專利名稱：一種陣列基板及其平板顯示器的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種平板顯示器，特別涉及一種陣列基板及平板顯示器。
背景技術：
平板顯示器具有完全平面化、輕、薄、省電等特點，符合未來圖像顯示器發(fā)展的必然趨勢，近年來得到了飛速發(fā)展。目前主要的平板顯示器包括:液晶顯示器(Liquidcrystaldisplay, LCD)、有機發(fā)光顯不器(Organiclight-emittingdiodedisplay, 0LED)、場效應顯不器(Fieldemissiondisplay, FED)、等離子顯不器(Plasmadisplaypanel, PDP)以及投影顯示技術(包括CathodeRayTub,陰極射線管投影技術、Liquidcrystaldisplay,液晶顯示投影技術、Liquidcrystalon Silicon,娃基液晶反射投影技術、DigitalLightProcession,數(shù)字光處理投影技術)等。液晶顯示器是眾多平板顯示器件中發(fā)展最快、技術最成熟、應用面最廣。通常，液晶顯示器包括彩膜基板、陣列基板以及填充于所述彩膜基板和陣列基板之間的液晶。陣列基板上通常設置眾多的薄膜層，通過對各薄膜層的刻蝕形成薄膜晶體管、像素電極以及公共電極等。為了將更多外圍電路集成在陣列基板上，還會在陣列基板上形成一些驅(qū)動電路。隨著薄膜晶體管的功能越來越強大，陣列基板上集成的電路越來越多，在形成薄膜晶體管和一些主要電路后，陣列基板表面的段差變得非常大。為避免較大的段差導致的各種顯示問題，通常，在陣列基板表面會形成一層平坦層。如圖1所 示，陣列基板100包括一絕緣層101、平坦層102以及一鈍化層103。其中，所述平坦層102形成于所述絕緣層101上，所述鈍化層103形成于所述平坦層102上。通常，平坦層102采用有機膜材料，而鈍化層103的制作過程中，多采用高溫工藝，有機膜材料在經(jīng)過高溫工藝后，會揮發(fā)出一些水汽和其他物質(zhì)，但是這些揮發(fā)物質(zhì)通常無法穿透膜質(zhì)致密的鈍化層，從而導致個別區(qū)域的鈍化層103的表面形成鼓起104(arraybubble),最終導致不良。特別是在顯示區(qū)域外的周邊區(qū)域內(nèi)，鈍化層鼓起的現(xiàn)象尤為明顯。另外，由于有機膜揮發(fā)物質(zhì)存留在鈍化層103和平坦層102之間，使所述鈍化層103和平坦層102之間的粘附力下降，從而導致所述陣列基板100在后續(xù)的剝離信賴性測試(Peelingtest)中，容易出現(xiàn)鈍化層103被剝落的情形。

實用新型內(nèi)容本實用新型提供一種陣列基板及其液晶顯示器，以解決鈍化層表面鼓起和剝離信賴性差的問題，從而實現(xiàn)降低陣列基板的不良發(fā)生率和提高信賴性品質(zhì)的目的。為解決上述技術為題，本實用新型提供一種陣列基板，包括:一基板，所述基板包括顯示區(qū)域和包圍所述顯示區(qū)域的周邊區(qū)域；一形成于所述基板上的平坦層；一形成于所述平坦層上的鈍化層；其中，位于所述周邊區(qū)域內(nèi)的鈍化層上設置有多個透氣孔，位于所述周邊區(qū)域內(nèi)的所述平坦層上設置有多個通孔?？蛇x的，所述陣列基板還包括一形成于所述基板上的絕緣層，所述平坦層形成于所述絕緣層上?？蛇x的，所述透氣孔暴露出部分所述平坦層，所述通孔暴露出部分絕緣層，所述鈍化層通過所述通孔接觸所述絕緣層?？蛇x的，所述透氣孔與所述通孔交錯設置?？蛇x的，所述透氣孔與所述通孔間隔設置?？蛇x的，所述陣列基板還包括一形成于所述平坦層上的透明電極層，所述鈍化層形成于所述透明電極層上，所述透氣孔暴露出部分所述透明電極層，所述透明電極層上設置有多個穿孔，所述穿孔與所述通孔位置對應，所述鈍化層通過所述穿孔和所述通孔接觸所述絕緣層?？蛇x的，所述透明電極層是氧化銦錫或者氧化銦鋅?？蛇x的，所述鈍化層是氮化硅，所述平坦化層是有機膜?？蛇x的，所述透氣孔和/或所述通孔為圓形或者方形。相應的，本實用新型還提供一種液晶顯示器，包括所述陣列基板和一與所述陣列基板相對設置的彩膜基板。在本實用新型所提供的陣列基板中，位于所述周邊區(qū)域內(nèi)的鈍化層上設置有多個透氣孔，位于所述周邊區(qū)域內(nèi)的所述平坦層上設置有多個通孔。因為鈍化層上設置了透氣孔，所述透氣孔可以將平坦層暴露出來，如果平坦層在高溫工藝中有物質(zhì)揮發(fā)出來，所述揮發(fā)的物質(zhì)可以經(jīng)由透氣孔發(fā)散出去`，因此可以大大減少因此而產(chǎn)生的鈍化層的鼓起。另外，因為平坦層上設置了多個通孔，鈍化層經(jīng)由通孔與平坦層下面的膜層接觸，增大了鈍化層與平坦層的接觸面積，提高了鈍化層與平坦層的粘附性，同時增加了鈍化層和其他膜層的接觸面積，提高了鈍化層與下面膜層的粘附性，從而提高了陣列基板的剝離信賴性。

