專利名稱:晶圓盒把手的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型是關(guān)于一種把手,特別是指一種設(shè)置于晶圓盒外表面的晶圓盒把手。
背景技術(shù):
半導(dǎo)體產(chǎn)線中,當(dāng)晶圓制造完成后會被裝載于一晶圓盒,以達(dá)到防塵存放的效果,且便于整批搬運(yùn)輸送以進(jìn)行后續(xù)的產(chǎn)程,為了方便由機(jī)械手臂或作業(yè)人員對晶圓盒施力以搬運(yùn)晶圓盒,于晶圓盒外部設(shè)有晶圓盒把手,作為機(jī)械手臂或作業(yè)人員對晶圓盒的施力點(diǎn)。習(xí)用的晶圓盒把手如圖1所示,設(shè)置于一晶圓盒1’,該晶圓盒I’具有一下蓋10’、一內(nèi)盒12’(以虛線標(biāo)示)與一上蓋14’,該上蓋14’設(shè)置于該下蓋10’并形成一容置空間140’,該容置空間140’容置該內(nèi)盒12’,且該內(nèi)盒12’收納多個晶圓(圖中未顯示),習(xí)用的晶圓盒把手2’成對且對稱地設(shè)置于該上蓋14’兩側(cè)的外表面,且每一晶圓盒把手2’皆包含一本體20’與一握持部22’,該本體20’的二端與該上蓋14’相連結(jié),且該握持部22’可供機(jī)械手臂或作業(yè)人員托持施力,以搬運(yùn)該晶圓盒I’,習(xí)知的晶圓盒把手2’于其握持部22’的下表面具有一凹陷處220’,該凹陷處220’可供作業(yè)人員托持該握持部22’時(shí)擺放手指,以便作業(yè)人員施力向上抬起該晶圓盒1’,然,以機(jī)械手臂托持該握持部22’時(shí),由于機(jī)械手臂前端的感應(yīng)器對非平面結(jié)構(gòu)的感測效果不佳,該凹陷處220’反而會造成機(jī)械手臂感應(yīng)器感應(yīng)狀況不良,機(jī)械手臂感應(yīng)器的感測結(jié)果若不準(zhǔn)確,不僅會使機(jī)械手臂無法正確地對齊該握持部22’,而無法搬運(yùn)該晶圓盒1’,或機(jī)械手臂于搬運(yùn)該晶圓盒I’時(shí)由該握持部22’滑脫,而使該晶圓盒I’摔落,造成該晶圓盒I’內(nèi)裝載的該些晶圓損壞,且會使得機(jī)械手臂在向上托持前無法與該握持部22’維持正確的距離,而可能因此撞擊該握持部22’,導(dǎo)致該晶圓盒把手2’或機(jī)械手臂感應(yīng)器損壞。為解決習(xí)知晶圓盒把手2’于以機(jī)械手臂搬運(yùn)晶圓盒I’時(shí),其握持部22’下方的凹陷處220’容易導(dǎo)致機(jī)械手臂前端感應(yīng)器感應(yīng)不佳,而影響晶圓盒I’搬運(yùn)流程的問題,本實(shí)用新型提出一種晶圓盒把手,其設(shè)置于一晶圓盒的一外表面,該晶圓盒把手包含一本體與一握持部,且該握持部所具有的一下表面為平面,如此,機(jī)械手臂由下往上托持該握持部時(shí),機(jī)械手臂前端的感應(yīng)器對該握持部可達(dá)到較佳的感應(yīng)效果,而可以避免因?yàn)槎ㄎ换蚓嚯x計(jì)算錯誤而造成該晶圓盒、該晶圓盒把手、機(jī)械手臂或裝載于該晶圓盒內(nèi)的晶圓損壞的問題。