本發(fā)明涉及用于照射真空紫外線的電介質(zhì)阻擋放電燈。

背景技術(shù)：
近些年，公知有放電管的形狀為在照射側(cè)具有平坦的面的電介質(zhì)阻擋放電燈(專利文獻1、2、3等)。該電介質(zhì)阻擋放電燈通過與規(guī)定的電源裝置連接而能夠以低成本制造紫外線照射裝置，具有能夠向照射對象物直接照射真空紫外線的優(yōu)點。在專利文獻1中記載有如下技術(shù)：在形成為前后極其縱長的形狀的電介質(zhì)阻擋放電燈中，通過在主要由石英構(gòu)成的放電容器內(nèi)的前后端壁板或左右側(cè)壁板的內(nèi)表面形成“真空紫外線保護層”，從而抑制前后端壁板或左右側(cè)壁板的劣化(第10段及第11段等)。另外，在專利文獻2中記載有如下技術(shù)：在主要由石英構(gòu)成且具有將左右側(cè)壁板和上下的壁板相連的邊緣部的放電容器中，將上下的壁板的中央部以朝向放電容器的內(nèi)側(cè)的方式形成為彎曲狀，并在放電容器的內(nèi)側(cè)表面形成“紫外線反射膜”，由此能夠防止以邊緣部為破損的起點的放電容器的破裂(第8段及第9段等)。另外，在本發(fā)明諸發(fā)明者的先前的研究中，了解到存在因收納放電管的燈罩內(nèi)的氣流等而使各種飛散物容易附著于放電管，且因該管壁的附著物而對放電管產(chǎn)生損傷這樣的問題。因此，本發(fā)明諸發(fā)明者提出如下方案：通過至少遮擋50％以上的紫外線的“遮光構(gòu)件”來構(gòu)成主要由石英構(gòu)成的位于放電管中的下壁板的周圍的長側(cè)面上的壁面，由此來減少向放電管飛來的飛散物的附著及其固化(專利文獻3)。以下，在說明書中，包含放電管在內(nèi)而稱為放電容器?！驹谙燃夹g(shù)文獻】【專利文獻】【專利文獻1】日本特開2004-127710號公報【專利文獻2】日本特開2009-181818號公報【專利文獻3】國際公開第2011/078181號【發(fā)明的概要】【發(fā)明要解決的課題】然而，在上述現(xiàn)有的電介質(zhì)阻擋放電燈中，若使放電容器的左右側(cè)壁板整體為遮光構(gòu)件、或者在其內(nèi)側(cè)的表面整體形成遮擋紫外線的遮光膜，則存在使紫外線的照射光量降低這樣的問題。另外，在上述現(xiàn)有的電介質(zhì)阻擋放電燈中，由于放電容器主要由石英構(gòu)成，因此若使極高的紫外線的能量向放電容器連續(xù)照射，則存在因形成遮光膜的范圍而產(chǎn)生裂紋，從而使放電容器破損的情況。在使放電容器的左右側(cè)壁板的截面以朝向外側(cè)成為凸出的方式彎曲時，在沒有遮光膜的情況下，存在在該彎曲的頂部附近發(fā)生破損的情況。另外，即使當遮光膜在左右側(cè)壁板的內(nèi)側(cè)表面上形成在彎曲的頂部附近的情況下，在加速實驗中，也存在放電容器在遮光膜的短緣部附近發(fā)生破損的情況。本件發(fā)明諸發(fā)明者著眼于將紫外線向放電容器照射時的彎曲部中的破損部位及其破壞應(yīng)力，認為應(yīng)力集中的部位因遮光膜的形成范圍而不同，因此遮光膜的形成范圍與在放電容器的彎曲部產(chǎn)生的應(yīng)力分布一定具有某種關(guān)系。并且，在周密地調(diào)查遮光膜的形成范圍與放電容器的應(yīng)力分布的關(guān)系后，完成遮光膜的形成范圍是在放電容器的彎曲部產(chǎn)生的應(yīng)力分布中是否達到破壞應(yīng)力的重要的原因之一的見解(第一方面的見解)。另外，本件發(fā)明諸發(fā)明者著眼于將紫外線向放電容器照射時的彎曲部中的破損部位、遮光膜的紫外線的透過率及其破壞應(yīng)力，認為直至放電容器的破損為止的時間因遮光膜的形成范圍及紫外線的透過率而不同，因此遮光膜的形成范圍及遮光膜的紫外線的透過率與在放電容器的彎曲部產(chǎn)生的應(yīng)力分布一定有某種關(guān)系。并且，在周密地調(diào)查遮光膜的形成范圍及遮光膜的紫外線的透過率與放電容器的應(yīng)力分布的關(guān)系后，完成遮光膜的形成范圍及紫外線的透過率是在放電容器的彎曲部產(chǎn)生的應(yīng)力分布中是否達到破壞應(yīng)力的重要的原因之一的見解(第二方面的見解)。

技術(shù)實現(xiàn)要素：
本發(fā)明鑒于上述情況而提出，其技術(shù)的課題在于，在用于照射真空紫外線的電介質(zhì)阻擋放電燈中，主要抑制真空紫外線的照射光量的降低，并同時抑制放電容器的破損來提高壽命?！窘鉀Q方案】該第一方面的電介質(zhì)阻擋放電燈具備由上下的壁板、左右的側(cè)壁板及前后的側(cè)壁板構(gòu)成的放電容器、封入到放電容器的內(nèi)部的用于受激準分子發(fā)光的放電用氣體、在放電容器的外部且在上下的壁板的至少一方上設(shè)置的電極。并且，左右的側(cè)壁板在與前后的側(cè)壁板平行的截面中，以向放電容器的外側(cè)凸出的方式彎曲。在該左右的側(cè)壁板的內(nèi)側(cè)表面形成有遮擋紫外線的遮光膜。并且，該電介質(zhì)阻擋放電燈的特征在于，該遮光膜覆蓋左右的側(cè)壁板的彎曲的頂部的內(nèi)側(cè)，且該遮光膜在與前后的側(cè)壁板平行的截面中，將交點和遮光膜的一端連結(jié)的直線與將交點和遮光膜的另一端連結(jié)的直線所成的角度為60度以上且小于180度，其中，所述交點為上下的壁板的中間的直線與將上下的壁板和左右的側(cè)壁板的交界連結(jié)的直線的交點。