專利名稱：用于監(jiān)控晶片加工機(jī)臺(tái)的工序進(jìn)度的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種時(shí)間繼電器，特別是涉及一種用于監(jiān)控晶片加工機(jī)臺(tái)的工序進(jìn)度的裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體集成電路制造過程中，晶片在化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺(tái)中經(jīng)過拋光后，要繼續(xù)經(jīng)過一系列的清洗步驟，除去在拋光過程中，晶片表面所殘留的研磨液，以及微粒等臟污，用以保證晶片后續(xù)加工制造過程中的質(zhì)量，從而完整的完成化學(xué)機(jī)械研磨的工藝?，F(xiàn)有的晶片拋光、清洗均是由自動(dòng)化機(jī)臺(tái)完成，以美國(guó)N0VELLUS公司生產(chǎn)的化學(xué)研磨機(jī)臺(tái)IPEC776為例，該機(jī)臺(tái)在晶片加工過程中，由于軟件發(fā)生故障較多而造成機(jī)臺(tái)程序紊亂，進(jìn)而導(dǎo)致機(jī)臺(tái)無法動(dòng)作，且該機(jī)臺(tái)沒有防呆報(bào)警裝置，在設(shè)計(jì)上存在一定的缺陷，而這種缺陷會(huì)使處于機(jī)臺(tái)研磨頭下及清洗裝置中的晶片長(zhǎng)時(shí)間被研磨液等化學(xué)品腐蝕而導(dǎo)致報(bào)廢；此夕卜，機(jī)臺(tái)若因故障停止生產(chǎn)而不被察覺，更會(huì)導(dǎo)致生產(chǎn)中斷，影響進(jìn)度等嚴(yán)重后果。為解決上述問題，本領(lǐng)域技術(shù)人員提出了一種用于晶片加工機(jī)臺(tái)的防呆計(jì)時(shí)報(bào)警裝置，該裝置包括判斷模和報(bào)警模塊；其中判斷模塊是用于在晶片加工過程中通過所述機(jī)臺(tái)上的信號(hào)輸出端子判斷所述機(jī)臺(tái)是否無動(dòng)作；所述報(bào)警模塊是用于在當(dāng)前判斷出所述機(jī)臺(tái)無動(dòng)作時(shí)發(fā)出報(bào)警。判斷模塊可采用具有判斷計(jì)時(shí)時(shí)間是否大于設(shè)定值功能的計(jì)時(shí)器。該防呆計(jì)時(shí)報(bào)警裝置雖然在一定程度上解決了機(jī)臺(tái)發(fā)生故障而不被察覺的問題，但在對(duì)晶片精度要求日益提高的今天，其遠(yuǎn)遠(yuǎn)無法滿足生產(chǎn)的需求。

實(shí)用新型內(nèi)容鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于監(jiān)控晶片加工機(jī)臺(tái)的工序進(jìn)度的裝置， 用于解決現(xiàn)有技術(shù)中晶片加工進(jìn)度不精確的問題。為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實(shí)用新型提供一種用于監(jiān)控晶片加工機(jī)臺(tái)的工序進(jìn)度的裝置。一種用于監(jiān)控晶片加工機(jī)臺(tái)的工序進(jìn)度的裝置，包括:數(shù)字輸入端口、數(shù)字輸出端口、繼電器模塊、報(bào)警模塊；所述數(shù)字輸入端口用于輸出控制信號(hào)給晶片加工機(jī)臺(tái)；所述數(shù)字輸出端口用于采集晶片加工機(jī)臺(tái)的信號(hào)；所述繼電器模塊與所述數(shù)字輸入端口和數(shù)字輸出端口分別相連，通過輸入所述從晶片加工機(jī)臺(tái)采集到的信號(hào)觸發(fā)控制信號(hào)和報(bào)警信號(hào)，并將控制信號(hào)輸出給數(shù)字輸入端口 ；所述報(bào)警模塊與所述繼電器模塊相連，用以接收所述報(bào)警信號(hào)發(fā)出報(bào)警。