密封轉(zhuǎn)接件及半導(dǎo)體工藝設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種密封轉(zhuǎn)接件以及設(shè)有該密封轉(zhuǎn)接件的半導(dǎo)體工藝設(shè)備，屬于半導(dǎo)體加工【技術(shù)領(lǐng)域】。解決了現(xiàn)有技術(shù)采用兩個(gè)密封轉(zhuǎn)接件，不僅結(jié)構(gòu)復(fù)雜、安裝成本高，還增加了半導(dǎo)體工藝設(shè)備的漏點(diǎn)的技術(shù)問題。該密封轉(zhuǎn)接件呈板狀，密封轉(zhuǎn)接件的第一面設(shè)有金屬密封圈，密封轉(zhuǎn)接件的第二面設(shè)有橡膠密封圈，金屬密封圈的密封區(qū)域與橡膠密封圈的密封區(qū)域之間部分重疊；密封轉(zhuǎn)接件上開設(shè)有安裝孔和沉頭孔，在密封轉(zhuǎn)接件的第一面還開設(shè)有螺紋盲孔；安裝孔開設(shè)在橡膠密封圈的密封區(qū)域的四周；沉頭孔和螺紋盲孔均開設(shè)在金屬密封圈的密封區(qū)域周邊，且沉頭孔位于橡膠密封圈的密封區(qū)域之外，螺紋盲孔位于橡膠密封圈的密封區(qū)域之內(nèi)。
【專利說明】密封轉(zhuǎn)接件及半導(dǎo)體工藝設(shè)備

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于半導(dǎo)體加工【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種密封轉(zhuǎn)接件以及設(shè)有該密封轉(zhuǎn)接件的半導(dǎo)體工藝設(shè)備。

【背景技術(shù)】
[0002]在太陽能電池片等半導(dǎo)體晶片的工藝設(shè)備中，通常包括傳輸腔1、預(yù)熱腔2、工藝腔3、裝載腔4等，如圖1所示。其中，傳輸腔I位于中間，其他腔室都連接在傳輸腔I的四周，并且傳輸腔I底部設(shè)有機(jī)械手11，用于將半導(dǎo)體晶片在各腔室之間傳輸。在半導(dǎo)體晶片的工藝過程中要求傳輸腔I等各個(gè)工作腔室內(nèi)部為真空環(huán)境，因此需要在傳輸腔I上連接冷凝泵5來實(shí)現(xiàn)真空環(huán)境。
[0003]冷凝泵5與傳輸腔I之間通過門閥6相連接，用于控制冷凝泵5的開關(guān)，而門閥6必須與傳輸腔I密封連接。但是，如圖2所示，門閥6通常采用法蘭61作為接口，上面設(shè)有圓形的刀口，刀口可與金屬密封圈配合實(shí)現(xiàn)密封；而傳輸腔I通常采用O圈密封方式,其接口處設(shè)有長圓形的橡膠密封圈。因?yàn)殚T閥6與傳輸腔I分別采用不同的密封方式，并且刀口與橡膠密封圈的形狀不同，所以現(xiàn)有技術(shù)中利用了兩個(gè)密封轉(zhuǎn)接件7分別與門閥6和傳輸腔I密封連接，再將兩個(gè)密封轉(zhuǎn)接件7密封連接起來，以實(shí)現(xiàn)門閥6與傳輸腔I之間的密封連接。因此，現(xiàn)有技術(shù)采用兩個(gè)密封轉(zhuǎn)接件，不僅結(jié)構(gòu)復(fù)雜、安裝成本高，還增加了半導(dǎo)體工藝設(shè)備的漏點(diǎn)。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明實(shí)施例提供了一種密封轉(zhuǎn)接件以及設(shè)有該密封轉(zhuǎn)接件的半導(dǎo)體工藝設(shè)備，解決了現(xiàn)有技術(shù)結(jié)構(gòu)復(fù)雜、安裝成本高、漏點(diǎn)多的技術(shù)問題。
[0005]為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的實(shí)施例采用如下技術(shù)方案:
[0006]本發(fā)明提供一種密封轉(zhuǎn)接件，所述密封轉(zhuǎn)接件呈板狀，所述密封轉(zhuǎn)接件的第一面設(shè)有金屬密封圈，所述密封轉(zhuǎn)接件的第二面設(shè)有橡膠密封圈，所述金屬密封圈的密封區(qū)域與所述橡膠密封圈的密封區(qū)域之間部分重疊；