此外,由于搬運(yùn)該晶圓盒I’時(shí),該晶圓盒I’受重力向下拉扯,而該晶圓盒把手2’受機(jī)械力或人力向上托抬,于該晶圓盒I’與該晶圓盒把手2’的連接處以及該晶圓盒把手的內(nèi)部容易因此產(chǎn)生應(yīng)力,而容易造成該晶圓盒I’與該晶圓盒把手2’的連接處斷裂或使該晶圓盒把手2’變形,因此,本實(shí)用新型另于該本體朝向該晶圓盒的一側(cè)設(shè)置至少一抵持凸點(diǎn),該抵持凸點(diǎn)可抵接于該晶圓盒的該外表面,而可達(dá)到分散應(yīng)力以避免應(yīng)力破壞該晶圓盒與該晶圓盒把手連接處或該晶圓盒把手的效果,另由于該抵持凸點(diǎn)與該外表面接觸面積較小,可減少該晶圓盒把手與該晶圓盒的該外表面間摩擦面積,降低摩擦力對該晶圓盒把手與該晶圓盒的傷害。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的主要目的,在于提供一種晶圓盒把手,其握持部的下表面為平面,由機(jī)械手臂承托把手以搬運(yùn)晶圓盒時(shí),下表面的平面可改善機(jī)械手臂前端感應(yīng)器對把手的感應(yīng)效果,以利于機(jī)械手臂準(zhǔn)確穩(wěn)定地搬運(yùn)晶圓盒。本實(shí)用新型的次要目的,在于提供一種晶圓盒把手,于其本體設(shè)置可接觸晶圓盒的抵持凸點(diǎn),以分散抬升晶圓盒時(shí)晶圓盒與把手連接處或把手內(nèi)部所承受的應(yīng)力,防止連接處斷裂或把手變形,并可減少把手與晶圓盒間的接觸面積,降低把手與晶圓盒間摩擦力的作用。本實(shí)用新型的另一目的,在于提供一種晶圓盒把手,于其握持部具有握持開口,可容置搬運(yùn)人員的手指,握持開口并具有弧緣,可配合搬運(yùn)人員的手指,符合人體工學(xué)以利人員施力搬運(yùn)晶圓盒。為達(dá)上述目的,本實(shí)用新型揭露一種晶圓盒把手,其設(shè)置于一晶圓盒,并包含一本體與一握持部,該本體設(shè)置于該晶圓盒的一外表面,并具有一第一表面及與該第一表面相對的一第二表面,且該第一表面朝向該外表面,該握持部設(shè)置于該本體的該第二表面,該握持部具有一下表面,且該下表面為平面。又,本實(shí)用新型更進(jìn)一步揭露至少一抵持凸點(diǎn)設(shè)置于該本體的該第一表面,該抵持凸點(diǎn)抵接于該晶圓盒的該外表面。此外,該握持部可具有一握持開口,該握持開口對應(yīng)該本體的該第二表面的一側(cè)壁可具有至少一弧緣, 另,該握持開口可連接該本體的該第二表面,并延伸至該本體。實(shí)施本實(shí)用新型的有益效果:本實(shí)用新型晶圓盒把手,其包含一本體與一握持部,并利用該握持部具有平坦的一下表面,改善機(jī)械手臂的感應(yīng)器對該握持部的感應(yīng)效果,且利用設(shè)置于該本體的至少一抵持凸點(diǎn),分散該晶圓盒把手以及該晶圓盒把手與該晶圓盒連接處受到的應(yīng)力并減少該晶圓盒把手與該晶圓盒間的摩擦,以避免晶圓盒把手脫落、變形或磨損;透過本實(shí)用新型的實(shí)施,可改善習(xí)知技術(shù)中晶圓盒把手的缺失,提供一種受機(jī)械手臂感應(yīng)器的感應(yīng)較佳且不易受應(yīng)力或摩擦力損壞的晶圓盒把手。
下面將結(jié)合附圖及實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明,附圖中:圖1為習(xí)知技術(shù)的外觀示意圖;圖2為本實(shí)用新型第一實(shí)施例的晶圓盒外觀示意圖;圖3為本實(shí)用新型第一實(shí)施例的晶圓盒組成組件示意圖;圖4為本實(shí)用新型第一實(shí)施例的外觀示意圖;及圖5為本實(shí)用新型第一實(shí)施例的局部組裝示意圖。圖號對照說明I’ 晶圓盒10’下蓋12’內(nèi)盒14’上蓋140’容置空間2’ 晶圓盒把手20’本體22’握持部[0024]220’凹陷處I晶圓盒10下蓋12內(nèi)盒120格層122容置層14上蓋140容置空間142外表面144安裝部2晶圓盒把手20本體200第一表面202第二表面204抵持凸點(diǎn)206固定部22握持部220下表面
