激光器裝置制造方法
【專利摘要】在固體激光器元件(3)的端面(3b)設(shè)置傾斜，使得在假定為激光從該端面(3b)入射到空氣的情況下，該入射面中的固體激光器元件(3)側(cè)的法線與激光的行進(jìn)方向所形成的入射角與該入射面處的偏振角大致一致，并且在波長變換元件(4)的端面(4a)設(shè)置傾斜，使得在假定為激光從該端面(4a)入射到空氣的情況下，該入射面中的波長變換元件(4)側(cè)的法線與激光的行進(jìn)方向所形成的入射角與該入射面處的偏振角大致一致，該端面(3b)與端面(4b)相對置地配置。
【專利說明】激光器裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明例如涉及一種用于投影儀裝置等的光源的激光器裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]例如，在投影儀裝置、投影電視機(jī)等顯示彩色圖像的裝置中，作為光源需要R(紅)、G(綠)、B (藍(lán))這三個(gè)顏色的光源。
[0003]近年來,作為這些光源,開發(fā)了以900nm帶、I μ m帶、1.3 μ m帶的激光為基波激光，使用非線性材料將該基波激光變換為二次諧波(SHG、Second Harmonic Generat1n)的波長變換激光器裝置(激光器振蕩器)。
[0004]作為波長變換激光器裝置的一個(gè)例子，有由半導(dǎo)體激光器元件、固體激光器元件以及波長變換元件構(gòu)成的裝置(例如，參照專利文獻(xiàn)I)。
[0005]該波長變換激光器裝置通過固體激光器元件吸收從半導(dǎo)體激光器元件產(chǎn)生的激發(fā)光來產(chǎn)生激光的基波，波長變換元件變換由固體激光器元件產(chǎn)生了的基波的波長而產(chǎn)生二次諧波。
[0006]該波長變換激光器裝置中的三個(gè)元件是單獨(dú)地制作的，并被對準(zhǔn)成各自的光軸相一致。另外，在各元件的前后端面實(shí)施如對基波以及二次諧波的各個(gè)具有最優(yōu)反射率那樣的涂敷。
[0007]這里，固體激光器元件和波長變換元件如果通過接合而一體化，則不需要兩者的接合面?zhèn)鹊耐糠?，而且還不需要兩者間的對準(zhǔn)，因此能夠?qū)崿F(xiàn)制作容易度的提高、成本降低坐寸ο
[0008]圖16是表示固體激光器元件和波長變換元件通過接合而被一體化的波長變換激光器裝置的結(jié)構(gòu)圖。
[0009]在圖16的波長變換激光器裝置中，在產(chǎn)生激發(fā)光的半導(dǎo)體激光器元件101之前配置固體激光器元件103和波長變換元件104，固體激光器元件103和波長變換元件104被固定在冷卻用的散熱器102上。
[0010]在固體激光器元件103形成端面103a和端面103b，在波長變換元件104形成有端面104a和端面104b，固體激光器元件103的端面103b和波長變換元件104的端面104b
被接合。
[0011]這里，固體激光器元件103的端面103a具有如下那樣的反射膜:透射從半導(dǎo)體激光器元件101射出了的激發(fā)光，對由固體激光器元件103產(chǎn)生的激光的基波進(jìn)行全反射。
[0012]另一方面，波長變換元件104的端面104b具有對該基波進(jìn)行反射并透射激光的二次諧波的光學(xué)膜。
[0013]這些全反射膜、防反射膜以及光學(xué)膜例如層疊電介質(zhì)薄膜而構(gòu)成。
[0014]作為接合固體激光器元件103和波長變換元件104的方法，大多采取通過光學(xué)接觸、擴(kuò)散接合或者表面活性化接合等來光學(xué)地接合的方法。
[0015]作為半導(dǎo)體激光器元件101的定位方法，一般使用主動對準(zhǔn)法，在該主動對準(zhǔn)法中，調(diào)整半導(dǎo)體激光器元件101的位置而進(jìn)行固定，以使得當(dāng)從半導(dǎo)體激光器元件101射出了激發(fā)光時(shí)從波長變換元件104輸出的激光的光強(qiáng)度成為最大。
[0016]當(dāng)從半導(dǎo)體激光器元件101射出的激光入射到固體激光器元件103時(shí)，通過在該固體激光器元件103內(nèi)激發(fā)活性離子，使基波進(jìn)行激光振蕩。
