工件處理系統(tǒng)以及工件處理方法
【專利摘要】此工件處理系統(tǒng)的一實施例包括輸送帶與加載互鎖區(qū)，第一交換機(jī)械臂在建造臺與加載互鎖區(qū)之間持有并傳送工件，支架機(jī)械臂在每個輸送帶與第一交換機(jī)械臂之間傳送工件。在一實例中，利用支架機(jī)械臂，將已加工工件從第一交換機(jī)械臂傳送至第一輸送帶，并將未加工工件從第二輸送帶傳送至第一交換機(jī)械臂。第二交換機(jī)械臂可與第一交換機(jī)械臂一起用來從加載互鎖區(qū)負(fù)載并卸載工件。
【專利說明】工件處理系統(tǒng)以及工件處理方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種工件處理，且特別涉及一種高產(chǎn)率應(yīng)用的工件處理。
【背景技術(shù)】
[0002]離子植入法是一種用于將改變導(dǎo)電性的雜質(zhì)引入工件中的標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)。在離子源中將所要的雜質(zhì)材料離子化，使離子加速以形成具規(guī)定能量的離子束，且將離子束導(dǎo)向工件的表面處。離子束中的高能離子穿入工件材料主體中，且嵌進(jìn)工件材料的晶格中以形成具有所要導(dǎo)電性的區(qū)域。
[0003]產(chǎn)率與電池效率為太陽能電池制造業(yè)的兩個要點，電池效率為測量能量轉(zhuǎn)換成電能的量，較高的電池效率對具競爭性是必須的。然而，提高電池效率的代價不能犧牲產(chǎn)率。
[0004]離子植入法已證實為摻雜太陽能電池的可行方法。離子植入法的利用省去了現(xiàn)今技術(shù)所需的諸如擴(kuò)散爐的制程步驟，可提升產(chǎn)率并降低成本。例如因為離子植入法僅摻雜所要的表面，如果使用離子植入法代替爐擴(kuò)散，可省去激光邊緣分離步驟。除了省去制程步驟外，已證實使用離子植入法可達(dá)到較高的電池效率。離子植入法也能夠?qū)μ柲茈姵氐恼麄€表面進(jìn)行毪覆式植入(blanket implant),或僅對部分的太陽能電池進(jìn)行選擇性或圖案化植入。利用離子植入法的高產(chǎn)率選擇性植入法可避免用于爐擴(kuò)散的高價且耗時的微影或圖案化步驟。對于離子植入器的產(chǎn)率或其可靠度的任何改良將有益于全世界的太陽能制造者，可加速應(yīng)用太陽能電池作為替代能源。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]根據(jù)本發(fā)明的第一方面，提供一種工件處理系統(tǒng)。此系統(tǒng)包括多個輸送帶以及加載互鎖區(qū)(load lock);第一交換機(jī)械臂(robot)持有多個工件,且在建造臺與加載互鎖區(qū)之間傳送多個工件；支架機(jī)械臂在多個輸送帶中的每一個與第一交換機(jī)械臂之間傳送多個工件。
[0006]根據(jù)本發(fā)明的第二方面，提供一種工件處理方法。此方法包括:利用支架機(jī)械臂將多個已加工工件從交換機(jī)械臂傳送至第一輸送帶，其中交換機(jī)械臂包含多列已加工工件；接著利用支架機(jī)械臂將多個未加工工件從第二輸送帶傳送至交換機(jī)械臂；然后重復(fù)傳送已加工工件與未加工工件，直到未加工工件已經(jīng)取代交換機(jī)械臂上的所有已加工工件。
[0007]根據(jù)本發(fā)明的第三方面，提供一種工件處理方法。此方法包括:當(dāng)?shù)诙粨Q機(jī)械臂位于該第一交換機(jī)械臂下時，將多個未加工工件負(fù)載于第一交換機(jī)械臂上；繼而當(dāng)?shù)谝唤粨Q機(jī)械臂位于加載互鎖區(qū)外時，將第二交換機(jī)械臂移進(jìn)加載互鎖區(qū)內(nèi)，以將多個已加工工件負(fù)載至該第二交換機(jī)械臂上；接著從加載互鎖區(qū)移去第二交換機(jī)械臂及多個已加工工件；然后當(dāng)?shù)诙粨Q機(jī)械臂位于加載互鎖區(qū)外時，將第一交換機(jī)械臂移進(jìn)加載互鎖區(qū)內(nèi)；接著從加載互鎖區(qū)內(nèi)移去第一交換機(jī)械臂；繼而當(dāng)?shù)谝唤粨Q機(jī)械臂在停放位置時，將第二多個未加工工件負(fù)載于第二交換機(jī)械臂上，并將多個已加工工件從第二交換機(jī)械臂卸載。【專利附圖】

