一種量測機(jī)臺監(jiān)測圖規(guī)格界限設(shè)定的方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種量測機(jī)臺監(jiān)測圖規(guī)格界限設(shè)定的方法，所述方法根據(jù)所述機(jī)臺特性參數(shù)、所述機(jī)臺運(yùn)行過程中的實際現(xiàn)狀以及所述機(jī)臺上線狀態(tài)下的量測要求，來設(shè)定所述機(jī)臺的規(guī)格界限，以滿足所述機(jī)臺的量測性能以及生產(chǎn)量測需求。本發(fā)明所述方法的優(yōu)點在于：（1）使得每張監(jiān)測圖設(shè)定合理的規(guī)格，能夠靈敏地偵測到機(jī)臺的異常狀況；（2）使得機(jī)臺過程能力指數(shù)實際工程能力指數(shù)Cpk控制在合理的范圍內(nèi)，方便機(jī)臺過程能力指數(shù)Cpk的審核；（3）結(jié)合統(tǒng)計和工程判斷，將每張控制圖分類，使得每種類型的控制圖都能有相應(yīng)的處理改善方法；（4）通過完整的流程，得以實現(xiàn)自動化控制。來識別歸類機(jī)臺的不同問題。
【專利說明】一種量測機(jī)臺監(jiān)測圖規(guī)格界限設(shè)定的方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體工藝領(lǐng)域，具體地，本發(fā)明涉及一種量測機(jī)臺監(jiān)測圖規(guī)格界限設(shè)定的方法。

【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展，半導(dǎo)體器件尺寸不斷地縮小，往微型器件發(fā)展，同時隨著技術(shù)的不斷更新，對量測精度的要求也越來越高。其中，量測機(jī)臺的性能對于生產(chǎn)量測起著至關(guān)重要的作用，其誤差會直接影響生產(chǎn)結(jié)果。因此，對于量測機(jī)臺的管控方法尤為重要。
[0003]目前業(yè)界對量測機(jī)臺監(jiān)測圖規(guī)格界限的設(shè)定主要用兩種方法:1)上線inline量測的規(guī)格界限的10%，來保證由量測帶來的變異對inline生產(chǎn)的影響可以忽略不計；2)機(jī)臺特性參數(shù)spec sheet中的精度要求accuracy spec,用以保證機(jī)臺的變異是在機(jī)臺本身的允許范圍內(nèi)的。這兩種方法有其優(yōu)點，但都存在不足之處。比如第一種方法雖然能夠保證生產(chǎn)，但是忽略了機(jī)臺本身固有的特性。而第二種方法沒有考慮對實際生產(chǎn)能力的需求。設(shè)定過松會導(dǎo)致不能及時偵測異常、及時調(diào)機(jī)，設(shè)定過緊給正常生產(chǎn)帶來干擾，這樣的設(shè)定都不能有效地管控并維護(hù)量測機(jī)臺。
[0004]其中，量測機(jī)臺的規(guī)格界限，代表要求量測所應(yīng)達(dá)到的水準(zhǔn)，若超過規(guī)格界限，則意味著量測機(jī)臺對生產(chǎn)量測構(gòu)成了顯著的影響。設(shè)定規(guī)格界限若以單一一個要素中去定義，都不夠完善:以機(jī)臺特性參數(shù)中的accuracy spec作為規(guī)格界限只考慮機(jī)臺出廠的狀況，忽略機(jī)臺的實際現(xiàn)狀和生產(chǎn)需求；若以機(jī)臺運(yùn)行中的實際狀況nXsigma作為規(guī)格界限，則沒法知道機(jī)臺的改善極限，也忽略了機(jī)臺應(yīng)該滿足的量測需求；而只以inline量測需求作為規(guī)格界限則忽略機(jī)臺本身的性能和現(xiàn)狀，可能會導(dǎo)致設(shè)定過寬或過緊。
[0005]因此，為了更加有效地管控并維護(hù)量測機(jī)臺，將機(jī)臺出廠時廠商保證的所能達(dá)到的能力，機(jī)臺在運(yùn)行過程中的實際現(xiàn)狀和此機(jī)臺要滿足inline量測需求所應(yīng)達(dá)到的能力綜合考量，制定出合理的規(guī)格界限，偵測出機(jī)臺的異常情況，以及采取有效及時的處理措施，以保證生產(chǎn)的正常進(jìn)行，成為亟需解決的問題。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]在
