超聲波振動器件及超聲波醫(yī)療裝置制造方法
【專利摘要】一種超聲波振動器件(2)以及具備該超聲波振動器件(2)的超聲波醫(yī)療裝置，超聲波振動器件(2)具有以使分極成分交替地反轉(zhuǎn)的方式層疊的多個(gè)壓電單晶板(44a～44f)，使與來自夾裝于多個(gè)壓電單晶板上的電極(45a、45b)的電壓施加方向正交的方向的應(yīng)變變形最大的方向一致，將多個(gè)壓電單晶板(44a～44f)層疊。
【專利說明】超聲波振動器件及超聲波醫(yī)療裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及具備激勵超聲波振動的超聲波振動器件及具備該超聲波振動器件的超聲波醫(yī)療裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來，已知具備超聲波振子的超聲波醫(yī)療裝置。作為超聲波醫(yī)療裝置，包括將生物體內(nèi)的狀態(tài)圖像化的超聲波診斷裝置、在外科手術(shù)中進(jìn)行凝固切割的超聲刀等。在這些裝置中，在根據(jù)電信號生成超聲波振動的超聲波振子中使用壓電材料，使用以PZT (鋯鈦酸鉛)為代表的壓電陶瓷、壓電單晶。另外，以低阻抗化、高功率化為目的，使用由多個(gè)壓電材料層疊而成的構(gòu)造。
[0003]作為將壓電單晶層疊而成的超聲波振子，已知有例如JP特開2001-102650號公報(bào)所公開的技術(shù)。該現(xiàn)有的振子是使用接合用金屬材料將由AB03型鈣鈦礦結(jié)構(gòu)構(gòu)成的單晶(I — x)Pb (BI, B2)03 — xPbTi03 (x = 0 - 0.55，且 BI = Mg、Zn、N1、Sc、In, Yb, Lu, B2 =Nb, Ta)粘貼2張以上，進(jìn)行加熱接合之后，進(jìn)行分極而得的層疊壓電單晶元件。
[0004]在現(xiàn)有的振子中使用的單晶材料，由單軸性的材料在振子的層疊方向分極，所以層疊方向成為旋轉(zhuǎn)對稱軸，在與層疊方向垂直的方向、即振子的面內(nèi)的變形相同，與方向無關(guān)。
[0005]但是，某些壓電單晶材料，層疊方向不成為旋轉(zhuǎn)對稱軸，根據(jù)方向的不同而壓電常數(shù)不同，應(yīng)變方式有所不同。在將層疊方向不成為旋轉(zhuǎn)對稱軸的至少2張以上的壓電單晶材料進(jìn)行層疊、層疊方向的分極成分交替地反轉(zhuǎn)的例如朗之萬型振子中，將各壓電元件的表面、背面交替地反轉(zhuǎn)來進(jìn)行層疊，所以存在不能夠使與層疊方向垂直(正交)的面內(nèi)方向的變形、即壓電振子的面內(nèi)方向的變形相對于全部方向在相鄰的壓電振子之間一致的問題。此外，以往的朗之萬型振子，由于相鄰的壓電振子之間的面內(nèi)方向的應(yīng)變不一致，所以面內(nèi)方向的變形受阻，其結(jié)果，影響到層疊方向的變形，對變形相對于相同的輸入電壓來講變小的層間作用多余的應(yīng)力而容易破裂，驅(qū)動時(shí)有可能損傷。
[0006]在此，本發(fā)明是鑒于上述情況而做出的，其目的在于，提供一種超聲波振動器件及使用了該超聲波振動器件的超聲波醫(yī)療裝置，該超聲波振動器件盡可能減小壓電振子的面內(nèi)方向的變形的阻礙及相鄰振子間的多余的應(yīng)力，防止驅(qū)動時(shí)的損傷，且更有效地得到振子層疊方向的變形。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]為了解決課題的手段
