專利名稱：電子元件生產(chǎn)用密封容器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種電子元件生產(chǎn)用密封容器。
背景技術(shù)：
電子元件生產(chǎn)過程中，需要經(jīng)過多種處理工藝。有些處理工藝中，需要在密封裝置中進(jìn)行，處理時需要形成密封空間，以便形成負(fù)壓或增壓。如晶圓潤濕是在潤濕槽內(nèi)進(jìn)行，潤濕時需要將槽內(nèi)抽真空形成負(fù)壓。但現(xiàn)有技術(shù)中的生產(chǎn)用容器，密封結(jié)構(gòu)復(fù)雜，使用不方便，密封性能差。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的第一個目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種可快速實(shí)現(xiàn)密封的電子元件生產(chǎn)用密封容器。為實(shí)現(xiàn)以上目的，本實(shí)用新型通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):電子元件生產(chǎn)用密封容器，其特征在于，包括密封蓋和槽體，所述密封蓋設(shè)置于槽體上端；所述槽體內(nèi)壁設(shè)置有臺階；所述 密封蓋包括:壓蓋本體，所述壓蓋本體設(shè)置有容腔；旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與容腔形狀像適應(yīng)，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在容腔內(nèi)；按壓機(jī)構(gòu)，所述按壓機(jī)構(gòu)可朝向槽體內(nèi)壁往復(fù)移動地設(shè)置；傳動機(jī)構(gòu),所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與按壓機(jī)構(gòu)通過傳動機(jī)構(gòu)連接；所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)時通過傳動機(jī)構(gòu)驅(qū)動按壓機(jī)構(gòu)往復(fù)移動；所述壓蓋本體與所述臺階之間設(shè)置有密封圈，所述按壓機(jī)構(gòu)朝槽體內(nèi)壁移動時受槽體內(nèi)壁壓迫而帶動壓蓋本體朝所述臺階移動而壓縮密封圈。優(yōu)選地是，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)均為圓形，所述按壓機(jī)構(gòu)可沿所述壓蓋本體徑向移動地設(shè)置。優(yōu)選地是，所述壓蓋本體的側(cè)壁設(shè)置有通孔，所述按壓機(jī)構(gòu)可沿通孔移動地設(shè)置。優(yōu)選地是，所述的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)時，驅(qū)動按壓機(jī)構(gòu)沿壓蓋本體徑向移動。優(yōu)選地是，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)沿一方向旋轉(zhuǎn)時，驅(qū)動所述按壓機(jī)構(gòu)沿壓蓋本體徑向移動至突出于壓蓋本體側(cè)壁；所述的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)反向旋轉(zhuǎn)時，驅(qū)動按壓機(jī)構(gòu)返回原位。優(yōu)選地是，所述傳動機(jī)構(gòu)為連桿，所述連桿一端與按壓機(jī)構(gòu)連接，另一端與旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)可轉(zhuǎn)動地連接；所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)時，通過所述連桿驅(qū)動所述按壓機(jī)構(gòu)沿壓蓋本體徑向移動。優(yōu)選地是，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的側(cè)面設(shè)置有第一凹槽，所述連桿一端通過銷軸可轉(zhuǎn)動地設(shè)置在所述第一凹槽內(nèi)。[0019]優(yōu)選地是，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)側(cè)壁設(shè)置有凸塊，所述第一凹槽設(shè)置于所述凸塊上。優(yōu)選地是，所述連桿另一端與所述按壓機(jī)構(gòu)可轉(zhuǎn)動地連接。優(yōu)選地是，所述壓蓋本體的側(cè)壁設(shè)置有通孔，所述通孔沿所述壓蓋本體外周面延伸至與容腔連通；所述按壓機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述通孔內(nèi)并可沿通孔移動地設(shè)置；所述按壓機(jī)構(gòu)沿所述通孔移動時受所述通孔導(dǎo)向而沿所述壓蓋本體徑向移動。