專利名稱：化學藥液分配裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及半導體制造領域，具體涉及一種化學藥液分配裝置。
背景技術：
在半導體硅片濕法清洗工藝中會用到各種化學藥液，這些化學藥液或呈酸性、堿性或者具有強烈的腐蝕性，又或者粘度較高、易揮發(fā)，某些化學藥液可能因為造價高等問題還要求在使用壽命內循環(huán)使用。若某化學藥液粘度較高并易揮發(fā)而且還可循環(huán)使用，則該化學藥液會因為粘度高在管路中流動困難，難以達到工藝所需的壓力和流量；因為易揮發(fā)會影響其組分的配比且會增加其粘度，而且因為可以循環(huán)使用，所以在工藝過后需流回化學藥液存儲裝置，這更加劇了該化學藥液的揮發(fā)，從而進一步增加其粘度，嚴重影響了工藝效果。目前，相關的半導體工藝設備解決上述問題是采用如圖1中所示的裝置。由于該化學藥液可循環(huán)利用，在進入工藝腔室完成工藝后還需進行回收，因此需要一個專門的儲存容器1，儲存容器I可以存儲一定量的化學藥液，既可以完成工藝開始前的準備工作，工藝完成后還可以繼續(xù)存儲回收的化學藥液。工藝開始時，首先打開第四氣動閥6向儲存容器中注入一定量的化學藥液，關閉第四氣動閥6 ;第一氣動閥3打開,化學藥液在循環(huán)泵2的作用進入工藝管路，由于該化學藥液粘度較高，該裝置在工藝管路上安裝了在線加熱器10，在滿足工藝需求的情況下將化學藥液加熱到某一溫度，溫度升高以后，化學藥液的粘度降低，可以更好的在工藝管路中流動，達到工藝所需的流量和壓力，之后經由氣動三通閥8以及第三氣動閥5進入儲液容器I。另外，該化學藥液易揮發(fā)，工藝單元9完成工藝后還需將化學藥液經由第二氣動閥4回收，這更加劇了化學藥液的揮發(fā)，該裝置采用的方法是，通過定時控制第五氣動閥7的開合，向儲存容器I中注入一定量的純水，對化學藥液進行稀釋。由于既需要控制在線加熱器10的加熱溫度，同時又需要控制純水的注入，操作不便；同時，由于第五氣動閥7以及在線加熱器10的設置，使得該裝置結構復雜。

實用新型內容(一)要解決的技術問題本實用新型的目的在于提供一種結構簡單，操作方便，控制點少的化學藥液分配
>J-U裝直。(二)技術方案本實用新型技術方案如下:一種化學藥液分配裝置，包括:儲存容器，其內部儲存化學藥液，其頂部設置有注液入口和回液入口，其底部設置有與循環(huán)泵的輸入端連接的出液口；采樣閥，其為三通閥，其輸入端連接循環(huán)泵的輸出端，采樣端連接熱水注入通道，輸出端連接氣動三通閥的輸入端；氣動三通閥，其第一輸出端連接儲存容器的回液入口，第二輸出端連接工藝單元的輸入端，所述工藝單元的輸出端連接所述儲存容器的回液入口。優(yōu)選的，所述工藝單元為多個，所述氣動三通閥與所述工藝單元的數(shù)量相同，各個氣動三通閥的第二輸出端分別與對應的工藝單元的輸入端連接，每個工藝單元的輸出端分別與所述儲存容器的回液入口連接。優(yōu)選的，所述熱水注入通道上設置有流量控制元件。優(yōu)選的，所述儲存容器上設置有液位傳感器。優(yōu)選的，所述循環(huán)泵為磁力泵。(三)有益效果本實用新型的一種化學藥液分配裝置通過在工藝管路上設置熱水注入通道，代替了現(xiàn)有技術中的在線加熱機構以及純水注入機構，將加熱與純水注入合二為一，簡化了化學藥液分配裝置的結構，方便了操作，同時減少了控制點。

圖1是現(xiàn)有技術中化學藥液分配裝置的示意圖；圖2是本實用新型的一種化學藥液分配裝置的示意圖。圖中，1:儲存容器；2:循環(huán)泵；3:第一氣動閥；4:第二氣動閥；5:第三氣動閥；6:第四氣動閥；7:第五氣動閥；8:氣動三通閥；9:工藝單元；10:在線加熱器；11:熱水注入通道；12:采樣閥。
具體實施方式
以下結合附圖和實施例，對實用新型的具體實施方式
做進一步描述。以下實施例僅用于說明本實用新型，但不用來限制本實用新型的范圍。本實用新型與圖1中所示的現(xiàn)有技術的不同之處主要在于不再向儲存容器I中定時補水，同時去掉在線加熱器10，采用向工藝管路中注入一定量特定溫度熱水的方法來達到降低化學藥液粘度的目的，同時也改善了其易揮發(fā)的不足。具體實施過程如下所述:如圖2所示的一種化學藥液分配裝置，包括儲存容器1，其內部儲存化學藥液，其頂部設置有注液入口和回液入口，注液入口用于通過第四氣動閥6注入化學藥液，回液入口用于供化學藥液回流；儲存容器I上設置有液位傳感器，便于從外部觀察注入化學藥液的總量；儲存容器I的輸出端與循環(huán)泵2的輸入端連接，用于驅動化學藥液的循環(huán)流動；循環(huán)泵2為磁力泵，磁力泵具有使用壽命長且無需保養(yǎng)等特點；采樣閥12為三通閥，循環(huán)泵2的輸出端與采樣閥12的輸入端連接；采樣閥12的采樣端與熱水注入通道11連接，用于向工藝管路中注入熱水；熱水注入通道11上設置有流量控制元件，用于控制注入的熱水的量；采樣閥12的輸出端與氣動三通閥8的輸入端連接；氣動三通閥8的第一輸出端通過管道與儲存容器I的回液入口連接，管道上設置有第三氣動閥5，當化學藥液總量比較大需要回流時，打開第三氣動閥5使化學藥液回流；第二輸出端與工藝單元9的輸入端連接；工藝單元9的輸出端通過管道與儲存容器I的回液入口連接，管道上設置有第二氣動閥4，在工藝過程中打開第二氣動閥4供工藝完成后的化學藥液的回收。