【附圖說明】
[0008]參照附圖以更清楚理解本發(fā)明，其以引用方式并入本說明書中，且其中:
[0009]圖1為工件處理系統(tǒng)的第一實施例的透視圖。
[0010]圖2為圖1所表不的工件處理系統(tǒng)的第一實施例的俯視圖。
[0011]圖3為圖1所表不的工件處理系統(tǒng)的第一實施例的側(cè)視圖。
[0012]圖4A?4E顯示以圖1?3所繪工件處理系統(tǒng)進(jìn)行工件處理的一實施例。
[0013]圖5A?5F顯示以圖1?3所繪工件處理系統(tǒng)進(jìn)行工件處理的另一實施例。
【具體實施方式】
[0014]以下將敘述與太陽能電池有關(guān)的工件處理系統(tǒng)。然而，本發(fā)明的實例可用于其他工件，諸如半導(dǎo)體晶圓、發(fā)光二極體、絕緣層覆娃(silicon-on-1nsulator, SOI)晶圓或其他元件。工件處理系統(tǒng)可用于離子植入器或其他諸如沉積、蝕刻、或其他工件處理系統(tǒng)的制程設(shè)備。因此，本發(fā)明不受限于以下的實例。
[0015]圖1?3所表示的工件處理系統(tǒng)100利用4X4的工件112的矩陣101每小時能夠處理的晶圓或工件數(shù)(wph)約為3000。當(dāng)然亦可使用其他矩陣101的設(shè)計，以下的實例不僅限于4X4矩陣101。
[0016]工件處理系統(tǒng)100從未圖示的卡匣(cassette)或其他界面?zhèn)魉凸ぜ?12，建立工件112的矩陣101，并將工件112的矩陣101移進(jìn)加載互鎖區(qū)102內(nèi)。加載互鎖區(qū)102至連接至離子植入器111的一部分或一些其他的制程設(shè)備。加載互鎖區(qū)102用于將離子植入器111的真空狀況與外面的大氣狀況隔離，且既可提升亦可降低加載互鎖區(qū)102的壓力。在一實例中，將工件112置于加載互鎖區(qū)102或離子植入器111內(nèi)利用機(jī)械式或靜電式夾具的載具中。工件處理系統(tǒng)100也可執(zhí)行可逆程序，將工件112傳回至卡匣或其他界面。圖1?3中的加載互鎖區(qū)102可具有一個或多個加載互鎖腔室。圖1的實施例顯示兩個加載互鎖孔113，每個加載互鎖孔113導(dǎo)向連接至離子植入器111的分開的加載互鎖腔室。加載互鎖區(qū)102內(nèi)的兩個加載互鎖腔室可置于彼此之一的頂部；在另一實施例中，這兩個加載互鎖腔室可由彼此之間的間隙分開。
[0017]在此實例中，三個輸送帶106a_c將從卡匣或其他界面?zhèn)魉凸ぜ?12，工件112的傳送以特定的速度、時距、或間距(Pitch)來執(zhí)行，在一實例中，可使用機(jī)械臂將工件112置于輸送帶106a-c上；在另一實例中，將工件112直接從卡匣卸載至輸送帶106a_c上。在其他實施例中，可使用多于或少于三個輸送帶106a_c,可指定輸送帶106a_c中的每一個是用于工件的負(fù)載或卸載，或可既用于負(fù)載又用于卸載。在一特定實例中，輸送帶106a用于從卡匣卸載工件112，同時另一輸送帶106c用于將工件112負(fù)載至卡匣內(nèi)。但是輸送帶106a-c的負(fù)載或卸載功能于操作時可變化，例如根據(jù)由特定輸送帶106a-c所供應(yīng)的卡匣是空的或滿的而變化。
[0018]于傳送至矩陣101的期間，位于輸送帶106a_c上的相機(jī)107和連接至相機(jī)107的處理器將確認(rèn)工件112在輸送帶106a_c中的一個上的位置或相對于輸送帶106a_c中的一個的位置，且確認(rèn)工件112的位置或方向是否須被校正。相機(jī)107可觀看部分的輸送帶106a-c。在一實例中，相機(jī)107具有廣大的視野足以觀看或拍攝輸送帶106a_c中的一個上的多個工件112，諸如一排四個工件112。在另一實例中，相機(jī)107具有可拍攝每個輸送帶106a-c上的多個工件112的視野。例如相機(jī)107能夠拍攝每個輸送帶106a_c上的四個工件 112。
