夾持裝置及工件輸送機械手的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種能夠以較高的位置精度保持工件及解除該保持狀態(tài)、并且耐振性較強的夾持裝置。夾持裝置（101）能夠在工件保持臺（31）上保持工件（W）及解除該保持狀態(tài)，該夾持裝置（101）構成為：在工件保持臺（31）上包括：頂端側固定塊（41、42），其設于該工件保持臺（31）的頂端（31b）側；基端側固定塊（51、52），其以隔著工件（W）的方式設于與頂端側固定塊（41、42）相對的基端（31a）側；以及可動塊（61），其配置于靠近基端側固定塊（51、52）的位置處，且被設為能夠隔著工件（W）相對于頂端側固定塊（41、42）側進退。
【專利說明】夾持裝置及工件輸送機械手
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及在輸送需要高精度的定位的工件時保持該工件的夾持裝置及具有該夾持裝置的工件輸送機械手。
【背景技術】
[0002]以往，為了輸送半導體晶圓、玻璃基板等工件，使用有將上述工件保持在手部上來進行輸送的工件輸送機械手。
[0003]在對這樣的工件實施精密加工的情況下，對于工件輸送機械手，需要其以較高的位置精度將工件向下一道工序傳送。因此，對于工件輸送機械手，要求其以高精度地進行了對位的狀態(tài)將載置于手部上的工件保持在手部上并進行輸送，并以保持了該位置精度的狀態(tài)將該工件向下一個裝置傳送。
[0004]為了使手部具有如上所述的功能，在手部設有用于精密地保持工件的夾持裝置。作為該夾持裝置，例如具有下述專利文獻I所述的基板保持裝置。該基板保持裝置設為如下結構:在手部(手)的頂端和基端側各設有一對固定夾具，并且在基端側的固定夾具之間設有可動夾具。另外，在上述固定夾具和可動夾具上均形成有朝向工件(晶圓)的中心方向并向下方傾斜的朝上傾斜面。而且，通過在將工件載置于固定夾具上之后使可動夾具從工件的外側朝向中心方向移動，能夠在利用可動夾具與頂端側的固定夾具精密地對工件進行對位的同時對工件進行保持。
[0005]專利文獻1:日本特許第4600856號公報
[0006]但是，由于上述專利文獻I所述的夾持裝置(基板保持裝置)在保持工件時利用頂端側的固定夾具與基端側的可動夾具進行定位，因此可能形成工件從基端側的固定夾具離開的狀態(tài)。因此，在使可動夾具退避而解除工件的保持狀態(tài)時，工件的基端側從被可動夾具支承的狀態(tài)向被固定夾具支承的狀態(tài)轉換，因此伴隨著這種情況而存在工件的位置發(fā)生偏移的可能性。
[0007]在此，為了具體地說明上述的問題，在圖11和圖12中示意性地表示具有與專利文獻I相同的結構的以往的夾持裝置901。
[0008]該夾持裝置901在工件保持臺31的頂端31b側設有一對固定塊(相當于固定夾具)941(在圖中記載為省略一個)，并在工件保持臺31的基端31a側設有一對固定塊(相當于固定夾具)951 (在圖中記載為省略一個)，在上述固定塊941上設有朝向工件W的中心并向下方傾斜的朝上傾斜面941a，在上述固定塊951上設有朝向工件W的中心并向下方傾斜的朝上傾斜面951a。另外，在頂端側31b側的固定塊941上形成有突出部941b，該突出部941b與朝上傾斜面941a相連接并向上方延伸，該突出部941b的內側的側面941c能夠與工件W的側面相抵接。
[0009]另外，在設置于基端31a側的一對固定塊951之間設有可動塊(相當于可動夾具)961，且在該可動塊961的頂端形成有朝向工件W的中心并向下方傾斜的朝上傾斜面961a。另外，在該可動塊961上也形成有垂直面961c，該垂直面961c與傾斜面961a相連接并向上方延伸。
