工件研磨裝置制造方法
【專利摘要】一種工件研磨裝置包括：具有頂面的研磨板，研磨布貼附于該頂面，并且研磨板能夠在水平面轉(zhuǎn)動(dòng)；設(shè)置于研磨板上方并且能夠上下移動(dòng)和在水平面轉(zhuǎn)動(dòng)的頂環(huán)，頂環(huán)能夠?qū)ξ挥谘心グ搴晚敪h(huán)之間的承載板施壓，承載板將工件保持在底面，以將工件壓在研磨板上；以及設(shè)置于頂環(huán)的止動(dòng)件，止動(dòng)件在研磨位置止擋并保持載置在研磨板上并且通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)研磨板而移動(dòng)到頂環(huán)的下側(cè)的承載板。
【專利說(shuō)明】工件研磨裝置【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種用于研磨諸如晶圓等的一個(gè)或多個(gè)工件的工件研磨裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]已提供了用于研磨諸如硅晶圓、藍(lán)寶石晶圓等工件的多種研磨裝置。
[0003]例如，日本特開(kāi)平7-130687號(hào)公報(bào)中公開(kāi)了一種研磨裝置。該公開(kāi)的研磨裝置包括:具有頂面的研磨板，研磨布貼附于該頂面；用于在水平面旋轉(zhuǎn)研磨板的驅(qū)動(dòng)部分；設(shè)置在研磨板上方并且能夠上下移動(dòng)和在水平面轉(zhuǎn)動(dòng)的頂環(huán)(top ring),該頂環(huán)能夠?qū)Τ休d板施壓，承載板位于研磨板和頂環(huán)之間并且將工件保持在底面上，以將工件壓到研磨板上；以及研磨液供給部分。在從研磨液供給部分供給研磨液的情況下，研磨板和頂環(huán)沿規(guī)定的方向旋轉(zhuǎn)，用以研磨一個(gè)或多個(gè)工件。
[0004]此外，所述的日本特開(kāi)平7-130687號(hào)公報(bào)公開(kāi)了一種研磨裝置，其包括:多個(gè)設(shè)置于研磨板上方并沿研磨板的轉(zhuǎn)動(dòng)方向配置的頂環(huán)；設(shè)置于研磨板的中心的中心輥；以及多個(gè)圍繞研磨板設(shè)置的導(dǎo)引輥，各導(dǎo)引輥能夠在研磨板上的位置和位于研磨板外側(cè)的另一位置之間移動(dòng)。
[0005]將說(shuō)明將承載板裝載到研磨盤(pán)上規(guī)定的位置的方法。
[0006]首先，將與離承載板投放部位(carrier plate setting position)最遠(yuǎn)的頂環(huán)對(duì)應(yīng)的導(dǎo)引輥移動(dòng)到研磨板上的位置，其中承載板從承載板投放部位被放置到研磨板上，然后將承載板從承載板投放部位放置到研磨板上，以傳輸承載板。通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)研磨板來(lái)傳輸承載板。當(dāng)承載板的外邊緣接觸中心輥和相應(yīng)的導(dǎo)引輥時(shí)，承載板被止擋并保持在相應(yīng)的頂環(huán)下方的接觸位置。
[0007]接著，同樣將與鄰近最遠(yuǎn)頂環(huán)的頂環(huán)相對(duì)應(yīng)的導(dǎo)引輥移動(dòng)到研磨板上的位置。然后，傳輸承載板，直到承載板接觸中心輥和相應(yīng)的導(dǎo)引輥為止，承載板被止擋并保持在相應(yīng)的頂環(huán)下方的接觸位置。此外，分別將承載板傳輸?shù)较鄳?yīng)的頂環(huán)下方的位置。然后，向下移動(dòng)頂環(huán)以將由承載板保持的工件壓在研磨布上。通過(guò)在供給研磨液的情況下轉(zhuǎn)動(dòng)研磨板和頂環(huán)，能夠研磨工件。
[0008]在上述研磨裝置中，能夠自動(dòng)將已貼附有工件的承載板傳輸?shù)窖心グ迳系奈恢?，各承載板順次地位于相應(yīng)的頂環(huán)的下方。