【發(fā)明內(nèi)容】
部分中引入了一系列簡化形式的概念，這將在【具體實施方式】部分中進(jìn)一步詳細(xì)說明。本發(fā)明的
【發(fā)明內(nèi)容】
部分并不意味著要試圖限定出所要求保護(hù)的技術(shù)方案的關(guān)鍵特征和必要技術(shù)特征，更不意味著試圖確定所要求保護(hù)的技術(shù)方案的保護(hù)范圍。
[0007]本發(fā)明提供了一種量測機(jī)臺監(jiān)測圖規(guī)格界限設(shè)定的方法，所述方法根據(jù)所述機(jī)臺特性參數(shù)、所述機(jī)臺運(yùn)行過程中的實際現(xiàn)狀以及所述機(jī)臺上線狀態(tài)下的量測要求，來設(shè)定所述機(jī)臺的規(guī)格界限，以滿足所述機(jī)臺的量測性能以及生產(chǎn)量測需求。
[0008]作為優(yōu)選，以所述機(jī)臺運(yùn)行中檢測數(shù)據(jù)6倍的標(biāo)準(zhǔn)差6 σ作為所述機(jī)臺運(yùn)行過程中的實際現(xiàn)狀的控制線。
[0009]作為優(yōu)選，以上線狀態(tài)下10%的制程規(guī)格作為所述機(jī)臺上線狀態(tài)下的量測要求。
[0010]作為優(yōu)選，所述機(jī)臺特性參數(shù)包括機(jī)臺精度要求、重復(fù)性和再現(xiàn)性測試、工具匹配、產(chǎn)量參數(shù)，用來表征機(jī)臺所能達(dá)到的能力參數(shù)。
[0011]作為優(yōu)選，所述機(jī)臺精度要求為機(jī)臺測試值和參考值之間的接近程度。
[0012]作為優(yōu)選，所述機(jī)臺精度要求< 10%，則機(jī)臺滿足制程的量測要求。
[0013]作為優(yōu)選，所述方法還要對所述機(jī)臺過程能力指數(shù)Cp進(jìn)行監(jiān)控，所述過程能力指數(shù)Cp越大，機(jī)臺運(yùn)行過程越穩(wěn)定。
[0014]作為優(yōu)選，當(dāng)所述機(jī)臺精度要求< 10%時，以所述機(jī)臺精度要求計算所述機(jī)臺過程能力指數(shù)Cp。
[0015]作為優(yōu)選，根據(jù)計算得到的所述機(jī)臺過程能力指數(shù)Cp，將所述機(jī)臺控制圖分為以下3種:
[0016]當(dāng)所述1.33 ≤ Cp ≤ 2時，所述機(jī)臺的實際現(xiàn)狀符合所述機(jī)臺精度要求，直接以所述機(jī)臺精度要求作為設(shè)定規(guī)格，為控制圖1 ;
[0017]當(dāng)所述Cp>2時，所述機(jī)臺的實際現(xiàn)狀超過了所述機(jī)臺精度要求，以所述機(jī)臺運(yùn)行中檢測數(shù)據(jù)6倍的標(biāo)準(zhǔn)差6 σ作為設(shè)定規(guī)格，為控制圖1I ；
[0018]當(dāng)所述Cp〈l.33時，所述機(jī)臺的實際現(xiàn)狀達(dá)不到所述機(jī)臺精度要求，以所述上線狀態(tài)下10%的制程規(guī)格作為設(shè)定規(guī)格，為控制圖1II。
[0019]作為優(yōu)選，當(dāng)所述機(jī)臺精度要求> 10%時，以上線狀態(tài)下10%的制程規(guī)格計算所述機(jī)臺過程能力指數(shù)Cp。
[0020]作為優(yōu)選，根據(jù)計算得到的所述機(jī)臺過程能力指數(shù)Cp，將所述機(jī)臺控制圖分為以下4種:
[0021]當(dāng)所述1.33 ≤Cp ≤2時，以上線狀態(tài)下10%的制程規(guī)格作為設(shè)定規(guī)格，為控制圖1V；
[0022]當(dāng)所述Cp>2時，所述機(jī)臺的實際現(xiàn)狀滿足了上線狀態(tài)制程規(guī)格量測需求，以所述機(jī)臺運(yùn)行中檢測數(shù)據(jù)6倍的標(biāo)準(zhǔn)差6 σ作為設(shè)定規(guī)格，以改善機(jī)臺至極致水平，為控制圖V ；
