一種六角形粗化表面的LED外延片的制備方法與流程
技術(shù)特征：
1.一種六角形粗化表面的LED外延片的制備方法，步驟為：1)在半導(dǎo)體襯底上依次長出緩沖層、N-GaN層、量子阱層、及P-GaN層和/或蓋層；2)通過對P-GaN層或蓋層或兩者的任意組合摻雜元素銦，從而使所述P-GaN層形成六角形粗化表面；所述六角形粗化表面為六角形位錯(cuò)坑。2.如權(quán)利要求1所述的六角形粗化表面的LED外延片...
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