[0009]然而，在上述傳統(tǒng)的研磨裝置中，必須設(shè)置能夠在研磨板上的位置和位于研磨板外側(cè)的另一位置之間移動(dòng)的多個(gè)導(dǎo)引輥，所以研磨裝置的尺寸必然大并且裝置的結(jié)構(gòu)必然復(fù)雜。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]因此，本發(fā)明的目標(biāo)是提供一種能夠解決傳統(tǒng)研磨裝置的上述問(wèn)題的工件研磨裝置。即，能夠減小本發(fā)明的工件研磨裝置的尺寸，并且能夠簡(jiǎn)化裝置的結(jié)構(gòu)。
[0011]為了實(shí)現(xiàn)該目標(biāo)，本發(fā)明的工件研磨裝置具有下列結(jié)構(gòu)。[0012]gp，本發(fā)明的工件研磨裝置包括:
[0013]研磨板，所述研磨板具有頂面，研磨布貼附于所述頂面，并且所述研磨板能夠在水平面轉(zhuǎn)動(dòng)；
[0014]頂環(huán)，所述頂環(huán)設(shè)置于所述研磨板的上方并且能夠上下移動(dòng)和在水平面轉(zhuǎn)動(dòng)，所述頂環(huán)能夠?qū)ξ挥谒鲅心グ搴退鲰敪h(huán)之間的承載板施壓，所述承載板將工件保持在底面，以將所述工件壓到所述研磨板上；以及
[0015]止動(dòng)件，所述止動(dòng)件設(shè)置于所述頂環(huán)，所述止動(dòng)件在研磨位置止擋并保持載置在所述研磨板上并且通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)所述研磨板而移動(dòng)到所述頂環(huán)的下側(cè)的所述承載板。
[0016]優(yōu)選地，所述止動(dòng)件為環(huán)形并且從所述頂環(huán)的下邊緣向下突出，
[0017]所述止動(dòng)件具有進(jìn)入部和保持部，其中，所述承載板從所述進(jìn)入部移動(dòng)到所述頂環(huán)的下側(cè)，所述保持部位于所述進(jìn)入部的相反側(cè)并且止擋和保持所述承載板，
[0018]所述進(jìn)入部的突出長(zhǎng)度小于所述保持部的突出長(zhǎng)度，以及
[0019]所述承載板經(jīng)由所述進(jìn)入部的底面和所述研磨板之間的間隙移動(dòng)到所述頂環(huán)的下側(cè)，并且在所述頂環(huán)向下移動(dòng)直到達(dá)到從所述研磨板起的規(guī)定高度時(shí)通過(guò)所述保持部止擋和保持所述承載板。
[0020]優(yōu)選地，所述進(jìn)入部和所述保持部之間的臺(tái)階形壁面形成為以如下方式傾斜的傾斜面:越向所述止動(dòng)件的外邊緣去，所述傾斜面越向與所述承載板的旋轉(zhuǎn)方向相反的方向去。
[0021]優(yōu)選地，所述頂環(huán)向下移動(dòng)，并且在研磨所述工件的過(guò)程中，移入環(huán)形的所述止動(dòng)件的所述承載板被保持在所述止動(dòng)件中。
[0022]優(yōu)選地，所述頂環(huán)包括:
[0023]上部板；以及
[0024]下部板，所述下部板具有所述止動(dòng)件，通過(guò)球狀支撐構(gòu)件相對(duì)于所述上部板能擺動(dòng)地支撐所述下部板，通過(guò)彈簧對(duì)所述下部板向上施力并且相對(duì)于所述研磨板水平地支撐所述下部板。
[0025]優(yōu)選地，所述止動(dòng)件能拆卸地安裝于所述頂環(huán)的底面。
[0026]優(yōu)選地，所述止動(dòng)件由塑料制成。
[0027]優(yōu)選地，所述工件研磨裝置進(jìn)一步包括:
[0028]抽吸機(jī)構(gòu)，所述抽吸機(jī)構(gòu)用于從形成在所述頂環(huán)的底面和所述承載板的頂面之間的空間抽吸空氣；以及