[0023]當(dāng)所述Cp〈l.33時，判斷所述機(jī)臺運(yùn)行中檢測數(shù)據(jù)6倍的標(biāo)準(zhǔn)差6 σ與所述機(jī)臺特性參數(shù)的大小，當(dāng)6σ小于機(jī)臺特性參數(shù)，以6σ作為設(shè)定規(guī)格，為控制圖VI ;當(dāng)6 σ大于機(jī)臺特性參數(shù)，以機(jī)臺特性參數(shù)作為設(shè)定規(guī)格，為控制圖VII。
[0024]本發(fā)明所述方法通過將機(jī)臺出廠時廠商保證的所能達(dá)到的能力，機(jī)臺在運(yùn)行過程中的實際現(xiàn)狀和此機(jī)臺要滿足inline量測需求所應(yīng)達(dá)到的能力綜合考量，制定出合理的規(guī)格界限，從而有效地定義機(jī)臺的狀況，偵測出機(jī)臺的異常情況，采取有效及時的處理措施。
[0025]本發(fā)明所述方法的優(yōu)點在于:
[0026]( 1)使得每張監(jiān)測圖設(shè)定合理的規(guī)格，能夠靈敏地偵測到機(jī)臺的異常狀況；
[0027](2)使得機(jī)臺過程能力指數(shù)實際工程能力指數(shù)Cpk控制在合理的范圍內(nèi)，方便機(jī)臺過程能力指數(shù)Cpk的審核；
[0028](3)結(jié)合統(tǒng)計和工程判斷，將每張控制圖分類，使得每種類型的控制圖都能有相應(yīng)的處理改善方法；
[0029](4)通過完整的流程，得以實現(xiàn)自動化控制。來識別歸類機(jī)臺的不同問題。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0030]本發(fā)明的下列附圖在此作為本發(fā)明的一部分用于理解本發(fā)明。附圖中示出了本發(fā)明的實施例及其描述，用來解釋本發(fā)明的裝置及原理。在附圖中，
[0031]圖1為本發(fā)明一【具體實施方式】中所述測機(jī)臺監(jiān)測圖規(guī)格界限設(shè)定的方法流程圖；
[0032]圖2為本發(fā)明一【具體實施方式】中所述測機(jī)臺監(jiān)測數(shù)據(jù)分布示意圖；
[0033]圖3為本發(fā)明一【具體實施方式】中選用10%制程規(guī)格作為量測規(guī)格的控制圖的示意圖；
[0034]圖4為本發(fā)明一【具體實施方式】中選用6倍標(biāo)準(zhǔn)偏差作為量測規(guī)格的控制圖的示意圖。

【具體實施方式】
[0035]在下文的描述中，給出了大量具體的細(xì)節(jié)以便提供對本發(fā)明更為徹底的理解。然而，對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言顯而易見的是，本發(fā)明可以無需一個或多個這些細(xì)節(jié)而得以實施。在其他的例子中，為了避免與本發(fā)明發(fā)生混淆，對于本領(lǐng)域公知的一些技術(shù)特征未進(jìn)行描述。
[0036]為了徹底理解本發(fā)明，將在下列的描述中提出詳細(xì)的描述，以說明本發(fā)明所述測機(jī)臺監(jiān)測圖規(guī)格界限設(shè)定的方法。顯然，本發(fā)明的施行并不限于半導(dǎo)體領(lǐng)域的技術(shù)人員所熟習(xí)的特殊細(xì)節(jié)。本發(fā)明的較佳實施例詳細(xì)描述如下，然而除了這些詳細(xì)描述外，本發(fā)明還可以具有其他實施方式。
[0037]應(yīng)予以注意的是，這里所使用的術(shù)語僅是為了描述具體實施例，而非意圖限制根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例。如在這里所使用的，除非上下文另外明確指出，否則單數(shù)形式也意圖包括復(fù)數(shù)形式。此外，還應(yīng)當(dāng)理解的是，當(dāng)在本說明書中使用術(shù)語“包含”和/或“包括”時，其指明存在所述特征、整體、步驟、操作、元件和/或組件，但不排除存在或附加一個或多個其他特征、整體、步驟、操作、元件、組件和/或它們的組合。
[0038]現(xiàn)在，將參照附圖更詳細(xì)地描述根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例。然而，這些示例性實施例可以多種不同的形式來實施，并且不應(yīng)當(dāng)被解釋為只限于這里所闡述的實施例。應(yīng)當(dāng)理解的是，提供這些實施例是為了使得本發(fā)明的公開徹底且完整，并且將這些示例性實施例的構(gòu)思充分傳達(dá)給本領(lǐng)域普通技術(shù)人員。
