專(zhuān)利名稱(chēng)：惰性氣體注入設(shè)備及惰性氣體注入方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及惰性氣體注入設(shè)備、以及使用了這樣的惰性氣體注入設(shè)備的惰性氣體注入方法，所述惰性氣體注入設(shè)備包括:保管架，設(shè)置于與外部劃分形成的保管空間內(nèi)，并配設(shè)有收納用于容納基板的容器的收納部；注入裝置，以使容器內(nèi)的氣體從收納于上述收納部的上述容器的排氣口向上述保管空間內(nèi)排出的狀態(tài)，將惰性氣體從上述容器的供氣口注入上述容器的內(nèi)部；以及控制裝置，控制上述注入裝置的動(dòng)作。
背景技術(shù)：
為了抑制在基板(例如半導(dǎo)體晶片)上附著微粒、并且抑制因氧或濕度而使基板從適當(dāng)狀態(tài)惡化，而使用如上所述的惰性氣體注入設(shè)備，用于向收納基板的容器注入惰性氣體。S卩，隨著從收納基板的容器的供氣口注入惰性氣體，容器內(nèi)的氣體被從排氣口向保管空間內(nèi)排出，容器內(nèi)成為被注入的惰性氣體充滿(mǎn)的狀態(tài)。因此，能夠抑制在基板上附著微粒以及因氧或濕度而使基板從適當(dāng)狀態(tài)惡化。在日本特開(kāi)2001-338971號(hào)公報(bào)(專(zhuān)利文獻(xiàn)I)中公開(kāi)了這種惰性氣體注入設(shè)備的一例，在該惰性氣體注入設(shè)備中，在箱形的保管庫(kù)內(nèi)沿上下方向和左右方向并排地設(shè)置有作為收納部的保管部，在各保管部裝備有供給作為惰性氣體的氮?dú)獾臍怏w供給管。雖然在專(zhuān)利文獻(xiàn)I中沒(méi)有詳細(xì)的說(shuō)明，但箱形的保管庫(kù)內(nèi)相當(dāng)于與外部劃分形成的保管空間，從容器向該箱形的保管庫(kù)內(nèi)排出氮?dú)?。在惰性氣體注入設(shè)備中，為了進(jìn)行各種檢查作業(yè)，一般設(shè)置用于供作業(yè)人員出入保管空間內(nèi)的檢查門(mén)。在設(shè)置這種檢查門(mén)的情況下，為了在作業(yè)人員位于保管空間內(nèi)時(shí)，抑制從收納于收納部的容器的排氣口向保管空間內(nèi)排出惰性氣體，可以考慮構(gòu)成為當(dāng)打開(kāi)檢查門(mén)時(shí)停止供給惰性氣體。然而，若簡(jiǎn)單地構(gòu)成為當(dāng)打開(kāi)檢查門(mén)時(shí)停止供給惰性氣體，則無(wú)法進(jìn)行惰性氣體對(duì)收納于收納部的容器的供氣口的供給狀態(tài)的檢查、惰性氣體從容器的排氣口的排出狀態(tài)的檢查等供給惰性氣體的狀態(tài)下的檢查。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述背景，期望實(shí)現(xiàn)這樣的惰性氣體注入設(shè)備:除了能夠進(jìn)行停止供給惰性氣體的狀態(tài)下的檢查作業(yè)，還能夠進(jìn)行繼續(xù)供給惰性氣體的狀態(tài)下的檢查作業(yè)。本發(fā)明的惰性氣體注入設(shè)備包括:
保管架，設(shè)置于與外部劃分形成的保管空間內(nèi)，并配設(shè)有收納用于容納基板的容器的收納部；
注入裝置，以使容器內(nèi)的氣體從收納于上述收納部的上述容器的排氣口向上述保管空間內(nèi)排出的狀態(tài)，將惰性氣體從上述容器的供氣口注入上述容器的內(nèi)部； 控制裝置，控制上述注入裝置的動(dòng)作；
檢查門(mén)開(kāi)閉檢測(cè)裝置，檢測(cè)用于供作業(yè)人員出入上述保管空間內(nèi)的檢查門(mén)的開(kāi)閉狀態(tài)；以及
人為操作式的停止無(wú)效指令裝置，用于對(duì)上述控制裝置指示停止無(wú)效指令，
這里，上述控制裝置構(gòu)成為，
在未由上述停止無(wú)效指令裝置指示上述停止無(wú)效指令的情況下執(zhí)行的通常停止模式下，在由上述檢查門(mén)開(kāi)閉檢測(cè)裝置檢測(cè)到上述檢查門(mén)的打開(kāi)狀態(tài)的情況下，控制上述注入裝置的動(dòng)作以停止對(duì)上述容器供給惰性氣體，并且，
在由上述停止無(wú)效指令裝置指示了上述停止無(wú)效指令的情況下執(zhí)行的停止無(wú)效模式下，在由上述檢查門(mén)開(kāi)閉檢測(cè)裝置檢測(cè)到上述檢查門(mén)的打開(kāi)狀態(tài)的情況下，也控制上述注入裝置的動(dòng)作以繼續(xù)對(duì)上述容器供給惰性氣體。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，作為檢查作業(yè)，在進(jìn)行對(duì)收納于收納部的容器的供氣口的惰性氣體的供給狀態(tài)的檢查、來(lái)自容器的排氣口的惰性氣體的排出狀態(tài)的檢查等供給惰性氣體的狀態(tài)下的檢查時(shí)，從停止無(wú)效指令裝置對(duì)控制裝置指示停止無(wú)效指令，由此，即使檢查門(mén)打開(kāi)，也能夠使對(duì)容器供給惰性氣體的狀態(tài)繼續(xù)。其結(jié)果是，能夠在繼續(xù)對(duì)容器供給惰性氣體的狀態(tài)下進(jìn)行檢查作業(yè)。并且，在檢查作業(yè)時(shí)不需要對(duì)容器供給惰性氣體的情況下，不從停止無(wú)效指令裝置對(duì)控制裝置指示停止無(wú)效指令，由此，當(dāng)由檢測(cè)門(mén)開(kāi)閉檢測(cè)裝置檢測(cè)到檢查門(mén)的打開(kāi)狀態(tài)時(shí)，停止對(duì)容器供給惰性氣體。其結(jié)果是，能夠在停止對(duì)容器供給惰性氣體的狀態(tài)下進(jìn)行檢查作業(yè)?？傊?，根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，能夠提供這樣的惰性氣體注入設(shè)備:除了能夠進(jìn)行停止供給惰性氣體的狀態(tài)下的檢查作業(yè)，還能夠進(jìn)行繼續(xù)供給惰性氣體的狀態(tài)下的檢查作業(yè)。本發(fā)明的惰性氣體注入設(shè)備的技術(shù)特征也能夠應(yīng)用于惰性氣體注入方法，本發(fā)明還能夠以這樣的方法為權(quán)利保護(hù)對(duì)象。在該惰性氣體注入方法中也能夠獲得上述的惰性氣體注入設(shè)備的作用效果。即，本發(fā)明的惰性氣體注入方法是使用了惰性氣體注入設(shè)備的方法，
上述惰性氣體注入設(shè)備包括:
保管架，設(shè)置于與外部劃分形成的保管空間內(nèi)，并配設(shè)有收納用于容納基板的容器的收納部；
注入裝置，以使容器內(nèi)的氣體從收納于上述收納部的上述容器的排氣口向上述保管空間內(nèi)排出的狀態(tài)，將惰性氣體從上述容器的供氣口注入上述容器的內(nèi)部；