通過該結(jié)構(gòu)，遮光膜抑制在左右的側(cè)壁板上產(chǎn)生的應(yīng)力，由此能夠防止左右的側(cè)壁板的裂紋等的產(chǎn)生，使放電容器的壽命提高。并且，由于遮光膜未覆蓋左右的側(cè)壁板整體，因此能夠抑制紫外線的照射光量的降低。在該第一方面的電介質(zhì)阻擋放電燈中，優(yōu)選形成有遮光膜的角度為86度以上且152度以下。通過該結(jié)構(gòu)，在左右的側(cè)壁板中，在更適合抑制應(yīng)力的集中的區(qū)域上配置遮光膜的端緣部，因此能夠?qū)⒄诠饽さ男纬上拗瞥勺钚∠薅?，從而能夠進一步抑制紫外線的照射光量的降低。該第二方面的電介質(zhì)阻擋放電燈具備由上下的壁板、左右的側(cè)壁板及前后的側(cè)壁板構(gòu)成的放電容器、封入到放電容器的內(nèi)部的用于受激準分子發(fā)光的放電用氣體、在放電容器的外部且在上下的壁板的至少一方上設(shè)置的電極。并且，左右的側(cè)壁板在與前后的側(cè)壁板平行的截面中，以向放電容器的外側(cè)凸出的方式彎曲。在該左右的側(cè)壁板的內(nèi)側(cè)表面形成有遮擋紫外線的遮光膜。并且，該遮光膜覆蓋左右的側(cè)壁板的彎曲的頂部的內(nèi)側(cè)，且該遮光膜在與前后的側(cè)壁板平行的截面中，將交點和遮光膜的一端連結(jié)的直線與將交點和遮光膜的另一端連結(jié)的直線所成的角度小于180度，其中，所述交點為上下的壁板的中間的直線與將上下的壁板和左右的側(cè)壁板的交界連結(jié)的直線的交點。并且，該電介質(zhì)阻擋放電燈的特征在于，遮光膜的紫外線的透過率為16％以上且86％以下的范圍。在此，遮光膜的紫外線的透過率為相對于放電燈的發(fā)光波長的值。通過該結(jié)構(gòu)，使遮光膜的紫外線的透過率為16％以上且86％以下的范圍，由此來抑制在左右的側(cè)壁板上產(chǎn)生的應(yīng)力，因此能夠抑制左右的側(cè)壁板的裂紋等的產(chǎn)生而提高放電容器的壽命。并且，由于遮光膜未覆蓋左右的側(cè)壁板整體，因此能夠抑制紫外線的照射光量的降低。尤其在左右的側(cè)壁板中，將遮光膜的交界附近配置在適合抑制應(yīng)力的集中的區(qū)域中，因此能夠?qū)⒄诠饽さ男纬上拗瞥勺钚∠薅?。在該第二方面的電介質(zhì)阻擋放電燈中，還可以構(gòu)成為，上下的壁板為平坦的面且與左右的側(cè)壁板平滑地相連，在與前后的側(cè)壁平行的截面中，形成有遮光膜的角度為86度以下。該第二方面的另一電介質(zhì)阻擋放電燈具備由上下的壁板、左右的側(cè)壁板及前后的側(cè)壁板構(gòu)成的放電容器、封入到放電容器的內(nèi)部的用于受激準分子發(fā)光的放電用氣體、在放電容器的外部且在上下的壁板的至少一方上設(shè)置的電極。并且，左右的側(cè)壁板在與前后的側(cè)壁板平行的截面中，以向放電容器的外側(cè)凸出的方式彎曲。在該左右的側(cè)壁板的內(nèi)側(cè)表面形成有遮擋紫外線的遮光膜。并且，該遮光膜覆蓋左右的側(cè)壁板的彎曲的頂部的內(nèi)側(cè)，且該遮光膜在與前后的側(cè)壁板平行的截面中，將交點和遮光膜的一端連結(jié)的直線與將交點和遮光膜的另一端連結(jié)的直線所成的角度小于180度，其中，所述交點為上下的壁板的中間的直線與將上下的壁板和左右的側(cè)壁板的交界連結(jié)的直線的交點。并且，該電介質(zhì)阻擋放電燈的特征在于，遮光膜的紫外線的透過率在上下的壁板與左右的側(cè)壁板的交界側(cè)相對高于彎曲的頂部附近。通過該結(jié)構(gòu)，使遮光膜的彎曲的頂部附近的透過率相對低，使上下的壁板與左右的側(cè)壁板的交界側(cè)的透過率相對高，由此能夠緩和在左右的側(cè)壁板的遮光膜的端緣部附近產(chǎn)生的應(yīng)力的集中，抑制左右的側(cè)壁板的裂紋等的產(chǎn)生，從而使放電容器的壽命提高?！景l(fā)明效果】根據(jù)該第一及第二方面的電介質(zhì)阻擋放電燈，能夠抑制紫外線的照射光量的降低，并同時防止左右的側(cè)壁板的裂紋等的產(chǎn)生而提高放電容器的壽命。附圖說明圖1是表示該第一方面的一實施方式的圖，是電介質(zhì)阻擋放電燈的垂直于縱長方向的剖視圖。圖2是表示該第一方面的一實施方式的圖，是電介質(zhì)阻擋放電燈的省略了縱長的中央部的立體圖。圖3是表示該第一方面的一實施方式的圖，(a)是在圖2的放電容器的縱長的中心軸處剖開并從側(cè)面方向觀察放電容器而得到的剖視圖，(b)是(a)的A-A線剖視圖。圖4(a)及(b)都是表示在圖1及圖2所示的電介質(zhì)阻擋放電燈的放電容器中的左右的側(cè)壁板的內(nèi)側(cè)面形成紫外線遮光膜的情況的圖。圖5是說明該第一方面的放電容器的左右的壁板的應(yīng)力分布的圖，(a)是沒有遮光膜的放電容器的剖視圖，(b)是在左右的側(cè)壁板的內(nèi)側(cè)表面的頂部附近形成有遮光膜的放電容器的剖視圖，(c)是在左右的側(cè)壁板的內(nèi)側(cè)表面的更寬的范圍形成有遮光膜的放電容器的剖視圖。圖6是表示該第一方面的放電容器的左右的側(cè)壁板的應(yīng)力分布的測定結(jié)果的圖。圖7是對該第一方面的測定的紫外線光量進行說明的圖，(a)是說明遮光膜的寬度的圖，(b)是表示遮光膜的寬度與紫外線光量的關(guān)系的圖。圖8是表示沒有遮光膜的現(xiàn)有的電介質(zhì)阻擋放電燈的圖，是放電燈的垂直于縱長方向的剖視圖。