[0007]所述密封轉(zhuǎn)接件上開設(shè)有安裝孔和沉頭孔，在所述密封轉(zhuǎn)接件的第一面還開設(shè)有螺紋盲孔；
[0008]所述安裝孔開設(shè)在所述橡膠密封圈的密封區(qū)域的四周；
[0009]所述沉頭孔和所述螺紋盲孔均開設(shè)在所述金屬密封圈的密封區(qū)域的周邊，且所述沉頭孔位于所述橡膠密封圈的密封區(qū)域之外，所述螺紋盲孔位于所述橡膠密封圈的密封區(qū)域之內(nèi)。
[0010]優(yōu)選的,所述金屬密封圈為圓形。
[0011]優(yōu)選的，所述橡膠密封圈為長圓形。
[0012]優(yōu)選的，所述沉頭孔共有16個(gè)。
[0013]優(yōu)選的，所述螺紋盲孔共有4個(gè)。
[0014]本發(fā)明還提供一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備，包括傳輸腔，以及與所述傳輸腔相連的預(yù)熱腔、工藝腔、裝載腔和冷凝泵；
[0015]所述冷凝泵通過門閥與所述傳輸腔相連接，所述門閥與所述傳輸腔之間連接有上述的密封轉(zhuǎn)接件。
[0016]進(jìn)一步，所述傳輸腔與所述密封轉(zhuǎn)接件上的橡膠密封圈密封連接；
[0017]所述門閥上設(shè)有CF200法蘭，所述CF200法蘭與所述密封轉(zhuǎn)接件上的金屬密封圈密封連接。
[0018]進(jìn)一步，所述密封轉(zhuǎn)接件通過穿設(shè)在所述沉頭孔中的螺釘與所述CF200法蘭固連；
[0019]所述密封轉(zhuǎn)接件還通過掛件與所述CF200法蘭固連，所述掛件通過穿設(shè)在所述掛件中的螺釘固定在所述螺紋盲孔處。
[0020]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明所提供的上述技術(shù)方案具有如下優(yōu)點(diǎn):因?yàn)槊芊廪D(zhuǎn)接件的第一面設(shè)有金屬密封圈，所以密封轉(zhuǎn)接件能夠與門閥以金屬密封的方式密封連接。其中，在橡膠密封圈的密封區(qū)域之外的部分，可通過在沉頭孔中穿設(shè)螺釘并與門閥相固定，使金屬密封圈與門閥壓緊；在橡膠密封圈的密封區(qū)域之內(nèi)的部分，可以利用掛件將金屬密封圈與門閥壓緊，再用螺釘穿過掛件并擰入螺紋盲孔中，以固定掛件。這樣就利用沉頭孔和螺紋盲孔將密封轉(zhuǎn)接件與門閥固連，并且使金屬密封圈處處都與門閥壓緊，實(shí)現(xiàn)金屬密封。另一方面，密封轉(zhuǎn)接件的第二面設(shè)有橡膠密封圈，所以在安裝孔中穿設(shè)螺釘并擰緊固定在傳輸腔上，就能夠使密封轉(zhuǎn)接件與傳輸腔之間形成橡膠密封(O圈密封)。因此，本發(fā)明提供的技術(shù)方案中，只需要一個(gè)密封轉(zhuǎn)接件就能夠?qū)崿F(xiàn)門閥與傳輸腔之間的密封連接，從而使半導(dǎo)體工藝設(shè)備的結(jié)構(gòu)更加簡單，成本更低，并且減少了設(shè)備的漏點(diǎn)。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0021]為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹。
[0022]圖1為現(xiàn)有的半導(dǎo)體工藝設(shè)備的示意圖；
[0023]圖2為現(xiàn)有的傳輸腔與冷凝泵、門閥及密封轉(zhuǎn)接件的裝配示意圖；
[0024]圖3a和圖3b分別為本發(fā)明的實(shí)施例所提供的密封轉(zhuǎn)接件的第一面和第二面的示意圖；
[0025]圖4為本發(fā)明的實(shí)施例中傳輸腔與門閥及密封轉(zhuǎn)接件的裝配示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0026]下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整的描述。