控制裝置，控制上述注入裝置的動(dòng)作，
檢查門(mén)開(kāi)閉檢測(cè)裝置，檢測(cè)用于供作業(yè)人員出入上述保管空間內(nèi)的檢查門(mén)的開(kāi)閉狀態(tài)；以及
人為操作式的停止無(wú)效指令裝置，用于對(duì)上述控制裝置指示停止無(wú)效指令，
上述惰性氣體注入方法包括由上述控制裝置執(zhí)行的以下工序:
供給狀態(tài)控制工序，在該供給狀態(tài)控制工序中，
在未由上述停止無(wú)效指令裝置指示上述停止無(wú)效指令的情況下執(zhí)行的通常停止模式下，在由上述檢查門(mén)開(kāi)閉檢測(cè)裝置檢測(cè)到上述檢查門(mén)的打開(kāi)狀態(tài)的情況下，控制上述注入裝置的動(dòng)作以停止對(duì)上述容器供給惰性氣體，并且，
在由上述停止無(wú)效指令裝置指示了上述停止無(wú)效指令的情況下執(zhí)行的停止無(wú)效模式下，在由上述檢查門(mén)開(kāi)閉檢測(cè)裝置檢測(cè)到上述檢查門(mén)的打開(kāi)狀態(tài)的情況下，也控制上述注入裝置的動(dòng)作以繼續(xù)對(duì)上述容器供給惰性氣體。以下，對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式的示例進(jìn)行說(shuō)明。在本發(fā)明的惰性氣體注入設(shè)備的實(shí)施方式中，優(yōu)選的是，設(shè)置有檢測(cè)上述保管空間內(nèi)的氧濃度的氧濃度檢測(cè)傳感器，上述控制裝置構(gòu)成為，在上述停止無(wú)效模式下繼續(xù)對(duì)上述容器供給惰性氣體時(shí)，在由上述氧濃度檢測(cè)傳感器檢測(cè)到氧濃度小于設(shè)定值的情況下，控制上述注入裝置的動(dòng)作以停止對(duì)上述容器供給惰性氣體。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，在停止無(wú)效模式下，在由于從容器的排氣口向保管空間內(nèi)排出惰性氣體而使保管空間內(nèi)的氧濃度小于設(shè)定值的情況下，停止對(duì)容器供給惰性氣體，能夠確保作業(yè)人員的安全性。S卩，為了將從容器排出的氣體排放到外部，保管空間未形成為完全密閉，而是適當(dāng)開(kāi)放為能夠與外部空間通氣的狀態(tài)。并且，在進(jìn)行檢查作業(yè)時(shí)，檢查門(mén)維持打開(kāi)狀態(tài)。因此，即使從容器的排氣口向保管空間內(nèi)排出惰性氣體，保管空間內(nèi)的氧濃度極端降低而小于設(shè)定值的可能性也較小，但萬(wàn)一保管空間內(nèi)的氧濃度變成小于設(shè)定值的情況下，停止對(duì)容器供給惰性氣體，能夠適當(dāng)?shù)卮_保作業(yè)人員的安全性。在本發(fā)明的惰性氣體注入設(shè)備的實(shí)施方式中，優(yōu)選的是，上述控制裝置構(gòu)成為，在上述停止無(wú)效模式下，在由上述檢查門(mén)開(kāi)閉檢測(cè)裝置檢測(cè)到上述檢查門(mén)的打開(kāi)狀態(tài)后繼續(xù)對(duì)上述容器供給惰性氣體時(shí)，使對(duì)作業(yè)人員通知繼續(xù)供給惰性氣體的通知裝置動(dòng)作。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，當(dāng)作業(yè)人員在保管空間內(nèi)進(jìn)行檢查作業(yè)時(shí)，能夠準(zhǔn)確地識(shí)別繼續(xù)對(duì)容器供給惰性氣體的情況，因此，能夠在識(shí)別了繼續(xù)對(duì)容器供給惰性氣體的情況的狀態(tài)下良好地進(jìn)行檢查作業(yè)。順便說(shuō)一下，作為通知裝置，可以采用對(duì)作業(yè)人員攜帶的移動(dòng)電話(huà)等便攜終端通知繼續(xù)供給惰性氣體的結(jié)構(gòu)、以及在檢查門(mén)的附近設(shè)置揚(yáng)聲器來(lái)通知繼續(xù)供給惰性氣體的結(jié)構(gòu)等。在本發(fā)明的惰性氣體注入設(shè)備的實(shí)施方式中，優(yōu)選的是，上述控制裝置構(gòu)成為，在對(duì)應(yīng)于上述停止無(wú)效指令裝置的上述停止無(wú)效指令切換到上述停止無(wú)效模式后，即使經(jīng)過(guò)了設(shè)定時(shí)間上述檢查門(mén)開(kāi)閉檢測(cè)裝置也未檢測(cè)到上述檢查門(mén)的打開(kāi)狀態(tài)的情況下，解除上述停止無(wú)效模式而切換至上述通常停止模式。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，在作業(yè)人員為了在繼續(xù)對(duì)容器供給惰性氣體的狀態(tài)下進(jìn)行檢查作業(yè)，而由停止無(wú)效指令裝置對(duì)控制裝置指示了停止無(wú)效指令，但之后根據(jù)情況而中止了檢查作業(yè)的情況下等，自動(dòng)地解除停止無(wú)效模式而切換至通知停止模式。因此，能夠避免不必要地繼續(xù)停止無(wú)效模式。即，能夠避免發(fā)生如下不良情況:若繼續(xù)停止無(wú)效模式，則認(rèn)為處于通常停止模式的作業(yè)人員打開(kāi)檢查門(mén)而進(jìn)入保管空間內(nèi)時(shí)，與作業(yè)人員認(rèn)為的不同，而繼續(xù)對(duì)容器供給惰性氣體的狀態(tài)。在本發(fā)明的惰性氣體注入設(shè)備的實(shí)施方式中，優(yōu)選的是，上述停止無(wú)效指令裝置構(gòu)成為，具備能夠在操作解除位置和無(wú)效指令位置之間操作且被施力而返回上述操作解除位置的操作體，并且通過(guò)將上述操作體操作至上述無(wú)效指令位置，而對(duì)上述控制裝置指示上述停止無(wú)效指令。在操作體未被施力返回操作解除位置的情況下，解除停止無(wú)效模式而自動(dòng)切換到通常停止模式時(shí)，看到保持于無(wú)效指令位置的操作體的作業(yè)人員有可能誤解為正在執(zhí)行停止無(wú)效模式。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，由于操作體借助返回作用力而返回操作解除位置，因此能夠避免作業(yè)人員如上所述地誤解為處于停止無(wú)效模式。在本發(fā)明的惰性氣體注入方法的實(shí)施方式中，優(yōu)選的是，在上述惰性氣體注入設(shè)備設(shè)置有檢測(cè)上述保管空間內(nèi)的氧濃度的氧濃度檢測(cè)傳感器，在上述供給狀態(tài)控制工序中，在上述停止無(wú)效模式下繼續(xù)對(duì)上述容器供給惰性氣體時(shí)，在由上述氧濃度檢測(cè)傳感器檢測(cè)到氧濃度小于設(shè)定值的情況下，控制上述注入裝置的動(dòng)作以停止對(duì)上述容器供給惰性氣體。