圖9是說明電介質(zhì)阻擋放電燈的遮光膜的透過率的測定方法的圖。圖10是表示該第二方面的第一實施方式的一例的圖，是電介質(zhì)阻擋放電燈的垂直于縱長方向的剖視圖。圖11是說明該第二方面的放電容器的左右的側(cè)壁板的應(yīng)力分布的圖，(a)是沒有遮光膜的放電容器的剖視圖，(b)是在左右的側(cè)壁板的內(nèi)側(cè)表面的頂部附近形成有透過率約為7.9％的遮光膜的放電容器的剖視圖，(c)是在左右的側(cè)壁板的內(nèi)側(cè)表面的頂部附近形成有透過率約為24％的遮光膜的放電容器的剖視圖。圖12是表示該第二方面的第一實施方式的放電容器的左右的側(cè)壁板的應(yīng)力分布的測定結(jié)果的圖。圖13是表示該第二方面的第一實施方式的實驗結(jié)果的圖，(a)是表示放電容器的峰值應(yīng)變與放電容器的點亮時間的關(guān)系的圖，(b)是表示放電容器的峰值應(yīng)變與遮光膜的紫外線的透過率的關(guān)系的圖。圖14是表示該第二方面的第二實施方式的一例的圖，是電介質(zhì)阻擋放電燈的垂直于縱長方向的剖視圖。【符號說明】1放電容器1a上下的壁板1b左右的側(cè)壁板1c前后的側(cè)壁板2上部電極3下部電極4遮光膜5排氣管10電介質(zhì)阻擋放電燈具體實施方式(第一方面)以下，參照圖面，對本發(fā)明的各實施方式進行說明。在同一或同類的構(gòu)件上使用同一符號或僅使尾標不同來進行表示，并省略重復的說明，但各實施方式的記載應(yīng)該為了理解本發(fā)明的技術(shù)的思想而合乎目的地解釋，不應(yīng)該限定解釋為實施方式的記載。首先，對表示本發(fā)明的實施方式的電介質(zhì)阻擋放電燈的整體的概要進行說明。圖2及圖3是表示本發(fā)明的一實施方式的圖，圖2是電介質(zhì)阻擋放電燈的省略了中央部的立體圖，圖3是圖2的剖視圖。圖3(a)是將圖2的放電容器在縱長的中心軸處剖開并從側(cè)面方向觀察而得到的剖視圖，圖3(b)是沿著圖3(a)的箭頭方向觀察到的A-A線剖視圖。需要說明的是，圖中的單點劃線表示縱長的中心軸。電介質(zhì)阻擋放電燈10具有縱長的放電容器1、電極2、3、在放電容器1的內(nèi)部用于遮擋紫外線的遮光膜4、排氣管5。在放電容器1中封入有用于受激準分子發(fā)光的氙(Xe)氣。放電容器1由合成石英制玻璃構(gòu)成，包括：上下面對的平坦的壁板(以下，稱為“上下的壁板”。)1a、左右面對的側(cè)壁板(以下，稱為“左右的側(cè)壁板”。)1b；前后面對的側(cè)壁板(以下，稱為“前后的側(cè)壁板”。)1c。放電容器1能夠通過將由上下的壁板1a和左右的側(cè)壁板1b構(gòu)成的縱長的管的前后利用前后的側(cè)壁板1c分別熔敷而堵塞來構(gòu)成。在放電容器1中，上下的壁板1a及左右的側(cè)壁板1b都相對于縱長的中心軸平行配置，前后的側(cè)壁板1c相對于縱長的中心軸垂直配置。左右的側(cè)壁板1b在相對于縱長的中心軸垂直剖開的截面中，以朝向外側(cè)凸出的方式彎曲。例如，圖3(a)所示的放電容器1的橫截面的上下方向的最大寬度為十幾mm，左右方向的最大寬度為幾十mm，前后方向的長度為幾百mm以上。在前后的側(cè)壁板1c上分別事前突出設(shè)置有排氣管5。各排氣管5是以從前后的側(cè)壁板1c的外表面進一步向外側(cè)突出的方式熔敷的熔融石英玻璃制的管材，各排氣管5內(nèi)分別與放電容器1的內(nèi)部連通。該放電容器1在上下的壁板1a的外表面形成有電極2、3的金屬薄膜。電極2以除了用于對電介質(zhì)阻擋放電燈放射的真空紫外線的強度進行檢查的傳感器用的未涂膜部之外，覆蓋上壁板1a的上表面的大致整面的方式成膜。另外，電極3以網(wǎng)眼狀的圖案在下壁板1a的下表面的大致整面成膜。在左右的側(cè)壁板1b及前后的側(cè)壁板1c的內(nèi)側(cè)面設(shè)有對含有氧化釔(Y2O3)的料漿進行燒成而得到的用于遮擋紫外線的遮光膜4。通過將電介質(zhì)阻擋放電燈10與電源裝置連接來構(gòu)成紫外線照射裝置，并通過經(jīng)由引線向電極施加規(guī)定的電力，來使電介質(zhì)阻擋放電燈點亮，從而通過該平坦的下壁板1a向圖3(a)的箭頭的方向照射172nm的真空紫外線。圖1是本實施方式的電介質(zhì)阻擋放電燈的垂直于縱長方向的剖視圖。需要說明的是，圖1中的縱橫方向的單點劃線分別表示截面的線對稱的對稱軸，兩個對稱軸的交點位于圖2的縱長的中心軸上。另外，虛線的箭頭表示紫外線的照射方向。如圖1所示，放電容器1中，將上下的壁板1a和左右的側(cè)壁板1b在交界B1處分別平滑地相連。將上下的壁板1a和左右的側(cè)壁板1b在交界B1處平滑地相連是指以交界B1處的切線的傾斜的變化小的方式進行連接。在圖1中，左右的側(cè)壁板1b的截面以朝向外側(cè)成為凸形狀的方式彎曲。具體而言，外側(cè)表面由曲率半徑為R1的半圓構(gòu)成，內(nèi)側(cè)表面由曲率半徑為R2的半圓構(gòu)成。左右的側(cè)壁板1b的截面也可以以使各表面成為橢圓或使頂點附近大致成為直線狀等方式進行各種彎曲。在圖1中，遮光膜4形成在左右的側(cè)壁板1b的內(nèi)側(cè)表面上。