優(yōu)選地是，還包括第一彈性復(fù)位裝置，所述第一彈性復(fù)位裝置在所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)后產(chǎn)生彈性變形力，所述第一彈性變形力具有使旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)復(fù)位的趨勢。優(yōu)選地是，所述第一彈性復(fù)位裝置為第一彈簧，所述第一彈簧一端連接在壓蓋本體上；另一端連接在旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)上。優(yōu)選地是，還包括限制旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)的限位裝置，所述限位裝置與壓蓋本體配合限制旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)。優(yōu)選地是，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)設(shè)置有第一把手，所述第一把手突出于旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)設(shè)置；所述壓蓋本體上設(shè)置有兩個以上容置槽，所述兩個以上容置槽沿圓周方向分布；所述限位裝置為限位銷；所述限位銷設(shè)置于所述第一把手上，所述限位銷可上下移動地設(shè)置于所述容置槽上方，所述限位銷一端插入所述容置槽內(nèi)并可自所述容置槽內(nèi)退出地設(shè)置。優(yōu)選地是，還包括手柄，所述手柄一端可轉(zhuǎn)動地安裝于第一把手上，所述手柄與限位銷固定連接。優(yōu)選地是，還包括第二彈性復(fù)位裝置，所述限位銷一端自所述容置槽內(nèi)退出時，所述第二彈性復(fù)位裝置產(chǎn)生彈性變形力，該彈性變形力具有使所述限位銷一端插入所述容置槽的趨勢。
優(yōu)選地是，所述第二彈性復(fù)位裝置為第二彈簧，所述第二彈簧，所述第二彈簧套裝于所述限位銷上；還包括手柄，所述手柄一端可轉(zhuǎn)動地安裝于第一把手上，所述手限位銷穿過所述手柄并與所述手柄固定連接；所述第二彈簧一端抵靠在所述手柄上，另一端抵靠在所述第一把手上。優(yōu)選地是，所述密封圈為0型圈。優(yōu)選地是，所述壓蓋本體設(shè)置有上蓋，所述上蓋設(shè)置有穿孔；所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)設(shè)置有第一把手，所述第一把手穿過所述穿孔；所述第一把手可在所述穿孔內(nèi)沿壓蓋本體圓周方向移動。優(yōu)選地是，所述槽體內(nèi)壁設(shè)置有導(dǎo)向裝置；所述按壓機(jī)構(gòu)朝槽體內(nèi)壁移動時，受到導(dǎo)向裝置壓迫而向下移動。優(yōu)選地是，所述導(dǎo)向裝置為第二凹槽，所述第二凹槽上壁為水平面；所述的按壓機(jī)構(gòu)為楔形塊；所述楔形塊沿壓蓋本體徑向的厚度漸小，所述楔形塊靠近壓蓋本體圓心一端的厚度大于遠(yuǎn)離壓蓋本體圓心一端的厚度。優(yōu)選地是，所述導(dǎo)向裝置為第二凹槽，所述第二凹槽上壁為斜面，所述斜面自槽體內(nèi)壁起向下延伸；所述的按壓機(jī)構(gòu)為上表面為水平面。本實(shí)用新型中的電子元件生產(chǎn)用密封容器，槽體內(nèi)壁設(shè)置臺階支撐密封圈。旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動時驅(qū)動按壓機(jī)構(gòu)運(yùn)動，按壓機(jī)構(gòu)插入第二凹槽內(nèi)并在插入第二凹槽內(nèi)時受第二凹槽的槽壁壓迫，驅(qū)動壓蓋本體向下移動，進(jìn)而壓縮密封圈。密封圈受壓變形，可以達(dá)到更好的密封效果。[0035]本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，可提高密封性能。而且本實(shí)用新型可通過限位裝置保持良好的密封效果。而且本實(shí)用新型使用方便，可以快速實(shí)現(xiàn)密封。

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例1結(jié)構(gòu)正視圖。圖2為圖1的俯視圖。圖3為圖2中的A-A剖視圖。圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例1俯視圖，即第一狀態(tài)示意圖。圖5為圖4的側(cè)視圖。圖6為本實(shí)用新型實(shí)施例1中的把手與手柄結(jié)構(gòu)剖視圖。圖7為本實(shí)用新型實(shí)施例1第二狀態(tài)俯視圖。圖8為本實(shí)用新型實(shí)施例1工作原理示意圖，即第一狀態(tài)示意圖。
