專利名稱：蒸鍍用掩模板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及OLED顯示屏制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種蒸鍍用掩模板。
背景技術(shù)：
有機(jī)電致發(fā)光器件，具有自發(fā)光、反應(yīng)時(shí)間快、視角廣、成本低、制造工藝簡單、分辨率佳及高亮度等多項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)，被認(rèn)為是下一代的平面顯示器新興應(yīng)用技術(shù)。在OLED(Organic Light-Emitting Diode,有機(jī)電致發(fā)光二極管)技術(shù)中，真空蒸鍍中的掩模板技術(shù)是一項(xiàng)非常重要和關(guān)鍵的技術(shù)，該技術(shù)的精度等級直接影響OLED產(chǎn)品的質(zhì)量和制造成本。傳統(tǒng)的蒸鍍用的掩模板上制有蒸鍍孔，在制作掩模板和蒸鍍的生產(chǎn)過程中，蒸鍍孔易受到掩模板的繃緊力而發(fā)生變形，使蒸鍍孔偏離原來的設(shè)計(jì)尺寸和形狀，造成形狀和尺寸誤差，而由于OLED顯示屏的制造工藝對蒸鍍孔的精度要求非常高，這種誤差顯然會對蒸鍍效果產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，直接降低蒸鍍效果，使生產(chǎn)出來的OLED顯示屏存在較大的缺陷。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的主要目的在于，針對上述現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種蒸鍍用掩模板，可以有效避免蒸鍍孔變形，提高掩模板的精度和穩(wěn)定性。為實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案。本實(shí)用新型提供一種蒸鍍用掩模板，包括板框和拉平固定于板框上的掩模板，所述掩模板上設(shè)置有多個(gè)規(guī)則排列的蒸鍍孔，所述多個(gè)蒸鍍孔位于掩模板的中央，所述蒸鍍孔的外圍設(shè)置有至少一排緩沖孔，每個(gè)所述緩沖孔與所述蒸鍍孔平行設(shè)置。優(yōu)選地，所述掩模板橫向設(shè)置有N列蒸鍍孔，縱向設(shè)置有M行蒸鍍孔，每行蒸鍍孔的左右兩邊分別設(shè)置有一個(gè)所述緩沖孔，每列蒸鍍孔的上下兩邊亦分別設(shè)置有一個(gè)所述緩沖孔，形成一圈緩沖帶。優(yōu)選地，每個(gè)所述蒸鍍孔內(nèi)部設(shè)置有條形網(wǎng)格，所述蒸鍍孔外設(shè)置有一排或一列緩沖孔，每排緩沖孔為N個(gè)，每列緩沖孔為M個(gè)，并分別與所述網(wǎng)格平行設(shè)置。優(yōu)選地，所述緩沖孔為矩形通孔或盲孔。優(yōu)選地，所述掩模板由鎳鐵合金或銦瓦合金制成，厚度為30 100 μ m。優(yōu)選地，所述板框由鎳鐵合金或銦瓦合金制成，厚度為14-50 mm，寬度為30-80mmD本實(shí)用新型在蒸鍍孔的外圍設(shè)置至少一排緩沖孔，使得在蒸鍍用掩模板制造過程中、制造完成后及生產(chǎn)過程中，掩模板及其它外力施加到蒸鍍孔上的張力均被緩沖孔所抵消，使蒸鍍孔不會受力變形，在生產(chǎn)大尺寸的蒸鍍用掩模板時(shí)，效果更加明顯，因此可以有效地提高掩模板的精度和穩(wěn)定性，顯著提升OLED顯示屏特別是大尺寸OLED顯示屏的制造精度，降低制造成本。
圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例中蒸鍍用掩模板的結(jié)構(gòu)示意圖一。圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例中蒸鍍用掩模板的結(jié)構(gòu)示意圖二。圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例中蒸鍍用掩模板的制造方法的流程示意圖。本實(shí)用新型目的的實(shí)現(xiàn)、功能特點(diǎn)及優(yōu)點(diǎn)將結(jié)合實(shí)施例，參照附圖做進(jìn)一步說明。