而且，遮光膜4覆蓋左右的側(cè)壁板1b的彎曲的頂點P1的內(nèi)側(cè)，并且，在圖1(與前后的側(cè)壁板1c平行的截面)中，遮光膜4將上下的壁板1a的中間的直線L1作為對稱線而呈線對稱地同樣形成，且將交點C和遮光膜的一端B21連結(jié)的直線L3與將交點C和遮光膜4的另一端B22連結(jié)的直線L4所成的角度θ為152度，其中，該交點C為上下的壁板1a的中間的直線L1與將上下的壁板1a和左右的側(cè)壁板1b的交界連結(jié)的直線L2的交點。當這樣形成遮光膜4時，能夠通過少量的遮光膜4來抑制在左右的側(cè)壁板1b上產(chǎn)生的應(yīng)變而延長直至達到破壞為止的時間。為了充分地抑制在左右的側(cè)壁板1b產(chǎn)生的應(yīng)變，只要使形成遮光膜4的角度θ為60度以上即可。圖4(a)及(b)都作為一例而表示在圖1、圖2及圖3所示的電介質(zhì)阻擋放電燈的放電容器1中的左右的側(cè)壁板1b的內(nèi)側(cè)面上形成紫外線遮光膜的情況。首先，將放電容器1如圖4(a)所示那樣以左右的側(cè)壁板1b的面成為下方的方式傾斜，并從排氣管5將含有氧化釔(Y2O3)的料漿S在左右的側(cè)壁板1b的內(nèi)側(cè)表面上從下側(cè)的頂部注入到規(guī)定的高度。形成遮光膜的角度通過注入的料漿S的高度來調(diào)整，但也可以在注入少量的料漿S后使左右的側(cè)壁板1b傾斜來調(diào)整。之后，將不需要的料漿S從排氣管5排出而后進行干燥。圖4(a)的箭頭表示料漿S的移動方向。該遮光膜能夠遮擋172nm的真空紫外線，遮光率能夠通過膜厚或制造方法等來調(diào)整。遮光率能夠通過使規(guī)定量的料漿中的氧化釔的濃度變化來調(diào)整。例如，還可以利用Sn-丁醇將以重量比計含有10％的氧化釔(Y2O3)的料漿稀釋來調(diào)整遮光率，在3倍稀釋下能夠得到遮光率約為90％的遮光膜，或者在10倍稀釋下能夠得到遮光率約為65％的遮光膜。在此，遮光率為相對于波長為172[nm]的真空紫外線的值。圖9是說明電介質(zhì)阻擋放電燈的遮光膜的透過率的測定方法的圖。如圖9所示，將上述電介質(zhì)阻擋放電燈10破壞而取出的左右的側(cè)壁板的部分100的透過率的測定方法如以下這樣。首先，通過未圖示的夾具將左右的側(cè)壁板的部分100立起而固定在氮(N2)氛圍中的測定裝置的臺102上。此時，將作為測定對象的左右的側(cè)壁板配置在狹縫102a的上方。狹縫102a的寬度充分地比測定的遮光膜的寬度窄。接著，從光源101將測定波長(在本實施方式中，為172nm)的真空紫外線經(jīng)由狹縫102a向一方的左右的側(cè)壁板側(cè)照射，并通過傳感器103從另一方的左右的側(cè)壁板側(cè)對透過遮光膜后的真空紫外線的光強度(透過強度)進行測定。根據(jù)這樣測定的真空紫外線的透過強度，通過下式來求出透過率T。T＝I1/I0其中，I0表示沒有遮光膜的電介質(zhì)阻擋放電燈的透過強度，I1表示測定對象的電介質(zhì)阻擋放電燈的透過強度。需要說明的是，在通過百分率(％)表示T的情況下乘以100。另外，通過下式求出遮光率Sr。Sr＝1-T當如上述那樣對左右的側(cè)壁板1b及前后的側(cè)壁板1c涂敷料漿S后而進行燒成時，得到圖4(b)中虛線所示那樣的遮光膜4。在遮擋的真空紫外線為基于氙氣得到的波長為172nm的真空紫外線的情況下，除了氧化釔之外，還可以使用使氧化鋅(ZnO)等超微粒子、或者通過二氧化硅包覆氧化鈦而得到的超微粒子混濁在溶劑中而得到的料漿(混濁液)或氧化鋁(Al2O3)微粒子分散的料漿的燒成物等。之后，從排氣管5排氣并注入放電用氣體G(例如氙氣)，使放電用氣體G填充到內(nèi)部。然后，將雙方的排氣管5的前端部熔融密封來將內(nèi)部密閉。之后，對電極用的金屬進行蒸鍍來進行圖制，最后通過蒸鍍氟化鎂(MgF2)來形成用于保護電極的涂層，從而完成形成有遮光膜的放電容器1。圖8是表示沒有遮光膜的現(xiàn)有的電介質(zhì)阻擋放電燈的圖，是放電燈的垂直于縱長方向的剖視圖。電介質(zhì)阻擋放電燈80的放電容器的形狀及材質(zhì)與圖1中說明的放電容器1相同。當從內(nèi)側(cè)向電介質(zhì)阻擋放電燈80的石英制放電容器長時間照射紫外線時，石英玻璃的體積收縮，從而在左右的側(cè)壁板的內(nèi)側(cè)表面上產(chǎn)生壓縮應(yīng)力，相反在左右的側(cè)壁板的外側(cè)表面上產(chǎn)生拉伸應(yīng)力。其結(jié)果是，在左右的側(cè)壁板的外側(cè)表面的頂部P附近集中有拉伸應(yīng)力，從而容易產(chǎn)生裂紋。在此，如圖5中表示截面那樣，在左右的側(cè)壁板的截面中，改變從外側(cè)表面的凸部的頂點P2到遮光膜的端部的平行于上下的壁板的距離W1、W2(以下，為了方便，稱為“遮光膜的寬度”。)來制作放電燈，測定使放電燈長時間點亮時在放電容器上產(chǎn)生的應(yīng)變。制作出的放電燈C0、C1、C2如以下表1那樣。將測定對象的放電燈以由偏振板和靈敏色板夾著的方式配置在偏振板上，從偏振板側(cè)進行照明并從靈敏色板側(cè)拍照，且通過圖像分析來求出應(yīng)變值及應(yīng)力值。應(yīng)變值與應(yīng)力值處于正比關(guān)系?！颈?】放電燈遮光率Sr(％)角度(度)C00-C19086C290152圖5(a)(C0)是沒有遮光膜的放電燈，圖5(b)(C1)是在左右的側(cè)壁板的內(nèi)側(cè)表面的頂部附近形成有遮光膜的放電燈，圖5(c)(C2)是在左右的側(cè)壁板的內(nèi)側(cè)表面的更寬的范圍形成有遮光膜的放電燈。