優(yōu)選地，所述繼電器模塊包括并聯(lián)的第一繼電器、第二繼電器、第三繼電器；所述第一繼電器的輸入端與所述數(shù)字輸出端口相連，第一繼電器的輸出端接地；所述第二繼電器的輸入端與所述數(shù)字輸出端口相連，第二繼電器的控制端與所述數(shù)字輸入端口相連，第二繼電器的報(bào)警端與所述報(bào)警模塊相連；所述第三繼電器的輸入端與所述數(shù)字輸出端口相連，第三繼電器的控制端與所述數(shù)字輸入端口相連，第三繼電器的報(bào)警端與所述報(bào)警模塊相連。優(yōu)選地，所述數(shù)字輸出端口包括A3管腳、B3管腳、A4管腳、B4管腳、A5管腳、B5管腳；所述數(shù)字輸出端口的A3管腳與晶片加工機(jī)臺(tái)的電源相連，所述數(shù)字輸出端口的B3管腳與所述數(shù)字輸出端口的A3管腳相連；所述數(shù)字輸出端口的A4管腳與所述第二繼電器的第3管腳相連，數(shù)字輸出端口的B4管腳與第二繼電器的第I管腳相連；所述數(shù)字輸出端口的A5管腳與所述第三繼電器的第3管腳相連，數(shù)字輸出端口的B5管腳與第三繼電器的第I管腳相連。優(yōu)選地，所述第一繼電器的一端與所述數(shù)字輸出端口的B3管腳相連，第一繼電器的另一端接地。優(yōu)選地，所述數(shù)字輸入端口包括A5管腳、B5管腳、A7管腳、B7管腳；所述數(shù)字輸入端口的A5管腳與所述第二繼電器的第9管腳相連，數(shù)字輸入端口的B5管腳與第二繼電器的第8管腳相連；所述數(shù)字輸入端口的A7管腳與所述第三繼電器的第9管腳相連，數(shù)字輸入端口的B7管腳與第三繼電器的第8管腳相連。優(yōu)選地，所述第二繼電器的第5管腳通過外部電源與所述報(bào)警模塊的一端相連，所述第二繼電器的第6管腳與所述報(bào)警模塊的另一端相連；所述第二繼電器的第5管腳和第6管腳之間連有一電容。優(yōu)選地，所述第三繼電器的第5管腳通過外部電源與所述報(bào)警模塊的一端相連，所述第三繼電器的第6管腳與所述報(bào)警模塊的另一端相連；所述第三繼電器的第5管腳和第6管腳之間連有一電容。優(yōu)選地，所述第一繼電器為常規(guī)繼電器；所述第二繼電器和第三繼電器均為時(shí)間繼電器。如上所述，本實(shí) 用新型所述的用于監(jiān)控晶片加工機(jī)臺(tái)的工序進(jìn)度的裝置，具有以下有益效果:利用本實(shí)用新型所述的用于監(jiān)控晶片工機(jī)臺(tái)的工序進(jìn)度的裝置可以實(shí)現(xiàn)對(duì)晶片加工機(jī)臺(tái)中的傳感器狀態(tài)進(jìn)行監(jiān)測(cè)，及時(shí)準(zhǔn)確地逮到?jīng)]有響應(yīng)的軟件，并通過蜂鳴器及時(shí)報(bào)警，減少產(chǎn)品在機(jī)臺(tái)中異常停留的時(shí)間，降低產(chǎn)品報(bào)廢的風(fēng)險(xiǎn)；此外，本實(shí)用新型還可以對(duì)機(jī)臺(tái)內(nèi)部的電源進(jìn)行監(jiān)測(cè)，從而獲知機(jī)臺(tái)的意外斷電跳電。

圖1顯示為本實(shí)用新型所述的用于監(jiān)控晶片加工機(jī)臺(tái)的工序進(jìn)度的裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2顯示為本實(shí)用新型所述的用于監(jiān)控晶片加工機(jī)臺(tái)的工序進(jìn)度的裝置中的繼電器模塊的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖。圖3顯示為本實(shí)用新型所述的用于監(jiān)控晶片加工機(jī)臺(tái)的工序進(jìn)度的裝置中的一種具體的實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)示意圖。元件標(biāo)號(hào)說明I數(shù)字輸入端口 ；2數(shù)字輸出端口；3繼電器模塊；[0023]31第一繼電器；32第二繼電器；33第三繼電器；4報(bào)警模塊。