[0039]本發(fā)明所述方法根據(jù)所述機(jī)臺特性參數(shù)、所述機(jī)臺運(yùn)行過程中的實際現(xiàn)狀以及所述機(jī)臺上線狀態(tài)下的量測要求，來設(shè)定所述機(jī)臺的規(guī)格界限，以滿足所述機(jī)臺的量測性能以及生產(chǎn)量測需求。
[0040]其中，以所述機(jī)臺運(yùn)行中檢測數(shù)據(jù)6倍的標(biāo)準(zhǔn)差6 σ作為所述機(jī)臺運(yùn)行過程中的實際現(xiàn)狀，以上線狀態(tài)下10%的制程規(guī)格作為所述機(jī)臺上線狀態(tài)下的量測要求，選用機(jī)臺精度要求作為所述機(jī)臺特性參數(shù)，所述機(jī)臺精度要求為機(jī)臺測試值和參考值之間的接近程度。
[0041]具體地，在本發(fā)明的一具體地實施方式中將機(jī)臺出廠時廠商保證的所能達(dá)到的能力，即機(jī)臺特性參數(shù)表(spec sheet)中的機(jī)臺精度要求(accuracy spec)、機(jī)臺在運(yùn)行過程中的實際現(xiàn)狀(比如η X sigma,通常為了確保誤報警率控制在0.27%，業(yè)界一般采用3sigma來作為控制線)和此機(jī)臺要滿足在線(inline)量測需求所應(yīng)達(dá)到的能力(比如10%在線量測極差inline spec range)綜合起來考量,來評估機(jī)臺的狀況,為此引入了 spec sheet中的accuracy spec, Cp (過程能力指數(shù)),6倍標(biāo)準(zhǔn)差，10%制程規(guī)格界限的概念。
[0042]其中，Spec sheet是機(jī)臺特性參數(shù)表,通常包含機(jī)臺精度要求(accuracyspec),重復(fù)性和再現(xiàn)性測試，工具匹配(tool matching),生產(chǎn)量(throughput)等等機(jī)臺出廠時廠商保證的所能達(dá)到的能力參數(shù)，而其中的accuracy spec對于制定規(guī)格界限有重要的參考意義，accuracy spec表征機(jī)臺出廠時應(yīng)能達(dá)到的精度要求,精度accuracy是指測試值和參考值之間的接近程度，其值越小，說明精度越高，機(jī)臺量測值接近參考值的能力越強(qiáng)。
[0043]其中，所述η倍標(biāo)準(zhǔn)差η σ (nX sigma)代表機(jī)臺在運(yùn)行過程中的實際現(xiàn)狀，數(shù)據(jù)越穩(wěn)定越集中，σ (sigma)越小，反之，數(shù)據(jù)越發(fā)散越異常，σ (sigma)越大。穩(wěn)定運(yùn)行的量測機(jī)臺監(jiān)測數(shù)據(jù)通常呈正態(tài)分布，對于正態(tài)分布來說，理論上數(shù)據(jù)點落在(_3sigma, +3sigma)的概率為99.73%，而在(-4sigma，+4sigma)的概率則可達(dá)到99.99%，因此，業(yè)界一般基于機(jī)臺的現(xiàn)狀以3sigma來作為控制界限。Cp代表過程能力指數(shù),Cp= (USL-LSL)/6 σ ,其中,所述控制圖為對過程質(zhì)量特性加以測定、記錄并從而進(jìn)行控制的一種應(yīng)用統(tǒng)計方法設(shè)計的圖，在所述控制圖中由中心線CL，上控制線UCL和下控制線LCL以及具有按時序抽取的樣本統(tǒng)計量數(shù)值的描點序列組成，在特定的規(guī)格界限下，過程越穩(wěn)定，Cp值越大，默認(rèn)Cp=2時過程能力比較充分，此時單邊特性限度(spec tolerance)正好為6 σ ,因此業(yè)界也有一些做法是直接以6σ作為規(guī)格界限。