[0008]本發(fā)明的一個(gè)方式的超聲波振動器件，具有以使分極成分交替地反轉(zhuǎn)的方式層疊的多個(gè)壓電單晶板，使與來自夾裝于所述多個(gè)壓電單晶板的電極的電壓施加方向正交的方向的應(yīng)變變形最大的方向一致，將所述多個(gè)壓電單晶板層疊。
[0009]另外，本發(fā)明的一個(gè)方式的超聲波醫(yī)療裝置，具備超聲波振動器件，該超聲波振動器件具有以使分極成分交替地反轉(zhuǎn)的方式層疊的多個(gè)壓電單晶板，使與來自夾裝于所述多個(gè)壓電單晶板的電極的電壓施加方向正交的方向的應(yīng)變變形最大的方向一致，將所述多個(gè)壓電單晶板層疊。
[0010]根據(jù)以上所述的本發(fā)明，提供一種超聲波振動器件及使用了該超聲波振動器件的超聲波醫(yī)療裝置，該超聲波振動器件盡可能減小壓電振子的面內(nèi)方向的變形的阻礙及相鄰振子間的多余的應(yīng)力，防止驅(qū)動時(shí)的損傷，且更有效地得到振子層疊方向的變形。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]圖1是表示本發(fā)明的一個(gè)方式的超聲波醫(yī)療裝置的整體構(gòu)成的剖視圖。
[0012]圖2是表示振子單元的整體的概要結(jié)構(gòu)的圖。
[0013]圖3是表示超聲波振子的構(gòu)成的立體圖。
[0014]圖4是表不超聲波振子的構(gòu)成的局部剖視圖。
[0015]圖5是表示層疊振子的構(gòu)成的剖視圖。
[0016]圖6是表示單晶晶片的立體圖。
[0017]圖7是從單晶晶片的拋光面?zhèn)扔^察的俯視圖。
[0018]圖8是表示壓電單晶板的應(yīng)變方式的圖，(a)為電壓施加方向，(b)表示垂直(正交)應(yīng)變，(C)表示剪切應(yīng)變。
[0019]圖9是表示壓電應(yīng)變常數(shù)的基板上的面內(nèi)方向依賴性的圖。
[0020]圖10是表示施加了垂直應(yīng)變和剪切應(yīng)變的壓電應(yīng)變常數(shù)的基板上的面內(nèi)方向依賴性的圖。
[0021]圖11是表不層置振子的晶片坐標(biāo)系的相對關(guān)系的不意圖。
[0022]圖12是表示壓電單晶板的第I例，表示其變形最大的方向的俯視圖。
[0023]圖13是表示壓電單晶板的第2例，表示其變形最大的方向的俯視圖。
[0024]圖14是表示壓電單晶板的第3例，表示其變形最大的方向的俯視圖。
[0025]圖15是表示設(shè)置了形成有第I標(biāo)識部的電極的壓電單晶板的一面的俯視圖。
[0026]圖16是表示設(shè)置了形成有第2標(biāo)識部的電極的壓電單晶板的另一面的俯視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0027]下面使用附圖來說明本發(fā)明。另外，在以下的說明中，基于各實(shí)施方式的附圖屬于示意性的圖，應(yīng)注意各部分的厚度與寬度之間的關(guān)系、各個(gè)部分的厚度的比率等與現(xiàn)實(shí)的產(chǎn)品不同，在附圖彼此之間也有包括彼此的尺寸關(guān)系、比率不同的部分的情況。
[0028](超聲波醫(yī)療裝置)
[0029]圖1是表示本實(shí)施的方式的超聲波醫(yī)療裝置的整體構(gòu)成的剖視圖。