[0019]支架(gantry)模組108利用諸如靜電力、機(jī)械力、或真空力，從輸送帶106a_c中的一個中選取工件112并建立矩陣101。在一實施例中，支架模組108包括輸送帶106a-c上可移動的框架或軌道。支架模組108包括支架機(jī)械臂200，可三維地移動且可傾斜。因此，支架模組108可從輸送帶106a_c的任一個中選取工件112,或?qū)⒐ぜ?12置于輸送帶106a-c的任一個上。支架模組108可從矩陣101移去工件112，且為了傳送回卡匣或其他界面，將工件112置于輸送帶106a_c的任一個上。矩陣末端作用器(end effector) 105連接至支架模組108的支架機(jī)械臂200。在一特定實例中，此矩陣末端作用器105能夠持有四個工件112，但是持有其他數(shù)量的工件112也是可能的。此支架模組108可使用來自于相機(jī)107與處理器的資訊以校正諸如傳送期間的工件112的位置或方向。
[0020]一實施例中,支架模組108可含兩個Y軸致動器、一個X軸致動器、一個z軸致動器、與一個傾斜致動器。此提供四個自由度并使工件112的拾取及置放操作得以進(jìn)行。支架模組108可調(diào)整矩陣末端作用器105的位置，以匹配輸送帶106a-c中的一個上的工件112位置。支架模組108亦可校正如x、y、及Θ (傾斜)方向上的一或多個工件112。支架模組108可在輸送帶106a-c中的任一個與矩陣101中的任何位置之間傳送輸送帶106a_c，矩陣101可位在諸如交換機(jī)械臂103a的交換模組109的一部分上的位置。例如在此傳送期間可進(jìn)行校正，通過支架模組108可執(zhí)行沿Θ方向的高達(dá)180°的旋轉(zhuǎn)或傾斜。
[0021]在另一實施例中，支架模組108可跳過或不置放“壞的”工件，這些“壞的”工件可能是損壞的或破碎的。支架模組108也可補(bǔ)償未適當(dāng)置于矩陣101中輸送帶106a-c上的“遺漏”的工件。在此方面，相機(jī)107與連接至相機(jī)的處理器可用于協(xié)助支架模組108。
[0022]支架模組108的末端作用器105為多夾爪(gripper)設(shè)計，其為矩陣101的小型版本。因此當(dāng)矩陣101可為4X4個工件112時，支架模組108可為1X4或一些其他設(shè)計。工件112可由支架模組108單獨(dú)地或群組地校正。
[0023]在運(yùn)作的一實施例中，支架模組108取得四個已加工的工件112，并將這些置于輸送帶106a-c中的一個上。然后支架模組108從輸送帶106a_c取得四個未加工工件112并置于矩陣101中。已加工及未加工工件112會在不同的輸送帶106a-c上運(yùn)行。此縮減支架模組108的運(yùn)行時間，并縮減支架模組108不傳送工件112的時間。未加工工件112置于之前已加工工件112被移除處的矩陣101中。可重復(fù)此程序，且由支架模組108進(jìn)行的對矩陣101的負(fù)載及卸載組合，可將整個矩陣101以不同的工件112取代。
[0024]交換模組109將在建造臺104與加載互鎖區(qū)102之間傳送工件112的矩陣101。此交換模組109包含至少一個交換機(jī)械臂103，每個交換機(jī)械臂103可使用一個或多個線性致動器，例如圖1的實施例顯示交換機(jī)械臂103a及交換機(jī)械臂103b。交換機(jī)械臂103a置于交換機(jī)械臂103b之上，且于負(fù)載并卸載時，將交換機(jī)械臂103a-b的一個放在路線之外。在一實施例中，每個交換機(jī)械臂103a_b具有一個z軸致動器及兩個I軸致動器，用于置放或抓持工件112的葉片。
[0025]在一實例中，交換機(jī)械臂103a可從建造臺104的矩陣101中取得未加工工件112，且交換機(jī)械臂103b可延伸至加載互鎖區(qū)102內(nèi)以取得已加工工件112。然后從加載互鎖區(qū)102移去已加工工件112，并將未加工工件112置于加載互鎖區(qū)102內(nèi)。接著已加工工件112回至建造臺104以卸載，同時植入或另外加工未加工工件112。
[0026]矩陣101的建立與加載互鎖區(qū)102的抽降(pumping down)或排氣可以一致,此可增加連接至加載互鎖區(qū)102的系統(tǒng)(如離子植入器111)的產(chǎn)率。
