，操作步驟少，降低耗材的消耗，提高生產(chǎn)效率等目的。
文檔編號(hào)H01L21/67GK203026488SQ201220602338
公開(kāi)日2013年6月26日 申請(qǐng)日期2012年11月15日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月15日
發(fā)明者肖志國(guó), 任永碩, 唐勇, 郭建華 申請(qǐng)人:大連美明外延片科技有限公司