[0027]如圖3a和圖3b所示，本發(fā)明實(shí)施例所提供的密封轉(zhuǎn)接件呈板狀，密封轉(zhuǎn)接件的第一面設(shè)有金屬密封圈71，密封轉(zhuǎn)接件的第二面設(shè)有橡膠密封圈72，金屬密封圈71的密封區(qū)域與橡膠密封圈72的密封區(qū)域之間部分重疊(圖3b中陰影重疊部分)。從圖3a和圖3b中可以看出，本實(shí)施例中的金屬密封圈71為圓形,橡膠密封圈72為長圓形。
[0028]密封轉(zhuǎn)接件上開設(shè)有4個(gè)安裝孔73和16個(gè)沉頭孔74，在密封轉(zhuǎn)接件的第一面還開設(shè)有4個(gè)螺紋盲孔75。其中，安裝孔73開設(shè)在橡膠密封圈72的密封區(qū)域的四周。沉頭孔74和螺紋盲孔75均開設(shè)在金屬密封圈71的密封區(qū)域的周邊，且沉頭孔74位于橡膠密封圈72的密封區(qū)域之外，螺紋盲孔75位于橡膠密封圈72的密封區(qū)域之內(nèi)。
[0029]本發(fā)明實(shí)施例還提供一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備，包括傳輸腔，以及與傳輸腔相連的預(yù)熱腔、工藝腔、裝載腔和冷凝泵。冷凝泵通過門閥與傳輸腔相連接，門閥與傳輸腔之間連接有上述本發(fā)明實(shí)施例中提供的密封轉(zhuǎn)接件，圖4為傳輸腔1、密封轉(zhuǎn)接件7、門閥6的裝配示意圖。
[0030]通常傳輸腔I采用O圈密封方式，在密封轉(zhuǎn)接件7的安裝孔73中穿設(shè)螺釘8并固定在傳輸腔I上，就能夠使密封轉(zhuǎn)接件7第二面上的橡膠密封圈72與傳輸腔I形成密封連接。
[0031]門閥6上通常設(shè)有法蘭61，本實(shí)施例以CF200法蘭為例進(jìn)行說明。CF200法蘭61設(shè)有圓形的刀口，刀口周圍均勻開設(shè)有24個(gè)螺孔。與之對應(yīng)的密封部件一般是銅密封圈(或其他金屬密封圈)，在銅密封圈周圍相應(yīng)開設(shè)有24個(gè)沉頭孔，利用24個(gè)螺釘穿過每個(gè)沉頭孔并固定在CF200法蘭上，就可以使刀口切入銅密封圈中，實(shí)現(xiàn)金屬密封。
[0032]但是，本實(shí)施例中的密封轉(zhuǎn)接件7的第一面和第二面采用不同的密封方式，并且金屬密封圈71與橡膠密封圈72的形狀也不同，所以在密封轉(zhuǎn)接件7上，只在橡膠密封圈72的密封區(qū)域之外開設(shè)了 16個(gè)沉頭孔74，而在橡膠密封圈72的密封區(qū)域之內(nèi)開設(shè)了 4個(gè)螺紋盲孔75。
[0033]如圖4所示，在橡膠密封圈72的密封區(qū)域之外的部分，可通過在沉頭孔74中穿設(shè)螺釘8并與門閥6相固定，使這一部分的金屬密封圈71與CF200法蘭61上的刀口壓緊。在橡膠密封圈72的密封區(qū)域之內(nèi)的部分，可以利用掛件9將密封轉(zhuǎn)接件7與門閥6壓緊，再用螺釘8穿過掛件9并擰入螺紋盲孔75中，以固定掛件9，使這一部分的金屬密封圈71也能夠與CF200法蘭61上的刀口壓緊。這樣就利用沉頭孔74和螺紋盲孔75將密封轉(zhuǎn)接件7與門閥6固連，并且使金屬密封圈71處處都與CF200法蘭61上的刀口壓緊，實(shí)現(xiàn)金屬密封。
[0034]另一方面，密封轉(zhuǎn)接件7的第二面設(shè)有橡膠密封圈72，所以在安裝孔74中穿設(shè)螺釘8并擰緊固定在傳輸腔I上，就能夠使密封轉(zhuǎn)接件7與傳輸腔I之間形成橡膠密封(O圈密封)。
[0035]因此，本發(fā)明實(shí)施例提供的密封轉(zhuǎn)接件以及半導(dǎo)體工藝設(shè)備，只需要利用一個(gè)密封轉(zhuǎn)接件7就能夠?qū)崿F(xiàn)門閥6與傳輸腔I之間的密封連接，從而使半導(dǎo)體工藝設(shè)備的結(jié)構(gòu)更加簡單，不僅降低了設(shè)備的成本，降低了密封轉(zhuǎn)接件的重量，減輕了傳輸腔所承受的負(fù)載，提高了設(shè)備的可靠性，并且方便設(shè)備的安裝和維護(hù)。此外，使用一個(gè)密封轉(zhuǎn)接件還減少了設(shè)備的漏點(diǎn)，提高了密封效果的可靠性。