放電燈C0、C1、C2的垂直于縱長方向的截面的外形尺寸都為最大縱向?qū)挾?6[mm]×最大橫向?qū)挾?5[mm]、厚度2.5[mm]、長度1220[mm]，左右的側(cè)壁板的外側(cè)表面是曲率半徑為8[mm]的半圓，內(nèi)側(cè)表面是曲率半徑為5.5[mm]的半圓。遮光膜41、42都遮擋90％以上的紫外線。形成遮光膜41的角度θ1約為86度，形成遮光膜42的角度θ2約為152度。上述的角度θ1、θ2都根據(jù)遮光膜41、42覆蓋左右的側(cè)壁板的內(nèi)側(cè)表面的范圍W1、W2的實測值，并利用放電燈的左右的側(cè)壁板的曲率半徑、厚度及折射率來算出。圖6是表示圖5的放電燈C0、C1、C2的左右的側(cè)壁板的應(yīng)力分布的測定結(jié)果的圖。圖中的曲線F0表示圖5(a)的放電燈C0的應(yīng)力分布的曲線圖，曲線F1表示圖5(b)的放電燈C1的應(yīng)力分布的曲線圖，曲線F2表示圖5(c)的放電燈C2的應(yīng)力分布的曲線圖。另外，通過圖6的P2表示圖5中的左右的側(cè)壁板的外側(cè)表面的頂點P2，通過圖6的B1表示圖5中的上下的壁板與左右的側(cè)壁板的交界B1，通過圖6的B23表示圖5(b)的遮光膜41的端部B23，通過圖6的B24表示圖5(c)的遮光膜42的端部B24。放電燈C0、C1、C2在點亮放電燈之前都沒有應(yīng)變，應(yīng)力值大致為0。曲線圖F0、F1、F2都表示將真空紫外線照射2000小時以上之后的應(yīng)力值。如圖6所示，在曲線圖F0中，在頂點P2處，拉伸應(yīng)力的值成為最大。這很好地說明了在長時間照射后，在頂點P2處放電燈C0容易破損的事實。在曲線圖F1中，在頂點P2處不產(chǎn)生拉伸應(yīng)力，從而能夠確認出遮光膜41的效果。但是，在圖5(b)的遮光膜41的端部B23、即圖6中的B23處，拉伸應(yīng)力的值成為最大。并且認為當持續(xù)照射紫外線時，放電燈C1在圖6中的B23處容易破損。由該結(jié)果可知，當在電介質(zhì)阻擋放電燈80的左右的側(cè)壁板的內(nèi)側(cè)表面的頂點附近形成遮光膜，且從內(nèi)側(cè)向該放電容器照射紫外線時，在左右的側(cè)壁板的內(nèi)側(cè)表面的頂點附近處，紫外線向左右的側(cè)壁板的照射量減少，能夠緩和內(nèi)側(cè)表面的頂點附近的收縮。然而，在形成有遮光膜的區(qū)域的交界附近，因石英的收縮的不同而容易產(chǎn)生大的應(yīng)變，在該交界附近的外側(cè)表面集中有拉伸應(yīng)力，因此容易產(chǎn)生裂紋。在曲線圖F2中，在圖5(c)的遮光膜42的端部24、即圖6中的B24處也未觀測到拉伸應(yīng)力的峰值。并且，在曲線圖F2中，可知在遮光膜42的比端部B24靠內(nèi)側(cè)的位置，拉伸應(yīng)力的值相對地增大，但拉伸應(yīng)力的最大值比曲線圖F1降低。接著，制作在沒有遮光膜的放電燈C0的外側(cè)形成有簡易的遮光膜的放電燈S1～S7，來研究該遮光膜的寬度與紫外線的照射光量的關(guān)系。在放電燈C0的外側(cè)表面，以包括沒有遮光膜(0[mm])在內(nèi)的7種寬度分別形成遮擋100％的紫外線的遮光膜，由此得到放電燈S1～S7。圖7是對測定的紫外線光量進行說明的圖。圖7(a)是說明遮光膜的寬度的圖，圖7(b)是表示遮光膜的寬度與紫外線光量的關(guān)系的圖。需要說明的是，圖7(a)僅將放電容器的垂直于縱長方向的截面示出單側(cè)一半。對于表2的條件S1～S7進行測定。測定紫外線的光量的檢查裝置中，將其傳感器頭的受光膜以從試制的放電夾緊裝置的下表面隔開3.5[mm]的間隔的方式配置。在圖7(b)中，在橫軸上表示在放電容器的截面中從縱長的中心軸Os朝向左右的側(cè)壁板的距離D2[mm]，在縱軸上表示將放電容器的中央部標準化為1.0的172nm的真空紫外線的照度I(a.u.，任意單位)。根據(jù)圖7(b)，形成有各遮光膜的放電燈的光量為由橫軸、橫軸成為凸部的頂點的兩個縱線以及基于各遮光膜得到的照度的曲線圖包圍的面積，當以沒有遮光膜的放電燈的光量為基準而分別計算比率(％)時，成為表2所示的結(jié)果。需要說明的是，如圖7(a)所示，表中的角度θs表示形成遮光膜的范圍?！颈?】由表2可知，與沒有遮光膜的放電燈相比，遮光膜的寬度為6[mm]且形成遮光膜的范圍為152度的放電燈中，將光量的降低抑制到約20％以內(nèi)，遮光膜的寬度為3[mm]且形成遮光膜的范圍為102度的放電燈中，將光量的降低抑制到約10％以內(nèi)。當匯總以上的結(jié)果時，由上述放電燈的光量的實驗結(jié)果及圖6的放電容器的左右的壁板的應(yīng)力分布可知，形成遮光膜的角度優(yōu)選為86度以上且152度以下，更優(yōu)選為102度以上且152度以下。在本發(fā)明的實施例的放電燈中，當垂直于縱長方向的截面與上述實驗中試制的放電燈的尺寸相同，在左右的側(cè)壁板的內(nèi)側(cè)表面上從凸部的頂點朝向內(nèi)側(cè)以6.7[mm]的寬度、152度形成遮光膜，且使遮光膜的紫外線的遮光率約67％時，相對于沒有遮光膜的放電燈，能夠得到94％的光量。另外，在該放電燈中，真空紫外線的照射時間即使經(jīng)過500小時，也不會產(chǎn)生峰狀的應(yīng)變。