具體實(shí)施方式
以下由特定的具體實(shí)施例說明本實(shí)用新型的實(shí)施方式，熟悉此技術(shù)的人士可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實(shí)用新型的其他優(yōu)點(diǎn)及功效。請(qǐng)參閱附圖。須知，本說明書所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀，并非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的限定條件，故不具技術(shù)上的實(shí)質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本實(shí)用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下，均應(yīng)仍落在本實(shí)用新型所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時(shí)，本說明書中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的范圍，其相對(duì)關(guān)系的改變或調(diào)整，在無實(shí)質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下，當(dāng)亦視為本實(shí)用新型可實(shí)施的范疇。實(shí)施例本實(shí)施例提供一種用于監(jiān)控晶片加工機(jī)臺(tái)的工序進(jìn)度的裝置，如圖1所示，該裝置包括:數(shù)字輸入端口 1、數(shù)字輸出端口 2、繼電器模塊3、報(bào)警模塊4 ;所述數(shù)字輸入端口 I用于輸出控制信號(hào)給晶片加工機(jī)臺(tái)；所述數(shù)字輸出端口 2用于采集晶片加工機(jī)臺(tái)的信號(hào)；所述繼電器模塊3與所述數(shù)字輸入端口 I和數(shù)字輸出端口 2分別相連，通過輸入所述從晶片加工機(jī)臺(tái)采集到的信號(hào)觸發(fā)控制信號(hào)和報(bào)警信號(hào)，并將控制信號(hào)輸出給數(shù)字輸入端口 ；所述報(bào)警模塊4與所述繼 電器模塊3相連，用以接收所述報(bào)警信號(hào)發(fā)出報(bào)警。進(jìn)一步，如圖2所示，所述繼電器模塊3包括并聯(lián)的第一繼電器31、第二繼電器32、第三繼電器33 ;所述第一繼電器31的輸入端與所述數(shù)字輸出端口 2相連，第一繼電器31的輸出端接地；所述第二繼電器32的輸入端與所述數(shù)字輸出端口 2相連，第二繼電器32的控制端與所述數(shù)字輸入端口 I相連，第二繼電器32的報(bào)警端與所述報(bào)警模塊4相連；所述第三繼電器33的輸入端與所述數(shù)字輸出端口 2相連，第三繼電器33的控制端與所述數(shù)字輸入端口 I相連，第三繼電器33的報(bào)警端與所述報(bào)警模塊4相連。具體地，所述第一繼電器為常規(guī)繼電器；所述第二繼電器和第三繼電器均為時(shí)間繼電器。更進(jìn)一步，如圖3所示，所述數(shù)字輸入端口 I包括A5管腳、B5管腳、A7管腳、B7管腳；所述數(shù)字輸出端口 2包括A3管腳、B3管腳、A4管腳、B4管腳、A5管腳、B5管腳。所述數(shù)字輸出端口的A3管腳與晶片加工機(jī)臺(tái)的電源相連，所述數(shù)字輸出端口的B3管腳與所述數(shù)字輸出端口的A3管腳相連；所述數(shù)字輸出端口的A4管腳與所述第二繼電器的第3管腳相連，數(shù)字輸出端口的B4管腳與第二繼電器的第I管腳相連；所述數(shù)字輸出端口的A5管腳與所述第三繼電器的第3管腳相連，數(shù)字輸出端口的B5管腳與第三繼電器的第I管腳相連。