技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及梯狀凸塊結(jié)構(gòu)及其制造方法，其包括通過襯底支撐的凸塊下金屬化(UBM)部件，安裝在該UBM部件上的銅柱，具有錐形彎曲輪廓的銅柱，該銅柱在一個(gè)實(shí)施例中具有大于頂部臨界尺寸(CD)的底部臨界尺寸(CD)，安裝在銅柱上的金屬蓋以及安裝在金屬蓋上的焊料部件。

技術(shù)研發(fā)人員：蔡佩君;曾裕仁;郭庭豪;陳承先
受保護(hù)的技術(shù)使用者：臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司
文檔號(hào)碼：201310222219
技術(shù)研發(fā)日：2013.06.05
技術(shù)公布日：2017.05.17