圖1為現(xiàn)有技術中陣列基板的剖面圖；圖2為本實用新型實施例一的陣列基板的俯視圖；圖3為圖2中沿A-A’的剖面圖；圖4為本實用新型實施例二的陣列基板的剖面圖。
具體實施方式
為了使本實用新型的目的，技術方案和優(yōu)點更加清楚，
以下結(jié)合附圖來進一步做詳細說明。實施例一如圖2、圖3所示，本實施例的陣列基板200包括:基板201、形成于所述基板201上的平坦層202和形成于所述平坦層202上的鈍化層203。其中，所述基板201包括顯示區(qū)域2011和包圍所述顯示區(qū)域2011的周邊區(qū)域2012。具體的，所述鈍化層和平坦化層是透明絕緣材料。優(yōu)選的，所述鈍化層203是氮化硅，所述平坦化202層是有機膜。其中，位于所述周邊區(qū)域2012內(nèi)的鈍化層203上設置有多個透氣孔2031，位于所述周邊區(qū)域2012內(nèi)的所述平坦層202上設置有多個通孔2021。在所述鈍化層203上設置透氣孔2031后，所述透氣孔2031將所述平坦層202的部分表面暴露出來。如果后續(xù)出現(xiàn)高溫工藝的話，平坦層202因為高溫所產(chǎn)生的揮發(fā)物，可以經(jīng)由所述透氣孔2031散發(fā)出去，避免了揮發(fā)物聚集在平坦層202和鈍化層203之間，產(chǎn)生鼓起的問題。所述透氣孔2031與所述通孔2021交錯設置，例如每隔N (N為自然數(shù))個透氣孔2031設置一個通孔2021，或者每隔一個透氣孔2031設置M (M為自然數(shù))個通孔2021。優(yōu)選的，所述透氣孔2031與所述通孔2021間隔設置，即每隔一個透氣孔2031設置一個通孔2021，如圖2中所示。所述透氣孔2031與所述通孔2021的形狀可以是任意形狀，例如方形(包括長方形或者正方形)、三角形、圓形、橢圓形、十字形或者其他幾何圖形。優(yōu)選的，所述透氣孔2031和/或所述通孔2021為圓形或者方形，圖中示出的是方形。進一步地，結(jié)合圖2和圖3，通常所述陣列基板200還包括形成于基板上的絕緣層204，所述平坦層202形成于所述絕緣層204上，所述鈍化層203形成于所述平坦層202上。所述透氣孔2031暴露出部分所述平坦層202。當對陣列基板200進行高溫工藝時，所述平坦層202因為高溫所揮發(fā)出來的物質(zhì)會經(jīng)由所述透氣孔2031發(fā)散掉，而不會匯集在平坦層202和鈍化層203之間的某個地方造成鈍化層203的鼓起。繼續(xù)參考圖2和圖3，所述通孔2021會使鈍化層203和平坦層202的接觸面從平面變?yōu)樾泵?，增大了接觸面積，從而使得鈍化層203和平坦層202的粘附性提高。而且，所述通孔2021暴露出部分絕緣層204，所述鈍化層203通過所述通孔2021接觸所述絕緣層204，而鈍化層203和絕緣層204同為絕緣無機物質(zhì)，因此鈍化層203和絕緣層204的粘附性要明顯優(yōu)于鈍化層203和平坦層202的粘附性，從而使得鈍化層203的粘附性進一步增強。實施例二本實施例與實施例一的不同之處在于，在所述平坦層和鈍化層之間增加了透明電極層。如圖4所示，通常，所述平坦層202為有機材料，而有機材料比較容易因為外界環(huán)境而發(fā)生變化，例如高溫或者高濕等。為了保護所述透氣孔2031所暴露出的那部分平坦層202不受外界環(huán)境影響，可以在所述平坦層202上設置透明電極層205，所述鈍化層203形成于所述透明電極層205上，所述透氣孔2031孔暴露出部分所述透明電極層205，所述透明電極層205上設置有多個穿孔2051，所述穿孔2051與所述通孔2021位置對應(也即它們形成在基板201的同一個位置上，形成互相匹配的一個整體)，所述鈍化層203通過所述穿孔2051和所述通孔2021接觸所述絕緣層204。所述透明電極層205是透明的導電材料，優(yōu)選的，所述透明電極層205是氧化銦錫或者氧化銦鋅。