所述數(shù)字輸入端口的A5管腳與所述第二繼電器的第9管腳相連，數(shù)字輸入端口的B5管腳與第二繼電器的第8管腳相連；所述數(shù)字輸入端口的A7管腳與所述第三繼電器的第9管腳相連，數(shù)字輸入端口的B7管腳與第三繼電器的第8管腳相連。[0035]所述第一繼電器的一端與所述數(shù)字輸出端口的B3管腳相連,第一繼電器的另一端接地。所述第二繼電器的第5管腳通過外部電源與所述報(bào)警模塊的一端相連，所述第二繼電器的第6管腳與所述報(bào)警模塊的另一端相連；所述第二繼電器的第5管腳和第6管腳之間連有一電容。所述第三繼電器的第5管腳通過外部電源與所述報(bào)警模塊的一端相連，所述第三繼電器的第6管腳與所述報(bào)警模塊的另一端相連；所述第三繼電器的第5管腳和第6管腳之間連有一電容。具體地，所述報(bào)警模塊可采用蜂鳴器。下面以圖3所不的結(jié)構(gòu)對(duì)cup up sensor和mega door sensor進(jìn)行監(jiān)測(cè)為例，詳細(xì)說明本實(shí)用新型所述的用于監(jiān)控晶片加工機(jī)臺(tái)的工序進(jìn)度的裝置的工作過程。設(shè)晶片加工機(jī)臺(tái)內(nèi)部的電源為+24VDC，報(bào)警模塊采用的外部電源為+24VDC，蜂鳴器的工作電壓為+24VDC，本實(shí)用新型所述的用于監(jiān)控晶片加工機(jī)臺(tái)的工序進(jìn)度的裝置的工作電壓為+24VDC。首先,對(duì)DO (Digital output,數(shù)字輸出)端口的設(shè)置描述如下:A3、B3對(duì)應(yīng)D105-33,用于追蹤進(jìn)程的開始和結(jié)束(process begin andcomplete),主要通過控制Timer Relay的電源開關(guān)來實(shí)現(xiàn),具體過程為:當(dāng)Process begin時(shí)，D105-33的D0=1，此時(shí)第一繼電器通電，即本實(shí)用新型所述的裝置上電；當(dāng)Processcomplete時(shí)，D105-33的DO=O,此時(shí)第一繼電器斷電，即本實(shí)用新型所述的裝置斷電；A4、B4 對(duì)應(yīng) D105-34，第二繼電器用于追蹤 HCLU CUPupsensor 的信號(hào) D101-31 ;當(dāng)CUPup 時(shí) DI=1，此時(shí) D105-34 的 DO=I，第二繼電器重置；當(dāng) CUP down 時(shí) DI=0，此時(shí) D105-34的DO=O,第二繼電器 開始計(jì)時(shí)。A5、B5對(duì)應(yīng)D105-35，第三繼電器用于追蹤Mega door open sensor的信號(hào)D1014-21，當(dāng) door open 時(shí) DI=I，此時(shí) D105-35 的 DO=I，第三繼電器重置；當(dāng) door close 時(shí)D1=0，此時(shí)D105-35的D0=0，第三繼電器開始計(jì)時(shí)。其次，對(duì)DI (Digital input，數(shù)字輸入)端口的設(shè)置描述如下:A5、B5對(duì)應(yīng)D105-25，當(dāng)超過設(shè)定時(shí)，第二繼電器的8、9管腳會(huì)導(dǎo)通，此時(shí)相對(duì)應(yīng)的DI端口的A5、B5管腳被觸發(fā)，同時(shí)第二繼電器的5、6管腳導(dǎo)通使報(bào)警模塊報(bào)警。A7、B7對(duì)應(yīng)D105-27，當(dāng)超過設(shè)定時(shí)，第三繼電器的8、9管腳會(huì)導(dǎo)通，此時(shí)相對(duì)應(yīng)的DI端口的A7、B7管腳被觸發(fā)，同時(shí)第三繼電器的5、6管腳導(dǎo)通使報(bào)警模塊報(bào)警。