222握持開口2220側(cè)壁2222 弧緣
具體實(shí)施方式
為使對本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)特征及所達(dá)成的功效有更進(jìn)一步的了解與認(rèn)識,用以較佳的實(shí)施例及附圖配合詳細(xì)的說明,說明如下:本實(shí)用新型的晶圓盒把手的主要特色在于:于其握持部下表面為平面,可改善機(jī)械手臂感應(yīng)器對其感應(yīng)的效果,并于其本體設(shè)置至少一抵持凸點(diǎn),抵持晶圓盒的外表面以分散應(yīng)力并減少整體摩擦面積,且于其握持部包含一握持開口,可容置人員手指以便于人員握持施力,更于其握持開口設(shè)置至少一弧緣,可配合人員手指的擺放,便于人員施力且減輕手指的負(fù)擔(dān)。請一并參閱圖2與圖3,其是本實(shí)用新型第一實(shí)施例的晶圓盒外觀示意圖與晶圓盒組成組件不意圖;如圖所不,本實(shí)用新型的晶圓盒把手2設(shè)置于一晶圓盒I上,該晶圓盒I包含:一下蓋10、一內(nèi)盒12以及一上蓋14,該內(nèi)盒12設(shè)置于該下蓋10并包含多個格層120,相鄰的任二格層120間可形成一容置層122,每一容置層122皆可容置一晶圓(圖中未顯示),該上蓋14設(shè)置于該下蓋10并形成一容置空間140,該容置空間140容置該內(nèi)盒12 ;且有二晶圓盒把手2對稱地設(shè)置于該上蓋14的一外表面142的兩側(cè)。以機(jī)械手臂或人力托持該二晶圓盒把手2,即可搬運(yùn)該晶圓盒1,以運(yùn)送裝載于該晶圓盒I內(nèi)的該些晶圓。請配合圖3繼續(xù)參閱圖4與圖5,其是本實(shí)用新型第一實(shí)施例的外觀示意圖與局部組裝示意圖,且圖4為一倒置的示意圖;如圖所示,本實(shí)用新型可提供一晶圓盒把手2,該晶圓盒把手2設(shè)置于前述的該晶圓盒1,并包含一本體20與一握持部22,該本體20設(shè)置于該晶圓盒I的該上蓋14的該外表面142,并具有一第一表面200與一第二表面202,該第二表面202與該第一表面200相對,該第一表面200并朝向該外表面142,該握持部22則設(shè)置于該本體20的該第二表面202。其中,該握持部22具有一下表面220,且該下表面220為平面,當(dāng)以一機(jī)械手臂由下往上托持該握持部22以搬運(yùn)該晶圓盒I時(shí),由于該下表面220為一平面,該機(jī)械手臂前段的一感應(yīng)器對該下表面220的感應(yīng)效果較為良好,該機(jī)械手臂向上托持該握持部22的前,需先以該感應(yīng)器對該下表面220進(jìn)行感應(yīng)定位,以使該機(jī)械手臂可對齊該握持部22并估算該機(jī)械手臂需上升的距離,若該感應(yīng)器對該握持部22的感應(yīng)效果不佳,該機(jī)械手臂無法正確對齊該握持部22時(shí),該機(jī)械手臂上升后無法托持住該握持部22而無法搬運(yùn)該晶圓盒1,或者該機(jī)械手臂雖托持住該握持部22,然托持的位置不佳而使該機(jī)械手臂于搬運(yùn)該晶圓盒I時(shí)由該握持部22滑脫并摔落該晶圓盒1,造成該晶圓盒I內(nèi)裝載的該些晶圓損壞,此外該感應(yīng)器對該握持部22的感應(yīng)效果不佳還會造成對該機(jī)械手臂與該握持部22間距離估算錯誤,而使該機(jī)械手臂過度上升,使得該晶圓盒把手2、該機(jī)械手臂或該感應(yīng)器因撞擊而損壞。