[0029]傳感器單元，所述傳感器單元用于檢測(cè)如下情況:通過(guò)抽吸空氣的所述抽吸機(jī)構(gòu)使所述空間的氣壓低于規(guī)定值以及所述承載板被保持在所述頂環(huán)的底面。
[0030]優(yōu)選地，多個(gè)所述頂環(huán)設(shè)置于所述研磨板的上方并且沿所述研磨板的轉(zhuǎn)動(dòng)方向配置，以及
[0031]按從沿所述研磨板的轉(zhuǎn)動(dòng)方向離承載板投放部位最遠(yuǎn)的所述頂環(huán)到離所述承載板投放部位最近的所述頂環(huán)的順序，將所述承載板移動(dòng)到所述頂環(huán)的下側(cè)，其中，所述承載板從所述承載板投放部位放置到所述研磨板上。
[0032]在本發(fā)明中，工件研磨裝置具有下列效果。
[0033]S卩，在頂環(huán)自身設(shè)置止動(dòng)件，該止動(dòng)件用于止擋通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)研磨板而移動(dòng)的承載板的運(yùn)動(dòng)并且將承載板保持在研磨位置。因此，不同于傳統(tǒng)的研磨裝置，能夠省略分別與頂環(huán)相對(duì)應(yīng)的導(dǎo)引輥，能夠減小研磨裝置的尺寸，能夠簡(jiǎn)化研磨裝置的結(jié)構(gòu)，并且能夠減少研磨裝置的生產(chǎn)成本。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0034]現(xiàn)在，將借助于示例并參考附圖描述本發(fā)明的實(shí)施方式，其中:
[0035]圖1是本發(fā)明的實(shí)施方式的研磨裝置的主視圖；
[0036]圖2是示出研磨板上的頂環(huán)的位置的平面圖；
[0037]圖3是頂環(huán)的上下驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的主視圖；
[0038]圖4是頂環(huán)的上下驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的平面圖；
[0039]圖5是頂環(huán)的剖視圖；
[0040]圖6是頂環(huán)的平面圖；以及
[0041 ]圖7是放置承載板的方法的流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0042]現(xiàn)在，將參考附圖詳細(xì)地描述本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式。
[0043]圖1是研磨裝置10的主視圖；圖2是示出研磨板上的頂環(huán)的位置的平面圖；圖3是頂環(huán)的上下驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的主視圖；圖4是頂環(huán)的上下驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的平面圖；圖5是頂環(huán)的剖視圖；圖6是頂環(huán)的平面圖。需要注意的是，為了更好地理解，用實(shí)線表示出一些看不見(jiàn)的結(jié)構(gòu)元件。
[0044]工件研磨裝置10包括具有頂面的研磨板14,研磨布貼附于該頂面。研磨板14通過(guò)公知的驅(qū)動(dòng)單元(未示出)在水平面轉(zhuǎn)動(dòng)。四個(gè)頂環(huán)16設(shè)置在研磨板14上方并且沿研磨板14的轉(zhuǎn)動(dòng)方向配置。需要注意的是，工件研磨裝置10包括用于向研磨板14供給研磨液的研磨液供給單元(未示出)。