利用本實(shí)用新型所述的用于監(jiān)控晶片加工機(jī)臺(tái)的工序進(jìn)度的裝置對(duì)cup upsensor和mega door sensor狀態(tài)進(jìn)行監(jiān)測(cè),可以非常及時(shí)準(zhǔn)確地逮到Mirra Mesa軟件沒有響應(yīng)，通過蜂鳴器報(bào)警告知設(shè)備工程師設(shè)備有異常狀況，減少產(chǎn)品在設(shè)備中異常停留的時(shí)間，從而降低減少產(chǎn)品報(bào)廢的風(fēng)險(xiǎn)。此外，本實(shí)用新型還可以對(duì)機(jī)臺(tái)內(nèi)部的電源進(jìn)行監(jiān)測(cè)，從而獲知機(jī)臺(tái)的意外斷電跳電。綜上所述，本實(shí)用新型有效克服了現(xiàn)有技術(shù)中的種種缺點(diǎn)而具高度產(chǎn)業(yè)利用價(jià)值。上述實(shí)施例僅例示性說明本實(shí)用新型的原理及其功效，而非用于限制本實(shí)用新型。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本實(shí)用新型的精神及范疇下，對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行修飾或改變。因此，舉凡所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者在未脫離本實(shí)用新型所揭示的精神與技術(shù)思想下 所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本實(shí)用新型的權(quán)利要求所涵蓋。
權(quán)利要求1.一種用于監(jiān)控晶片加工機(jī)臺(tái)的工序進(jìn)度的裝置，其特征在于，所述用于監(jiān)控晶片加工機(jī)臺(tái)的工序進(jìn)度的裝置包括: 數(shù)字輸入端口，用于輸出控制信號(hào)給晶片加工機(jī)臺(tái)； 數(shù)字輸出端口，用于采集晶片加工機(jī)臺(tái)的信號(hào)； 繼電器模塊，與所述數(shù)字輸入端口和數(shù)字輸出端口分別相連，通過輸入所述從晶片加工機(jī)臺(tái)采集到的信號(hào)觸發(fā)控制信號(hào)和報(bào)警信號(hào)，并將控制信號(hào)輸出給數(shù)字輸入端口 ； 報(bào)警模塊，與所述繼電器模塊相連，用以接收所述報(bào)警信號(hào)發(fā)出報(bào)警。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于監(jiān)控晶片加工機(jī)臺(tái)的工序進(jìn)度的裝置，其特征在于:所述繼電器模塊包括并聯(lián)的第一繼電器、第二繼電器、第三繼電器；所述第一繼電器的輸入端與所述數(shù)字輸出端口相連，第一繼電器的輸出端接地；所述第二繼電器的輸入端與所述數(shù)字輸出端口相連，第二繼電器的控制端與所述數(shù)字輸入端口相連，第二繼電器的報(bào)警端與所述報(bào)警模塊相連；所述第三繼電器的輸入端與所述數(shù)字輸出端口相連，第三繼電器的控制端與所述數(shù)字輸入端口相連，第三繼電器的報(bào)警端與所述報(bào)警模塊相連。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于監(jiān)控晶片加工機(jī)臺(tái)的工序進(jìn)度的裝置，其特征在于:所述數(shù)字輸出端口包括A3管腳、B3管腳、A4管腳、B4管腳、A5管腳、B5管腳；所述數(shù)字輸出端口的A3管腳與晶片加工機(jī)臺(tái)的電源相連，所述數(shù)字輸出端口的B3管腳與所述數(shù)字輸出端口的A3管腳相連；所述數(shù)字輸出端口的A4管腳與所述第二繼電器的第3管腳相連，數(shù)字輸出端口的B4管腳與第二繼電器的 第I管腳相連；所述數(shù)字輸出端口的A5管腳與所述第三繼電器的第3管腳相連，數(shù)字輸出端口的B5管腳與第三繼電器的第I管腳相連。