[0010]在使用如此構成的夾持裝置保持工件W時，首先，如圖11的(a)所示，以工件W的側面、具體地說為形成該側面的一部分的下方側的邊緣抵接于固定塊941的朝上傾斜面941a以及固定塊951的朝上傾斜面951a的方式進行載置,然后,通過如圖11的(b) —(c)那樣使可動塊961向工件W的中心方向移動而使工件W移動，在使工件W的側面與頂端側的固定塊941的側面941c相抵接的同時對該工件W進行定位，并且保持工件W。
[0011]此時，相反的一側、即圖中左側的邊緣被可動塊961的朝上傾斜面961a或垂直面961c支承而從基端31a側的固定塊951的朝上傾斜面951a離開。
[0012]如此，在以保持有工件W的狀態(tài)進行輸送之后于預定的位置解除保持狀態(tài)的情況下，如圖12的(d)—(e)那樣，使可動塊961向與工件W相反的方向動作而進行退避。此時，工件W失去可動塊961的朝上傾斜面961a的支承，再次被基端31a側的固定塊951的朝上傾斜面951a支承。此時，存在工件W的位置與工件W在被保持時離開的距離相應地偏離的可能性，如圖中所示，也假設了工件W傾斜的情況、整體向下方移位的情況。
[0013]另外，根據圖11的(C)可知，由于在該結構中，在保持工件W時僅從側方或下方進行支承來釋放上方，因此在產生了上下方向的振動的情況下，也存在工件W向上方抬起而無法被保持的可能性。即，可以說工件W針對振動的保持力較小。

【發(fā)明內容】

[0014]本發(fā)明的目的在于有效地解決上述這樣的課題，具體地說，其目的在于提供一種夾持裝置及具有該夾持裝置的工件輸送機械手，該夾持裝置能夠以較高的位置精度保持工件，并且能夠在維持該位置精度的狀態(tài)下直接解除保持狀態(tài)，還對振動具有較強的保持力。
[0015]本發(fā)明為了達成該目的，采用了如下所述的方法。
[0016]S卩，本發(fā)明的夾持裝置是能夠在工件保持臺上保持工件及解除該保持狀態(tài)的夾持裝置，其特征在于，在上述工件保持臺上包括:頂端側固定塊，其設于該工件保持臺的頂端側；基端側固定塊，其以隔著工件的方式設于與上述頂端側固定塊相對的基端側；以及可動塊，其配置于靠近該基端側固定塊的位置處，且被設為能夠隔著工件相對于上述頂端側固定塊側進退；上述各固定塊形成有朝向工件的中心方向并向下方傾斜的向上固定傾斜面，上述可動塊形成有朝向工件的中心方向并向上方傾斜的向下可動傾斜面，當在工件保持臺上對工件進行保持時，在使工件以橫跨上述各固定塊的向上固定傾斜面的方式載置于上述各固定塊的向上固定傾斜面的狀態(tài)下，以向下可動傾斜面與工件的側面相抵接的方式使上述可動塊進出，當在工件保持臺上解除工件的保持狀態(tài)時，使上述可動塊向與工件相反的方向退避。
[0017]采用這樣的結構，由于能夠在保持工件時使固定塊與可動塊協(xié)作而精密地對工件進行定位，并且此時工件不會從各向上固定傾斜面離開，因此即使是在解除工件的保持狀態(tài)時使可動塊退避，也能夠維持利用各向上固定傾斜面支承工件的狀態(tài)，能夠使工件不發(fā)生位置偏移地維持較高的位置精度。另外，由于在保持工件時從上下方向上支承工件，因此能夠發(fā)揮較強的保持力，即使是在產生了振動的情況下也能夠牢固地保持工件。
[0018]在此，在本發(fā)明中，在與工件的側面相抵接的狀態(tài)中也包括與形成側面的邊緣相抵接的狀態(tài)。[0019]另外，為了能夠在使可動塊向工件移動來對工件進行保持時，以工件不會在與可動塊的移動方向相正交的橫向上發(fā)生位置偏移為前提更加穩(wěn)定地對工件進行精密的定位，優(yōu)選的是，使上述可動塊的中心在預定的動作直線上移動，在俯視時隔著上述動作直線相互對稱的位置處配置有一對上述頂端側固定塊。