[0027]圖4A?4E顯示利用圖1?3所繪工件處理系統(tǒng)進(jìn)行工件處理的一實施例。在圖4A中，將可為圖1?3的支架模組108的部分的支架機(jī)械臂200置于第一個輸送帶106c上。在此實施例中，矩陣101包含16個4X4排列的已加工工件201，包括4列已加工工件201。矩陣101可置于如圖1至圖3所表示的交換機(jī)械臂103a-b的一個上或被其持有。輸送帶106a-c中的一個(即此實例中的輸送帶106a)包含未加工工件202 (圖4A的實例的陰暗處)。已加工工件201及未加工工件202為圖1至圖3所表示的工件112的實例。
[0028]在圖4B中，將支架機(jī)械臂200置于矩陣101上，并從矩陣101選取四個已加工工件201，此四個已加工工件201代表一列。在已加工工件201已被夾住或選取后，支架機(jī)械臂200可校正已加工工件201的位置或傾斜。
[0029]在圖4C中，支架機(jī)械臂200已經(jīng)將四個已加工工件201傳送至輸送帶106a_c中的一個(即此實例中的輸送帶106c)以卸載。接著，圖4D中，將支架機(jī)械臂200置于未加工工件202上并選取這些未加工工件202。在未加工工件202已被夾住或選取后，支架機(jī)械臂200可校正未加工工件202的位置或傾斜。因為來自卡匣或其他界面卸載的錯誤(未圖示)，未加工工件202會彎曲或放置錯誤。
[0030]在圖4E中，支架機(jī)械臂200將四個未加工工件202放進(jìn)矩陣101中，利用輸送帶106a-c中的一個，將已卸載的已加工工件201移至卡匣或其他介面。更多的未加工工件202可負(fù)載至輸送帶106a-c中的一個上。重復(fù)此程序直到已加工工件201從矩陣101卸載，且未加工工件202已被負(fù)載至矩陣101內(nèi)。于是，矩陣101中的已加工工件201由未加工工件202取代。
[0031]如圖4A?4E所示，負(fù)載與卸載程序于支架機(jī)械臂200移動期間相繼進(jìn)行。于支架機(jī)械臂200作動的特定期間，支架機(jī)械臂200既將未加工工件202負(fù)載至矩陣101內(nèi)，也將已加工工件201從矩陣101卸載。在此活動期間，各種負(fù)載與卸載程序的步驟可能以相繼的形式發(fā)生，直到矩陣101中已加工工件201被未加工工件202取代為止。此外，利用支架機(jī)械臂200來負(fù)載或卸載矩陣101的步驟可能有其他順序。
[0032]圖5A?5F顯示利用圖1?3所繪工件處理系統(tǒng)的工件處理的另一實施例。第一交換機(jī)械臂300與第二交換機(jī)械臂301可為圖1的3的交換模組109的一部分，且可對應(yīng)至一實例中的交換機(jī)械臂103a-b。在圖5A中，支架機(jī)械臂200已將未加工工件202從輸送帶106的一個負(fù)載至第一交換機(jī)械臂300上。這些未加工工件202可為4X4矩陣，但由于圖5A是截面圖，圖5A只繪出四個。于負(fù)載時，將第二交換機(jī)械臂301置于第一交換機(jī)械臂300之下。
[0033]在圖5B中，第一交換機(jī)械臂300與第二交換機(jī)械臂301在垂直方向上移動，且空的第二交換機(jī)械臂301延伸至加載互鎖區(qū)102內(nèi)。在圖5C中，第二交換機(jī)械臂301移去也是4X4矩陣的已加工工件201。接著第一交換機(jī)械臂300將未加工工件202置放于加載互鎖區(qū)102內(nèi)。如果加載互鎖區(qū)102僅具單孔，于加載互鎖區(qū)102負(fù)載并卸載期間，第一交換機(jī)械臂300與第二交換機(jī)械臂301可改變垂直位置。如果加載互鎖區(qū)102具有多孔或具有足以同時容納第一交換機(jī)械臂300與第二交換機(jī)械臂301的大孔，則于負(fù)載并卸載期間不需要垂直位置的變化。