另,該握持部22并具有一握持開口 222,該握持開口 222連接該本體20的該第二表面202,并延伸至該本體20,當(dāng)一人員抓握該握持部22以搬運(yùn)該晶圓盒I時(shí),該握持開口 222可供該人員的手指穿過并容置該人員的手指,該人員的后四指可由下往上穿過該握持開口 222并與該人員的拇指相碰,使該人員可穩(wěn)定地握持該握持部22,而便于該人員施力抬起該晶圓盒1,由于該人員的手指呈現(xiàn)穩(wěn)定圈握的狀態(tài),該人員搬運(yùn)該晶圓盒I的過程中,較不易出現(xiàn)手指由該晶圓盒把手2滑脫而使該晶圓盒2摔落的狀況。又,該握持開口 222對應(yīng)該本體20的該第二表面202的一側(cè)壁2220上更設(shè)有多個弧緣2222,該些弧緣2222可配合該人員的手指抓握處設(shè)置,如圖中所示的該握持開口 222設(shè)有三個弧緣2222,該些弧緣2222包含首尾共產(chǎn)生四個相對于弧緣凸起的凹處,適合擺放該人員的后四指,此一結(jié)構(gòu)符合人體工學(xué),不僅較為便于該人員施力,且配合該人員手指的該些弧緣2222的曲線凹凸可減輕該人員手指承受該晶圓盒I的重量所造成的負(fù)擔(dān)。再者,該本體20的兩端分別具有一固定部206,并透過該二固定部206固定于該上蓋14的二安裝部144,該上蓋14共具有四個安裝部144,各設(shè)置于該上蓋的四個角落,每一安裝部144皆為一由該上蓋14外側(cè)向內(nèi)挖入的凹槽,該安裝部144的凹槽可配合該固定部206的外型,而可與該固定部206組合,并透過螺絲或其它方式固定,以于該機(jī)械手臂或該人員搬運(yùn)該晶圓盒I時(shí),提供穩(wěn)定強(qiáng)度的支撐。此外,本實(shí)用新型的晶圓盒把手2可進(jìn)一步包含至少一抵持凸點(diǎn)204,如圖所示,二持凸點(diǎn)204設(shè)置于該本體20的該第一表面200,該二抵持凸點(diǎn)204抵接于該晶圓盒I的該外表面142,該二抵持凸點(diǎn)204可接觸該外表面142,于機(jī)械手臂或人員托持該二晶圓盒把手2以搬運(yùn)該晶圓盒I時(shí),透過該二抵持凸點(diǎn)204與該外表面142接觸,可分散向下重力與上抬拉力于該晶圓盒把手2與該外表面142的連接處以及該晶圓盒把手2內(nèi)部產(chǎn)生的應(yīng)力,以避免該晶圓盒把手2與該外表面142的連接處受應(yīng)力破壞而使該晶圓盒把手2由該外表面142脫落,或,避免該晶圓盒把手2受應(yīng)力拉扯變形,此外,該抵持凸點(diǎn)204與該外表面142接觸的面積較小,可減少該晶圓盒把手2與外表面142間的摩擦面積,避免產(chǎn)生的摩擦力造成該晶圓盒把手2與該外表面142損壞。綜上所述,本實(shí)用新型一種晶圓盒把手,其包含一本體與一握持部,并利用該握持部具有平坦的一下表面,改善機(jī)械手臂的感應(yīng)器對該握持部的感應(yīng)效果,且利用設(shè)置于該本體的至少一抵持凸點(diǎn),分散該晶圓盒把手以及該晶圓盒把手與該晶圓盒連接處受到的應(yīng)力并減少該晶圓盒把手與該晶圓盒間的摩擦,以避免晶圓盒把手脫落、變形或磨損;透過本實(shí)用新型的實(shí)施,可改善習(xí)知技術(shù)中晶圓盒把手的缺失,提供一種受機(jī)械手臂感應(yīng)器的感應(yīng)較佳且不易受應(yīng)力或摩擦力損壞的晶圓盒把手。