[0020]另外，為了還能夠在使可動塊向工件移動來對工件進行保持時，通過防止工件向上下方向發(fā)生位置偏移而進一步穩(wěn)定地對工件進行精密的定位，優(yōu)選的是，在俯視時隔著上述動作直線相互對稱的位置處配置有一對上述基端側固定塊。
[0021]另外，為了能夠在保持工件時進行高精度的定位，優(yōu)選的是，上述頂端側固定塊具有突出部，該突出部連接于向上固定傾斜面的上端，并沿鉛垂方向朝上方延伸。
[0022]為了更加顯著地獲得上述的效果，優(yōu)選作為保持對象的工件的形狀為指定的形狀，優(yōu)選的是，上述工件形成為以上述側面為外周面的圓板狀。
[0023]另外，本發(fā)明的工件輸送機械手的特征在于，在該工件輸送機械手的手部具有上述的夾持裝置。通過采用這樣的結構，能夠以較高的位置精度并且以針對振動具有強大的保持力的方式保持工件，并且通過在將工件輸送至預定的輸送目的地之后，在維持了較高的位置精度的狀態(tài)下直接解除保持狀態(tài)，從而能夠傳送工件。
[0024]采用以上說明的本發(fā)明，能夠提供夾持裝置及工件輸送機械手，該夾持裝置能夠以較高的位置精度保持工件，并且能夠在維持了該位置精度的狀態(tài)下直接解除工件的保持狀態(tài)，進而針對振動具有較強的保持力。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0025]圖1是本發(fā)明的一實施方式的夾持裝置及具有該夾持裝置的工件輸送機械手的立體圖。
[0026]圖2是分解表示本發(fā)明的一實施方式的工件輸送機械手的主要部分的立體圖。
[0027]圖3是本發(fā)明的一實施方式的夾持裝置的立體圖。
[0028]圖4是本發(fā)明的一實施方式的夾持裝置的俯視圖。
[0029]圖5是放大表示圖3中的A部和B部的放大立體圖。
[0030]圖6是放大表示圖3中的C部和D部的放大立體圖。
[0031]圖7是放大表示圖3中的E部的放大立體圖。
[0032]圖8是放大表示圖4中的F部的放大俯視圖。
[0033]圖9是示意性地說明本發(fā)明的夾持裝置的動作的說明圖。
[0034]圖10是接著圖9示意性地說明本發(fā)明的夾持裝置的動作的說明圖。
[0035]圖11是示意性地說明以往的夾持裝置的動作的說明圖。
[0036]圖12是接著圖11示意性地說明以往的夾持裝置的動作的說明圖。
【具體實施方式】
[0037]以下，參照【專利附圖】

【附圖說明】本發(fā)明的實施方式。
[0038]圖1表示本實施方式的工件輸送機械手100。該工件輸送機械手100能夠接收半導體晶圓等圓板狀的工件W，并將該工件W向下一道工序的裝置輸送并交付該工件W。另外，在本實施方式中的說明所使用的附圖中，對與使用圖11和圖12進行說明的以往的夾持裝置相同的部分使用相同的附圖標記。另外，在以下的說明中，工件W的側面指的是圓板的外周面。
[0039]如圖1所示，該工件輸送機械手100構成為具有三個關節(jié)的水平關節(jié)形的機械手，且第I臂元件11、第2臂元件12、手部13以能夠旋轉的方式依次設置于基部4。具體地說，第I臂元件11設為能夠繞設定于基部4上的鉛垂方向上的旋轉軸線ST旋轉。另外，第2臂元件12設為能夠繞設定于第I臂元件11的頂端的鉛垂方向上的旋轉軸線SR旋轉。而且，手部13設為能夠繞設定于第2臂元件12的頂端的鉛垂方向上的旋轉軸線SH旋轉。
[0040]手部13具有夾持裝置101，手部13能夠借助該夾持裝置101保持工件W。
[0041]上述臂元件11、12與手部13的旋轉以及夾持裝置101的動作均被未圖示的控制部所控制，從而能夠對工件W進行保持、解除該保持狀態(tài)以及對工件W進行輸送。