[0030]如圖1所示，超聲波醫(yī)療裝置I設(shè)置有振子單元3和手柄單元4，振子單元3主要具有作為產(chǎn)生超聲波振動的超聲波器件的超聲波振子2，手柄單元4使用該超聲波振動進(jìn)行患部的治療。
[0031]手柄單元4具備操作部5、由長條的外套管7構(gòu)成的插入套部8、以及前端處置部30。插入套部81的基端部以可繞軸旋轉(zhuǎn)的方式被安裝到操作部5。前端處置部30設(shè)置于插入套部8的前端。手柄單元4的操作部5具有操作部主體9、固定手柄10、可動手柄11、以及旋轉(zhuǎn)捏手12。操作部主體9與固定手柄10形成為一體。
[0032]在操作部主體9與固定手柄10的連結(jié)部形成有狹縫13，在背面?zhèn)葘⒖蓜邮直?1插通到狹縫13?？蓜邮直?1的上部穿過狹縫13而延伸到操作部主體9的內(nèi)部。在狹縫13的下側(cè)的端部固定有手柄擋塊14?？蓜邮直?1經(jīng)由手柄支軸15可轉(zhuǎn)動地安裝到操作部主體9。而且，隨著可動手柄11以手柄支軸15為中心轉(zhuǎn)動的動作，可動手柄11相對于固定手柄10進(jìn)行開閉操作。
[0033]在可動手柄11的上端部設(shè)置有大致U字狀的連結(jié)臂16。另外，插入套部8具有外套管7和可沿著軸向移動地插通到該外套管7內(nèi)的操作管17。在外套管7的基端部形成有直徑比前端側(cè)部分大的大徑部18。在該大徑部18的周圍安裝旋轉(zhuǎn)捏手12。
[0034]在操作管19的外周可沿著軸向移動地設(shè)置有環(huán)狀的滑塊20。在滑塊20的后方經(jīng)由螺旋彈簧(彈性部件)21配設(shè)有固定環(huán)22。
[0035]此外，在操作管19的前端部，經(jīng)由作用銷可轉(zhuǎn)動地連結(jié)有把持部23的基端部。該把持部23與探頭6的前端部31 —起構(gòu)成超聲波醫(yī)療裝置I的處置部。而且，在操作管19沿軸向移動的動作時(shí)，把持部23經(jīng)由作用銷在前后方向上進(jìn)行進(jìn)出操作。此時(shí)，在操作管19向手的一側(cè)進(jìn)行移動操作的動作時(shí)，把持部23通過作用銷以支點(diǎn)銷為中心進(jìn)行轉(zhuǎn)動。由此，把持部23向靠近探頭6的前端部31的方向(關(guān)閉方向)轉(zhuǎn)動。此時(shí)，能夠在單開門型的把持部23和探頭6的前端部31之間把持生物體組織。
[0036]在像這樣把持了生物體組織的狀態(tài)下，從超聲波電源向超聲波振子2供電，使超聲波振子2振動。該超聲波振動被傳遞到探頭6的前端部31。于是，使用該超聲波振動對把持在把持部23和探頭6的前端部31之間的生物體組織進(jìn)行凝固切開。
[0037](振子單元)
[0038]在此，說明振子單元3。另外，圖2是表示振子單元3的整體的概要結(jié)構(gòu)的圖，圖3是表示超聲波振子的整體的概要結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0039]如圖2及圖3所示，振子單元3是將超聲波振子2和探頭6安裝成一體而成的，該探頭6是傳遞該超聲波振子2產(chǎn)生的超聲波振動的棒狀的振動傳遞部件。
[0040]超聲波振子2上連接設(shè)置有放大振幅的變幅部(horn) 32。變幅部32由硬鋁或例如64Ti等鈦合金形成。變幅部32形成為隨著朝向前端側(cè)而外徑變細(xì)的圓錐形狀，在基端外周部形成有外向凸緣33。