[0044]由測量系統(tǒng)分析(Measurement System Analysis,MSA)根據(jù)獲得的過程加工部件的測量數(shù)據(jù)去分析過程的狀態(tài)、過程的能力和監(jiān)控過程的變化可知，一個好的量測系統(tǒng)同時還要滿足6sigma〈上線狀態(tài)下10%的制程規(guī)格(10%inline spec range),量測機(jī)臺服務(wù)于上線(inline)量測，因此需要滿足inline量測需求。
[0045]作為優(yōu)選，為了確保能更加準(zhǔn)確的監(jiān)控所述機(jī)臺的量測性能以及生產(chǎn)量測需求，以accuracy spec作為機(jī)臺出廠時應(yīng)該達(dá)到的精度能力,6 σ作為機(jī)臺的實際現(xiàn)狀，10%inline規(guī)格界限作為制程對量測機(jī)臺的要求，根據(jù)這幾個因素的關(guān)系，并兼顧合理的Cp值，制定圖1所示的流程圖來定義規(guī)格限制:
[0046]如圖1所示，I)若機(jī)臺精度要求accuracy spec〈=10%,說明機(jī)臺可以滿足制程的量測要求，以機(jī)臺精度要求accuracy spec作為設(shè)定規(guī)格計算Cp,以Cp的大小劃分為控制圖類型I (type I)、控制圖類型II (type II)、控制圖類型III (type III):如圖1中的右側(cè)所示，具體地:
[0047]Type 1:若1.33〈=Cp〈=2,說明機(jī)臺的實際現(xiàn)狀符合機(jī)臺accuracy spec要求,可直接以accuracy spec作為設(shè)定規(guī)格,此種控制圖為type I ；
[0048]Type I1:若Cp>2，說明由于機(jī)臺較好地維護(hù)，機(jī)臺的實際現(xiàn)狀超過了機(jī)臺accuracy spec,為了達(dá)到持續(xù)改善的目的,在這種情況下以6 σ作為設(shè)定規(guī)格，以改善機(jī)臺至極致水平，此類控制圖為type II;
[0049]Type II1:若Cp〈l.33,說明機(jī)臺的實際現(xiàn)狀已經(jīng)達(dá)不到機(jī)臺accuracy spec的要求，在這種情況下，首先會要求機(jī)臺達(dá)到inline量測需求，以10%inline spec作為設(shè)定規(guī)格，同時將這部分控制圖作為改善對象，為type III;
[0050]2)若機(jī)臺精度要求accuracy spec>10%,此種情況下說明機(jī)臺本身的能力滿足不了 inline的量測要求。此時,基于上線量測要求的10% (10%inline spec)作為設(shè)定規(guī)格計算Cp，以Cp的大小劃分為控制圖類型IV (type IV)、控制圖類型V (type V)、控制圖類型 VI (type VI)、控制圖類型 VII (type VII):
[0051]Type IV:若1.33〈=Cp〈=2,說明機(jī)臺的現(xiàn)狀被維護(hù)到可以滿足inline的量測要求，可以直接以10%inline spec作為設(shè)定規(guī)格,此種控制圖為type IV ；
[0052]Type V:若Cp>2，說明由于機(jī)臺較好地維護(hù)，機(jī)臺的現(xiàn)狀滿足了制程的量測需求，為達(dá)到持續(xù)改善的目的，在這種情況下以6 σ作為設(shè)定規(guī)格，以改善機(jī)臺至極致水平，此類控制圖為type V ；
[0053]Type V1: Cp〈l.33,這時有兩種情況,一種是6 σ〈accuracy spec,即機(jī)臺現(xiàn)狀超過了機(jī)臺本身的accuracy spec,此時以6σ作為設(shè)定規(guī)格,繼續(xù)改善機(jī)臺現(xiàn)狀,這類控制圖為 Type VI ；
[0054]Type VI1:Cp〈1.33,另一種是6 σ >機(jī)臺的accuracy spec,即機(jī)臺現(xiàn)狀未達(dá)到accuracy spec,此時以機(jī)臺的accuracy spec作為設(shè)定規(guī)格，同時將這部分控制圖作為改善對象，為type VI1