[0042]如圖2所示，本實施方式的工件輸送機械手100在同一旋轉軸線SH上具有兩個手部13A、13B。上述手部13A、13B能夠獨立地繞旋轉軸線SH旋轉并分別保持工件W，從而能夠將工件W向不同的輸送目的地傳送。另外，也可以是在上下方向上進一步增加這樣的手部13的結構。
[0043]手部13A、13B的基本結構相同，只有以能夠旋轉的方式支承于第2臂元件12的第2臂元件12的基部21、22的結構不同，且用于保持工件W的夾持裝置101具有相同的結構。因此，以下，著眼于下方的手部13A，對夾持裝置101進行詳細的說明。
[0044]如圖3所示，手部13A (13)是通過在基部22設置夾持裝置101而構成的，該基部22以能夠繞旋轉軸線SH旋轉的方式被支承。該夾持裝置101大致被分為由工件保持臺31、固定塊41、42、51、52以及可動塊61構成。
[0045]工件保持臺31形成為兩個延伸部32、33從基端31a側的寬部35朝向頂端31b側延伸而得到的大致U字狀的平板，通過在基端31a側安裝于基部22，能夠使工件保持臺31以配置為大致水平的狀態(tài)與基部22 —體地旋轉。
[0046]而且，在延伸部32上的頂端31b附近設有頂端側固定塊41，在延伸部33上的頂端31b附近設有頂端側固定塊42。在同一寬部35的基端31a側設有基端側固定側塊51、52。上述四個固定塊41、42、51、52配置為在俯視時呈矩形狀，形成為能夠通過協(xié)作支承作為保持對象的工件W的側面、S卩外周面的位置關系。
[0047]另外，在本發(fā)明中，將工件W的側面定義為在工件W的側面中包括形成側面的邊緣，支承側面或與側面相抵接這樣的記載包括支承形成該側面的邊緣或與邊緣相抵接的狀態(tài)。
[0048]另外，在基端側固定塊51、52之間，在靠近基端側固定塊51、52并且略靠基端31a側的位置處設有后述的可動塊61。
[0049]圖4是通過俯視來圖示夾持裝置101的圖。
[0050]根據該圖可得知，上述固定塊41、42、51、52被設定為以上述固定塊41、42、51、52為頂點的矩形的中心位于與保持狀態(tài)下的工件W的中心位置P大致相同的位置處。另外，該矩形的長邊被設定為沿著從工件保持臺31的基端31a向頂端31b延伸的方向的邊。如此一來，能夠以工件W的重心為中心平衡較好地配置固定塊41、42、51、52，從而能夠穩(wěn)定地保持工件W。
[0051]上述的可動塊61連接于設置于基部22的內部的驅動部件71的頂端。驅動部件71成為上述夾持裝置101的一部分，具有直動型的氣缸72和直動引導構件73，能夠使可動塊61以預定的沖程呈直線狀地朝向工件W的中心位置P移動。
[0052]使用圖8更加具體地進行說明，塊體74以能夠進行直線動作的方式支承在直動引導構件73上，上述塊體74與基部塊62利用一對棒狀引導構件75、75相連接。而且，在形成于該基部塊62的上部的矩形狀的切口部62a的內部設有可動塊61。如此，能夠使可動塊61與塊體74 —體地動作，能夠通過利用上述氣缸72使塊體74動作而使可動塊61呈直線地移動。
[0053]將此時的可動塊61的朝向工件W的移動方向稱作移動方向，將與該移動方向相反的方向稱作退避方向。另外，該可動塊61配置在形成于寬部35的基端部31a側的開口部36的內部，并能夠在該內部進行進退動作。
[0054]可動塊61被設定為在圖中的實線所示的通常的退避位置處不與工件W的側面相接觸，通過使可動塊61向工件W進出而與工件W的側面相抵接，從而能夠對工件W進行定位及保持。返回圖4進行說明，可動塊61被設定為使其中心在俯視時連結旋轉軸線SH與工件W的中心位置P之間的直線X上移動。將該直線X稱作可動塊61的動作直線X。這樣，由于可動塊61的動作方向成為朝向工件的中心位置P、即重心位置的方向，因此能夠更加穩(wěn)定地對工件W進行定位。