[0017]此時(shí)，構(gòu)成基波的諧振器的反射面(諧振面)成為作為固體激光器元件103的后端面的端面103a、和作為波長變換元件104的前端面的端面104b。
[0018]這里，在圖中考慮向A方向行進(jìn)的基波在端面103b或者端面104a被反射的情況、或者向B方向行進(jìn)的基波在端面103b或者端面104a被反射的情況。
[0019]在這種情況下，反射波的相位通常不與基波的相位一致，因此對振蕩沒有貢獻(xiàn)而成為光損耗。即，在端面103b或者端面104a產(chǎn)生了反射的情況下，由固體激光器元件103產(chǎn)生的基波的光密度下降，二次諧波的光輸出特性將惡化。
[0020]通常，固體激光器元件103和波長變換元件104的熱膨脹系數(shù)不完全一致，因此由于組裝時(shí)的加熱、伴隨動作的發(fā)熱，有時(shí)兩者的接合剝離而產(chǎn)生間隙。
[0021]在以往的激光器裝置中，在略微有該間隙的情況下，有時(shí)由于元件與間隙(空氣)間的折射率差而反射增大，光輸出特性惡化。
[0022]這里，考慮半導(dǎo)體激光器元件101的振蕩波長為808nm，作為固體激光器元件103使用Nd:YV04(摻釹釩酸釔晶體)，作為波長變換元件104使用PPLN (Per1dicalIy PoledLithium N1bate:周期性極化銀酸鋰晶體)的情況。
[0023]在這種情況下，固體激光器元件103通過從半導(dǎo)體激光器元件101射出的激發(fā)光來產(chǎn)生1064nm的基波。
[0024]圖17以及圖18表示使用菲涅耳的公式考慮電場的多重反射而求出當(dāng)使固體激光器元件103與波長變換元件104的間隙寬度變化時(shí)的反射率的仿真結(jié)果。
[0025]大多將由固體激光器元件103產(chǎn)生的基波的偏光設(shè)為P波，因此這里考慮P波。
[0026]為了獲得足夠的光輸出特性，需要將固體激光器元件103與波長變換元件104的接合部分的反射率設(shè)為0.6%左右以下，但是此時(shí)允許的間隙寬度非常小至16nm以下。
[0027]在實(shí)際的元件中，容易超出該間隙寬度，其結(jié)果，光輸出特性會惡化。而且，由于間隙寬度的增大，P波的反射率與S波的反射率差縮小，因此變得容易引起對波長變換沒有貢獻(xiàn)的S波的振蕩(寄生振蕩)。
[0028]專利文獻(xiàn)1:國際公開第2006/103767號公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0029]以往的激光器裝置如以上那樣構(gòu)成，因此即使固體激光器元件103與波長變換元件104之間的間隙微小，由于固體激光器元件103、波長變換元件104與間隙(空氣)之間的折射率差，反射也會增大，存在有時(shí)光輸出特性惡化的課題。
[0030]另外，還存在變得容易引起對波長變換沒有貢獻(xiàn)的S波的振蕩(寄生振蕩)的課題。
[0031]本發(fā)明是為了解決如上所述的課題而作出的，其目的在于獲得一種激光器裝置，該激光器裝置即使固體激光器元件與波長變換元件(光學(xué)元件)的接合剝離而產(chǎn)生間隙，也能夠抑制光輸出特性的惡化，并且盡管固體激光器元件與波長變換元件的接合沒有剝離，也能夠抑制以該接合部處的反射為起因的寄生振蕩。
[0032]本發(fā)明的激光器裝置具備:激發(fā)用激光器，射出激發(fā)光；固體激光器元件，吸收從激發(fā)用激光器射出的激發(fā)光而產(chǎn)生激光；以及光學(xué)元件，入射從固體激光器元件產(chǎn)生的激光；在固體激光器元件的端面設(shè)置傾斜，使得在假定為激光從固體激光器元件的端面入射到空氣的情況下，該入射面中的固體激光器元件側(cè)端面的法線與激光的行進(jìn)方向所形成的入射角與該入射面處的偏振角大致一致，并且在光學(xué)元件的端面設(shè)置傾斜，使得在假定為激光從光學(xué)元件的端面入射到空氣的情況下，該入射面中的光學(xué)元件側(cè)端面的法線與激光的行進(jìn)方向所形成的入射角與該入射面處的偏振角大致一致，固體激光器元件的端面與光學(xué)元件的端面相對置地配置。