在本發(fā)明的惰性氣體注入方法的實(shí)施方式中，優(yōu)選的是，在上述供給狀態(tài)控制工序中，在上述停止無(wú)效模式下，在由上述檢查門(mén)開(kāi)閉檢測(cè)裝置檢測(cè)到上述檢查門(mén)的打開(kāi)狀態(tài)后繼續(xù)對(duì)上述容器供給惰性氣體時(shí)，使對(duì)作業(yè)人員通知繼續(xù)供給惰性氣體的通知裝置動(dòng)作。在本發(fā)明的惰性氣體注入方法的實(shí)施方式中，優(yōu)選的是，在上述供給狀態(tài)控制工序中，在對(duì)應(yīng)于上述停止無(wú)效指令裝置的上述停止無(wú)效指令切換到上述停止無(wú)效模式后，即使經(jīng)過(guò)了設(shè)定時(shí)間上述檢查門(mén)開(kāi)閉檢測(cè)裝置也未檢測(cè)到上述檢查門(mén)的打開(kāi)狀態(tài)的情況下，解除上述停止無(wú)效模式而切換至上述通常停止模式。在本發(fā)明的惰性氣體注入方法的實(shí)施方式中，優(yōu)選的是，上述停止無(wú)效指令裝置具備能夠在操作解除位置和無(wú)效指令位置之間進(jìn)行操作且被施力而返回上述操作解除位置的操作體，并且在將上述操作體操作至上述無(wú)效指令位置的情況下，對(duì)上述控制裝置指示上述停止無(wú)效指令。


圖1是物品保管設(shè)備的縱剖主視圖，
圖2是上述設(shè)備的切開(kāi)側(cè)視圖，
圖3是收納部的立體圖，
圖4是表示氮?dú)獾淖⑷霠顟B(tài)的說(shuō)明圖，
圖5是表示控制動(dòng)作的流程圖。標(biāo)號(hào)說(shuō)明 10保管架 IOS收納部 50容器
50 i供氣口 50ο排氣口 55檢查門(mén) 56操作體 57Α通知裝置 A操作解除位置 B無(wú)效指令位置 H控制裝置
N注入裝置
SI檢查門(mén)開(kāi)閉檢測(cè)裝置 S2氧濃度檢測(cè)傳感器 SW停止無(wú)效指令裝置。
具體實(shí)施例方式根據(jù)附圖對(duì)將本發(fā)明應(yīng)用于物品保管設(shè)備的情況下的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。(整體結(jié)構(gòu))
如圖1和圖2所示，物品保管設(shè)備包括:保管架10，用于保管以密閉狀態(tài)容納基板的搬運(yùn)容器50 (以下簡(jiǎn)稱(chēng)為容器50);作為搬運(yùn)裝置的塔式起重機(jī)20 ;以及作為容器50的入庫(kù)出庫(kù)部的入庫(kù)出庫(kù)輸送機(jī)CV。保管架10和塔式起重機(jī)20配設(shè)在利用墻體K與外部劃分形成的保管空間內(nèi)，入庫(kù)出庫(kù)輸送機(jī)CV以貫穿墻體K的狀態(tài)配設(shè)。保管架10構(gòu)成為，以沿上下方向和左右方向排列的狀態(tài)具有多個(gè)收納部10S，收納部IOS作為支承容器50的支承部，在多個(gè)收納部IOS中分別收納容器50，其詳細(xì)情況將在后文敘述。而且，如圖1所示，在本實(shí)施方式中構(gòu)成為，在設(shè)置有物品保管設(shè)備的無(wú)塵室的天花板部，裝備有沿著鋪設(shè)的導(dǎo)軌G行進(jìn)的升降機(jī)式的搬運(yùn)車(chē)D，利用該升降機(jī)式的搬運(yùn)車(chē)D，相對(duì)于入庫(kù)出庫(kù)輸送機(jī)CV搬入和搬出容器50。(容器50的結(jié)構(gòu))
容器 50 是遵照 SEMI (Semiconductor Equipment and Materials Institute)標(biāo)準(zhǔn)的合成樹(shù)脂制的氣密容器，用于收納作為基板的半導(dǎo)體晶片W(參照?qǐng)D4)，被稱(chēng)為F0UP(FrontOpening Unified Pod)。并且省略其詳細(xì)的說(shuō)明，但是在容器50的正面形成有通過(guò)拆裝自如的蓋體而開(kāi)閉的基板出入用的開(kāi)口，在容器50的頂面形成有由升降機(jī)式的搬運(yùn)車(chē)D把持的頂部凸緣52 (參照?qǐng)D4)。在容器50的底面形成有與定位銷(xiāo)IOb (參照?qǐng)D3)卡合的三個(gè)卡合槽(未圖示)。S卩，如圖4所示，容器50包括:殼體51，在內(nèi)部沿上下方向具有能夠自由地載置多個(gè)半導(dǎo)體晶片W的基板支承體53 ;以及未圖不的蓋體。容器50構(gòu)成為,在蓋體裝配于殼體51的狀態(tài)下，內(nèi)部空間被密閉成氣密狀態(tài)，并且構(gòu)成為，在收納于收納部IOS的狀態(tài)下，利用定位銷(xiāo)IOb進(jìn)行定位。此外，如圖4所示，為了如后所述注入作為惰性氣體的氮?dú)?，在容?0的底部設(shè)置有供氣口 50i和排氣口 50ο。雖然省略了圖示，但是在供氣口 50i設(shè)置有注入側(cè)開(kāi)閉閥，在排氣口 50ο設(shè)置有排出側(cè)開(kāi)閉閥。注入側(cè)開(kāi)閉閥構(gòu)成為，被彈簧等施力部件向關(guān)閉方向施力，當(dāng)供給到供氣口 50i的氮?dú)獾呐懦鰤毫Τ蔀楸却髿鈮焊咴O(shè)定值的設(shè)定開(kāi)閥壓力以上時(shí)，該注入側(cè)開(kāi)閉閥由于所述壓力而被進(jìn)行打開(kāi)操作。
而且，排出側(cè)關(guān)閉閥構(gòu)成為，被彈簧等施力部件向關(guān)閉方向施力，當(dāng)容器50內(nèi)部的壓力成為比大氣壓高設(shè)定值的設(shè)定開(kāi)閥壓力以上時(shí)，該排出側(cè)開(kāi)閉閥由于所述壓力而被進(jìn)行打開(kāi)操作。(塔式起重機(jī)20的結(jié)構(gòu))