另外，在另一實施例的放電燈中，確認了即使在垂直于縱長方向的截面的外形尺寸為最大縱向?qū)挾?2[mm]×最大橫向?qū)挾?7[mm]、厚度2[mm]，且在左右的側(cè)壁板的截面中，外側(cè)表面是朝向外側(cè)的曲率半徑為6[mm]的半圓，內(nèi)側(cè)表面是朝向外側(cè)的曲率半徑為4[mm]的半圓的情況下，也能夠與上述實驗中試制的放電燈同樣地抑制光量的降低，并同時抑制應(yīng)變的產(chǎn)生。本發(fā)明的電介質(zhì)阻擋放電燈在左右的側(cè)壁板的內(nèi)側(cè)表面形成有一層遮光膜，但也可以形成由使紫外線的遮光率不同的多個遮光膜構(gòu)成的多層膜。此時，可以通過各層的形成遮光膜的范圍來設(shè)定多種紫外線的遮光率，例如可以按距凸部的頂點的距離來設(shè)定不同的遮光率。具體而言，可以在凸部的頂點附近形成遮擋90％以上的紫外線的第一遮光膜，并且，通過透過率相對低的第二遮光膜覆蓋該第一遮光膜的交界附近并形成到上下的壁板與左右的側(cè)壁板的交界附近。由此，在凸部的頂點附近能夠減少向放電容器飛來的飛散物的附著及其固化，并且在第一遮光膜的交界附近能夠抑制峰狀的拉伸應(yīng)力的產(chǎn)生，從而能夠抑制紫外線的照射光量的降低并同時抑制放電容器的破損。(第二方面)(第一實施方式)圖2及圖3是表示本發(fā)明的第一實施方式的一例的圖，圖2是電介質(zhì)阻擋放電燈的省略了縱長的中央部的立體圖，圖3是圖2的剖視圖。圖3(a)是將圖2的放電容器在縱長的中心軸處剖開并從側(cè)面方向觀察而得到的剖視圖，圖3(b)是沿著圖3(a)的箭頭方向觀察到的A-A線剖視圖。需要說明的是，圖中的單點劃線表示縱長的中心軸。需要說明的是，圖2及圖3的結(jié)構(gòu)與第一方面同樣，因此省略說明。圖10是表示本發(fā)明的第一實施方式的一例的圖，是電介質(zhì)阻擋放電燈的垂直于縱長方向的剖視圖。圖10中的縱橫方向的單點劃線分別表示截面的線對稱的對稱軸，兩個對稱軸的交點位于圖2的縱長的中心軸上。另外，虛線的箭頭表示紫外線的照射方向。如圖10所示，放電容器1中，將上下的壁板1a和左右的側(cè)壁板1b在交界B1處分別平滑地相連。將上下的壁板1a和左右的側(cè)壁板1b在交界B1處平滑地相連是指以交界B1處的切線的傾斜的變化小的方式進行連接。在圖10中，左右的側(cè)壁板1b的截面以朝向外側(cè)成為凸形狀的方式彎曲。具體而言，外側(cè)表面由曲率半徑為R1的半圓構(gòu)成，內(nèi)側(cè)表面由曲率半徑為R2的半圓構(gòu)成。需要說明的是，左右的側(cè)壁板1b的截面也可以以使各表面成為橢圓或使頂點附近大致成為直線狀等方式進行各種彎曲。在圖10中，遮光膜4使紫外線的透過率約為24％，其形成在左右的側(cè)壁板1b的內(nèi)側(cè)表面上。遮光膜4的紫外線的透過率為16％以上且86％以下，優(yōu)選為22％以上且80％以下。而且，遮光膜4覆蓋左右的側(cè)壁板1b的彎曲的頂點P1的內(nèi)側(cè)，并且在圖10(與前后的側(cè)壁板1c平行的截面)中，遮光膜4將上下的壁板1a的中間的直線L1作為對稱線而呈線對稱地同樣形成，且將交點C和遮光膜的一端B21連結(jié)的直線L3與將交點C和遮光膜4的另一端B22連結(jié)的直線L4所成的角度θ為86度，該交點C為上下的壁板1a的中間的直線L1與將上下的壁板1a和左右的側(cè)壁板1b的交界B1連結(jié)的直線L2的交點。直線L3與直線L4所成的角度θ小于180度，優(yōu)選為86度以下。這樣，能夠通過少量的遮光膜4來抑制在左右的側(cè)壁板1b上產(chǎn)生的應(yīng)變而延長直至達到破壞為止的時間。圖4(a)及(b)都作為一例而表示在圖10、圖2及圖3所示的電介質(zhì)阻擋放電燈的放電容器1中的左右的側(cè)壁板1b的內(nèi)側(cè)面上形成紫外線遮光膜的情況。需要說明的是，圖4的結(jié)構(gòu)也與第一方面同樣，因此省略說明。圖9是說明電介質(zhì)阻擋放電燈的遮光膜的紫外線的透過率的測定方法的圖。需要說明的是，圖9的結(jié)構(gòu)也與第一方面同樣，因此省略說明。圖8是表示沒有遮光膜的現(xiàn)有的電介質(zhì)阻擋放電燈的圖，是放電燈的垂直于縱長方向的剖視圖。電介質(zhì)阻擋放電燈80的放電容器的形狀及材質(zhì)與圖1中說明的放電容器相同。需要說明的是，圖8的結(jié)構(gòu)也與第一方面同樣，因此省略說明。另外，如圖11中表示截面那樣，改變遮光膜的紫外線的透過率T來制作放電燈，測定使放電燈長時間點亮時在放電容器上產(chǎn)生的應(yīng)變。制作出的放電燈C0、C1、C2如以下表3那樣。將測定對象的放電燈以由偏振板和靈敏色板夾著的方式配置在偏振板上，從偏振板側(cè)進行照明并從靈敏色板側(cè)拍照，且通過圖像分析來求出應(yīng)變值及應(yīng)力值。應(yīng)變值與應(yīng)力值處于正比關(guān)系?！颈?】放電燈透光率T(％)角度θ1(度)C0沒有遮光膜(100)-C17.986C22486圖11(a)(C0)是沒有遮光膜的放電燈，圖11(b)(C1)是在左右的側(cè)壁板的內(nèi)側(cè)表面的頂部附近形成有透過率約為7.9％的遮光膜的放電燈，圖11(c)(C2)是在左右的側(cè)壁板的內(nèi)側(cè)表面的頂部附近形成有透過率約為24％的遮光膜的放電燈。放電燈C0、C1、C2的垂直于縱長方向的截面的外形尺寸都為最大縱向?qū)挾?6[mm]×最大橫向?qū)挾?5[mm]、厚度2.5[mm]、長度870[mm]，左右的側(cè)壁板的外側(cè)表面是曲率半徑為8[mm]的半圓，內(nèi)側(cè)表面是曲率半徑為5.5[mm]的半圓。