[0033]根據(jù)本發(fā)明，如下構(gòu)成:在固體激光器元件的端面設(shè)置傾斜，使得在假定為激光從固體激光器元件的端面入射到空氣的情況下，該入射面中的固體激光器元件側(cè)端面的法線與激光的行進(jìn)方向所形成的入射角與該入射面處的偏振角大致一致，并且在光學(xué)元件的端面設(shè)置傾斜，使得在假定為激光從光學(xué)元件的端面入射到空氣的情況下，該入射面中的光學(xué)元件側(cè)端面的法線與激光的行進(jìn)方向所形成的入射角與該入射面處的偏振角大致一致，固體激光器元件的端面與光學(xué)元件的端面相對置地配置，因此，具有如下效果:即使固體激光器元件與光學(xué)元件的接合剝離而產(chǎn)生間隙，也能夠抑制光輸出特性的惡化，并且盡管固體激光器元件與波長變換元件的接合沒有剝離，也能夠抑制以該接合部處的反射為起因的寄生振蕩。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0034]圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施方式I的激光器裝置的側(cè)視圖。
[0035]圖2是表示當(dāng)固體激光器元件3的折射率為Ii1時(shí)的偏振角(Brewster’ s angle)ΘΒ的說明圖。
[0036]圖3是表示當(dāng)使固體激光器元件3與波長變換元件4之間的隙寬度變化時(shí)向圖1的A方向行進(jìn)的基波的反射率的仿真結(jié)果的說明圖。
[0037]圖4是表示當(dāng)使固體激光器元件3與波長變換元件4之間的隙寬度變化時(shí)向圖1的A方向行進(jìn)的基波的反射率的仿真結(jié)果的說明圖。
[0038]圖5是表示當(dāng)將間隙寬度設(shè)為10nm時(shí)的入射角Θ in與反射率的關(guān)系的說明圖。
[0039]圖6是表示向圖1的B方向行進(jìn)的基波的入射角Θ in與反射率的關(guān)系的說明圖。
[0040]圖7是表示當(dāng)入射側(cè)固體元件的折射率Ii1為1.5時(shí),對于射出側(cè)固體元件的各折射率n2，反射率成為0.6%的最大的間隙寬度的仿真結(jié)果的說明圖。
[0041]圖8是表示當(dāng)入射側(cè)固體元件的折射率Ii1為2.0時(shí),對于射出側(cè)固體元件的各折射率n2，反射率成為0.6%的最大的間隙寬度的仿真結(jié)果的說明圖。
[0042]圖9是表示當(dāng)入射側(cè)固體元件的折射率Ii1為2.5時(shí),對于射出側(cè)固體元件的各折射率n2，反射率成為0.6%的最大的間隙寬度的仿真結(jié)果的說明圖。
[0043]圖10是表示本發(fā)明的實(shí)施方式2的激光器裝置的側(cè)視圖。
[0044]圖11是表示本發(fā)明的實(shí)施方式3的激光器裝置的側(cè)視圖。
[0045]圖12是表示本發(fā)明的實(shí)施方式4的激光器裝置的側(cè)視圖。
[0046]圖13是表示本發(fā)明的實(shí)施方式5的激光器裝置的側(cè)視圖。
[0047]圖14是表示本發(fā)明的實(shí)施方式6的激光器裝置的側(cè)視圖。
[0048]圖15是表示本發(fā)明的實(shí)施方式7的激光器裝置的側(cè)視圖。
[0049]圖16是表示固體激光器元件和波長變換元件通過接合而一體化的波長變換激光器裝置的結(jié)構(gòu)圖。
[0050]圖17是表示使用菲涅耳的公式考慮電場的多重反射而求出當(dāng)使固體激光器元件與波長變換元件的間隙寬度變化時(shí)的反射率的仿真結(jié)果的說明圖。
[0051]圖18是表示使用菲涅耳的公式考慮電場的多重反射而求出當(dāng)使固體激光器元件與波長變換元件的間隙寬度變化時(shí)的反射率的仿真結(jié)果的說明圖。
[0052](附圖標(biāo)記說明)
[0053]1:半導(dǎo)體激光器兀件(激發(fā)用激光器)；2:散熱器；3:固體激光器兀件；3a、3b:固體激光器元件的端面；4:波長變換元件(光學(xué)元件)；4a、4b:波長變換元件的端面；5 =Cr膜(光吸收膜)；6:基板；7?10:包覆層；101:半導(dǎo)體激光器元件；102:散熱器；103:固體激光器元件；103a、103b:固體激光器元件的端面；104:波長變換元件；104a、104b:波長變換元件的端面。

【具體實(shí)施方式】
[0054]下面，為了更詳細(xì)地說明本發(fā)明，按照【專利附圖】

【附圖說明】用于實(shí)施本發(fā)明的方式。
[0055]實(shí)施方式1.