[0034]在圖中，第一交換機(jī)械臂300放在路線之外，例如第一交換機(jī)械臂300可放在加載互鎖區(qū)102下面或其他處。這使支架機(jī)械臂200將已加工工件201從第二交換機(jī)械臂300卸載至輸送帶106的一個上，支架機(jī)械臂200亦可將未加工工件202負(fù)載至第二交換機(jī)械臂301上。接著如圖5E所示，第一交換機(jī)械臂300從停放位置離開，并從加載互鎖區(qū)102卸載已加工工件201，然后如圖5F所示，第二交換機(jī)械臂301將未加工工件202放進(jìn)加載互鎖區(qū)102內(nèi)。支架機(jī)械臂200將已加工工件201從第一交換機(jī)械臂300卸載至輸送帶106中的一個上，并從輸送帶106中的一個負(fù)載未加工工件202至第一交換機(jī)械臂300上。然后后續(xù)程序如圖5A所示再次開始，于第一交換機(jī)械臂300負(fù)載與卸載期間，將第二交換機(jī)械臂301置于停放位置或僅保持在第一交換機(jī)械臂300之下。
[0035]圖5A?5F所表不的程序可用于具有兩個加載互鎖腔室的系統(tǒng),在垂直方向上一個位于另一個之上。在此實施例中，第一交換機(jī)械臂300與第二交換機(jī)械臂301在垂直方向上具有較大的移動范圍，例如可將第一交換機(jī)械臂300置于兩加載互鎖腔室的間隙中或于最底下的加載互鎖區(qū)之下。
[0036]本揭示不以本說明書中所描述的具體實施例的范圍為限。事實上，除本說明書中所描述的實施例之外，通過以上描述及附圖，本發(fā)明的其他各種實施例及修飾對本領(lǐng)域技術(shù)人員是顯而易見的。這些其他實施例及修飾意欲涵蓋于本發(fā)明的范圍內(nèi)。此外，雖然本說明書是以在特定環(huán)境中針對特定目的的特定實施方案的脈絡(luò)來描述本發(fā)明，本領(lǐng)域技術(shù)人員將了解，本發(fā)明的效用不局限于此，且本發(fā)明可有利地出于許多目的而在許多環(huán)境中實施。因此，應(yīng)如本說明書中所描述本發(fā)明的完整廣度及精神來解釋以下所述的權(quán)利要求。
【權(quán)利要求】
1.一種工件處理系統(tǒng)，包括: 多個輸送帶； 加載互鎖區(qū)； 第一交換機(jī)械臂，用以持有多個工件，其中所述第一交換機(jī)械臂用以在建造臺與所述加載互鎖區(qū)之間傳送所述多個工件；以及 支架機(jī)械臂，用以在所述多個輸送帶中的每一個與所述第一交換機(jī)械臂之間傳送多個工件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工件處理系統(tǒng)，還包括相機(jī)，其具有能拍攝所述多個輸送帶的視野。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工件處理系統(tǒng)，其中所述多個輸送帶包括三個輸送帶，每個所述輸送帶用于負(fù)載并卸載所述工件。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工件處理系統(tǒng)，其中所述第一交換機(jī)械臂二維地移動。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工件處理系統(tǒng)，還包括第二交換機(jī)械臂，其中所述第二交換機(jī)械臂在所述建造臺與所述加載互鎖區(qū)之間傳送所述多個工件，且其中所述第二交換機(jī)械臂二維地移動。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工件處理系統(tǒng)，還包括第二加載互鎖區(qū)及第二交換機(jī)械臂，其中所述第一交換機(jī)械臂及所述第二交換機(jī)械臂在所述建造臺與所述加載互鎖區(qū)與該第二加載互鎖區(qū)之間傳送所述多個工件，且所述第一交換機(jī)械臂及所述第二交換機(jī)械臂二維地移動。
7.—種工件處理方法,包括: 利用支架機(jī)械臂將多個已加工工件從交換機(jī)械臂傳送至第一輸送帶，其中所述交換機(jī)械臂包含多列所述已加工工件； 利用所述支架機(jī)械臂將多個未加工工件從第二輸送帶傳送至所述交換機(jī)械臂；以及 重復(fù)對所述已加工工件與所述未加工工件的所述傳送，直到所述未加工工件已經(jīng)取代所述交換機(jī)械臂上的所有所述已加工工件。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的工件處理方法，其中所述交換機(jī)械臂包含四個所述列。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的工件處理方法，還包括于利用所述支架機(jī)械臂在進(jìn)行所述傳送期間調(diào)整所述工件的位置。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的工件處理方法，其中所述支架機(jī)械臂將所述未加工工件置于所述多個列中的一列中，于所述支架機(jī)械臂之前移去所述已加工工件處。