因為氧化銦錫或者氧化銦鋅的膜質(zhì)比較疏松，因此平坦層202的揮發(fā)物質(zhì)仍然可以通過氧化銦錫或者氧化銦鋅膜層發(fā)散出去，同時也能夠?qū)ζ教箤?02仍能起到一定的保護作用。另外，包括所述陣列基板200的平板顯示器也屬于本實用新型的保護范圍。具體的，本實用新型還提供一種平 板顯示器包括以上任意一種實施例所述陣列基板200和一與所述陣列基板200相對設置的彩膜基板。優(yōu)選的，所述平板顯示器是液晶顯示器，包括以上任意一種實施例所述陣列基板和一與所述陣列基板相對設置的彩膜基板，以及填充于所述陣列基板和彩膜基板中的液晶。由于平板顯示器的其他慣常結(jié)構(gòu)為本領域公知技術，在此不再贅述。綜上所述，在本實用新型所提供的陣列基板中，因為鈍化層上設置了透氣孔，所述透氣孔可以將平坦層暴露出來，因此平坦層的揮發(fā)物質(zhì)可以經(jīng)由所述透氣孔發(fā)散出去，可以大大減少因此而產(chǎn)生的鈍化層的鼓起。另外，因為平坦層上設置了多個通孔，鈍化層經(jīng)由所述通孔與平坦層下面的膜層接觸，不僅增大了鈍化層與平坦層的接觸面積，提高了鈍化層與平坦層的粘附性，也同時增加了鈍化層和其他膜層的接觸面積，進一步提高了鈍化層與下面膜層的粘附性，從而提高了陣列基板的剝離信賴性。顯然，本領域的技術人員可以對實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權(quán)利要求及其等同技術的范圍之內(nèi) ，則本實用新型也意圖包括這些改動和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種陣列基板,包括: 一基板，所述基板包括顯示區(qū)域和包圍所述顯示區(qū)域的周邊區(qū)域； 一形成于所述基板上的平坦層； 一形成于所述平坦層上的鈍化層； 其特征在于，位于所述周邊區(qū)域內(nèi)的鈍化層上設置有多個透氣孔，位于所述周邊區(qū)域內(nèi)的所述平坦層上設置有多個通孔。
2.如權(quán)利要求1所述的陣列基板，其特征在于，還包括一形成于所述基板上的絕緣層，所述平坦層形成于所述絕緣層上。
3.如權(quán)利要求2所述的陣列基板，其特征在于，所述透氣孔暴露出部分所述平坦層，所述通孔暴露出部分絕緣層，所述鈍化層通過所述通孔接觸所述絕緣層。
4.如權(quán)利要求1所述的陣列基板，其特征在于，所述透氣孔與所述通孔交錯設置。
5.如權(quán)利要求4所述的陣列基板，其特征在于，所述透氣孔與所述通孔間隔設置。
6.如權(quán)利要求2所述的陣列基板，其特征在于，還包括一形成于所述平坦層上的透明電極層，所述鈍化層形成于所述透明電極層上，所述透氣孔暴露出部分所述透明電極層，所述透明電極層上設置有多個穿孔，所述穿孔與所述通孔位置對應，所述鈍化層通過所述穿孔和所述通孔接觸所述絕緣層。
7.如權(quán)利要求6所述的陣列基板，其特征在于，所述透明電極層是氧化銦錫或者氧化銦鋅。
8.如權(quán)利要求1所述·的陣列基板，其特征在于，所述鈍化層是氮化硅，所述平坦層是有機膜。
9.如權(quán)利要求1所述的陣列基板，其特征在于，所述透氣孔和/或所述通孔為圓形或者方形。
10.一種平板顯示器，包括一如權(quán)利要求1至9任意一項所述的陣列基板和一與所述陣列基板相對設置的彩膜基板。
專利摘要本實用新型公開了一種陣列基板及其平板顯示器。所述陣列基板包括一基板，所述基板包括顯示區(qū)域和包圍所述顯示區(qū)域的周邊區(qū)域；一形成于所述基板上的平坦層；一形成于所述平坦層上的鈍化層；其中，位于所述周邊區(qū)域內(nèi)的鈍化層上設置有多個透氣孔,位于所述周邊區(qū)域內(nèi)的所述平坦層上設置有多個通孔。所述平板顯示器，包括所述的陣列基板和一與所述陣列基板相對設置的彩膜基板。采用本實用新型的陣列基板，可以有效減少鈍化層的鼓起，同時還可以提高鈍化層與下面膜層的粘附性，從而提高了陣列基板的剝離信賴性。
文檔編號H01L27/12GK203134796SQ201220728769
公開日2013年8月14日 申請日期2012年12月26日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月26日
發(fā)明者彥文晶, 李俊誼 申請人:廈門天馬微電子有限公司