[0041]探頭6具有由例如64Ti等鈦合金形成的探頭主體34。在該探頭主體34的基端部側(cè)配設(shè)有與上述的變幅部32連設(shè)的超聲波振子2。像這樣，形成有將探頭6和超聲波振子2—體化的振子單元3。
[0042]而且，由超聲波振子2產(chǎn)生的超聲波振動被所述變幅部32放大之后，傳遞到探頭6的前端部31側(cè)。在探頭6的前端部31形成有對生物體組織進(jìn)行處置的后述的處置部。
[0043]另外，在探頭主體34的外周面，在位于軸向的途中的多個(gè)振節(jié)位置，隔開間隔安裝有由彈性部件形成為環(huán)狀的2個(gè)橡膠襯套35。而且，通過這些橡膠襯套35，防止探頭主體34的外周面與后述的操作管19接觸。也就是說，在組裝插入套部8時(shí)，作為振子一體型探頭的探頭6被插入到操作管19的內(nèi)部。此時(shí)，通過橡膠襯套35來防止探頭主體34的外周面與操作管19接觸。
[0044]另外，超聲波振子2經(jīng)由電纜36與供給用于產(chǎn)生超聲波振動的電流的未圖示的電源裝置主體電連接。通過該電纜36內(nèi)的布線從電源裝置主體向超聲波振子2供給電力，從而驅(qū)動超聲波振子2。
[0045](超聲波振子)
[0046]在此，以下說明振子單元3的超聲波振子2。另外，圖4是表示超聲波振子的構(gòu)成的局部剖視圖，圖5是表示層疊振子的構(gòu)成的剖視圖。
[0047]如圖3以及圖4所示，振子單元3的作為超聲波器件的超聲波振子2，從前端起依次具有圓筒狀的殼體37和防折件38，該殼體37與變幅部32接合，該防折件38連設(shè)在該殼體37的基端，電纜36被延設(shè)在防折件38的后方。
[0048]在殼體37內(nèi)配設(shè)有層疊振子41。在該層疊振子41的前端及基端側(cè)設(shè)置有絕緣板42。在被固接到變幅部32的基端面上的前端側(cè)的絕緣板42和在被接合到背塊(backmass)43的前方側(cè)而連設(shè)的基端側(cè)的絕緣板42之間，層疊有多個(gè)、在此為6個(gè)壓電單晶板44a?44f。這些壓電單晶板44a?44f以在相鄰板之間層疊方向的分極成分交替反轉(zhuǎn)的
方式層疊。
[0049]另外，在各壓電單晶板44a?44f之間，交替夾持由銅箔構(gòu)成的可折彎的正電極板45a及負(fù)電極板45b,并延伸到層疊振子41的后方，以能夠?qū)Ω鲏弘妴尉О?4a?44f施加電壓。另外，電極板45a、45b構(gòu)成為分別與各壓電單晶板44a?44f的相同的分極面連接。
[0050]這些電極板45a、45b與配設(shè)在電纜36上的布線46a、46b連接。而且，各電極板45a,45b對壓電單晶板44a?44f施加電壓，通過壓電效應(yīng)，使層疊振子41在壓電單晶板44a?44f的層疊方向進(jìn)行超聲波振動。
[0051]另外，如圖5所示，絕緣板42、背塊43、壓電單晶板44a?44f以及各電極板45a、45b的接合通過接合材料47而接合成一體。作為該接合材料47，使用導(dǎo)電性接合劑等有機(jī)類材料、焊錫等金屬類材料。另外，也可以將層疊振子41設(shè)為螺接朗之萬振子，通過利用螺栓將變幅部32和背塊43緊固，能夠?qū)⒆兎?2、絕緣板42、背塊43、壓電單晶板44a?44f、以及各電極板45a、45b —體化。
[0052](壓電單晶板)
[0053]下面說明在本實(shí)施方式中使用的壓電單晶板44a?44f。另外，說明這里的壓電單晶板44a?44f使用作為不含鉛(Pb)的無鉛單晶材的LiNb03 (Lithium Niobate:銀酸鋰)且適合于得到晶片厚度方向的振動的36° Y切斷基板的情況。