如圖1所示，塔式起重機(jī)20包括:行進(jìn)臺(tái)車(chē)21，能夠沿著設(shè)置于保管架10的正面?zhèn)鹊牡装宀康男羞M(jìn)軌道E行進(jìn)移動(dòng)；桅桿22，立設(shè)于所述行進(jìn)臺(tái)車(chē)21 ;以及升降臺(tái)24，能夠在由所述桅桿22引導(dǎo)的狀態(tài)下進(jìn)行升降移動(dòng)。另外，雖然未圖示，但構(gòu)成為，設(shè)置于桅桿22的上端的上部框23與上部導(dǎo)軌卡合著移動(dòng)，所述上部導(dǎo)軌設(shè)置于外周部被墻體K覆蓋的保管空間的天花板側(cè)。在升降臺(tái)24裝備有相對(duì)于收納部IOS移載容器50的移載裝置25。移載裝置25具有載置支承容器50的板狀的載置支承體25A，該載置支承體25A能夠在突出到收納部IOS的內(nèi)部的突出位置和退避到升降臺(tái)24側(cè)的退避位置之間突出退避。具有移載裝置25的塔式起重機(jī)20構(gòu)成為，通過(guò)載置支承體25A的突出退避動(dòng)作以及升降臺(tái)24的升降動(dòng)作，來(lái)進(jìn)行將載置于載置支承體25A的容器50卸下到收納部IOS的卸下處理、以及將收納于收納部IOS的容器50取出的撈取處理。另外，具備移載裝置25的塔式起重機(jī)20相對(duì)于入庫(kù)出庫(kù)輸送機(jī)CV也進(jìn)行卸下處理和撈取處理，從而進(jìn)行相對(duì)于出庫(kù)輸送機(jī)CV的移載作業(yè)。雖未圖示，但是在塔式起重機(jī)20裝備有檢測(cè)行進(jìn)路徑上的行進(jìn)位置的行進(jìn)位置檢測(cè)裝置、以及檢測(cè)升降臺(tái)24的升降位置的升降位置檢測(cè)裝置?？刂扑狡鹬貦C(jī)20的運(yùn)轉(zhuǎn)的起重機(jī)控制器構(gòu)成為，根據(jù)行進(jìn)位置檢測(cè)裝置和升降位置檢測(cè)裝置的檢測(cè)信息來(lái)控制塔式起重機(jī)20的運(yùn)轉(zhuǎn)。S卩，起重機(jī)控制器構(gòu)成為，控制行進(jìn)臺(tái)車(chē)21的行進(jìn)動(dòng)作和升降臺(tái)24的升降動(dòng)作以及移載裝置25的載置支承體25A的突出退避動(dòng)作，以進(jìn)行將搬入到入庫(kù)出庫(kù)輸送機(jī)CV的容器50收納到收納部IOS的入庫(kù)作業(yè)、以及將收納于收納部IOS的容器50取出到入庫(kù)出庫(kù)輸送機(jī)CV的出庫(kù)作業(yè)。(收納部IOS的結(jié)構(gòu))
如圖3和圖4所示，多個(gè)收納部IOS分別具有載置支承容器50的板狀的載置支承部IOa (參照?qǐng)D1)。該載置支承部IOa形成為俯視形狀為U字狀，以形成供移載裝置25的載置支承體25A上下通過(guò)的空間，在載置支承部IOa的頂面以向上方突出的狀態(tài)裝備有上述的定位銷(xiāo)10b。另外，在載置支承部IOa設(shè)置有一對(duì)存貨傳感器ΙΟζ，該存貨傳感器IOz用于檢測(cè)是否載置有容器50 (即，容器50是否收納于收納部10S)，并且構(gòu)成為，所述存貨傳感器IOz的檢測(cè)信息被輸入到控制裝置H (參照?qǐng)D4)，控制裝置H對(duì)后述的質(zhì)量流量控制器40的運(yùn)轉(zhuǎn)進(jìn)行管理。在載置支承部IOa設(shè)置有將作為惰性氣體的氮?dú)夤┙o到容器50內(nèi)部的排出噴嘴IOi ;以及用于使從容器50的內(nèi)部排出的氣體通流的排出用通氣體10ο。此外，在各收納部IOS裝備有控制氮?dú)獾墓┙o的質(zhì)量流量控制器40 (參照?qǐng)D2)。并且，在排出噴嘴IOi連接有使來(lái)自質(zhì)量流量控制器40的氮?dú)饬鲃?dòng)的供給配管Li，在排出用通氣體IOo連接有端部開(kāi)口的排出管Lo。構(gòu)成為當(dāng)容器50載置支承于載置支承部IOa時(shí)，排出噴嘴IOi與容器50的供氣口 50i以嵌合狀態(tài)連接，而且排出用通氣體IOo與容器50的排氣口 50ο以嵌合狀態(tài)連接。并且構(gòu)成為，在容器50載置支承于載置支承部IOa的狀態(tài)下，通過(guò)從排出噴嘴IOi排出比大氣壓高設(shè)定值以上的壓力的氮?dú)猓軌蛟谑谷萜鲀?nèi)的氣體從容器50的排氣口 50ο排出到外部的狀態(tài)下，自容器50的供氣口 50i向容器50的內(nèi)部注入氮?dú)狻Ａ硗?，如圖3所示，在供給配管Li裝備有手動(dòng)操作式的開(kāi)閉閥Vi，構(gòu)成為在質(zhì)量流量控制器40發(fā)生故障的緊急時(shí)等，能夠切換至停止氮?dú)獾墓┙o的狀態(tài)。(質(zhì)量流量控制器40的結(jié)構(gòu))
如圖3和圖4所示，質(zhì)量流量控制器40具有流入側(cè)端口 40i和排出側(cè)端口 40ο。在排出側(cè)端口 40ο連接有上述的供給配管Li，在流入側(cè)端口 40i連接有流入配管Ls，流入配管Ls引導(dǎo)來(lái)自氮儲(chǔ)氣瓶等氮?dú)夤┙o源(未圖示)的氮?dú)?。另外，在氮?dú)夤┙o源裝備有:將氮?dú)獾墓┙o壓力調(diào)整至比大氣壓高設(shè)定值以上的設(shè)定壓力的調(diào)節(jié)器；以及使氮?dú)獾墓┙o間斷的手動(dòng)操作式的開(kāi)閉閥等。在質(zhì)量流量控制器40裝備有:流量調(diào)節(jié)閥，對(duì)在從流入側(cè)端口 40i朝向排出側(cè)端口 40ο的內(nèi)部流路中流動(dòng)的氮?dú)獾牧髁?向容器50的供給流量)進(jìn)行變更調(diào)節(jié)；流量傳感器，對(duì)在內(nèi)部流路中流動(dòng)的氮?dú)獾牧髁?向容器50的供給流量)進(jìn)行計(jì)測(cè)；以及內(nèi)部控制部，對(duì)流量調(diào)節(jié)閥的動(dòng)作進(jìn)行控制。并且內(nèi)部控制部構(gòu)成為，根據(jù)流量傳感器的檢測(cè)信息控制流量調(diào)節(jié)閥，以將向容器50的供給流量調(diào)整為從上述控制裝置H指示的目標(biāo)流量。S卩，內(nèi)部控制部控制流量調(diào)節(jié)閥，以使向容器50的供給流量與從控制裝置H指示的流量指令匹配。在本實(shí)施方式中，質(zhì)量流量控制器40將在內(nèi)部流路中流動(dòng)的氮?dú)獾牧髁?向容器50的供給流量)在O到50升/分鐘之間調(diào)節(jié)。在本實(shí)施方式中使用的質(zhì)量流量控制器40構(gòu)成為，在全流量調(diào)節(jié)范圍中以高速(例如I秒以?xún)?nèi))調(diào)節(jié)為從控制裝置H指示的目標(biāo)流量(流量指令)。順便說(shuō)一下，在本實(shí)施方式中，以使容器內(nèi)的氣體從容器50的排氣口 50ο向外部排出的狀態(tài)將作為惰性氣體的氮?dú)鈴娜萜?0的供氣口 50i向容器50的內(nèi)部注入的注入裝置N以氮?dú)夤┙o源、質(zhì)量流量控制器40及排出噴嘴IOi為主要部分構(gòu)成，上述控制裝置H控制注入裝置N的動(dòng)作。并且，注入裝置N構(gòu)成為，能夠與從控制裝置H指示的流量指令匹配地改變作為惰性氣體的氮?dú)獾墓┙o流量。(控制裝置H的目標(biāo)流量)