[0055]另外，上述的各固定塊41、42、51、52配置成具有與工件W的中心位置P相同的中心的矩形狀這一點是以表示上述可動塊61的移動方向的動作直線X為基準的，換言之，頂端側固定塊41、42彼此、基端側固定塊51、52彼此分別配置于隔著動作直線X對稱的位置處。
[0056]頂端側固定塊41、42如圖5所不那樣構成。圖5的(a)表不設置于延伸部32的頂端側固定塊41，圖5的(b)表示設置于延伸部33的頂端側固定塊42。上述頂端側固定塊41、42形成為相同的形狀，僅工件保持臺31上的安裝位置和安裝方向不同。頂端側固定塊41、42在俯視下形成為大致矩形狀。在延伸部32的頂端31b附近形成有比頂端側固定塊41略大的大致矩形狀的凹部32a，在延伸部33的頂端31b附近形成有比頂端側固定塊42略大的大致矩形狀的凹部33a，在上述凹部32a的內部固定有頂端側固定塊41，在上述凹部33a的內部固定有頂端側固定塊42。通過將凹部32a高精度地形成于工件保持臺31的延伸部32，將凹部33a高精度地形成于工件保持臺31的延伸部33，并以這些凹部32a、33a的內側面作為引導構件分別進行安裝，從而能夠高精度地安裝頂端側固定塊41、42。
[0057]頂端側固定塊41具有保持工件W的側面的向上固定傾斜面41a，頂端側固定塊42具有保持工件W的側面的向上固定傾斜面42a。該向上固定傾斜面41a、42a形成為平面狀，且形成為朝向工件W的中心位置P (參照圖3)并向下方傾斜的朝向。另外，頂端側固定塊41形成有連接于向上固定傾斜面41a的上端并沿鉛垂方向朝上方延伸的突出部41b，頂端側固定塊42形成有連接于向上固定傾斜面42a的上端并沿鉛垂方向朝上方延伸的突出部42b，上述突出部41b的內側、即向上固定傾斜面41a側的側面41c為與相對于工件W的中心方向垂直的面，上述突出部42b的內側、即向上固定傾斜面42a側的側面42c為與相對于工件W的中心方向垂直的面，上述側面41c、42c作為進行工件W的對位時的抵接面發(fā)揮功倉泛。
[0058]基端側固定塊51、52如圖6所不那樣構成。圖6的(a)表不設置于寬部35的基端側固定塊51。圖6的(b)表示設置于寬部35的基端側固定塊52。上述基端側固定塊51、52形成為相同的形狀，僅僅是在工件保持臺31上的安裝位置和安裝方向不同。基端側固定塊51、52俯視形成為大致矩形狀。在寬部35的基端31a側并且在左右方向分離的位置處形成有比上述基端側固定塊51略大的大致矩形狀的凹部35a和比上述基端側固定塊52略大的大致矩形狀的凹部35b，在上述凹部35a的內部固定有基端側固定塊51，在上述凹部35b的內部固定有基端側固定塊52。
[0059]基端側固定塊51與頂端側固定塊41相同地具有用于保持工件W的側面的向上固定傾斜面51a，基端側固定塊52與頂端側固定塊42相同地具有用于保持工件W的側面的向上固定傾斜面52a。該向上固定傾斜面51a、52a形成為平面狀，且形成為朝向工件W的中心位置P (參照圖3)并向下方傾斜的朝向。另外，在與向上固定傾斜面51a相連接的、與工件W相反的一側的位置處形成有水平面51b，在與向上固定傾斜面52a相連接的、與工件W相反的一側的位置處形成有水平面52b。
[0060]可動塊61如圖7所示那樣構成。可動塊61具有朝向工件W的中心位置P (參照圖3)并向上方傾斜地形成的向下可動傾斜面61a。向下可動傾斜面61a通過如上所述地向工件W側移動而能夠與工件W的側面相抵接。
[0061]通過使用如上所述地構成的夾持裝置101并使其如下所述地進行動作，能夠對工件W進行保持和輸送。以下，參照圖3并且使用圖9和圖10進行說明。圖9和圖10是示意性地表示本實施方式的夾持裝置101并說明保持工件W及解除該保持狀態(tài)的動作的說明圖。
