專利名稱：無(wú)塵輸送系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及適合于顯示器裝置的制造等的必須清潔環(huán)境的工序的輸送系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
液晶顯示器(IXD)、等離子顯示器(PDP)、電致發(fā)光顯示器(ELD)等的顯示器裝置的制造，需要避免微小的灰塵或附著水分，需要清潔環(huán)境。不僅在各工序中，即使在連接各工序之間的輸送裝置中，也希望實(shí)現(xiàn)清潔環(huán)境。通常，為了實(shí)現(xiàn)這種清潔環(huán)境，利用無(wú)塵室。無(wú)塵室典型的是具備:頂棚，具有內(nèi)部能夠流通空氣的室；具有相同室的地板；連通兩個(gè)室并使空氣回流、關(guān)閉的管道。而且，無(wú)塵室具備利用了從空氣除去微細(xì)的塵埃及其他污染物質(zhì)的特殊過(guò)濾器的送風(fēng)裝置，典型的是該送風(fēng)裝置設(shè)置于頂棚上。被凈化了的空氣通過(guò)送風(fēng)裝置從頂棚流下，因而，在內(nèi)部實(shí)現(xiàn)清潔環(huán)境。為了維持較高的清潔度，為了防止過(guò)濾器的劣化，清潔空氣不向外部流出而是被地板的室收集，通過(guò)上述管道回流到頂棚的室，反復(fù)通過(guò)送風(fēng)裝置的過(guò)濾器。無(wú)塵室由于具有這種特殊結(jié)構(gòu)，所以不能容易地構(gòu)筑。另外，由于頂棚以及地板的室，需要不能設(shè)置裝置的很大的靜區(qū)。為了在無(wú)塵室收納制造顯示器裝置那樣的長(zhǎng)大的工程裝置以及其間的所有的輸送裝置，也考慮靜區(qū)，無(wú)塵室不得不變成極大規(guī)模。提出了用于在輸送裝置上分別實(shí)現(xiàn)清潔環(huán)境的技術(shù)方案。相關(guān)技術(shù)在日本特開(kāi)2006— 24841 號(hào)公開(kāi)。根據(jù)上述相關(guān)技術(shù)，雖然通過(guò)`了過(guò)濾器的空氣提高裝置周圍的清潔度，但由于空氣向外部流出而不回流，所以取得的清潔度有限，也不能忽視過(guò)濾器的劣化。若附加使空氣回流并關(guān)閉的裝置，則裝置整體變得復(fù)雜，另外其規(guī)模有可能變得過(guò)大。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述課題而提出的技術(shù)方案，其目的是提供一種通過(guò)直接設(shè)置在地板面上而能夠簡(jiǎn)單地構(gòu)筑，并能夠回流清潔空氣的無(wú)塵輸送系統(tǒng)。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方案，輸送系統(tǒng)設(shè)置于地板面上來(lái)輸送對(duì)象物。上述輸送系統(tǒng)具備:外殼，構(gòu)成為具有可操作地封閉的第一開(kāi)口、和可操作地封閉的第二開(kāi)口，設(shè)置于上述地板面上，若封閉上述第一開(kāi)口和上述第二開(kāi)口，則在內(nèi)部包圍密閉空間；輸送裝置，構(gòu)成為設(shè)置于上述外殼內(nèi)，且從上述第一開(kāi)口朝向上述第二開(kāi)口輸送上述對(duì)象物；以及送風(fēng)裝置，設(shè)置于上述外殼內(nèi)，凈化上述密閉空間內(nèi)的空氣，并供給被凈化了的空氣。優(yōu)選上述送風(fēng)裝置從上述輸送裝置的下側(cè)朝向上側(cè)輸送上述被凈化了的空氣。優(yōu)選還具備構(gòu)成為使流體向上方噴出而使上述對(duì)象物懸浮的懸浮裝置。更優(yōu)選上述送風(fēng)裝置從上述懸浮裝置的下側(cè)朝向上側(cè)輸送上述被凈化了的空氣。進(jìn)一步優(yōu)選上述懸浮裝置將從上述送風(fēng)裝置供給的上述被凈化了的空氣作為上述流體而噴出。


圖1是本發(fā)明一實(shí)施方式的無(wú)塵輸送系統(tǒng)的橫剖視圖。圖2是上述無(wú)塵輸送系統(tǒng)的俯視剖視圖。圖3是上述無(wú)塵輸送系統(tǒng)的縱剖視圖，在圖中I一I線是表示采取了圖1的剖面線，II一 II線表不米取了圖2的首I]面圖。圖4是基于變形例的無(wú)塵輸送系統(tǒng)的剖視圖。