[0056]圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施方式I的激光器裝置的側(cè)視圖。
[0057]在圖1中，半導(dǎo)體激光器元件I是例如射出波長為808nm的激發(fā)光的激發(fā)用激光器，與固體激光器元件3的端面3a靠近地配置。
[0058]此外，半導(dǎo)體激光器元件I根據(jù)需要接合了冷卻用的散熱器(未圖示)。
[0059]散熱器2是冷卻用的構(gòu)件，由導(dǎo)熱率大的材料構(gòu)成。例如，使用Si等材料。
[0060]固體激光器元件3例如由Nd:YV04(摻釹釩酸釔晶體)構(gòu)成，被設(shè)置在散熱器2之上。
[0061]固體激光器元件3吸收從半導(dǎo)體激光器元件I射出的激發(fā)光而產(chǎn)生激光的基波(例如，波長為1064nm的基波)。
[0062]在固體激光器兀件3形成入射從半導(dǎo)體激光器兀件I射出的激發(fā)光的端面3a、以及射出所產(chǎn)生的基波的端面3b。
[0063]此外，在端面3b設(shè)置有傾斜，使得在假定從固體激光器元件3產(chǎn)生的基波從端面3b入射到空氣的情況下，該入射面中的固體激光器元件3側(cè)端面的法線NL與該基波的行進(jìn)方向所形成的入射角ein(= O1)與該入射面處的偏振角(θΒ1)大致一致。
[0064]作為光學(xué)元件的波長變換元件4例如由作為非線性材料的PPLN(Per1dicallyPoled Lithium N1bate:周期性極化銀酸鋰晶體)構(gòu)成，被設(shè)置在散熱器2之上。
[0065]波長變換元件4對從固體激光器元件3產(chǎn)生的基波的波長進(jìn)行變換，輸出例如波長為532nm的二次諧波。
[0066]在波長變換元件4形成入射從固體激光器元件3產(chǎn)生的基波的端面4a、以及輸出作為波長變換后的激光的二次諧波的端面4b。
[0067]波長變換元件4的端面4a通過光學(xué)接觸、擴(kuò)散接合或者表面活性化接合等來與固體激光器兀件3的端面3b光學(xué)地接合。
[0068]此外，在端面4a設(shè)置有傾斜，使得在假定了基波從波長變換元件4的端面4a入射到空氣的情況下，該入射面中的波長變換元件4側(cè)端面的法線(未圖示)與該基波的行進(jìn)方向(與圖1所記述的基波的行進(jìn)方向相反方向)所形成的入射角(Θ 2)與該入射面處的偏振角(θ B2)大致一致。
[0069]設(shè)置在固體激光器元件3的端面3b的傾斜、和設(shè)置在波長變換元件4的端面4a的傾斜具體如下。
[0070](I)設(shè)置在固體激光器元件3的端面3b的傾斜
[0071]入射角Θ i =(偏振角θ B1或偏振角θ B2)
[0072]或者
[0073]偏振角θ B1〈入射角Θ i〈偏振角θ B2
[0074]或者
[0075]偏振角θ B2〈入射角Θ i〈偏振角θ B1
[0076](2)設(shè)置在波長變換元件4的端面4a的傾斜
[0077]入射角Θ 2 =(偏振角θ B1或偏振角θ B2)
[0078]或者
[0079]偏振角θ B1〈入射角Θ 2〈偏振角θ B2
[0080]或者
[0081]偏振角θ B2〈入射角θ2〈偏振角ΘΒ1
[0082]接著說明動作。
[0083]當(dāng)從半導(dǎo)體激光器元件I射出的激發(fā)光從端面3a入射到固體激光器元件3內(nèi)時(shí)，在固體激光器元件3內(nèi)激發(fā)活性離子。該激發(fā)的結(jié)果，從固體激光器元件3產(chǎn)生基波。
[0084]當(dāng)從固體激光器元件3產(chǎn)生的基波從端面3b射出后從端面4a入射到波長變換元件4內(nèi)時(shí)，在波長變換元件4內(nèi)基波的波長被變換。該波長變換的結(jié)果，輸出二次諧波。
[0085]這里，在固體激光器元件3的端面3a施以如下那樣的光學(xué)膜:透射從半導(dǎo)體激光器元件I射出的激發(fā)光，另一方面對從固體激光器元件3產(chǎn)生的基波進(jìn)行全反射。