[0054]另外，圖6是表示單晶晶片的立體圖，圖7是從單晶晶片的拋光面?zhèn)扔^察的俯視圖。
[0055]圖6及圖7所示的LiNb03單晶的晶片50，為了根據(jù)用途而獲得所需的特性，被加工成相對于結(jié)晶軸(X，Y，Z)成為特定朝向的晶片形狀。例如，在SAW(表面彈性波)器件用途中使用被稱為128° Y切斷的晶片，但在本實(shí)施方式的壓電單晶板44a?44f中，由于將LiNb03壓電單晶層疊來獲得層疊方向的振動，所以適合使用層疊方向的壓電常數(shù)增大的36° Y切斷基板。
[0056]LiNb03單晶的晶片50相對于結(jié)晶軸的方向由歐拉角規(guī)定。晶片50中的坐標(biāo)系(xl，x2，x3)如下設(shè)定，將與晶片50的拋光面51垂直(正交)的方向設(shè)為x3軸，將從晶片50中心至0F(定向平面)的方向設(shè)為xl軸，x2方向被選定為使得xl軸、x2軸、x3軸構(gòu)成右手直角坐標(biāo)系。[0057]在壓電單晶板44a?44f中使用的LiNb03單晶的結(jié)晶軸(X，Y，Z)與晶片50上的坐標(biāo)系(xl，χ2, χ3)的關(guān)系通過歐拉角(Φ，Ψ，Θ )建立關(guān)聯(lián)。由歐拉角Φ、Ψ決定晶片50的拋光面51面，由Θ決定OF(定向平面)的方向、即χ3軸的方向。在此的壓電單晶板44a?44f如下制作，對具有相對于結(jié)晶軸(X，Y，Z)成為歐拉角(180° ,54° ,180° )的特定方向的LiNb03 36° Y切斷基板進(jìn)行切斷或機(jī)械加工，加工成矩形或者圓板形狀的芯片。
[0058]圖8表示對壓電單晶板44a?44f的厚度方向施加了電壓時(shí)的、與電壓施加方向垂直(正交)的方向的變形。另外，圖8表示壓電單晶板的應(yīng)變方式，圖8(a)表示電壓施加方向，圖8(b)表示垂直(正交)應(yīng)變，圖8 (c)表示剪切應(yīng)變。如圖8所示，在壓電單晶板44a?44f的應(yīng)變方式上,相對于圖8 (a)所不的電壓施加方向，有即圖8(b)所不的垂直(正交)應(yīng)變和圖8 (c)所示的剪切應(yīng)變這2種應(yīng)變。
[0059]壓電單晶板44a?44f中的垂直應(yīng)變是指，在與電壓施加方向正交的方向上整個(gè)壓電單晶板44a?44f伸縮，相對于此，壓電單晶板44a?44f的剪切應(yīng)變是指，電壓施加面在與電壓施加方向正交的方向上位移，壓電單晶板44a?44f的截面傾斜變形。
[0060]對壓電單晶板44a?44f施加了電壓時(shí)的應(yīng)變的大小由壓電應(yīng)變常數(shù)d表示，將電壓施加方向設(shè)為坐標(biāo)系的3軸方向時(shí)，垂直應(yīng)變由d31、d32表示，剪切應(yīng)變由d35、d34表示。在本實(shí)施方式這樣的壓電單晶的情況下，根據(jù)結(jié)晶異方性，該壓電常數(shù)在振子面內(nèi)根據(jù)方向而不同。
[0061]在此，說明壓電應(yīng)變常數(shù)d31、d35的36° Y切斷基板上的面內(nèi)方向依賴性。另外，圖9是表示壓電應(yīng)變常數(shù)的基板上的面內(nèi)方向依賴性的圖，圖1O是表示施加了垂直應(yīng)變和剪切應(yīng)變的壓電應(yīng)變常數(shù)的基板上的面內(nèi)方向依賴性的圖。