具體實(shí)施例方式以下，參照

本發(fā)明的實(shí)施方式。通過(guò)本說(shuō)明書、權(quán)利要求書及附圖，前方、后方、左方及右方在圖中分別定義為以FF、FR、L及R標(biāo)記的方向。這種定義是為了便于說(shuō)明，本發(fā)明并不限定于此。以下，作為輸送的對(duì)象，雖然以顯示器裝置的原材料即玻璃基板為例進(jìn)行說(shuō)明，但本發(fā)明的實(shí)施不限于此。另外，密閉空間的內(nèi)部也可以不是空氣，而是充滿其他氣體例如氮?dú)狻８鶕?jù)本發(fā)明實(shí)施方式的無(wú)塵輸送系統(tǒng)，如圖1至圖3所示，設(shè)置于地板面上來(lái)利用。為了防止發(fā)生塵埃，地板面優(yōu)選例如在沙漿上涂敷了由聚氨基甲酸乙酯樹(shù)脂等構(gòu)成的涂料，但不限于此。無(wú)塵輸送系統(tǒng)I具備包圍其內(nèi)部的殼體3。殼體3具有前面板5、后面板7、左面板9、右面板11，從前后左右遮蔽其內(nèi)部。各面板5、7、9、11相互氣密地連接，而且，在各面板5、7、9、11的上端氣密地覆蓋有頂棚面板13。另外，各面板5、7、9、11的下端構(gòu)成為相對(duì)地板面氣密地連接?；蛘撸鈿?的地板面?zhèn)纫部梢圆婚_(kāi)放，通過(guò)底板封閉。各面板相互的連接不需要永久，也可 以能夠拆卸。特別地，頂棚面板13優(yōu)選能夠拆卸。后面板7、前面板5分別具有用于搬入和搬出玻璃基板W的開(kāi)口 15、21。外殼3還具備用于分別封閉開(kāi)口 15、21的后閘門17和前閘門23，分別通過(guò)氣缸19、25沿上下方向的驅(qū)動(dòng)能夠開(kāi)閉操作。另外，閘門17、23取代上下方向的可動(dòng)性，也可以具有左右方向的可動(dòng)性。閘門17、23構(gòu)成為在位于關(guān)閉位置時(shí)，氣密地封閉開(kāi)口 15、21。S卩，外殼3在設(shè)置于地板面上并通過(guò)閘門17、23封閉各開(kāi)口 15、21時(shí)，在其內(nèi)部包圍密閉空間。再者，如上所述在具有底板的情況下，也可以僅通過(guò)面板包圍密閉空間，地板面不加入包圍密閉空間的構(gòu)成要件。在上述外殼3內(nèi)設(shè)置有從用于搬入的開(kāi)口 15向用于搬出的開(kāi)口 21延伸的支撐架27。在支撐架27上設(shè)有沿著支撐架成列，且包含多個(gè)懸浮裝置47的輸送裝置29。多個(gè)懸浮裝置47沿前后方向及左右方向這兩方構(gòu)成列。輸送裝置29在支撐架27上的左端及右端附近，具有沿玻璃基板W的輸送方向分別構(gòu)成列的多個(gè)輥31。各輥31分別通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸與蝸輪35 —體地連接，通過(guò)托架33旋轉(zhuǎn)自如地支撐。以沿前后方向貫穿支撐架27的方式具備一對(duì)驅(qū)動(dòng)軸37，各驅(qū)動(dòng)軸37具備可驅(qū)動(dòng)地與各蝸輪35嚙合的蝸桿39。在各驅(qū)動(dòng)軸37的前端，通過(guò)聯(lián)軸器等可驅(qū)動(dòng)地連接有馬達(dá)41的輸出軸。由此，各輥31受到馬達(dá)41的驅(qū)動(dòng)力，以相同的旋轉(zhuǎn)速度進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。如圖1所示，上述各輥31的上端部配置成比上述懸浮裝置47的上表面稍微向上方突出而在單一的面上對(duì)齊。玻璃基板W即使在通過(guò)懸浮裝置47懸浮的狀態(tài)下，如圖1所示，也能夠與輥31接觸，以便受到驅(qū)動(dòng)力。馬達(dá)41不需要一對(duì)，兩驅(qū)動(dòng)軸37也可以通過(guò)鏈子等適當(dāng)?shù)慕Y(jié)合機(jī)構(gòu)連接于單一的馬達(dá)。另外，也可以取代輥，將可驅(qū)動(dòng)的夾持器或帶輸送機(jī)等輸送機(jī)構(gòu)應(yīng)用于輸送裝置29。