圖9為本實(shí)用新型實(shí)施例1工作原理示意圖，即第二狀態(tài)示意圖。圖10為圖9的側(cè)視圖。圖11為本實(shí)用新型實(shí)施例2的A-A剖視圖。圖12本實(shí)用新型實(shí)施例3中的把手與手柄結(jié)構(gòu)剖視圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)的描述:實(shí)施例1如圖1、圖2和圖3所示，電子元件生產(chǎn)用密封容器，包括密封蓋100和槽體200。密封蓋100設(shè)置在槽體200上端。槽體200設(shè)置有腔體201。槽體200內(nèi)壁設(shè)置有臺階202。0型圈20支撐在臺階202上。槽體200內(nèi)壁設(shè)置有第二凹槽203。第二凹槽203的上壁204為水平面。如圖4至圖10所示，密封蓋包括壓蓋本體10和上蓋15。壓蓋本體10設(shè)置有容腔
11(圖1所示)，上蓋設(shè)15設(shè)置在壓蓋本體10上并封住容腔11。上蓋15設(shè)置有穿孔16。上蓋15設(shè)置有五個容置槽17。五個容置槽17沿圓周方向分布。壓蓋本體10的側(cè)壁12設(shè)置有通孔13，通孔13自壓蓋本體10外周面延伸至與容腔11連通。壓蓋本體10下表面設(shè)置有0型圈20。0型圈20突出于所述壓蓋本體10下表面14。上蓋15上固定安裝有第二把手18。旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)30為圓形，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)30與容腔11形狀像適應(yīng)。旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)30側(cè)壁設(shè)置有六個凸塊31。六個凸塊31沿圓周方向均勻分布。每個凸塊31側(cè)面設(shè)置有一個第一凹槽32。銷軸33貫穿設(shè)置在第一凹槽32處。旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)30設(shè)置有第一把手33。旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)30可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在容腔11內(nèi)，且第一把手33穿過穿孔16伸出容腔11之外。第一把手33上設(shè)置有手柄34。手柄34 —端通過第一銷子332可轉(zhuǎn)動地設(shè)置在第一把手33的第一孔331內(nèi)。限位銷35穿過手柄34的第二孔333，且其中部與手柄34通過第二銷子342可轉(zhuǎn)動地連接。限位銷35 —端穿過第二孔333，另一端插置在容置槽17內(nèi)；且限位銷35可上下移動地設(shè)置。限位銷35上套裝有第二彈簧36。第二彈簧36—端抵靠在第一把手33上，另一端抵罪在手柄34上。[0053]連桿60 —端設(shè)置在第一凹槽32內(nèi)，并可轉(zhuǎn)動地通過銷軸37與旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)30連接，另一端與楔形塊40通過銷釘41可轉(zhuǎn)動地連接。楔形塊40沿壓蓋本體10徑向靠近壓蓋本體10圓心的一端的厚度大于遠(yuǎn)離壓蓋本體10圓心的一端的厚度。楔形塊40設(shè)置于通孔13內(nèi)并可沿通孔13移動。第一彈簧18設(shè)置在容腔11內(nèi)，一端固定在壓蓋本體10上，另一端與旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)30連接。旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)30旋轉(zhuǎn)時，拉伸第一彈簧18使第一彈簧18產(chǎn)生彈性變形力，該彈性變形力可使旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)30復(fù)位。如圖1至圖9所示，當(dāng)限位銷35插置在容置槽17內(nèi)時，容置槽17限制限位銷35沿壓蓋本體10圓周方向移動，進(jìn)而通過第一把手33限制旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)30沿圓周方向轉(zhuǎn)動。當(dāng)需要旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)30轉(zhuǎn)動時，向上提手柄34，使限位銷35端部從容置槽17內(nèi)退出。手柄34向上提時壓迫第二彈簧36使其變形。限位銷35從容置槽17內(nèi)退出時，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)30可以轉(zhuǎn)動。順時針轉(zhuǎn)動第一把手33，帶動旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)30順時針轉(zhuǎn)動。旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)30順時針轉(zhuǎn)動時，連桿60受旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)30驅(qū)動而轉(zhuǎn)動。由于連桿60另一端與楔形塊40連接，楔形塊40受壓蓋本體10的通孔13限制而不能沿圓周方向移動。由于連桿60與旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)30可轉(zhuǎn)動地連接，因此旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)30的圓周方向的驅(qū)動力可轉(zhuǎn)化為使楔形塊40沿壓蓋本體10徑向移動的推力。楔形塊40受推力驅(qū)動移動后突出于壓蓋本體10側(cè)壁，進(jìn)入第二凹槽202內(nèi)。楔形塊40進(jìn)入第二凹槽20 2內(nèi)的過程中，受第二凹槽202上壁壓迫。由于楔形塊40上表面為斜面，因此楔形塊40在第二凹槽202內(nèi)移動過程中受壓迫而逐漸向下移動。楔形塊40向下移動帶動壓蓋本體10向下移動。壓蓋本體10向下移動壓迫0型圈，使0型圈變形后增強(qiáng)密封效果。松開手柄34，在第二彈簧36的作用下，限位銷35另一端插入一個容置槽17內(nèi)，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)30不能再旋轉(zhuǎn)。此時，可將密封蓋100鎖緊在槽體200上，且壓蓋本體10對0型圈20保持持續(xù)的壓力，使其一直保持良好的密封效果。需要打開槽體200時，抬起手柄34，使限位銷35從容置槽17內(nèi)退出。逆時針旋轉(zhuǎn)第一把手33，使楔形塊40退回通孔13內(nèi)。手持第二把手18可將密封蓋100抬起，打開槽體 200。實(shí)施例2如圖11所示，本實(shí)施例與實(shí)施例1不同之處在于，按壓機(jī)構(gòu)40上表面為水平面，第二凹槽203的上壁204為斜面。上壁204自槽體內(nèi)壁起向下延伸。其余結(jié)構(gòu)與實(shí)施例1相同。由于上壁204為斜面，因此當(dāng)按壓機(jī)構(gòu)40插入第二凹槽203內(nèi)會受上壁204壓迫向下移動，進(jìn)而帶動壓蓋本體10壓迫密封圈20。實(shí)施例3如圖12所示，本實(shí)施例與實(shí)施例1的不同之處在于，手柄34—端通過第一銷子332可轉(zhuǎn)動地設(shè)置在第一把手33的第一孔331內(nèi)。限位銷35穿過手柄34的第二孔333。限位銷35設(shè)置有凸肩351。凸肩351 —端位于第二孔333內(nèi)，另一端抵靠在手柄34上。第二孔333內(nèi)設(shè)置有壓縮彈簧36,壓縮彈簧36 —端抵靠在凸肩351上,另一端抵靠在第二孔333內(nèi)壁。限位銷35 —端穿過第二孔333，另一端插置在容置槽17內(nèi)；且限位銷35可上下移動。其余結(jié)構(gòu)與實(shí)施例1相同。實(shí)施例3的使用方式及原理與實(shí)施例1相同。本實(shí)用新型中的實(shí)施例僅用于對本實(shí)用新型進(jìn)行說明，并不構(gòu)成對權(quán)利要求范圍的限制，本領(lǐng)域內(nèi)技術(shù)人員可以想到的其他實(shí)質(zhì)上等同的替代，均在本實(shí)用新型保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.電子元件生產(chǎn)用密封容器，其特征在于，包括密封蓋和槽體，所述密封蓋設(shè)置于槽體上端; 所述槽體內(nèi)壁設(shè)置有臺階； 所述密封蓋包括: 壓蓋本體，所述壓蓋本體設(shè)置有容腔； 旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與容腔形狀像適應(yīng)，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在容腔內(nèi)； 按壓機(jī)構(gòu)，所述按壓機(jī)構(gòu)可朝向槽體內(nèi)壁往復(fù)移動地設(shè)置； 傳動機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與按壓機(jī)構(gòu)通過傳動機(jī)構(gòu)連接；所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)時通過傳動機(jī)構(gòu)驅(qū)動按壓機(jī)構(gòu)往復(fù)移動； 所述壓蓋本體與所述臺階之間設(shè)置有密封圈，所述按壓機(jī)構(gòu)朝槽體內(nèi)壁移動時受槽體內(nèi)壁壓迫而帶動壓蓋本體朝所述臺階移動而壓縮密封圈。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子元件生產(chǎn)用密封容器，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)為圓形；所述按壓機(jī)構(gòu)可沿所述壓蓋本體徑向移動地設(shè)置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電子元件生產(chǎn)用密封容器，其特征在于，所述壓蓋本體的側(cè)壁設(shè)置有通孔，所述按壓機(jī)構(gòu)可沿通孔移動地設(shè)置。