[0045]在圖2中，符號(hào)A、B、C和D表示頂環(huán)16相對(duì)于研磨板14的位置。通過(guò)設(shè)置在主體部分18的上部的缸單元(cylinder unit)20使各頂環(huán)16上下移動(dòng)，因此，能夠使各頂環(huán)16向研磨板14的頂面移動(dòng)和遠(yuǎn)離研磨板14的頂面移動(dòng)。此外，各頂環(huán)16能夠在水平面上轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0046]如圖3和圖5所示，旋轉(zhuǎn)軸22從各頂環(huán)16的上端向上延伸。旋轉(zhuǎn)軸22貫通主體部分18的板構(gòu)件23。旋轉(zhuǎn)軸22可轉(zhuǎn)動(dòng)地保持在能夠上下移動(dòng)的筒狀構(gòu)件24中。筒狀構(gòu)件24的上端固定在架25上。架25通過(guò)缸單元20上下移動(dòng)，使得頂環(huán)16能夠與架25 —起上下移動(dòng)。導(dǎo)桿26導(dǎo)引各架25的上下運(yùn)動(dòng)。
[0047]通過(guò)各驅(qū)動(dòng)馬達(dá)28使相應(yīng)的頂環(huán)16在水平面轉(zhuǎn)動(dòng)。各驅(qū)動(dòng)馬達(dá)28設(shè)置在相應(yīng)的架25上。同步帶(未示出)接合在各驅(qū)動(dòng)馬達(dá)28的帶輪29和相應(yīng)的旋轉(zhuǎn)軸22的帶輪30之間。面向旋轉(zhuǎn)軸22的帶輪30的光傳感器32設(shè)置在各架25上，用于檢測(cè)帶輪30的對(duì)象構(gòu)件(未示出)。通過(guò)檢測(cè)對(duì)象構(gòu)件，能夠檢測(cè)到各旋轉(zhuǎn)軸22或各頂環(huán)16的旋轉(zhuǎn)位置。需要注意的是，頂環(huán)16具有相同的結(jié)構(gòu)，但是為了容易地理解該結(jié)構(gòu)，圖3所示的兩個(gè)頂環(huán)16是從不同的角度看到的。
[0048]接著，將參考圖5和圖6說(shuō)明各頂環(huán)16的詳細(xì)結(jié)構(gòu)。[0049]頂環(huán)16具有上部板34和下部板35。上部板34連接到旋轉(zhuǎn)軸22。旋轉(zhuǎn)軸22具有管狀形狀并且通過(guò)軸承36可轉(zhuǎn)動(dòng)地保持在筒狀構(gòu)件24中。
[0050]球狀凹部38形成于上部板34的底面的中央部。另一方面，通過(guò)螺釘41將與球狀凹部38相接合的球狀支承構(gòu)件40固定在下部板35的頂面的中央部。
[0051]四個(gè)通孔43形成于上部板34中并且在周向上等間隔地配置，其中，頭銷(headpin) 42穿過(guò)對(duì)應(yīng)的通孔43連接到下部板35的頂面。各通孔43的上部為大直徑部分；各通孔43的下部為小直徑部分。在各通孔43中，在頭銷42的頭部和大直徑部分的內(nèi)底面之間設(shè)置壓縮卷簧44。利用這種結(jié)構(gòu)，通過(guò)壓縮卷簧44的彈簧力對(duì)下部板35施加向上的力，使得球狀支承構(gòu)件40的球面被壓到球狀凹部38的內(nèi)球面。由于在周向上等間隔地配置四個(gè)卷簧44，能夠從壓縮卷簧44向下部板35施加均等的壓力。因此，下部板35能夠與上部板34保持平行。各導(dǎo)銷46設(shè)置在相鄰的頭銷42之間并且各導(dǎo)銷46連接到下部板35的頂面。各導(dǎo)銷46嵌合到形成在上部板34中的相應(yīng)的孔47，以導(dǎo)引下部板35的運(yùn)動(dòng)。
[0052]止動(dòng)件50是本發(fā)明的特征元件。
[0053]止動(dòng)件50由塑料制成并且形成為環(huán)狀形狀。止動(dòng)件50能夠安裝到下部板35的外周面并且能夠從下部板35的外周面拆卸。通過(guò)螺釘51將止動(dòng)件50固定到下部板35。需要注意的是，止動(dòng)件50可以例如由金屬制成。此外，下部板35和止動(dòng)件50可以結(jié)合為一體。
[0054]環(huán)形止動(dòng)件50的下部從下部板35的底面向下突出規(guī)定長(zhǎng)度。