在支撐架27上，在左右端附近的輥31之間設(shè)置具有多個(gè)貫通孔45的板43。各懸浮裝置47分別以對(duì)應(yīng)貫通孔45的方式設(shè)置于板43上，各貫通孔45分別與懸浮裝置47的內(nèi)部連通。懸浮裝置47分別具備在上表面貫通的噴出孔49。即，從貫通孔45流入的空氣經(jīng)由懸浮裝置47的內(nèi)部能夠從噴出孔49噴出。噴出孔49在從如圖2的上方看時(shí)，優(yōu)選為看起來(lái)為矩形環(huán)狀的形狀，但不限于此。也可以適用于橢圓形的環(huán)狀、封閉環(huán)的一部分的形狀等、其他各種形狀。為了使噴出孔的寬度均勻，也可以在噴出孔內(nèi)安裝部件或突起。另外，噴出孔49在懸浮裝置47的至少上表面附近，也可以具有向內(nèi)側(cè)例如45度的傾斜。在板43的下方具備向上方供給清潔空氣的多個(gè)送風(fēng)裝置51。各個(gè)送風(fēng)裝置51具備從空氣除去微細(xì)的塵埃和其他污染物的過(guò)濾器、和輸送被凈化了的空氣的鼓風(fēng)機(jī)。多個(gè)送風(fēng)裝置51，相互隔開(kāi)間隔或鄰接地沿懸浮裝置47 (因而沿輸送裝置29)排列，通過(guò)托架53固定在支撐架27上。通過(guò)這種結(jié)構(gòu)，送風(fēng)裝置51吸入外殼3所包圍的密閉空間的內(nèi)部的空氣，通過(guò)過(guò)濾器進(jìn)行凈化后向上方、即向輸送裝置29及懸浮裝置47供給。懸浮裝置47通過(guò)貫通孔45輸入被凈化了的空氣，從噴出孔49向上方噴出。送風(fēng)裝置也可以如圖4所示那樣變形。即、過(guò)濾器55通過(guò)托架57固定在支撐架27上。鼓風(fēng)機(jī)59固定在過(guò)濾器55的下方,吸入密閉空間的內(nèi)部的空氣，向過(guò)濾器55輸送。懸浮裝置47為了增大給予玻璃基板W的浮力，也可以在送風(fēng)裝置51與懸浮裝置47之間設(shè)置增加的送風(fēng)裝置等的加壓機(jī)構(gòu)。另外，也可以按浮力控制等的目的在無(wú)塵輸送系統(tǒng)I上增加靜或動(dòng)地控制送風(fēng)裝置能力的控制機(jī)構(gòu)。無(wú)塵輸送系統(tǒng)I也可以在內(nèi)部的密閉空間具備用于給予若干壓力的加壓機(jī)構(gòu)。通過(guò)加壓，從而防止外部的塵埃侵入。在能夠恰當(dāng)?shù)毓芾韷m埃的侵入的情況下，也可以降低外殼3的氣密程度。本實(shí)施方式的無(wú)塵輸送系統(tǒng)I如下進(jìn)行動(dòng)作。首先，通過(guò)閘門17、23封閉用于搬入和搬出的開(kāi)口 15、21。接著，使送風(fēng)裝置51工作，吸入外殼3所包圍的密閉空間內(nèi)的空氣，凈化后向上方供給。已經(jīng)凈化了的空氣通過(guò)懸浮裝置47被供給到密閉空間內(nèi)。密閉空間內(nèi)的被凈化了的空氣回流并輸入送風(fēng)裝置51，進(jìn)一步被凈化，因此，密閉空間內(nèi)的空氣的潔凈 度逐漸上升。優(yōu)選潔凈度充分地上升，另外如果可能，則優(yōu)選使輸送系統(tǒng)所連接的前后裝置內(nèi)部的潔凈度與其等同。若是潔凈度充分地上升，則通過(guò)氣缸19驅(qū)動(dòng)后閘門17，打開(kāi)用于搬入的開(kāi)口 15。在輸送的流程中，玻璃基板W被從上游側(cè)的裝置搬入至無(wú)塵輸送系統(tǒng)I內(nèi)，位于輸送裝置29上的區(qū)域A。由于空氣從懸浮裝置47噴出，所以玻璃基板W成為懸浮的狀態(tài)。如果需要的話，盡量在短時(shí)間驅(qū)動(dòng)后閘門17封閉開(kāi)口 15。通過(guò)馬達(dá)41驅(qū)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)軸37同步旋轉(zhuǎn)。通過(guò)蝸輪35與蝸桿39嚙合，驅(qū)動(dòng)軸37的旋轉(zhuǎn)傳遞給各輥31。玻璃基板W通過(guò)與旋轉(zhuǎn)的輥31接觸，從而在懸浮的狀態(tài)下，向用于搬出的開(kāi)口 21輸送。玻璃基板W若接近用于搬出的開(kāi)口 21，則通過(guò)缸25驅(qū)動(dòng)前閘門23，打開(kāi)用于搬出的開(kāi)口 21。