[0086]另外，關(guān)于通過在波長變換元件4的端面4b反射的基波在波長變換元件4內(nèi)生成而行進(jìn)到端面3b側(cè)的二次諧波，優(yōu)選是在固體激光器元件3的端面3a反射而從波長變換元件4的端面4b取出。
[0087]因而，希望在固體激光器元件3的端面3a施以如下那樣的光學(xué)膜:與對從固體激光器元件3產(chǎn)生的基波進(jìn)行全反射同時(shí)地，對二次諧波進(jìn)行全反射。
[0088]另一方面，在波長變換元件4的端面4b施以如反射基波并透射二次諧波那樣的光學(xué)膜。
[0089]這些全反射膜、防反射膜、光學(xué)膜例如層疊電介質(zhì)薄膜而構(gòu)成。
[0090]固體激光器元件3的端面3b和波長變換元件4的端面4a通過擴(kuò)散接合、光學(xué)接觸等來接合。
[0091]在以往的激光器裝置中，該端面的接合面相對于基波的行進(jìn)方向成為垂直，但是在該實(shí)施方式I的激光器裝置中，端面3b與端面4a的接合面成為傾斜面。
[0092]固體激光器元件3的端面3b的傾斜角(tilt angle) θ Α被設(shè)定為如基波的入射角Θ in成為偏振角那樣的角度，以使得在從固體激光器元件3產(chǎn)生的基波從固體激光器元件3射出到空氣時(shí)成為全透射。
[0093]這里，偏振角僅對于在與紙面平行的面內(nèi)具有偏光的所謂P波而存在，這里考慮該P(yáng)波。
[0094]當(dāng)固體激光器元件3的折射率設(shè)為Ii1、空氣的折射率設(shè)為n3(= I)時(shí)的偏振角ΘΒ以下述的式(I)表示。

【權(quán)利要求】
1.一種激光器裝置，其特征在于，具備: 激發(fā)用激光器，射出激發(fā)光； 固體激光器元件，吸收從所述激發(fā)用激光器射出了的激發(fā)光而產(chǎn)生激光；以及 光學(xué)元件，入射從所述固體激光器元件產(chǎn)生了的激光， 在所述固體激光器元件的端面設(shè)置傾斜，使得在假定為所述激光從所述固體激光器元件的端面入射到空氣的情況下，該入射面中的所述固體激光器元件側(cè)端面的法線與所述激光的行進(jìn)方向所形成的入射角與該入射面處的偏振角大致一致，并且 在所述光學(xué)元件的端面設(shè)置傾斜，使得在假定為所述激光從所述光學(xué)元件的端面入射到空氣的情況下，該入射面中的所述光學(xué)元件側(cè)端面的法線與所述激光的行進(jìn)方向所形成的入射角與該入射面處的偏振角大致一致， 所述固體激光器元件的端面與所述光學(xué)元件的端面相對置地配置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光器裝置，其特征在于， 光學(xué)元件是對從固體激光器元件產(chǎn)生了的激光的波長進(jìn)行變換的波長變換元件。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光器裝置，其特征在于， 當(dāng)在假定為激光從固體激光器元件的端面入射到空氣的情況下該入射面中的所述固體激光器元件側(cè)端面的法線與所述激光的行進(jìn)方向所形成的入射角為Θ 1、該入射面處的偏振角為ΘΒ1、 在假定為激光從光學(xué)元件的端面入射到空氣的情況下該入射面中的所述光學(xué)元件側(cè)端面的法線與所述激光的行進(jìn)方向所形成的入射角為θ2、該入射面處的偏振角為ΘΒ2時(shí)， 在所述固體激光器元件的端面設(shè)置傾斜，使得所述入射角Θ i與所述偏振角θ m或者所述偏振角ΘΒ2—致、或者所述入射角01成為所述偏振角ΘΒ1與所述偏振角ΘΒ2之間的角度，并且 在所述光學(xué)元件的端面設(shè)置傾斜，使得所述入射角θ2與所述偏振角ΘΒ1或者所述偏振角ΘΒ2—致、或者所述入射角02成為所述偏振角ΘΒ1與所述偏振角ΘΒ2之間的角度。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光器裝置，其特征在于， 相對置地配置的固體激光器元件的端面與光學(xué)元件的端面被接合。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光器裝置，其特征在于， 在相對置地配置的固體激光器元件的端面與光學(xué)元件的端面之間設(shè)置有間隙。