如圖4所示，控制裝置H經(jīng)由可編程邏輯控制器P對(duì)分別對(duì)應(yīng)于多個(gè)收納部IOS設(shè)置的質(zhì)量流量控制器40指示目標(biāo)流量(流量指令)。另外，在控制裝置H中裝備有用于輸入各種信息的控制臺(tái)HS。作為控制裝置H所指示的目標(biāo)流量，有在容器50收納在收納部IOS中的狀態(tài)下，為了向容器50的內(nèi)部注入氮?dú)舛鴮?duì)質(zhì)量流量控制器40指示的保管用的目標(biāo)流量；還有在容器50即將收納到收納部IOS中之前，為了清潔排出噴嘴IOi而指示的噴嘴凈化用的目標(biāo)流量；以及在保管架10的設(shè)置時(shí)等，為了清潔排出噴嘴IOi和供給配管Li等而指示的清潔用的目標(biāo)流量。具體而言，控制裝置H對(duì)質(zhì)量流量控制器40 (注入裝置N)指示流量指令，所述流量指令用于將向容器50的氮?dú)獾墓┙o量調(diào)整為保管用的目標(biāo)流量、噴嘴凈化用的目標(biāo)流量或清潔用的目標(biāo)流量。S卩，控制裝置H構(gòu)成為，在保管架10的設(shè)置時(shí)等，當(dāng)由控制臺(tái)HS指示了清潔開(kāi)始指令時(shí)，在設(shè)定時(shí)間期間對(duì)質(zhì)量流量控制器40指示清潔用的目標(biāo)流量(供給流量)。此外，控制裝置H構(gòu)成為，當(dāng)容器50被搬入到入庫(kù)出庫(kù)輸送機(jī)CV中時(shí)，在設(shè)定時(shí)間期間對(duì)質(zhì)量流量控制器40指示噴嘴凈化用的目標(biāo)流量。進(jìn)而，控制裝置H構(gòu)成為，當(dāng)兩個(gè)存貨傳感器IOz檢測(cè)到容器50時(shí)，對(duì)質(zhì)量流量控制器40指示保管用的目標(biāo)流量。在本實(shí)施方式中，作為保管用的目標(biāo)流量，設(shè)定了初始目標(biāo)流量和比該初始目標(biāo)流量少的恒定目標(biāo)流量。控制裝置H構(gòu)成為，在容器50收納于收納部IOS而開(kāi)始供給氮?dú)鈺r(shí)，首先，在設(shè)定時(shí)間期間指示初始目標(biāo)流量作為保管用的目標(biāo)流量，然后指示恒定目標(biāo)流量作為保管用的目標(biāo)流量。另外，指示保管用的目標(biāo)流量的模型不限于上述模型。例如也可以是，在如上所述指示恒定目標(biāo)流量作為保管用的目標(biāo)流量時(shí)，間歇地供給恒定目標(biāo)流量的氮?dú)獾哪Ｐ?。在該情況下，交替地反復(fù)執(zhí)行在設(shè)定供給時(shí)間期間指示恒定目標(biāo)流量作為目標(biāo)流量、以及在設(shè)定待機(jī)時(shí)間期間指示O作為目標(biāo)流量。此外，例如也可以為這樣的模型:作為保管用的目標(biāo)流量，不設(shè)定初始目標(biāo)流量而僅設(shè)定恒定目標(biāo)流量，并間歇地供給該恒定目標(biāo)流量的氮?dú)狻＿@樣，作為指示保管用的目標(biāo)流量的模型，可以應(yīng)用各種保管用模型。(氮供給停止控制)
在本實(shí)施方式中，當(dāng)用于供作業(yè)人員出入保管空間內(nèi)的檢查門(mén)55 (參照?qǐng)D2)打開(kāi)時(shí)，控制裝置H執(zhí)行氮供給停止控制。在該氮供給停止控制中，基本上對(duì)保管的所有容器50停止注入裝置N進(jìn)行的氮?dú)獾墓┙o。如下所述，在該氮供給停止控制中，即使檢查門(mén)55打開(kāi)，有時(shí)也對(duì)容器50繼續(xù)供給氮?dú)?。順便說(shuō)一下，為了檢查作業(yè)而打開(kāi)的檢查門(mén)55在檢查作業(yè)中維持在打開(kāi)狀態(tài)，從而將外部的空氣導(dǎo)入保管空間內(nèi)。然后，當(dāng)檢查作業(yè)結(jié)束時(shí)，檢查門(mén)55關(guān)閉。如圖2和圖4所示，設(shè)置有檢測(cè)檢查門(mén)55的開(kāi)閉狀態(tài)的作為檢查門(mén)開(kāi)閉檢測(cè)裝置的檢查門(mén)開(kāi)閉檢測(cè)傳感器S1、和對(duì)控制裝置H指示停止無(wú)效指令的人為操作式的作為停止無(wú)效指令裝置的停止無(wú)效指令開(kāi)關(guān)SW。檢查門(mén)開(kāi)閉檢測(cè)傳感器SI由被檢查門(mén)55按壓操作的限位開(kāi)關(guān)等構(gòu)成，檢測(cè)是處于檢查門(mén)55位于全閉位置的關(guān)閉狀態(tài)，還是處于檢查門(mén)55從全閉位置向打開(kāi)側(cè)被操作了的打開(kāi)狀態(tài)，并將該檢測(cè)信息輸出至控制裝置H。停止無(wú)效指令開(kāi)關(guān)SW例如設(shè)置于處于墻體K的外表面部的檢測(cè)門(mén)55附近，如圖4所示，具備能夠相對(duì)于主體部插拔的作為操作體的鑰匙56。插入于主體部的鑰匙56能夠在操作解除位置A和無(wú)效指令位置B之間進(jìn)行操作，插入于主體部的鑰匙56構(gòu)成為被施力而返回到操作解除位置A。進(jìn)而，停止無(wú)效指令開(kāi)關(guān)SW構(gòu)成為，當(dāng)將鑰匙56操作至無(wú)效指令位置B時(shí)，對(duì)控制裝置H指示停止無(wú)效指令。順便說(shuō)一下，作為停止無(wú)效指令開(kāi)關(guān)SW，可以使用常設(shè)有作為操作體的操作旋鈕的開(kāi)關(guān)、所謂的選擇器開(kāi)關(guān)。
控制裝置H構(gòu)成為，當(dāng)由停止無(wú)效指令開(kāi)關(guān)SW指示停止無(wú)效指令時(shí)，將停止無(wú)效模式設(shè)定為執(zhí)行模式，在未由停止無(wú)效指令開(kāi)關(guān)SW指示停止無(wú)效指令時(shí)，將通常停止模式設(shè)定為執(zhí)行模式?？刂蒲b置H構(gòu)成為，在通常停止模式下，在由檢查門(mén)開(kāi)閉檢測(cè)傳感器SI檢測(cè)到檢測(cè)門(mén)55的打開(kāi)狀態(tài)的情況下，控制注入裝置N的動(dòng)作以停止對(duì)所有容器50的氮?dú)獾墓┙o。具體而言，控制裝置H將對(duì)與多個(gè)收納部IOS對(duì)應(yīng)地裝備的多個(gè)質(zhì)量流量控制器40指示的目標(biāo)流量設(shè)定為O。并且，控制裝置H構(gòu)成為，在停止無(wú)效模式下，在由檢查門(mén)開(kāi)閉檢測(cè)傳感器SI檢測(cè)到檢查門(mén)55的打開(kāi)狀態(tài)的情況下，也控制注入裝置N的動(dòng)作以繼續(xù)對(duì)容器50供給氮?dú)?。具體而言，控制裝置H如上所述繼續(xù)對(duì)質(zhì)量流量控制器40指示保管用的目標(biāo)流量。(附帶控制)