應(yīng)當(dāng)理解的是,對本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來說,可以根據(jù)上述說明加以改進(jìn)或變換,而所有這些改進(jìn)和變換都應(yīng)屬于本實(shí)用新型所附權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種晶圓盒把手,其特征在于,設(shè)置于一晶圓盒上,該晶圓盒把手包含: 一本體,其設(shè)置于該晶圓盒的一外表面,并具有一第一表面及與該第一表面相對的一第二表面,該第一表面朝向該外表面;及 一握持部,其設(shè)置于該本體的該第二表面,該握持部具有一下表面,且該下表面為平面。
2.如權(quán)利要求1所述的晶圓盒把手,其特征在于,其中該本體的該第一表面更進(jìn)一步設(shè)置至少一抵持凸點(diǎn),該抵持凸點(diǎn)抵接于該晶圓盒的該外表面。
3.如權(quán)利要求1所述的晶圓盒把手,其特征在于,其中該握持部具有一握持開口。
4.如權(quán)利要求3所述的晶圓盒把手,其特征在于,其中該握持開口對應(yīng)該本體的該第二表面的一側(cè)壁具有至少一弧緣。
5.如權(quán)利要求3所述的晶圓盒把手,其特征在于,其中該握持開口連接該本體的該第二表面,并延伸至該本體。
6.如權(quán)利要求1所述的晶圓盒把手,其特征在于,其中該本體的兩端分別具有一固定部,該二固定部固定于該晶圓盒的二安裝部。
7.一種晶圓盒把手,其特征在于,設(shè)置于一晶圓盒上,該晶圓盒把手包含: 一本體,其設(shè)置于該晶圓盒的一外表面,并具有一第一表面及與該第一表面相對的一第二表面,該第一表面朝向該外表面,該本體的該第一表面設(shè)置至少一抵持凸點(diǎn),該抵持凸點(diǎn)抵接于該晶圓盒的該外表面;及 一握持部,其設(shè)置于該本體的該第二表面。
8.如權(quán)利要求7所述的晶圓盒把手,其特征在于,其中該握持部具有一握持開口。
9.如權(quán)利要求8所述的晶圓盒把手,其特征在于,其中該握持開口對應(yīng)該本體的該第二表面的一側(cè)壁具有至少一弧緣。
10.如權(quán)利要求9所述的晶圓盒把手,其特征在于,其中該握持開口連接該本體的該第二表面,并延伸至該本體。
11.如權(quán)利要求7所述的晶圓盒把手,其特征在于,其中該本體的兩端分別具有一固定部,該二固定部固定于該晶圓盒的二安裝部。
專利摘要本實(shí)用新型是關(guān)于一種晶圓盒把手,其設(shè)置于一晶圓盒并包含一本體與一握持部,該本體設(shè)置于該晶圓盒的一外表面,并具有一第一表面及與該第一表面相對的一第二表面,且該第一表面朝向該外表面,該握持部設(shè)置于該本體的該第二表面;其中,該握持部具有一下表面,且該下表面為一平面,該本體的該第一表面并設(shè)置至少一抵持凸點(diǎn),該抵持凸點(diǎn)抵接于該晶圓盒的該外表面;透過本實(shí)用新型的實(shí)施,可使機(jī)械手臂前端的感應(yīng)器對該握持部的感應(yīng)效果較佳,且可分散該晶圓盒把手以及該晶圓盒把手與該晶圓盒連接處承受的應(yīng)力,避免該晶圓盒把手受損。
文檔編號H01L21/673GK203071052SQ20122069964
公開日2013年7月17日 申請日期2012年12月10日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月10日
發(fā)明者呂保儀, 黃建豪, 林添瑞 申請人:家登精密工業(yè)股份有限公司