[0055]選用本發(fā)明所述方法對機(jī)臺量測機(jī)進(jìn)行正態(tài)檢驗:量測數(shù)據(jù)如厚度，寬度等都符合正態(tài)分布。以下以一項為例用統(tǒng)計分析軟件JMP軟件對量測機(jī)臺監(jiān)測數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，如圖2所示，發(fā)現(xiàn)其呈現(xiàn)正態(tài)分布，根據(jù)正態(tài)分布的理論，99.73%的數(shù)據(jù)落在(平均值-3標(biāo)準(zhǔn)差，平均值+3標(biāo)準(zhǔn)差)范圍內(nèi)，也即，若以3標(biāo)準(zhǔn)差作為控制界限，除了 0.27%的點會因此承擔(dān)誤報警，其他異常點將會通過控制界限被偵測出來，根據(jù)這樣的概率理論，設(shè)定平均值+/-3標(biāo)準(zhǔn)差作為控制界限。
[0056]如圖3-4所示，圖3為某兩個同型機(jī)臺同一個項目的量測監(jiān)測數(shù)據(jù)，根據(jù)規(guī)格界限設(shè)定流程圖，判斷該tooll監(jiān)測圖屬于type III，此種情況下，機(jī)臺的實際能力并未達(dá)到機(jī)臺本應(yīng)達(dá)到的出廠精度要求，用10%制程規(guī)格作為量測規(guī)格，而tool2由于維護(hù)很好實際現(xiàn)狀優(yōu)于accuracy spec的要求，如圖4所示，所以用6倍標(biāo)準(zhǔn)差作為量測規(guī)格，通過規(guī)格設(shè)定流程圖很容易地將typeIII和type VII這些需要改善的監(jiān)測圖分類出來并進(jìn)行分析和改善。
[0057]本發(fā)明所述方法通過將機(jī)臺出廠時廠商保證的所能達(dá)到的能力，機(jī)臺在運(yùn)行過程中的實際現(xiàn)狀和此機(jī)臺要滿足inline量測需求所應(yīng)達(dá)到的能力綜合考量，制定出合理的規(guī)格界限，從而有效地定義機(jī)臺的狀況，偵測出機(jī)臺的異常情況，采取有效及時的處理措施，具有良好的效果。
[0058]本發(fā)明所述方法的優(yōu)點在于:
[0059]( I)使得每張監(jiān)測圖設(shè)定合理的規(guī)格，能夠靈敏地偵測到機(jī)臺的異常狀況；
[0060](2)使得機(jī)臺過程能力指數(shù)Cpk控制在合理的范圍內(nèi)，方便機(jī)臺過程能力指數(shù)Cpk的審核；
[0061](3)結(jié)合統(tǒng)計和工程判斷，將每張控制圖分類，使得每種類型的控制圖都能有相應(yīng)的處理改善方法；
[0062](4)通過完整的流程，得以實現(xiàn)自動化控制。來識別歸類機(jī)臺的不同問題。
[0063]本發(fā)明已經(jīng)通過上述實施例進(jìn)行了說明，但應(yīng)當(dāng)理解的是，上述實施例只是用于舉例和說明的目的，而非意在將本發(fā)明限制于所描述的實施例范圍內(nèi)。此外本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的是，本發(fā)明并不局限于上述實施例，根據(jù)本發(fā)明的教導(dǎo)還可以做出更多種的變型和修改，這些變型和修改均落在本發(fā)明所要求保護(hù)的范圍以內(nèi)。本發(fā)明的保護(hù)范圍由附屬的權(quán)利要求書及其等效范圍所界定。
【權(quán)利要求】
1.一種量測機(jī)臺監(jiān)測圖規(guī)格界限設(shè)定的方法，所述方法根據(jù)所述機(jī)臺特性參數(shù)、所述機(jī)臺運(yùn)行過程中的實際現(xiàn)狀以及所述機(jī)臺上線狀態(tài)下的量測要求，來設(shè)定所述機(jī)臺的規(guī)格界限，以滿足所述機(jī)臺的量測性能以及生產(chǎn)量測需求。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，以所述機(jī)臺運(yùn)行中檢測數(shù)據(jù)6倍的標(biāo)準(zhǔn)差6σ作為所述機(jī)臺運(yùn)行過程中的實際現(xiàn)狀的控制線。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，以上線狀態(tài)下10%的制程規(guī)格作為所述機(jī)臺上線狀態(tài)下的量測要求。