具體實(shí)施方式
以下將結(jié)合附圖及具體實(shí)施例詳細(xì)說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，以便更清楚、直觀地理解本實(shí)用新型的發(fā)明實(shí)質(zhì)。圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例中蒸鍍用掩模板的結(jié)構(gòu)示意圖一；圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例中蒸鍍用掩模板的結(jié)構(gòu)示意圖二。參照圖1所示，本實(shí)施例提供一種蒸鍍用掩模板，包括板框I和拉平固定于板框上的掩模板2，掩模板2上設(shè)置有規(guī)則排列的多個(gè)蒸鍍孔3，該多個(gè)蒸鍍孔3位于掩模板2的中央，并位于板框I內(nèi)部。在蒸鍍孔3的外圍設(shè)置有一圈緩沖孔4，用于緩沖掩模板2的繃緊力給蒸鍍孔3帶來的張力，從而保護(hù)蒸鍍孔3不變形。本實(shí)施例的掩模板2在橫向設(shè)置有N列蒸鍍孔3，在縱向設(shè)置有M行蒸鍍孔3，每行蒸鍍孔3的左右兩邊分別設(shè)置有一個(gè)緩沖孔4，每列蒸鍍孔3的上下兩邊亦分別設(shè)置有一個(gè)緩沖孔4，使每個(gè)緩沖孔4均與蒸鍍孔3平行。參照圖2所示，若每個(gè)蒸鍍孔3的內(nèi)部設(shè)置有條形網(wǎng)格31，則只需在蒸鍍孔3外設(shè)置有一排或一列緩沖孔，且該排或該列緩沖孔4與上述網(wǎng)格31平行設(shè)置。其中，每排緩沖孔4為N個(gè)，每列緩沖孔4為M個(gè)，使每排蒸鍍孔3分別對應(yīng)一個(gè)緩沖孔4，每列蒸鍍孔3也分別對應(yīng)一個(gè)緩沖孔4，并且各自對齊，由于來自掩模板2的與網(wǎng)格31平行的方向的張力施加在網(wǎng)格31上，不會使蒸鍍孔3變形，無需設(shè)置緩沖孔4，而來自掩模板2的張力則完全由緩沖孔4吸收。為了更均勻地分散上述張力，本實(shí)施例的緩沖孔4設(shè)置為寬度較小的矩形通孔或盲孔。使蒸鍍孔3所受到的張力盡可能小，以保證其形狀和尺寸不會發(fā)生改變。本實(shí)施例的掩模板2由鎳鐵合金或銦瓦合金制成，厚度為30 100 μ m,板框I由鎳鐵合金或銦瓦合金制成，厚度為14-50 _，寬度為30-80 _。需要說明的是，本實(shí)用新型所說的板框I的寬度不是指板框I的外框的寬度，也非內(nèi)框的寬度，而是指板框I的外框與內(nèi)框之間的用于固定掩模板2的那部分的寬度。采用上述結(jié)構(gòu)的掩模板2，可以使蒸鍍孔3的實(shí)際尺寸與最初的設(shè)計(jì)尺寸基本一致，不會因受到掩模板2的張力而發(fā)生變化，特別是當(dāng)掩模板2為大尺寸時(shí)，蒸鍍孔3的精度保持效果更加顯著，從而可以生產(chǎn)出高質(zhì)量的OLED顯示屏。圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例中蒸鍍用掩模板的制造方法的流程示意圖。參照圖3所示，本實(shí)施例提供一種加工上述蒸鍍用掩模板的制造方法，該方法主要包括以下步驟:S1:將掩模板裁成稍大于板框大小的尺寸，平放在板框上，將掩模板的四邊拉平并貼緊在板框上；[0028]S2:將掩模板焊接于板框上；S3:沿板框的外邊緣切除多余的部分；S4:在掩模板的外圍開設(shè)至少一排緩沖孔；S5:在掩模板的中間開設(shè)蒸鍍孔，并使緩沖孔與蒸鍍孔平行設(shè)置。其中，在步驟S3中，沿板框的外邊緣切除多余的部分的步驟具體為:采用激光工藝將多余部分切除。因?yàn)榧す馇懈罴夹g(shù)的切割精度較高，而且無需復(fù)雜的裝夾工藝，恰可用于切除多余部分。在步驟S4中，在掩模板的外圍，位于板框內(nèi)部的位置上開設(shè)至少一排緩沖孔，緩沖孔的數(shù)量對應(yīng)于預(yù)設(shè)的蒸鍍孔的數(shù)量，即若蒸鍍孔為M行、N列，則沿橫向開設(shè)N個(gè)緩沖孔，沿縱向開設(shè)M個(gè)緩沖孔，或者，若每個(gè)蒸鍍孔內(nèi)部設(shè)置有條形網(wǎng)格，在蒸鍍孔外設(shè)置有至少一排或至少一列緩沖孔，每排緩沖孔為N個(gè)，每列緩沖孔為M個(gè)，并分別與上述網(wǎng)格平行設(shè)置。