遮光膜41、42都覆蓋外側(cè)表面的頂點附近，且形成遮光膜41、42的角度θ1約為86度。能夠根據(jù)遮光膜41、42覆蓋左右的側(cè)壁板的內(nèi)側(cè)表面的范圍W的實測值，并利用放電燈的左右的側(cè)壁板的曲率半徑、厚度及折射率來算出該角度θ1。圖12是表示圖11的放電燈C0、C1、C2的左右的側(cè)壁板的應(yīng)力分布的測定結(jié)果的圖。圖中的F0表示圖11(a)的放電燈C0的應(yīng)力分布的曲線圖，F(xiàn)1表示圖11(b)的放電燈C1的應(yīng)力分布的曲線圖，F(xiàn)2表示圖11(c)的放電燈C2的應(yīng)力分布的曲線圖。放電燈C0、C1、C2在點亮放電燈之前都沒有應(yīng)變，應(yīng)力值大致為0。曲線圖F0、F1、F2都表示將真空紫外線照射2000時間以上之后的應(yīng)力值。另外，通過圖12的P2表示圖11中的左右的側(cè)壁板的頂部P2，通過圖12的B1表示圖11中的上下的壁板與左右的側(cè)壁板的交界B1，通過圖12的B2表示圖11(b)及圖11(c)的遮光膜41、42的端部B2。需要說明的是，以下，為了方便，有時使用峰值應(yīng)力或峰值應(yīng)變這樣的表述。峰值應(yīng)力在圖12所示那樣的應(yīng)力分布圖中，是指頂點P2處的拉伸應(yīng)力的最大值，或者當應(yīng)力在頂點P2處不是最大時，是指燈的左右的側(cè)壁板的范圍(P2～B1的范圍)內(nèi)的拉伸應(yīng)力的極大值，或者當應(yīng)力在頂點P2處不是最大且燈的左右的側(cè)壁板的范圍(P2～B1的范圍)內(nèi)的拉伸應(yīng)力的極大值不存在時，是指上下的壁板的范圍(從B1向內(nèi)側(cè))內(nèi)的最大值。峰值應(yīng)變是指與峰值應(yīng)力對應(yīng)的應(yīng)變。在圖12中，曲線圖F0在頂點P2處表現(xiàn)出峰值應(yīng)力及峰值應(yīng)變，曲線圖F1及F2在B2處表現(xiàn)出峰值應(yīng)力及峰值應(yīng)變。如圖12所示，在曲線圖F0中，在頂點P2處拉伸應(yīng)力的值成為最大。這很好地說明了在長時間照射后，在頂點P2處放電燈C0容易破損的事實。在曲線圖F1中，在頂點P2處不產(chǎn)生拉伸應(yīng)力，從而能夠確認出遮光膜41的效果。但是，在遮光膜41的端部、即圖12中的B2處，拉伸應(yīng)力的值成為最大。并且認為當持續(xù)照射紫外線時，放電燈C1在圖11中的B2處容易破損。由該結(jié)果可知，當在電介質(zhì)阻擋放電燈70的左右的側(cè)壁板的內(nèi)側(cè)表面的頂點附近形成遮光膜，且從內(nèi)側(cè)向該放電容器照射紫外線時，在左右的側(cè)壁板的內(nèi)側(cè)表面的頂點附近處，紫外線向左右的側(cè)壁板的照射量減少，能夠緩和內(nèi)側(cè)表面的頂點附近的收縮。然而，在形成遮光膜的區(qū)域的交界附近，因石英的收縮的不同而容易產(chǎn)生大的應(yīng)變，在該交界附近的外側(cè)表面集中有拉伸應(yīng)力，因此容易產(chǎn)生裂紋。在曲線圖F2中，可知在遮光膜42的端部、即圖12中的B2處觀測到拉伸應(yīng)力的峰值，但拉伸應(yīng)力的最大值比曲線圖F1降低。接著，制作在沒有遮光膜的放電燈C0的內(nèi)側(cè)表面將透過率約為22.8％的遮光膜從外側(cè)表面的頂點朝向內(nèi)側(cè)形成到4[mm]、角度約86度的范圍的放電燈C3，來研究上述放電燈C1、C2、C3的放電容器的峰值應(yīng)變與放電容器的點亮時間的關(guān)系。峰值應(yīng)變的值與上述應(yīng)變值同樣地測定。研究的放電燈C1、C2、C3如以下表4那樣?！颈?】放電燈透光率T(％)角度θ1(度)C17.986C22486C322.886圖13(a)是表示放電容器的峰值應(yīng)變與放電容器的點亮時間的關(guān)系的曲線圖。在圖13(a)中，在橫軸上表示放電容器的點亮時間Hr，在縱軸上表示峰值應(yīng)變的值ε(a.u.，任意單位)。在圖13(a)中的各標識中，圓形(○)表示使放電燈C0在點燈裝置的器具內(nèi)點亮時的峰值應(yīng)變的測定值，菱形(◇)表示使放電燈C1在點燈裝置的器具內(nèi)點亮時的峰值應(yīng)變的測定值，四方形(□)表示使放電燈C2無罩(沒有器具)點亮時的峰值應(yīng)變的測定值，三角形(△)表示使放電燈C3在點燈裝置的器具內(nèi)點亮時的峰值應(yīng)變的測定值。需要說明的是，曲線G0～G3分別表示根據(jù)上述的測定結(jié)果推定的曲線圖。并且，明確了當放電燈在點燈裝置的器具內(nèi)點亮時，比無罩點亮壽命縮短約25％。根據(jù)圖13(a)，在放電燈C0中，如曲線圖G0所示，在點亮時間為2000小時時，應(yīng)變的值為48(a.u.)。在放電燈C1中，如曲線圖G1所示，在點亮時間為2221小時時，應(yīng)變的值為46(a.u.)。另一方面，在放電燈C3中，如曲線圖G3所示，在點亮時間為2040小時時，應(yīng)變的值為30(a.u.)，在點亮時間為2978小時時，應(yīng)變的值為40(a.u.)。由此可知，當提高遮光膜的紫外線的透過率T時，即使在相同的點亮時間下，峰值應(yīng)變的值也下降。