[0062]首先，如圖9的(a)所示，在工件保持臺31上接收工件。此時，以橫跨頂端側固定塊41的向上固定傾斜面41a、頂端側固定塊42的向上固定傾斜面42a以及基端側固定塊51的向上固定傾斜面51a、基端側固定塊52的向上固定傾斜面52a上的方式將工件W載置在頂端側固定塊41的向上固定傾斜面41a、頂端側固定塊42的向上固定傾斜面42a以及基端側固定塊51的向上固定傾斜面5la、基端側固定塊52的向上固定傾斜面52a上。由于固定塊41、42、51、52如上所述那樣以工件W的中心位置P、即重心位置為中心地配置為矩形狀，因此形成為工件W的側面均勻地與各向上固定傾斜面41a、42a、51a、52a相抵接的狀態(tài)。但是，在未進行可動塊61的進出的情況下，工件W無法進行精確地定位，僅形成為水平。
[0063]當由該狀態(tài)使可動塊61向工件W進出時，如圖9的(b)所示，在到達沖程端的中途，向下可動傾斜面61a與工件W的側面相抵接。
[0064]進而，使可動塊61向工件W進出直到如圖9的(C)所示地到達沖程端為止，使工件W處于保持狀態(tài)。在到達該保持狀態(tài)的過程中，可動塊61利用向下可動傾斜面61a向頂端側固定塊41、42按壓工件W,從而使工件W的頂端側沿著各向上固定傾斜面41a、42a向上方抬起，使工件W的頂端側位于與側面41c、42c相抵接的位置。此時，由于一對頂端側固定塊41、42配置于隔著供可動塊61的中心移動的動作直線X相互對稱的位置處，因此工件W的位置不會相對于可動塊61的擠壓方向在橫向上偏移，能夠有效地進行位置調整。
[0065]另外，由于在頂端側固定塊41設有突出部41b,在頂端側固定塊42設有突出部42c，該突出部41b具有用于與工件W相抵接的側面41c，該突出部42c具有用于與工件W相抵接的側面42c，因此能夠在保持工件W時進一步高精度地進行定位。
[0066]另外，由于在保持工件W時，在基端側形成為利用基端側固定塊51的向上固定傾斜面5la、基端側固定塊52的向上固定傾斜面52a以及可動塊61的向下可動傾斜面61a上下夾住工件W的側面的狀態(tài)，因此能夠抑制工件W的向上下方向的移動，能夠針對振動具有較強的保持力。此時，由于一對基端側固定塊51、52配置于隔著供可動塊61的中心移動的動作直線X相互對稱的位置處，因此能夠利用基端側固定塊51、52和可動塊61這三點在上下方向上平衡較好地保持工件W的側面，基端側固定塊51的向上固定傾斜面51a、基端側固定塊52的向上固定傾斜面52a以及可動塊61的向下可動傾斜面61a均形成為與工件W的側面相抵接的狀態(tài)，工件W不會在上下方向上發(fā)生位置偏移。
[0067]如此，能夠在以較強的保持力保持有工件W的狀態(tài)下使手部13 (參照圖1)動作，從而能夠將工件W輸送至預定的位置處。由于形成為耐振性較強的結構，因此即使是在以高速對工件W進行輸送的情況下也不會發(fā)生偏移，能夠恰當地對工件W進行定位。
[0068]而且，在保持工件W時，與以往的夾持裝置不同，還能夠使基端側固定塊51的向上固定傾斜面51a與工件W相抵接，并使基端側固定塊52的向上固定傾斜面52a與工件W相抵接。
[0069]因此，即使是在為了解除工件W的保持狀態(tài)而如圖10的(d) — (e)所示那樣使可動塊61退避的情況下，也能夠將工件W的側面維持在與基端側固定塊51的向上固定傾斜面51a和基端側固定塊52的向上固定傾斜面52a相抵接的狀態(tài)，能夠避免工件W產生位置偏移。即，即使是在解除工件W的保持狀態(tài)時，也能夠與以往的夾持裝置不同而高精度地保持工件W的位置。