[0025]工藝單元9和氣動三通閥8都是兩個，每個氣動三通閥8的第二輸出端分別與對應的工藝單元9的輸入端連接，每個工藝單元9的輸出端分別與儲存容器I的回液入口連接；兩個工藝單元9可以同時工作，也可以只有其中之一工作。實際操作步驟如下:注入化學藥液:打開第四氣動閥6，向儲存容器I中注入一定量的化學藥液，化學藥液的量可由儲存容器I上安裝的液位傳感器監(jiān)控；待儲存容器I內的化學藥液液位達到預設要求時，關閉第四氣動閥6。工藝前的準備工作:打開第一氣動閥3，啟動磁力泵2，打開第三氣動閥5，化學藥液從儲存容器I流出，依次經過每個工藝單元9上的氣動三通閥8，最后經由第三氣動閥5流回儲存容器I。在此階段，注入的熱水的量及溫度可以精確控制?？刂品绞娇梢允嵌〞r打開采樣閥12的采樣端，讓特定溫度的熱水注入工藝管路，降低化學藥液的粘度；也可以是采用較細的熱水管路，同時在管路中接入針閥等流量控制元件，保持采樣閥12的采樣端一直為打開狀態(tài)，通過流量控制元件控制熱水的注入。工藝過程:關閉第三氣動閥5，同時切換每個氣動三通閥8，兩個工藝單元9可以同時工作，也可以只有其中之一工作，此時，化學藥液會通過工藝單元的回收管路經過第二氣動閥4流回儲存容器I。本實用新型的優(yōu)點:本實用新型的化學藥液分配裝置不需要向儲存容器中定時定量的補水，而直接向工藝管路中注入恒定溫度的熱水，在降低了化學藥液粘度的同時也補充了由于揮發(fā)而失去的水分，同時本方案相比現(xiàn)有技術節(jié)省了在線加熱器，熱水的溫度可以精確控制，簡化了化學藥液分配裝置的結構，方便了操作，同時減少了控制點。以上實施方式僅用于說明本實用新型，而并非對本實用新型的限制，有關技術領域的普通技術人員，在不脫離本實用新型的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變化和變型，因此所有等同的技術方案也屬于本實用新型的保護范疇。
權利要求1.一種化學藥液分配裝置，其特征在于，包括: 儲存容器(I )，其內部儲存化學藥液，其頂部設置有注液入口和回液入口，其底部設置有與循環(huán)泵(2)的輸入端連接的出液口 ； 采樣閥(12)，其為三通閥，其輸入端連接循環(huán)泵(2)的輸出端，采樣端連接熱水注入通道(11)，輸出端連接氣動三通閥(8)的輸入端； 氣動三通閥(8 )，其第一輸出端連接儲存容器(I)的回液入口，第二輸出端連接工藝單元(9)的輸入端，所述工藝單元(9)的輸出端連接所述儲存容器(I)的回液入口。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種化學藥液分配裝置，其特征在于，所述工藝單元(9)為多個，所述氣動三通閥(8)與所述工藝單元(9)的數(shù)量相同，各個氣動三通閥(8)的第二輸出端分別與對應的工藝單元(9)的輸入端連接，每個工藝單元(9)的輸出端分別與所述儲存容器(I)的回液入口連接。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種化學藥液分配裝置，其特征在于，所述熱水注入通道(11)上設置有流量控制元件。
4.根據(jù)權利要求1至3任意一項所述的一種化學藥液分配裝置，其特征在于，所述儲存容器(I)上設置有液位傳感器。
5.根據(jù)權利要求1至3任意一項所述的一種化學藥液分配裝置，其特征在于，所述循環(huán)泵(2)為磁力泵。
專利摘要本實用新型涉及半導體制造領域，具體涉及一種化學藥液分配裝置。該裝置包括儲存容器，其內部儲存化學藥液，其頂部設置有注液入口和回液入口，其底部設置有與循環(huán)泵的輸入端連接的出液口；采樣閥，其為三通閥，其輸入端連接循環(huán)泵的輸出端，采樣端連接熱水注入通道，輸出端連接氣動三通閥的輸入端；氣動三通閥，其第一輸出端連接儲存容器的回液入口，第二輸出端連接工藝單元的輸入端，工藝單元的輸出端連接儲存容器的回液入口。本實用新型的一種化學藥液分配裝置通過在工藝管路上設置熱水注入通道，代替了現(xiàn)有技術中的在線加熱機構以及純水注入機構，將加熱與純水注入合二為一，簡化了化學藥液分配裝置的結構，方便了操作，同時減少了控制點。
文檔編號H01L21/67GK203013686SQ20122060263
公開日2013年6月19日 申請日期2012年11月14日 優(yōu)先權日2012年11月14日
發(fā)明者王營營, 何金群, 初國超, 裴立坤, 賈星杰 申請人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司