[0062]圖9所示的曲線圖的X軸是歐拉角Θ，表示晶片50面內(nèi)的方向。另外，圖10示出壓電應(yīng)變常數(shù)d31+d35。另外，值的絕對值表示應(yīng)變的大小。由這些曲線可知，歐拉角Θ=270度的方向、即圖6及圖7的晶片坐標(biāo)系中x2軸的方向上，壓電應(yīng)變常數(shù)d31、d35均成為最大，剪切應(yīng)變成為最大。
[0063]因此，如圖11所示，本實(shí)施方式的超聲波振子2的層疊振子41，在各壓電單晶板44a?44f上，表不晶片坐標(biāo)系的相對關(guān)系時(shí)，在晶片50的坐標(biāo)系中，以x2軸一致的方式將表背交替地層疊，構(gòu)成朗之萬振子。另外，圖11是表示層疊振子的晶片坐標(biāo)系的相對關(guān)系的示意圖。
[0064]由此，超聲波振子2在層疊振子41的相鄰的壓電單晶板44a?44f間的面內(nèi)變形的差異成為最小，面內(nèi)方向的變形的阻礙減少，防止驅(qū)動時(shí)的損傷，并且能夠有效獲得層疊方向的振動。
[0065]此外，超聲波振子2是采用無鉛單晶材的LiNb03 36° Y切斷基板通過壓電單晶板44a?44f形成，所以能夠構(gòu)成為近年來所希望的無鉛的適合于環(huán)境保護(hù)的構(gòu)成。另外，壓電單晶板44a?44f不限于鈮酸鋰的單晶材，只要是以剪切應(yīng)變成為最大的晶片坐標(biāo)系的軸一致的方式將表背交替地層疊的構(gòu)成即可，例如也可以使用鉭酸鋰壓電單晶。
[0066]另外，如圖12至圖14所示，上述的各壓電單晶板44a?44f以與層疊方向正交的方向的變形(振子單板的面內(nèi)的變形)最大的方向(圖中V方向)成為線對稱的對稱軸的方式將外形加工成圓形或矩形。通過形成為這種形狀，所激勵的超聲波振動穩(wěn)定，并且使X'軸向一致地進(jìn)行層疊，所以層疊振子41的外周形狀均勻。尤其是，在將振子的外形設(shè)為矩形的情況下，使V軸向一致，將層疊方向的分極成分交替地反轉(zhuǎn)進(jìn)行層疊時(shí)，層疊體的外形成為連續(xù)的平面而容易制造。另外，圖11~圖14是表示壓電單晶板上的變形最大的方向的俯視圖。
[0067]但是，由晶片50加工成作為芯片的壓電單晶板44a~44f時(shí)，存在晶片50上的坐標(biāo)系和芯片的朝向之間的關(guān)系從外觀上不能判斷的課題。于是，設(shè)置通過晶片形狀形成電極的工序，進(jìn)行電極的圖案化，在表面和背面的對稱軸上形成可識別對稱軸以及表面和背面的標(biāo)記，能夠容易判斷振子的朝向。通常在采用焊錫等將多個(gè)振子一體化的情況下，需要電極形成工序，所以在這些情況下，能夠不追加多余的工序而制作所需的標(biāo)記。
[0068]例如，如圖15及圖16所示，在壓電單晶板44a~44f上，設(shè)置有在一面?zhèn)刃纬闪说贗標(biāo)識部53的電極52和在另一側(cè)面形成了第2標(biāo)識部54的電極52。另外，圖15是表示設(shè)置了形成有第I標(biāo)識部的電極的壓電單晶板的一面的俯視圖，圖16是表示設(shè)置了形成有第2標(biāo)識部的電極的壓電單晶板的另一面的俯視圖。
[0069]通過金屬膜的成膜和圖案形成，在這些壓電單晶板44a~44f的兩面上形成電極52。金屬膜的成膜通過通常使用的蒸鍍、濺射、電鍍等進(jìn)行，圖案形成利用光刻、蝕刻等進(jìn)行。