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電子元件生產(chǎn)用密封容器，其特征在于，所述的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)時，驅(qū)動按壓機(jī)構(gòu)沿壓蓋本體徑向移動。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電子元件生產(chǎn)用密封容器，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)沿一方向旋轉(zhuǎn)時，驅(qū)動所述按壓機(jī)構(gòu)沿壓蓋本體徑向移動至突出于壓蓋本體側(cè)壁；所述的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)反向旋轉(zhuǎn)時，驅(qū)動按壓機(jī)構(gòu)返回原位。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子元件生產(chǎn)用密封容器，其特征在于，所述傳動機(jī)構(gòu)為連桿，所述連桿一端與按壓機(jī)構(gòu)連接，另一端與旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)可轉(zhuǎn)動地連接；所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)時，通過所述連桿驅(qū)動所述按壓機(jī)構(gòu)沿壓蓋本體徑向移動。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的電子元件生產(chǎn)用密封容器，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的側(cè)面設(shè)置有第一凹槽，所述連桿一端通過銷軸可轉(zhuǎn)動地設(shè)置在所述第一凹槽內(nèi)。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的電子元件生產(chǎn)用密封容器，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)側(cè)壁設(shè)置有凸塊，所述第一凹槽設(shè)置于所述凸塊上。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的電子元件生產(chǎn)用密封容器，其特征在于，所述連桿另一端與所述按壓機(jī)構(gòu)可轉(zhuǎn)動地連接。
10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的電子元件生產(chǎn)用密封容器，其特征在于，所述壓蓋本體的側(cè)壁設(shè)置有通孔，所述通孔沿所述壓蓋本體外周面延伸至與容腔連通；所述按壓機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述通孔內(nèi)并可沿通孔移動地設(shè)置；所述按壓機(jī)構(gòu)沿所述通孔移動時受所述通孔導(dǎo)向而沿所述壓蓋本體徑向移動。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子元件生產(chǎn)用密封容器，其特征在于，還包括第一彈性復(fù)位裝置，所述第一彈性復(fù)位裝置在所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)后產(chǎn)生彈性變形力，所述第一彈性變形力具有使旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)復(fù)位的趨勢。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的電子元件生產(chǎn)用密封容器，其特征在于，所述第一彈性復(fù)位裝置為第一彈簧，所述第一彈簧一端連接在壓蓋本體上；另一端連接在旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)上。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子元件生產(chǎn)用密封容器，其特征在于，還包括限制旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)的限位裝置，所述限位裝置與壓蓋本體配合限制旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的電子元件生產(chǎn)用密封容器，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)設(shè)置有第一把手，所述第一把手突出于旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)設(shè)置；所述壓蓋本體上設(shè)置有兩個以上容置槽，所述兩個以上容置槽沿圓周方向分布；所述限位裝置為限位銷；所述限位銷可上下移動地設(shè)置于所述第一把手上，所述限位銷設(shè)置于所述容置槽上方，所述限位銷一端插入所述容置槽內(nèi)并可自所述容置槽內(nèi)退出地設(shè)置。