如上所述，在停止無(wú)效模式下，即使檢查門(mén)55打開(kāi)，也繼續(xù)對(duì)容器50供給氮?dú)?。在本?shí)施方式中，作為與此附帶的控制，裝備有下述的控制結(jié)構(gòu)。控制裝置H在停止無(wú)效模式下，在由檢查門(mén)開(kāi)閉檢測(cè)傳感器SI檢測(cè)到檢查門(mén)55的打開(kāi)狀態(tài)的情況下，也繼續(xù)對(duì)容器50供給惰性氣體時(shí)，如圖4所示，使對(duì)作業(yè)人員通知繼續(xù)供給氮?dú)獾淖鳛橥ㄖb置的無(wú)線式通信器57A動(dòng)作。即，通信器57A構(gòu)成為，將表示繼續(xù)供給氮?dú)獾那闆r的消息發(fā)送給作業(yè)人員攜帶的移動(dòng)電話(huà)等便攜終端57B。進(jìn)而，便攜終端57B通過(guò)將接收到的消息顯示于顯示畫(huà)面或?qū)⒔邮盏降南⒂寐曇糨敵?，?lái)將處于繼續(xù)供給氮?dú)獾臓顟B(tài)告知作業(yè)人員。并且，控制裝置H構(gòu)成為，在由停止無(wú)效指令開(kāi)關(guān)SW指示了停止無(wú)效指令而切換到停止無(wú)效模式后，即使經(jīng)過(guò)了設(shè)定時(shí)間(例如5分鐘)檢查門(mén)開(kāi)閉檢測(cè)傳感器SI也未檢測(cè)到檢查門(mén)55的打開(kāi)狀態(tài)的情況下，解除停止無(wú)效模式而切換至通常停止模式。即構(gòu)成為，避免了作業(yè)人員為了檢查作業(yè)而利用停止無(wú)效指令開(kāi)關(guān)SW指示了停止無(wú)效指令后中止該檢查作業(yè)這樣的情況下，繼續(xù)停止無(wú)效模式。另外，如圖2所示，設(shè)置有檢測(cè)利用墻體K與外部劃分的保管空間內(nèi)的氧濃度的氧濃度檢測(cè)傳感器S2，如圖4所示，該氧濃度檢測(cè)傳感器S2的檢測(cè)信息被輸入到控制裝置H。順便說(shuō)一下，如圖2和圖4所示，例示了設(shè)有一個(gè)氧濃度檢測(cè)傳感器S2的方式，但優(yōu)選的是在保管空間的內(nèi)部的多個(gè)部位分散地設(shè)置多個(gè)氧濃度檢測(cè)傳感器S2。而且，控制裝置H構(gòu)成為，在停止無(wú)效模式下繼續(xù)對(duì)容器50供給氮?dú)鈺r(shí)，若由氧濃度檢測(cè)傳感器S2檢測(cè)到的氧濃度小于設(shè)定值，則控制注入裝置N的動(dòng)作以停止對(duì)容器50供給惰性氣體。具體而言，控制裝置H將對(duì)與多個(gè)收納部IOS對(duì)應(yīng)地裝備的多個(gè)質(zhì)量流量控制器40指示的目標(biāo)流量設(shè)定為O。順便說(shuō)一下，在保管空間的內(nèi)部的多個(gè)部位分散設(shè)置多個(gè)氧濃度檢測(cè)傳感器S2的情況下，控制裝置H可以構(gòu)成為，若由多個(gè)氧濃度檢測(cè)傳感器S2中的某一個(gè)氧濃度檢測(cè)傳感器S2檢測(cè)到的氧濃度小于設(shè)定值，則控制注入裝置N的動(dòng)作以停止對(duì)容器50供給惰性氣體。接著，根據(jù)圖5的流程圖對(duì)控制裝置H所執(zhí)行的供給狀態(tài)控制工序加以說(shuō)明。在該供給狀態(tài)控制工序中，執(zhí)行用于上述氮供給停止控制的處理以及用于上述附帶控制的處理。
首先，判別是否處于對(duì)收納于收納部IOS的容器50停止了供給氮?dú)獾墓┙o停止?fàn)顟B(tài)(步驟#1 )，在判別為不是停止供給狀態(tài)的情況下，接著判別是否正在執(zhí)行停止無(wú)效模式(步驟#2)。在步驟#2中，在判別為不是正在執(zhí)行停止無(wú)效模式的情況下，即，在正在執(zhí)行通常停止模式的情況下，接著判別是否有基于停止無(wú)效指令開(kāi)關(guān)SW的停止無(wú)效指令(步驟#3)0在步驟#3中，在判別為沒(méi)有停止無(wú)效指示的情況下，接著判別是否打開(kāi)了檢查門(mén)55 (步驟#4)，在判別為打開(kāi)了檢查門(mén)55的情況下，執(zhí)行停止向容器50供給氮?dú)獾牡┙o停止處理(步驟#5)，然后轉(zhuǎn)移至步驟#1的處理。并且，在步驟#4中，在判別為檢查門(mén)55未打開(kāi)的情況下，也轉(zhuǎn)移至步驟#1的處理。另外，步驟#5的氮供給停止處理是這樣的處理:將對(duì)與多個(gè)收納部IOS對(duì)應(yīng)地裝備的多個(gè)質(zhì)量流量控制器40指示的目標(biāo)流量設(shè)定為O。在步驟#1中，在判別為處于供給停止?fàn)顟B(tài)的情況下，接著判別是否處于檢查門(mén)55關(guān)閉的關(guān)閉狀態(tài)(步驟#6)，在判別為檢查門(mén)55處于關(guān)閉狀態(tài)的情況下，執(zhí)行開(kāi)始向容器50供給氮?dú)獾牡┙o開(kāi)始處理(步驟#7)，然后轉(zhuǎn)移至步驟#1的處理。并且，在步驟#6中，在判別為檢查門(mén)55未關(guān)閉的情況下，也轉(zhuǎn)移至步驟#1的處理。另外，步驟#7的氮供給開(kāi)始處理是這樣的處理:作為對(duì)收納有容器50的收納部IOS的質(zhì)量流量控制器40指示的目標(biāo)流量,指示保管用的目標(biāo)流量。在步驟#3中，在判別為有停止無(wú)效指示的情況下，接著執(zhí)行設(shè)定停止無(wú)效模式作為執(zhí)行模式的處理(步驟#8)，接著判別是否打開(kāi)了檢查門(mén)55 (步驟#9)。在步驟#9中，在判別為打開(kāi)了檢查門(mén)55的情況下，使通信器57A動(dòng)作，執(zhí)行將表示繼續(xù)供給氮?dú)獾南鬟_(dá)給作業(yè)人員攜帶的便攜終端57B的通知處理(步驟#10)。在執(zhí)行了步驟#10的處理后，判別是否處于檢查門(mén)55關(guān)閉的關(guān)閉狀態(tài)(步驟#11)，在判別為檢查門(mén)55處于關(guān)閉狀態(tài)的情況下，執(zhí)行解除停止無(wú)效模式的處理(步驟#12)，然后轉(zhuǎn)移至步驟#1的處理。順便說(shuō)一下，通過(guò)步驟#12的解除停止無(wú)效模式的處理，將通常停止模式設(shè)定為執(zhí)行模式。在步驟#11中，在判別為檢查門(mén)55未關(guān)閉的情況下，接著判別由氧濃度檢測(cè)傳感器S2檢測(cè)到的氧濃度是否小于設(shè)定值(步驟#15)。在步驟#15中，在判別為小于設(shè)定值的情況下，執(zhí)行停止向容器50供給氮?dú)獾牡┙o停止處理(步驟#16)，然后轉(zhuǎn)移至步驟#1的處理。此外，在步驟#15中，在判別為氧濃度不小于設(shè)定值的情況下，也轉(zhuǎn)移至步驟#1的處理。