[0070]因而，通過使用本夾持裝置101，在接收了工件W之后將該工件W保持在手部13上時，能夠高精度地對工件W進行定位，并且能夠針對振動產生較強的保持力，且在解除工件W的保持狀態(tài)時，能夠以工件W不產生位置偏移為前提在高精度地保持工件W的位置的狀態(tài)下傳送工件W。
[0071]如上所述,本實施方式中的夾持裝置101是能夠在工件保持臺31上保持工件W及解除該保持狀態(tài)的夾持裝置101，該夾持裝置101構成為，在工件保持臺31上包括:頂端側固定塊41、42，其設于工件保持臺31的頂端31b側；基端側固定塊51、52，該基端側固定塊51隔著工件W設于與頂端側固定塊41相對的基端31a側，該基端側固定塊52隔著工件W設于與頂端側固定塊42相對的基端31a側；以及可動塊61，其配置于靠近基端側固定塊51、52的位置處，且被設為能夠隔著工件W相對于頂端側固定塊41、42側進退；固定塊41形成有朝向工件W的中心方向并向下方傾斜的向上固定傾斜面41a，固定塊42形成有朝向工件W的中心方向并向下方傾斜的向上固定傾斜面42a，固定塊51形成有朝向工件W的中心方向并向下方傾斜的向上固定傾斜面51a,固定塊52形成有朝向工件W的中心方向并向下方傾斜的向上固定傾斜面52a，可動塊61形成有朝向工件W的中心方向并向上方傾斜的向下可動傾斜面61a，當在工件保持臺31上對工件W進行保持時，在使工件W以橫跨固定塊41的向上固定傾斜面41a、固定塊42的向上固定傾斜面42a、固定塊51的向上固定傾斜面51a以及固定塊52的向上固定傾斜面52a的方式載置于固定塊41的向上固定傾斜面41a、固定塊42的向上固定傾斜面42a、固定塊51的向上固定傾斜面51a以及固定塊52的向上固定傾斜面52a的狀態(tài)下，以向下可動傾斜面61a與工件W的側面相抵接的方式移動可動塊61，當在工件保持臺31解除工件W的保持狀態(tài)時，使可動塊61向與工件W相反的方向退避。
[0072]通過采用上述結構，能夠在保持工件W時使固定塊41、42、51、52與可動塊61協(xié)作而精密地對工件W進行定位。另外，由于在保持工件W時工件W不會從各向上固定傾斜面41a、42a、51a、52a離開，因此即使是解除工件W的保持狀態(tài)并使可動塊61退避，也能夠維持利用各向上固定傾斜面41a、42a、51a、52a支承工件W的狀態(tài)，因此能夠以工件W不會產生位置偏移為前提維持較高的位置精度。另外，由于在保持工件W時從上下方向支承工件W，因此能夠發(fā)揮較強的保持力，即使是在產生了振動的情況下也能夠牢固地保持工件W。
[0073]另外，由于夾持裝置101構成為使可動塊61的中心在預定的動作直線X上移動，且在俯視時隔著動作直線X相互對稱的位置處配置有一對頂端側固定塊41、42，因此能夠在使可動塊61相對于工件W進出來對工件W進行保持時利用可動塊61和與該可動塊61相對的頂端側塊41、42來限制工件W，從而能夠使工件不會沿橫向產生位置偏移，能夠更加穩(wěn)定地進行精密的定位。
[0074]另外，由于夾持裝置101構成為在俯視時隔著動作直線X相互對稱的位置處配置有一對基端側固定塊51、52，因此能夠在使可動塊61相對于工件W進出來對工件W進行保持時在上下方向上以三點對工件W的基端側進行定位，能夠防止工件在上下方向上產生位置偏移，能夠進一步穩(wěn)定地進行精密的定位。
[0075]另外，由于夾持裝置101構成為頂端側固定塊41具有突出部41b且頂端側固定塊42具有突出部42b，該突出部41b連接于向上固定傾斜面41a的上端并沿鉛垂方向朝上方延伸，該突出部42b連接于向上固定傾斜面42a的上端并沿鉛垂方向朝上方延伸，因此能夠使基端側固定塊51、52和可動塊62協(xié)作而精密地保持工件W的側面，能夠在保持工件W時進一步高精度地進行定位。