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的電子元件生產(chǎn)用密封容器，其特征在于，還包括手柄，所述手柄一端可轉(zhuǎn)動地安裝于第一把手上，所述手柄與限位銷固定連接。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的電子元件生產(chǎn)用密封容器，其特征在于，還包括第二彈性復(fù)位裝置，所述限位銷一端自所述容置槽內(nèi)退出時，所述第二彈性復(fù)位裝置產(chǎn)生彈性變形力，該彈性變形力具有使所述限位銷一端插入所述容置槽的趨勢。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的電子元件生產(chǎn)用密封容器，其特征在于，所述第二彈性復(fù)位裝置為第二彈簧，所述第二彈簧，所述第二彈簧套裝于所述限位銷上；還包括手柄，所述手柄一端可轉(zhuǎn)動地安裝于第一把手上，所述手限位銷穿過所述手柄并與所述手柄固定連接；所述第二彈簧一端抵靠在所述手柄上，另一端抵靠在所述第一把手上。
18.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子元件生產(chǎn)用密封容器，其特征在于，所述壓蓋本體設(shè)置有上蓋，所述上蓋設(shè)置有穿孔；所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)設(shè)置有第一把手，所述第一把手穿過所述穿孔；所述第一把手可在所述穿孔內(nèi)沿壓蓋本體圓周方向移動。
19.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子元件生產(chǎn)用密封容器，其特征在于，所述槽體內(nèi)壁設(shè)置有導(dǎo)向裝置；所述按壓機(jī)構(gòu)朝槽體內(nèi)壁移動時，受到導(dǎo)向裝置壓迫而向下移動。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的電子元件生產(chǎn)用密封容器，其特征在于，所述導(dǎo)向裝置為第二凹槽，所述第二凹槽上壁為水平面；所述的按壓機(jī)構(gòu)為楔形塊；所述楔形塊沿壓蓋本體徑向的厚度漸小，所述楔 形塊靠近壓蓋本體圓心一端的厚度大于遠(yuǎn)離壓蓋本體圓心一端的厚度。
21.根據(jù)權(quán)利要求19所述的電子元件生產(chǎn)用密封容器，其特征在于，所述導(dǎo)向裝置為第二凹槽，所述第二凹槽上壁為斜面，所述斜面自槽體內(nèi)壁起向下延伸；所述的按壓機(jī)構(gòu)為上表面為水平面。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種電子元件生產(chǎn)用密封容器，其特征在于，包括密封蓋和槽體，所述密封蓋設(shè)置于槽體上端；所述槽體內(nèi)壁設(shè)置有臺階；所述密封蓋包括壓蓋本體，所述壓蓋本體設(shè)置有容腔；旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與容腔形狀像適應(yīng)，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在容腔內(nèi)；按壓機(jī)構(gòu)，所述按壓機(jī)構(gòu)可朝向槽體內(nèi)壁往復(fù)移動地設(shè)置；傳動機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與按壓機(jī)構(gòu)通過傳動機(jī)構(gòu)連接；所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)時通過傳動機(jī)構(gòu)驅(qū)動按壓機(jī)構(gòu)往復(fù)移動；所述壓蓋本體與所述臺階之間設(shè)置有密封圈，所述按壓機(jī)構(gòu)朝槽體內(nèi)壁移動時受槽體內(nèi)壁壓迫而帶動壓蓋本體朝所述臺階移動而壓縮密封圈。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，可提高密封性能。
文檔編號H01L21/00GK203118913SQ20122075035
公開日2013年8月7日 申請日期2012年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月31日
發(fā)明者王振榮, 劉紅兵, 陳概禮 申請人:上海新陽半導(dǎo)體材料股份有限公司