另外，步驟#16的氮供給停止處理與步驟#5的處理同樣，是將對(duì)與多個(gè)收納部IOS對(duì)應(yīng)地裝備的多個(gè)質(zhì)量流量控制器40指示的目標(biāo)流量設(shè)定為O的處理。在步驟#9中，在判別為檢查門(mén)55未打開(kāi)的情況下，接著判別從指示了停止無(wú)效指令起是否經(jīng)過(guò)了 5分鐘(步驟#14)，在判別為從指示了停止無(wú)效指令起經(jīng)過(guò)了 5分鐘的情況下，執(zhí)行步驟#12的解除停止無(wú)效模式的處理，然后轉(zhuǎn)移至步驟#1的處理。并且，在步驟#14中，在判別為從指示了停止無(wú)效指令起未經(jīng)過(guò)5分鐘的情況下，也轉(zhuǎn)移至步驟#1的處理。在步驟#2中，在判別為處于停止無(wú)效模式的情況下，接著，在設(shè)定了停止無(wú)效模式后，判別檢查門(mén)55是否已經(jīng)打開(kāi)(步驟#13)。在步驟#13中，在判別為檢查門(mén)55已經(jīng)打開(kāi)的情況下，轉(zhuǎn)移至步驟#11的處理，此夕卜，在步驟#13中，在判別為檢查門(mén)55未打開(kāi)的情況下，轉(zhuǎn)移至步驟#9的處理。如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式，在容器50收納于收納部IOS時(shí)，向容器50的內(nèi)部注入氮?dú)?，因此能夠?qū)⑹占{于容器內(nèi)的半導(dǎo)體晶片W維持在適當(dāng)狀態(tài)。而且，在通常停止模式下，為了抑制氮?dú)獾南牧亢蜋z查作業(yè)時(shí)保管空間內(nèi)的氧濃度的降低，在用于供作業(yè)人員出入保管空間內(nèi)的檢查門(mén)55打開(kāi)的情況下，基本上注入裝置N停止向容器50供給氮?dú)?。與此相對(duì)，在停止無(wú)效模式下，即使在檢查門(mén)55打開(kāi)的情況下，也能夠繼續(xù)供給氮?dú)?，因此，能夠在?duì)收納于收納部IOS的容器50繼續(xù)供給氮?dú)獾臓顟B(tài)下進(jìn)行檢查作業(yè)。(其他實(shí)施方式)
(I)在上述實(shí)施方式中，作為惰性氣體例示了使用氮?dú)獾那闆r，但作為惰性氣體也可以使用氬氣等各種氣體。順便說(shuō)一下，本發(fā)明的惰性氣體需要是氧含量低且絕對(duì)濕度低的氣體。(2)在上述實(shí)施方式中，例示了將氮?dú)夤┙o源、排出噴嘴IOi及質(zhì)量流量控制器40作為主要部分來(lái)構(gòu)成注入裝置N的情況，即，使用質(zhì)量流量控制器40來(lái)構(gòu)成注入裝置N的情況，但本發(fā)明的實(shí)施方式不限于此。例如也可以以這樣的方式實(shí)施:不設(shè)置質(zhì)量流量控制器40，而是在氮?dú)獾墓┙o路中設(shè)置變更調(diào)節(jié)向容器50的供給流量的流量調(diào)節(jié)閥、以及計(jì)測(cè)向容器50的供給流量的流量傳感器，控制裝置H根據(jù)流量傳感器的檢測(cè)信息來(lái)控制流量調(diào)節(jié)閥的動(dòng)作。在該情況下，將氮?dú)夤┙o源、排出噴嘴IOi及流量調(diào)節(jié)閥作為主要部分來(lái)構(gòu)成注
入裝置N。(3)在上述實(shí)施方式中，在通常停止模式下檢查門(mén)55打開(kāi)的情況下，通過(guò)對(duì)與多個(gè)收納部IOS分別對(duì)應(yīng)地設(shè)置的質(zhì)量流量控制器40指示O的目標(biāo)流量，從而停止對(duì)容器50供給氮?dú)?，但本發(fā)明的實(shí)施方式不限于此。例如，對(duì)裝備于氮供給源的供給繼續(xù)閥進(jìn)行關(guān)閉操作來(lái)停止對(duì)容器50供給氮?dú)獾慕Y(jié)構(gòu)等、停止對(duì)容器50供給氮?dú)獾慕Y(jié)構(gòu)可以應(yīng)用各種結(jié)構(gòu)。(4)在上述實(shí)施方式中，例示了在向收納于收納部IOS的容器50供給作為惰性氣體的氮?dú)鈺r(shí)，將保管用的目標(biāo)流量切換設(shè)定為初始目標(biāo)流量和比該初始目標(biāo)流量少的恒定目標(biāo)流量，同時(shí)供給氮?dú)獾那闆r，但本發(fā)明的實(shí)施方式不限于此。例如也可以在將保管用的目標(biāo)流量維持在一個(gè)設(shè)定流量的形態(tài)下供給氮?dú)狻?5)在上述實(shí)施方式中，作為對(duì)作業(yè)人員通知繼續(xù)供給惰性氣體的通知裝置，例示了將消息傳達(dá)給作業(yè)人員的便攜終端57B的通信器57A，但本發(fā)明的實(shí)施方式不限于此。例如，作為通知裝置，在檢查門(mén)55的附近設(shè)置利用聲音輸出上述消息的揚(yáng)聲器等通知裝置的具體結(jié)構(gòu)可以進(jìn)行變更。
權(quán)利要求
1.一種惰性氣體注入設(shè)備，包括: 保管架，設(shè)置于與外部劃分形成的保管空間內(nèi)，并配設(shè)有收納用于容納基板的容器的收納部； 注入裝置，以使容器內(nèi)的氣體從收納于上述收納部的上述容器的排氣口向上述保管空間內(nèi)排出的狀態(tài)，將惰性氣體從上述容器的供氣口注入上述容器的內(nèi)部；以及 控制裝置，控制上述注入裝置的動(dòng)作， 其特征在于， 該惰性氣體注入設(shè)備具有: 檢查門(mén)開(kāi)閉檢測(cè)裝置，檢測(cè)用于供作業(yè)人員出入上述保管空間內(nèi)的檢查門(mén)的開(kāi)閉狀態(tài)；以及 人為操作式的停止無(wú)效指令裝置，用于對(duì)上述控制裝置指示停止無(wú)效指令， 上述控制裝置構(gòu)成為， 在未由上述停止無(wú)效指令裝置指示上述停止無(wú)效指令的情況下執(zhí)行的通常停止模式下，在由上述檢查門(mén)開(kāi)閉檢測(cè)裝置檢測(cè)到上述檢查門(mén)的打開(kāi)狀態(tài)的情況下，控制上述注入裝置的動(dòng)作以停止對(duì)上述容器供給惰性氣體，并且， 在由上述停止無(wú)效指令裝置指示了上述停止無(wú)效指令的情況下執(zhí)行的停止無(wú)效模式下，在由上述檢查門(mén)開(kāi)閉檢測(cè)裝置檢測(cè)到上述檢查門(mén)的打開(kāi)狀態(tài)的情況下，也控制上述注入裝置的動(dòng)作以繼續(xù)對(duì)上述容器供給惰性氣體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的惰性氣體注入設(shè)備,其特征在于， 設(shè)置有檢測(cè)上述保管空間內(nèi)的氧濃度的氧濃度檢測(cè)傳感器， 上述控制裝置構(gòu)成為，在上述停止無(wú)效模式下繼續(xù)對(duì)上述容器供給惰性氣體時(shí)，在由上述氧濃度檢測(cè)傳感器檢測(cè)到氧濃度小于設(shè)定值的情況下，控制上述注入裝置的動(dòng)作以停止對(duì)上述容器供給惰性氣體。