因此，形成有上述遮光膜的放電燈通過提高遮光膜的紫外線的透過率T，能夠延長到產(chǎn)生放電容器的裂紋為止的時間，能夠抑制放電容器的破損而延長壽命。接著，根據(jù)上述圖12及圖13(a)，求出使上述放電燈C0～C3點亮2000小時時的放電容器的峰值應(yīng)變值，來研究峰值應(yīng)變與遮光膜的紫外線的透過率T的關(guān)系。并且，在以下的條件下分別試作放電燈C4～C8，來研究點亮2000小時時的放電容器的峰值應(yīng)變與遮光膜的紫外線的透過率T的關(guān)系。表5表示該結(jié)果。放電燈C4～C8使用與上述放電燈C0～C3相同的尺寸及形狀的放電容器。放電燈C4～C8中，遮光膜形成在左右的側(cè)壁板的內(nèi)側(cè)表面的頂部附近，形成遮光膜的角度約為152度，遮光膜的透過率分別為20％、30％、40％、50％、60％?！颈?】圖13(b)是表示放電容器的峰值應(yīng)變與遮光膜的紫外線的透過率T的關(guān)系的圖。在橫軸上表示遮光膜的紫外線的透過率T(％)，在縱軸上表示點亮2000小時時的放電容器的峰值應(yīng)變的值ε(a.u.)。圖中的標識C0～C8分別表示使上述放電燈C0～C8分別點亮2000小時時的相對于各透過率T的峰值應(yīng)變。另外，曲線H表示標識C0～C8的插補曲線?？芍獔D13(b)中的標識C8的峰值應(yīng)變的值為17，遮光膜的紫外線的透過率在60％附近時，峰值應(yīng)變的值變得最小。并且，還可知存在峰值應(yīng)變的值為規(guī)定值以下的最佳的透過率的范圍。從曲線H讀取出峰值應(yīng)變的值為約35以下的透過率的范圍為約16％以上且約86％以下。并且，讀取出峰值應(yīng)變的值小于約30的透過率的范圍為約22％以上且約80％以下。由以上可知，本發(fā)明的第一實施方式的放電燈在遮光膜的紫外線的透過率為約16％以上且約86％以下時，在放電燈的實用上能夠得到充分的壽命。為了延長放電燈的壽命，優(yōu)選遮光膜的紫外線的透過率為約22％以上且約80％以下。(第二實施方式)在表示本發(fā)明的實施方式的電介質(zhì)阻擋放電燈中，可以在形成遮光膜的各范圍中以使遮光膜的紫外線的透過率不同的方式構(gòu)成。圖14是表示本發(fā)明的第二實施方式的一例的圖，是電介質(zhì)阻擋放電燈的垂直于縱長方向的剖視圖。電介質(zhì)阻擋放電燈20為與上述的圖1的電介質(zhì)阻擋放電燈同樣的形狀及材質(zhì)，在左右的側(cè)壁板1b的內(nèi)側(cè)表面形成遮光膜24，且還形成覆蓋該遮光膜24的遮光膜25。在圖14中，左右的側(cè)壁板1b的截面以朝向外側(cè)成為凸形狀的方式彎曲，具體而言，外側(cè)表面由曲率半徑為R1的半圓構(gòu)成，內(nèi)側(cè)表面由曲率半徑為R2的半圓構(gòu)成。需要說明的是，左右的側(cè)壁板1b的截面也可以以使各表面成為橢圓或使頂點附近大致成為直線狀等方式進行各種彎曲。在圖14中，遮光膜24覆蓋左右的側(cè)壁板1b的彎曲的頂部P1的內(nèi)側(cè)，并且在圖1(與前后的側(cè)壁板1c平行的截面)中，遮光24將上下的壁板1a的中間的直線L1作為對稱線而呈線對稱地同樣形成，且將交點C和遮光膜24的一端B21連結(jié)的直線L3與將交點C和遮光膜24的另一端B22連結(jié)的直線L4所成的角度θ2為86度，該交點C為上下的壁板1a的中間的直線L1與將上下的壁板1a和左右的側(cè)壁板1b的交界連結(jié)的直線L2的交點。另外，遮光膜25覆蓋遮光膜24，并且，在圖12(與前后的側(cè)壁板1c平行的截面)中，遮光膜25將上下的壁板1a的中間的直線L1作為對稱線而呈線對稱地同樣形成，且將交點C和遮光膜25的一端B31連結(jié)的直線L5與將交點C和遮光膜25的另一端B32連結(jié)的直線L6所成的角度θ3小于180度。遮光膜24只要覆蓋左右的側(cè)壁板1b的彎曲的頂部P1的內(nèi)側(cè)即可，角度θ2可以為86度以下。在圖14中，遮光膜24的紫外線的透過率相對低于遮光膜25的紫外線的透過率，且在上下的壁板1a與左右的側(cè)壁板1b的交界B1側(cè)相對高于彎曲的頂部P1附近相比。具體而言，遮光膜24使約10％紫外線透過，遮光膜25使約50％的紫外線透過。遮光膜24也可以使紫外線以約10％以下透過。這樣通過遮光膜25使遮光膜24的端部B21、22附近的石英的收縮之差減小，也能夠抑制遮光膜24的端部B21、22處的峰狀地產(chǎn)生的拉伸應(yīng)力的最大值而抑制放電容器的破損。并且，通過遮光膜24能夠減少左右的側(cè)壁板1b的彎曲的頂部附近的白色的飛散物的附著及其固化。需要說明的是，遮光膜24與遮光膜25的上下關(guān)系不限。在本發(fā)明的第二實施方式中，通過在左右的側(cè)壁板的彎曲的頂部附近使遮光膜的紫外線的透過率成為10％以下，從而在頂部附近能夠減少向放電容器飛來的飛散物的附著及其固化。并且，通過透過率相對高的其他的遮光膜來覆蓋該遮光膜的交界附近，能夠抑制峰狀的拉伸應(yīng)力的產(chǎn)生，從而能夠抑制紫外線的照射光量的降低并同時抑制放電容器的破損。本發(fā)明的電介質(zhì)阻擋放電燈中，放電容器的結(jié)構(gòu)對雙層管結(jié)構(gòu)、單管結(jié)構(gòu)不限。并且，在雙層管結(jié)構(gòu)的情況下，還可以設(shè)置輔助電極。