[0036]應(yīng)當(dāng)說明的是，其他形狀金屬密封圈以及橡膠密封圈的形狀不局限于圓形和長圓形，可根據(jù)門閥以及傳輸腔的接口進(jìn)行相應(yīng)變化。門閥上的法蘭除CF200法蘭之外，也可以更換位其他規(guī)格，當(dāng)然密封轉(zhuǎn)接件上沉頭孔和螺紋盲孔的數(shù)量也要進(jìn)行相應(yīng)的增減。
[0037]以上所述，僅為本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)以權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種密封轉(zhuǎn)接件，其特征在于:所述密封轉(zhuǎn)接件呈板狀，所述密封轉(zhuǎn)接件的第一面設(shè)有金屬密封圈，所述密封轉(zhuǎn)接件的第二面設(shè)有橡膠密封圈，所述金屬密封圈的密封區(qū)域與所述橡膠密封圈的密封區(qū)域之間部分重疊； 所述密封轉(zhuǎn)接件上開設(shè)有安裝孔和沉頭孔，在所述密封轉(zhuǎn)接件的第一面還開設(shè)有螺紋盲孔； 所述安裝孔開設(shè)在所述橡膠密封圈的密封區(qū)域的四周； 所述沉頭孔和所述螺紋盲孔均開設(shè)在所述金屬密封圈的密封區(qū)域的周邊，且所述沉頭孔位于所述橡膠密封圈的密封區(qū)域之外，所述螺紋盲孔位于所述橡膠密封圈的密封區(qū)域之內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的密封轉(zhuǎn)接件，其特征在于:所述金屬密封圈為圓形。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的密封轉(zhuǎn)接件，其特征在于:所述橡膠密封圈為長圓形。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的密封轉(zhuǎn)接件，其特征在于:所述沉頭孔共有16個(gè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的密封轉(zhuǎn)接件，其特征在于:所述螺紋盲孔共有4個(gè)。
6.一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備，其特征在于:包括傳輸腔，以及與所述傳輸腔相連的預(yù)熱腔、工藝腔、裝載腔和冷凝泵； 所述冷凝泵通過門閥與所述傳輸腔相連接，所述門閥與所述傳輸腔之間連接有權(quán)利要求I至5任一項(xiàng)所述的密封轉(zhuǎn)接件。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體工藝設(shè)備，其特征在于:所述傳輸腔與所述密封轉(zhuǎn)接件上的橡膠密封圈密封連接； 所述門閥上設(shè)有CF200法蘭，所述CF200法蘭與所述密封轉(zhuǎn)接件上的金屬密封圈密封連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體工藝設(shè)備，其特征在于:所述密封轉(zhuǎn)接件通過穿設(shè)在所述沉頭孔中的螺釘與所述CF200法蘭固連； 所述密封轉(zhuǎn)接件還通過掛件與所述CF200法蘭固連，所述掛件通過穿設(shè)在所述掛件中的螺釘固定在所述螺紋盲孔處。
【文檔編號】H01L21/67GK104154233SQ201310179631
【公開日】2014年11月19日 申請日期:2013年5月15日 優(yōu)先權(quán)日:2013年5月15日
【發(fā)明者】賈強(qiáng) 申請人:北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司