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于監(jiān)控晶片加工機(jī)臺(tái)的工序進(jìn)度的裝置，其特征在于:所述第一繼電器的一端與所述數(shù)字輸出端口的B3管腳相連,第一繼電器的另一端接地。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的 用于監(jiān)控晶片加工機(jī)臺(tái)的工序進(jìn)度的裝置，其特征在于:所述數(shù)字輸入端口包括A5管腳、B5管腳、A7管腳、B7管腳；所述數(shù)字輸入端口的A5管腳與所述第二繼電器的第9管腳相連，數(shù)字輸入端口的B5管腳與第二繼電器的第8管腳相連；所述數(shù)字輸入端口的A7管腳與所述第三繼電器的第9管腳相連，數(shù)字輸入端口的B7管腳與第三繼電器的第8管腳相連。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于監(jiān)控晶片加工機(jī)臺(tái)的工序進(jìn)度的裝置，其特征在于:所述第二繼電器的第5管腳通過外部電源與所述報(bào)警模塊的一端相連，所述第二繼電器的第6管腳與所述報(bào)警模塊的另一端相連；所述第二繼電器的第5管腳和第6管腳之間連有一電容。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于監(jiān)控晶片加工機(jī)臺(tái)的工序進(jìn)度的裝置，其特征在于:所述第三繼電器的第5管腳通過外部電源與所述報(bào)警模塊的一端相連，所述第三繼電器的第6管腳與所述報(bào)警模塊的另一端相連；所述第三繼電器的第5管腳和第6管腳之間連有一電容。
8.根據(jù)權(quán)利要求2至7任意一項(xiàng)所述的用于監(jiān)控晶片加工機(jī)臺(tái)的工序進(jìn)度的裝置，其特征在于:所述第二繼電器和第三繼電器均為時(shí)間繼電器。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種用于監(jiān)控晶片加工機(jī)臺(tái)的工序進(jìn)度的裝置，包括數(shù)字輸入端口、數(shù)字輸出端口、繼電器模塊、報(bào)警模塊；數(shù)字輸入端口用于輸出控制信號(hào)給晶片加工機(jī)臺(tái)；數(shù)字輸出端口用于采集晶片加工機(jī)臺(tái)的信號(hào)；繼電器模塊與數(shù)字輸入端口和數(shù)字輸出端口分別相連，通過輸入從晶片加工機(jī)臺(tái)采集到的信號(hào)觸發(fā)控制信號(hào)和報(bào)警信號(hào)，并將控制信號(hào)輸出給數(shù)字輸入端口；報(bào)警模塊與繼電器模塊相連，用以接收?qǐng)?bào)警信號(hào)發(fā)出報(bào)警。利用本實(shí)用新型可以實(shí)現(xiàn)對(duì)晶片加工機(jī)臺(tái)中的傳感器狀態(tài)進(jìn)行監(jiān)測(cè)，及時(shí)準(zhǔn)確地逮到?jīng)]有響應(yīng)的軟件，通過蜂鳴器及時(shí)報(bào)警，減少產(chǎn)品在機(jī)臺(tái)中異常停留的時(shí)間；還可以對(duì)機(jī)臺(tái)內(nèi)部的電源進(jìn)行監(jiān)測(cè)，從而獲知機(jī)臺(tái)的意外斷電跳電。
文檔編號(hào)H01L21/66GK203103270SQ20122060370
公開日2013年7月31日 申請(qǐng)日期2012年11月15日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月15日
發(fā)明者唐強(qiáng), 張健 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司