這些緩沖孔構(gòu)成一個(gè)緩沖帶，設(shè)置在蒸鍍孔外圍，可均勻地分散掩模板的張力，避免蒸鍍孔因受力變形而產(chǎn)生誤差。在步驟S5中，在上述矩形緩沖帶內(nèi)開設(shè)蒸鍍孔，并使蒸鍍孔與緩沖孔對應(yīng)平行，橫向設(shè)置的緩沖孔與橫排(M行)的蒸鍍孔平行，縱向設(shè)置的緩沖孔與縱列(N列)的蒸鍍孔平行。本實(shí)施例采用激光切割工藝或化學(xué)蝕刻工藝來加工蒸鍍孔，因?yàn)榧す馇懈罟に嚭突瘜W(xué)蝕刻工藝無需復(fù)雜的裝夾工序，也不會對掩模板造成損傷，因此，采用激光切割工藝和化學(xué)蝕刻工藝來開設(shè)蒸鍍孔能滿足實(shí)際工藝需求，而且也能將蒸鍍孔加工成喇叭狀，滿足OLED顯示屏的蒸鍍需求。采用本方法可以使掩模板上的蒸鍍孔的形狀和尺寸保持原有的設(shè)計(jì)精度，避免了傳統(tǒng)的先加工蒸鍍孔，再將掩模板焊接于板框上的制造工藝中會使蒸鍍孔變形的現(xiàn)象，從而可以加工出大尺寸、高質(zhì)量的OLED顯示屏。綜上所述，本實(shí)用新型在蒸鍍孔的外圍設(shè)置一圈緩沖孔，使得在蒸鍍用掩模板制造過程中、制造完成后及生產(chǎn)過程中，掩模板及其它外力施加到蒸鍍孔上的張力均被緩沖孔所抵消，使蒸鍍孔不會受力變形，在生產(chǎn)大尺寸的蒸鍍用掩模板時(shí)，效果更加明顯，因此可以有效地提高掩模板的精度和穩(wěn)定性，顯著提升OLED顯示屏特別是大尺寸OLED顯示屏的制造精度，降低制造成本。以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，并非因此限制其專利范圍，凡是利用本實(shí)用新型說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)變換，直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種蒸鍍用掩模板，包括板框和拉平固定于板框上的掩模板，所述掩模板上設(shè)置有規(guī)則排列的多個(gè)蒸鍍孔，其特征在于:所述多個(gè)蒸鍍孔位于掩模板的中央，所述蒸鍍孔的外圍設(shè)置有至少一排緩沖孔，每個(gè)所述緩沖孔與所述蒸鍍孔平行設(shè)置。
2.如權(quán)利要求1所述的蒸鍍用掩模板，其特征在于:所述掩模板橫向設(shè)置有N列蒸鍍孔，縱向設(shè)置有M行蒸鍍孔，每行蒸鍍孔的左右兩邊分別設(shè)置有一個(gè)排所述緩沖孔，每列蒸鍍孔的上下兩邊亦分別設(shè)置有一個(gè)所述緩沖孔，形成一圈緩沖帶。
3.如權(quán)利要求2所述的蒸鍍用掩模板，其特征在于:每個(gè)所述蒸鍍孔內(nèi)部設(shè)置有條形網(wǎng)格，所述蒸鍍孔外設(shè)置有一排或一列緩沖孔，每排緩沖孔為N個(gè)，每列緩沖孔為M個(gè)，并分別與所述網(wǎng)格平行設(shè)置。
4.如權(quán)利要求1所述的蒸鍍用掩模板，其特征在于:所述緩沖孔為矩形通孔或盲孔。
5.如權(quán)利要求1所述的蒸鍍用掩模板，其特征在于:所述掩模板由鎳鐵合金或銦瓦合金制成，厚度為30 100 μ m。
6.如權(quán)利要求5所述的蒸鍍用掩模板，其特征在于:所述板框由鎳鐵合金或銦瓦合金制成，厚度為14-50 mm,寬度為30-80 mm。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種蒸鍍用掩模板，包括板框和拉直固定于板框上的掩模板，掩模板上設(shè)置有規(guī)則排列的多個(gè)蒸鍍孔，所述多個(gè)蒸鍍孔位于掩模板的中央，所述蒸鍍孔的外圍設(shè)置有至少一排緩沖孔，緩沖孔與所述蒸鍍孔平行設(shè)置。本實(shí)用新型使得在蒸鍍用掩模板制造過程中、制造完成后及生產(chǎn)過程中，蒸鍍孔不會受力變形，在生產(chǎn)大尺寸的蒸鍍用掩模板時(shí)，效果更加明顯，因此可以有效地提高掩模板的精度和穩(wěn)定性，顯著提升OLED顯示屏特別是大尺寸OLED顯示屏的制造精度，降低制造成本。
文檔編號H01L51/56GK203021638SQ20122072326
公開日2013年6月26日 申請日期2012年12月25日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月25日
發(fā)明者唐軍 申請人:唐軍, 錢超