11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的工件處理方法，還包括利用所述支架機(jī)械臂將所述未加工工件負(fù)載至加載互鎖區(qū)內(nèi)。
12.—種工件處理方法,包括: 當(dāng)?shù)诙粨Q機(jī)械臂位于第一交換機(jī)械臂下時，將多個未加工工件負(fù)載于所述第一交換機(jī)械臂上； 當(dāng)所述第一交換機(jī)械臂位于所述加載互鎖區(qū)外時，將所述第二交換機(jī)械臂移進(jìn)所述加載互鎖區(qū)內(nèi)，以將多個已加工工件負(fù)載至所述第二交換機(jī)械臂上； 從所述加載互鎖區(qū)移去所述第二交換機(jī)械臂及所述多個已加工工件； 當(dāng)所述第二交換機(jī)械臂位于所述加載互鎖區(qū)外時，將所述第一交換機(jī)械臂移進(jìn)所述加載互鎖區(qū)內(nèi)； 從所述加載互鎖區(qū)中移出所述第一交換機(jī)械臂；以及 當(dāng)所述第一交換機(jī)械臂在停放位置時，將第二多個未加工工件負(fù)載于所述第二交換機(jī)械臂上，并將所述多個已加工工件從所述第二交換機(jī)械臂卸載。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的工件處理方法，其中所述停放位置在所述加載互鎖區(qū)之下。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的工件處理方法，其中所述將所述多個未加工工件負(fù)載于所述第一交換機(jī)械臂上的步驟，還包括從所述第一交換機(jī)械臂卸載第二多個已加工工件。
15.根據(jù)權(quán)利要求12所述的工件處理方法，還包括從所述停放位置移去所述第一交換機(jī)械臂，并將所述第一交換機(jī)械臂移進(jìn)所述加載互鎖區(qū)內(nèi)以將第二多個已加工工件負(fù)載于所述第一交換機(jī)械臂上。
16.根據(jù)權(quán)利要求12所述的工件處理方法，還包括在所述將所述多個未加工工件負(fù)載于所述第一交換機(jī)械臂上的步驟與所述將所述第二交換機(jī)械臂移進(jìn)所述加載互鎖區(qū)內(nèi)的步驟之間，改變所述第一交換機(jī)械臂與所述第二交換機(jī)械臂的垂直位置。
17.根據(jù)權(quán)利要求12所述的工件處理方法，其中所述將所述多個未加工工件負(fù)載于所述第一交換機(jī)械臂上的步驟，包括利用支架機(jī)械臂，將所述多個未加工工件從輸送帶傳送至所述第一交換機(jī)械臂。
18.根據(jù)權(quán)利要求12所述的工件處理方法，其中所述將所述多個已加工工件從所述第二交換機(jī)械臂卸載以及所述將所述第二多個未加工工件負(fù)載于所述第二交換機(jī)械臂上的步驟還包括: 利用支架機(jī)械臂，將所述多個已加工工件從所述第二交換機(jī)械臂傳送至第一輸送帶，其中所述第二交換機(jī)械臂包含多列所述已加工工件； 利用所述支架機(jī)械臂，將所述第二多個未加工工件從輸送帶傳送至所述第二交換機(jī)械臂；以及 重復(fù)所述多個已加工工件與所述多個未加工工件的所述傳送步驟，直到所述交換機(jī)械臂上的所述多個已加工工件全部被所述第二多個未加工工件取代為止。
【文檔編號】H01L21/677GK103988290SQ201280059757
【公開日】2014年8月13日 申請日期:2012年11月2日 優(yōu)先權(quán)日:2011年11月2日
【發(fā)明者】杰森·M·夏勒, 羅伯特·B·寶佩特, 查理斯·T·卡爾森, 麥考林·N·丹尼爾, 亞隆·P·威波, 威廉·T·維弗 申請人:瓦里安半導(dǎo)體設(shè)備公司