[0076]另外，由于成為輸送對象的工件W形成為以側面為外周面的圓板狀，因此能夠在恰當地保持工件W的重心平衡的基礎上根據可動塊61的按壓方向的位置與重心位置間的關系恰當地確?？蓜訅K61的按壓方向的位置，從而更加顯著地發(fā)揮上述的效果，能夠高精度地進行定位。
[0077]進而，在手部13具有上述的夾持裝置101的本實施方式的工件輸送機械手100能夠在以較高的位置精度和針對振動較強大的保持力保持工件W并將該工件W輸送至預定的輸送目的地之后，在維持了較高的位置精度的狀態(tài)下解除保持狀態(tài)，傳送工件W。
[0078]另外，各部分的具體的結構并不限定于上述的實施方式。
[0079]例如，在上述的實施方式中，使用了圓板狀的工件作為工件W，但是即使是四邊形、三角形等各種板狀的工件也可以應用本發(fā)明。進而，只要具有被固定塊41、42、51、52、可動塊61支承的面，就不局限于板狀，也能夠使用塊狀等各種形狀的工件W。但是，只要是工件形狀為簡單的、重心平衡良好的形狀，就能夠更加顯著地獲得上述的效果，因此出于這一點，優(yōu)選工件為圓板狀的形狀。
[0080]其他結構也能夠在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內進行各種變形。
[0081]附圖標記說明
[0082]13、13A、13B、手部；31、工件保持臺;31a、基立而;31b、頂立而;41、42、頂纟而側固定塊；41a、42a、向上固定傾斜面；51、52、基端側固定塊；51a、52a、向上固定傾斜面；61、可動塊；61a、向下可動傾斜面；100、工件輸送機械手；101、夾持裝置；P、(工件的)中心位置；W、工件;X、動作直線。
【權利要求】
1.一種夾持裝置，其能夠在工件保持臺上保持工件及解除該保持狀態(tài)，其特征在于， 在上述工件保持臺上包括:頂端側固定塊，其設于該工件保持臺的頂端側；基端側固定塊，其以隔著工件的方式設于與上述頂端側固定塊相對的基端側；以及可動塊，其配置于靠近該基端側固定塊的位置處，且被設為能夠隔著工件相對于上述頂端側固定塊側進退；上述各固定塊形成有朝向工件的中心方向并向下方傾斜的向上固定傾斜面， 上述可動塊形成有朝向工件的中心方向并向上方傾斜的向下可動傾斜面， 當在工件保持臺上對工件進行保持時，在使工件以橫跨上述各固定塊的向上固定傾斜面的方式載置于上述各固定塊的向上固定傾斜面的狀態(tài)下，以向下可動傾斜面與工件的側面相抵接的方式使上述可動塊進出， 當在工件保持臺上解除工件的保持狀態(tài)時，使上述可動塊向與工件相反的方向退避。
2.根據權利要求1所述的夾持裝置，其特征在于， 使上述可動塊的中心在預定的動作直線上移動， 在俯視時隔著上述動作直線相互對稱的位置處配置有一對上述頂端側固定塊。
3.根據權利要求2所述的夾持裝置，其特征在于， 在俯視時隔著上述動作直線相互對稱的位置處配置有一對上述基端側固定塊。
4.根據權利要求1?3中任一項所述的夾持裝置，其特征在于， 上述頂端側固定塊具有突出部，該突出部連接于向上固定傾斜面的上端并沿鉛垂方向朝上方延伸。
5.根據權利要求1?4中任一項所述的夾持裝置，其特征在于， 上述工件形成為以上述側面為外周面的圓板狀。
6.—種工件輸送機械手,其特征在于， 該工件輸送機械手在手部具有權利要求1?5中任一項所述的夾持裝置。
【文檔編號】H01L21/687GK103779260SQ201310228855
【公開日】2014年5月7日 申請日期:2013年6月8日 優(yōu)先權日:2012年10月19日
【發(fā)明者】占部雄士, 三重野靖理 申請人:昕芙旎雅有限公司