玻璃基板W向無(wú)塵輸送系統(tǒng)I外搬出，如果需要的話，盡量在短時(shí)間驅(qū)動(dòng)后閘門23封閉開(kāi)口 21。根據(jù)本實(shí)施方式，即使是在具備室的頂棚和地板那樣的無(wú)塵室沒(méi)有特有的構(gòu)造的房間，也能夠簡(jiǎn)單地實(shí)現(xiàn)限定于無(wú)塵輸送系統(tǒng)內(nèi)的清潔環(huán)境。由于能夠節(jié)省由室引起的靜區(qū)，所以對(duì)裝置的設(shè)計(jì)提供了很大的自由度。由于不會(huì)使凈化了的空氣向外部流出，所以能夠追求很高的清潔度，并且根據(jù)節(jié)能的觀點(diǎn)也是有利用的。由于不需要附加用于回流空氣的裝置，所以能使裝置的整體規(guī)模變小。另外，在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間的大部分期間，由于潔凈度很高的空氣回流，所以能抑制過(guò)濾器的劣化。參照優(yōu)選的實(shí)施方式說(shuō)明了本發(fā)明，但本發(fā)明不限定于上述實(shí)施方式。根據(jù)上述公開(kāi)的內(nèi)容，本領(lǐng)域技術(shù)人員根據(jù)實(shí)施方式的修正或變形能夠?qū)嵤┍景l(fā)明。產(chǎn)業(yè)上的可利用性提供一種通過(guò)直接設(shè)置在 地板面上而能夠簡(jiǎn)單地構(gòu)筑，并能夠潔凈空氣回流的無(wú)塵輸送系統(tǒng)。
權(quán)利要求
1.一種輸送系統(tǒng)，用于設(shè)置在地板面上來(lái)輸送對(duì)象物，其特征在于， 具備:外殼，所述外殼具備:具有可操作地封閉的第一開(kāi)口和可操作地封閉的第二開(kāi)口的面板，所述外殼設(shè)置于上述地板面上，若封閉上述第一開(kāi)口和上述第二開(kāi)口，則通過(guò)上述面板和上述地板面在上述外殼的內(nèi)部包圍密閉空間； 輸送裝置，該輸送裝置具有:設(shè)置于上述外殼內(nèi)、且從上述第一開(kāi)口朝向上述第二開(kāi)口輸送上述對(duì)象物的輥以及懸浮裝置，該懸浮裝置使流體向上方噴出而使上述對(duì)象物懸浮，送風(fēng)裝置，設(shè)置于上述外殼內(nèi)，凈化上述密閉空間內(nèi)的空氣，并供給被凈化了的空氣，在上述密閉空間內(nèi)回流上述被凈化的空氣。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送系統(tǒng)，其特征在于， 上述送風(fēng)裝置從上述輸送裝置的下側(cè)朝向上側(cè)輸送上述被凈化了的空氣。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送系統(tǒng)，其特征在于， 上述送風(fēng)裝置從上述懸浮裝置的下側(cè)朝向上側(cè)輸送上述被凈化了的空氣。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送系統(tǒng)，其特征在于， 上述懸浮裝置將從上述送風(fēng)裝 置供給的上述被凈化了的空氣作為上述流體而噴出。
全文摘要
本發(fā)明的輸送系統(tǒng)設(shè)置于地板面上來(lái)輸送對(duì)象物。上述輸送系統(tǒng)具備外殼，構(gòu)成為具有可操作地封閉的第一開(kāi)口、和可操作地封閉的第二開(kāi)口，設(shè)置于上述地板面上，若封閉上述第一開(kāi)口和上述第二開(kāi)口，則在內(nèi)部包圍密閉空間；輸送裝置，構(gòu)成為設(shè)置于上述外殼內(nèi)，并從上述第一開(kāi)口朝向上述第二開(kāi)口輸送上述對(duì)象物；以及送風(fēng)裝置，設(shè)置于上述外殼內(nèi)，凈化上述密閉空間內(nèi)的空氣，并供給被凈化了的空氣。
文檔編號(hào)H01L21/677GK103247561SQ20131014280
公開(kāi)日2013年8月14日 申請(qǐng)日期2008年8月22日 優(yōu)先權(quán)日2007年9月5日
發(fā)明者平田賢輔, 和田芳幸, 田中刈入, 村山晉 申請(qǐng)人:株式會(huì)社Ihi