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光器裝置，其特征在于， 固體激光器元件以及光學(xué)元件為平板狀的構(gòu)件，從所述固體激光器元件以Θ i的射出角射出的激光的方向、和從所述光學(xué)元件以θ2的射出角射出的激光的方向被包含在與所述固體激光器元件以及所述光學(xué)元件中的平板面垂直的平面內(nèi)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光器裝置，其特征在于， 在固體激光器元件以及光學(xué)元件中的至少一方中，在與所述固體激光器元件以及所述光學(xué)元件內(nèi)的光軸平行、且與包含所述光軸和射出角的面正交的面中的某一面中形成有吸收激光的光吸收膜。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光器裝置，其特征在于， 在固體激光器元件以及光學(xué)元件中的至少一方中，在與所述固體激光器元件以及所述光學(xué)元件內(nèi)的光軸平行、且與包含所述光軸和射出角的面正交的面中的某一面中形成有透射激光的一部分或者全部的基板。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光器裝置，其特征在于， 在固體激光器元件以及光學(xué)元件中的至少一方中，在與所述固體激光器元件以及所述光學(xué)元件內(nèi)的光軸平行、且與包含所述光軸和射出角的面正交的面中的某一面中形成有透射激光的一部分或者全部的基板，并且在所述基板的外側(cè)形成有吸收所述激光的光吸收膜。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光器裝置，其特征在于， 在固體激光器元件以及光學(xué)元件中的至少一方中，在與所述固體激光器元件以及所述光學(xué)元件內(nèi)的光軸平行、且與包含所述光軸和射出角的面正交的面中的至少一方形成有包覆層，從而具有波導(dǎo)型的構(gòu)造。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的激光器裝置，其特征在于， 在包覆層的外側(cè)形成有吸收激光的光吸收膜。
12.根據(jù)權(quán)利要求7所述的激光器裝置，其特征在于， 使用粘接劑來將光吸收膜與冷卻用的散熱器接合。
13.根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光器裝置，其特征在于， 入射角Θ I與入射角Θ 2 一致。
14.根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光器裝置，其特征在于， 入射角Θ I與偏振角Θ BI 一致，且入射角Θ 2與偏振角θ Β2 一致。
15.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光器裝置，其特征在于， 固體激光器元件是摻釹釩酸釔晶體，波長變換元件是添加MgO的周期性極化鈮酸鋰晶體。
16.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光器裝置，其特征在于， 固體激光器元件是摻釹釩酸釔晶體，波長變換元件是添加MgO的周期性極化鉭酸鋰晶體。
17.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光器裝置，其特征在于， 固體激光器元件是摻釹釩酸釓晶體，波長變換元件是添加MgO的周期性極化鈮酸鋰晶體。
18.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光器裝置，其特征在于， 固體激光器元件是摻釹釩酸釓晶體，波長變換元件是添加MgO的周期性極化鉭酸鋰晶體。
【文檔編號】H01S3/108GK104205528SQ201280071580
【公開日】2014年12月10日 申請日期:2012年3月19日 優(yōu)先權(quán)日:2012年3月19日
【發(fā)明者】蔵本恭介, 柳澤隆行, 平野嘉仁 申請人:三菱電機(jī)株式會社