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的惰性氣體注入設(shè)備，其特征在于， 上述控制裝置構(gòu)成為，在上述停止無(wú)效模式下，在由上述檢查門(mén)開(kāi)閉檢測(cè)裝置檢測(cè)到上述檢查門(mén)的打開(kāi)狀態(tài)后繼續(xù)對(duì)上述容器供給惰性氣體時(shí)，使對(duì)作業(yè)人員通知繼續(xù)供給惰性氣體的通知裝置動(dòng)作。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的惰性氣體注入設(shè)備，其特征在于， 上述控制裝置構(gòu)成為，在對(duì)應(yīng)于上述停止無(wú)效指令裝置的上述停止無(wú)效指令切換到上述停止無(wú)效模式后，即使經(jīng)過(guò)了設(shè)定時(shí)間上述檢查門(mén)開(kāi)閉檢測(cè)裝置也未檢測(cè)到上述檢查門(mén)的打開(kāi)狀態(tài)的情況下，解除上述停止無(wú)效模式而切換至上述通常停止模式。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的惰性氣體注入設(shè)備，其特征在于， 上述停止無(wú)效指令裝置構(gòu)成為，具備能夠在操作解除位置和無(wú)效指令位置之間操作且被施力而返回上述操作解除位置的操作體，并且通過(guò)將上述操作體操作至上述無(wú)效指令位置，而對(duì)上述控制裝置指示上述停止無(wú)效指令。
6.—種惰性氣體注入方法，使用了惰性氣體注入設(shè)備， 上述惰性氣體注入設(shè)備包括: 保管架，設(shè)置于與外部劃分形成的保管空間內(nèi)，并配設(shè)有收納用于容納基板的容器的收納部；注入裝置，以使容器內(nèi)的氣體從收納于上述收納部的上述容器的排氣口向上述保管空間內(nèi)排出的狀態(tài)，將惰性氣體從上述容器的供氣口注入上述容器的內(nèi)部； 控制裝置，控制上述注入裝置的動(dòng)作， 檢查門(mén)開(kāi)閉檢測(cè)裝置，檢測(cè)用于供作業(yè)人員出入上述保管空間內(nèi)的檢查門(mén)的開(kāi)閉狀態(tài)；以及 人為操作式的停止無(wú)效指令裝置，用于對(duì)上述控制裝置指示停止無(wú)效指令， 上述惰性氣體注入方法包括由上述控制裝置執(zhí)行的以下工序: 供給狀態(tài)控制工序，在該供給狀態(tài)控制工序中， 在未由上述停止無(wú)效指令裝置指示上述停止無(wú)效指令的情況下執(zhí)行的通常停止模式下，在由上述檢查門(mén)開(kāi)閉檢測(cè)裝置檢測(cè)到上述檢查門(mén)的打開(kāi)狀態(tài)的情況下，控制上述注入裝置的動(dòng)作以停止對(duì)上述容器供給惰性氣體，并且， 在由上述停止無(wú)效指令裝置指示了上述停止無(wú)效指令的情況下執(zhí)行的停止無(wú)效模式下，在由上述檢查門(mén)開(kāi)閉檢測(cè)裝置檢測(cè)到上述檢查門(mén)的打開(kāi)狀態(tài)的情況下，也控制上述注入裝置的動(dòng)作以繼續(xù)對(duì)上述容器供給惰性氣體。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的惰性氣體注入方法，其特征在于， 在上述惰性氣體注入設(shè)備設(shè)置有檢測(cè)上述保管空間內(nèi)的氧濃度的氧濃度檢測(cè)傳感器， 在上述供給狀態(tài)控制工序中，在上述停止無(wú)效模式下繼續(xù)對(duì)上述容器供給惰性氣體時(shí)，在由上述氧濃度檢測(cè)傳感器檢測(cè)到氧濃度小于設(shè)定值的情況下，控制上述注入裝置的動(dòng)作以停止對(duì)上述容 器供給惰性氣體。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的惰性氣體注入方法，其特征在于， 在上述供給狀態(tài)控制工序中，在上述停止無(wú)效模式下，在由上述檢查門(mén)開(kāi)閉檢測(cè)裝置檢測(cè)到上述檢查門(mén)的打開(kāi)狀態(tài)后繼續(xù)對(duì)上述容器供給惰性氣體時(shí)，使對(duì)作業(yè)人員通知繼續(xù)供給惰性氣體的通知裝置動(dòng)作。
9.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的惰性氣體注入方法，其特征在于， 在上述供給狀態(tài)控制工序中，在對(duì)應(yīng)于上述停止無(wú)效指令裝置的上述停止無(wú)效指令切換到上述停止無(wú)效模式后，即使經(jīng)過(guò)了設(shè)定時(shí)間上述檢查門(mén)開(kāi)閉檢測(cè)裝置也未檢測(cè)到上述檢查門(mén)的打開(kāi)狀態(tài)的情況下，解除上述停止無(wú)效模式而切換至上述通常停止模式。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的惰性氣體注入方法，其特征在于， 上述停止無(wú)效指令裝置具備能夠在操作解除位置和無(wú)效指令位置之間進(jìn)行操作且被施力而返回上述操作解除位置的操作體，并且在將上述操作體操作至上述無(wú)效指令位置的情況下，對(duì)上述控制裝置指示上述停止無(wú)效指令。
全文摘要
本發(fā)明提供一種惰性氣體注入設(shè)備及惰性氣體注入方法。惰性氣體注入設(shè)備包括注入裝置，以使收納于保管架的收納部的容器內(nèi)的氣體向與外部劃分形成的保管空間內(nèi)排出的狀態(tài)，將惰性氣體注入該容器的內(nèi)部；和控制注入裝置的動(dòng)作的控制裝置?？刂蒲b置構(gòu)成為，在未由停止無(wú)效指令裝置指示停止無(wú)效指令的情況下執(zhí)行的通常停止模式下，在檢測(cè)到檢查門(mén)的打開(kāi)狀態(tài)的情況下，停止對(duì)容器供給惰性氣體，并且，在由停止無(wú)效指令裝置指示了停止無(wú)效指令的情況下執(zhí)行的停止無(wú)效模式下，在檢測(cè)到檢查門(mén)的打開(kāi)狀態(tài)的情況下，也繼續(xù)對(duì)容器供給惰性氣體。
文檔編號(hào)H01L21/02GK103199038SQ20131000147
公開(kāi)日2013年7月10日 申請(qǐng)日期2013年1月4日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月5日
發(fā)明者進(jìn)武士, 高原正裕, 上田俊人 申請(qǐng)人:株式會(huì)社大福