[0070]作為標(biāo)識，在對稱軸上的一個(gè)主面上，作為電極圖案形成有I個(gè)缺口的第I標(biāo)識部53，在其相反面上形成有形狀與第I標(biāo)識部53不同的2個(gè)缺口的第2標(biāo)識部54。
[0071 ] 而且，壓電單晶板44a~44f以第I標(biāo)識部53彼此、第2標(biāo)識部54彼此對準(zhǔn)的方式使電極52面接觸而進(jìn)行層疊，從而能夠容易地制作以層疊方向的分極成分交替地反轉(zhuǎn)、與層疊方向正交的方向的變形(振子單板的面內(nèi)的變形)最大的方向(X^方向)一致的方式進(jìn)行了層疊的超聲波振子2的層疊振子41。另外，只要知道壓電單晶板44a~44f的表面和背面的區(qū)別和對稱軸的位置即可，標(biāo)識部53、54的形狀可以是任何形狀。
[0072]上述的實(shí)施方式中記載的發(fā)明不限于該實(shí)施方式及變形例，除此之外，在實(shí)施階段可以在不脫離發(fā)明宗旨的范圍內(nèi)實(shí)施各種變形。此外，在上述實(shí)施方式中包括各種階段的發(fā)明，通過將所公開的多個(gè)構(gòu)成要件中的適當(dāng)組合，能夠提得到各種發(fā)明。
[0073]例如，即使從實(shí)施方式中示出的全部構(gòu)成要件刪除幾個(gè)構(gòu)成要件，只要仍能夠解決上述的課題并得到上述的效果，則刪除了該構(gòu)成要件的構(gòu)成也能夠作為發(fā)明獲得。
[0074] 本申請以于2011年12月26日在日本提出的特愿2011-283670號為優(yōu)先權(quán)的基礎(chǔ)進(jìn)行申請，上述的內(nèi)容被引用到本申請說明書、權(quán)利要求書以及附圖中。
【權(quán)利要求】
1.一種超聲波振動器件，其特征在于， 具有以使分極成分交替地反轉(zhuǎn)的方式層疊的多個(gè)壓電單晶板， 使與來自夾裝于所述多個(gè)壓電單晶板的電極的電壓施加方向正交的方向的應(yīng)變變形最大的方向一致，將所述多個(gè)壓電單晶板層疊。
2.如權(quán)利要求1所述的超聲波振動器件，其特征在于， 所述多個(gè)壓電單晶板由無鉛材料形成。
3.如權(quán)利要求2所述的超聲波振動器件，其特征在于， 所述多個(gè)壓電單晶板由鈮酸鋰或鉭酸鋰壓電單晶形成。
4.如權(quán)利要求1?3中任一項(xiàng)所述的超聲波振動器件，其特征在于， 所述多個(gè)壓電單晶板以與層疊方向正交的方向的應(yīng)變變形最大的方向?yàn)閷ΨQ軸而左右對稱。
5.如權(quán)利要求4所述的超聲波振動器件，其特征在于， 所述多個(gè)壓電單晶板在表面和背面的所述對稱軸上具有能夠識別應(yīng)變變形最大的方向以及表面和背面的標(biāo)識部。
6.如權(quán)利要求5所述的超聲波振動器件，其特征在于， 在所述多個(gè)壓電單晶板的表面和背面將所述電極圖案化形成，將所述電極的一部分設(shè)為不同的形狀，以能夠識別應(yīng)變變形最大的方向以及表面和背面，由此形成所述標(biāo)識部。
7.一種超聲波醫(yī)療裝置， 具備權(quán)利要求1?6中任一項(xiàng)記載的所述超聲波振動器件。
【文檔編號】H01L41/083GK104012114SQ201280064389
【公開日】2014年8月27日 申請日期:2012年11月22日 優(yōu)先權(quán)日:2011年12月26日
【發(fā)明者】伊藤寬 申請人:奧林巴斯株式會社