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述機(jī)臺特性參數(shù)包括機(jī)臺精度要求、重復(fù)性和再現(xiàn)性測試、工具匹配、產(chǎn)量參數(shù)，用來表征機(jī)臺所能達(dá)到的能力參數(shù)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述機(jī)臺精度要求為機(jī)臺測試值和參考值之間的接近程度。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，所述機(jī)臺精度要求<10%，則機(jī)臺滿足制程的量測要求。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或6所述的方法，其特征在于，所述方法還要對所述機(jī)臺過程能力指數(shù)Cp進(jìn)行監(jiān)控，所述過程能力指數(shù)Cp越大，機(jī)臺運(yùn)行過程越穩(wěn)定。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，當(dāng)所述機(jī)臺精度要求<10%時，以所述機(jī)臺精度要求計算所述機(jī)臺過程能力指數(shù)Cp。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，根據(jù)計算得到的所述機(jī)臺過程能力指數(shù)Cp，將所述機(jī)臺控制圖分為以下3種: 當(dāng)所述1.33 < Cp < 2時，所述機(jī)臺的實際現(xiàn)狀符合所述機(jī)臺精度要求，直接以所述機(jī)臺精度要求作為設(shè)定規(guī)格，為控制圖1 ; 當(dāng)所述Cp>2時，所述機(jī)臺的實際現(xiàn)狀超過了所述機(jī)臺精度要求，以所述機(jī)臺運(yùn)行中檢測數(shù)據(jù)6倍的標(biāo)準(zhǔn)差6 σ作為設(shè)定規(guī)格，為控制圖1I ； 當(dāng)所述Cp〈l.33時，所述機(jī)臺的實際現(xiàn)狀達(dá)不到所述機(jī)臺精度要求，以所述上線狀態(tài)下10%的制程規(guī)格作為設(shè)定規(guī)格，為控制圖1II。
10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，當(dāng)所述機(jī)臺精度要求>10%時，以上線狀態(tài)下10%的制程規(guī)格計算所述機(jī)臺過程能力指數(shù)Cp。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，根據(jù)計算得到的所述機(jī)臺過程能力指數(shù)Cp，將所述機(jī)臺控制圖分為以下4種: 當(dāng)所述1.33 < Cp < 2時，以上線狀態(tài)下10%的制程規(guī)格作為設(shè)定規(guī)格，為控制圖1V ； 當(dāng)所述Cp>2時，所述機(jī)臺的實際現(xiàn)狀滿足了上線狀態(tài)制程規(guī)格量測需求，以所述機(jī)臺運(yùn)行中檢測數(shù)據(jù)6倍的標(biāo)準(zhǔn)差6 σ作為設(shè)定規(guī)格，以改善機(jī)臺至極致水平，為控制圖V ； 當(dāng)所述Cp〈l.33時，判斷所述機(jī)臺運(yùn)行中檢測數(shù)據(jù)6倍的標(biāo)準(zhǔn)差6 σ與所述機(jī)臺特性參數(shù)的大小，當(dāng)6σ小于機(jī)臺特性參數(shù)，以6σ作為設(shè)定規(guī)格，為控制圖VI ;當(dāng)6 σ大于機(jī)臺特性參數(shù)，以機(jī)臺特性參數(shù)作為設(shè)定規(guī)格，為控制圖VII。
【文檔編號】H01L21/67GK104078381SQ201310099835
【公開日】2014年10月1日 申請日期:2013年3月26日 優(yōu)先權(quán)日:2013年3月26日
【發(fā)明者】馬瑾怡, 曹艷, 簡維廷 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司