[0055]止動(dòng)件50從下部板35的底面不均等地突出。止動(dòng)件50具有進(jìn)入部50a和保持部50b。進(jìn)入部50a的突出長(zhǎng)度小于保持部50b的突出長(zhǎng)度。在本實(shí)施方式中，承載板52載置到研磨板14的規(guī)定位置，然后通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)研磨板14傳輸承載板52，使得承載板52能夠被移動(dòng)到相應(yīng)的頂環(huán)16的下側(cè)，其中，頂環(huán)16在規(guī)定的下降位置等待。因此，能夠?qū)⒊休d板52保持在該處。為了保持承載板52，允許通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)研磨板14而傳輸?shù)某休d板52從進(jìn)入部50a進(jìn)入頂環(huán)16的下側(cè)，所以進(jìn)入部50a具有小的突出長(zhǎng)度。另一方面，位于進(jìn)入部50a的相反側(cè)的保持部50b止擋并且保持承載板52，所以保持部50b具有較大的突出長(zhǎng)度。利用這種結(jié)構(gòu)，承載板52的前端接觸保持部50b，所以通過(guò)保持部50b止擋并且保持承載板52的運(yùn)動(dòng)。即，承載板52被保持在環(huán)形止動(dòng)件50中。
[0056]在止動(dòng)件50中，從下部板35的底面起的突出長(zhǎng)度小的進(jìn)入部50a的優(yōu)選形成范圍大于環(huán)形止動(dòng)件50的全周的一半，例如，全周的2/3，以使承載板52容易地進(jìn)入下部板35的下側(cè)。
[0057]另一方面，從下部板35的底面起的突出長(zhǎng)度較大的保持部50b的優(yōu)選形成范圍為環(huán)形止動(dòng)件50的全周的至少1/3，以通過(guò)保持部50b的內(nèi)周面保持承載板52。
[0058]優(yōu)選地，進(jìn)入部50a和保持部50b之間的臺(tái)階形壁50c的壁面形成為傾斜面，該傾斜面形成為使得:越向止動(dòng)件50的外邊緣去，越向與承載板52的旋轉(zhuǎn)方向X相反的方向去。通過(guò)形成該傾斜面，能夠通過(guò)臺(tái)階形壁50c的端部來(lái)分配供給到研磨板14的研磨液而不使研磨液在臺(tái)階形壁50c停滯，以使研磨液能夠平順地流動(dòng)。
[0059]需要注意的是,止動(dòng)件50不必須形成為環(huán)形。只要形成保持部50b,止動(dòng)件50的形狀不受限制。
[0060]當(dāng)承載板52被傳輸或移動(dòng)到相應(yīng)的頂環(huán)16的下側(cè)時(shí)，將相應(yīng)的頂環(huán)16向下移動(dòng)，直到在止動(dòng)件50的進(jìn)入部50a的底面和研磨板14的頂面之間形成承載板52能夠進(jìn)入的間隙為止。不限制間隙的寬度。例如，間隙的寬度可以比承載板52的厚度大幾毫米。
[0061]為了允許承載板52經(jīng)由間隙移動(dòng)到相應(yīng)的頂環(huán)16的下側(cè)，水平地保持頂環(huán)16的下部板35以使間隙均等很重要。在本實(shí)施方式中，通過(guò)球狀支撐構(gòu)件40和壓縮卷簧44支撐下部板35，使得能夠水平地保持下部板35并且能夠使間隙均等。因此，能夠避免諸如承載板52與進(jìn)入部50a相碰撞的麻煩。
[0062]在將承載板52傳輸?shù)巾敪h(huán)16的下側(cè)后，進(jìn)一步向下移動(dòng)頂環(huán)16以研磨工件。通過(guò)頂環(huán)16的底面對(duì)承載板52的頂面施加壓力，將承載板52壓到研磨板14的研磨布上。在該操作中，承載板52移動(dòng)到環(huán)形止動(dòng)件50中并且通過(guò)止動(dòng)件50圍繞承載板52的周邊部，使得能夠?qū)⒊休d板52保持在止動(dòng)件50內(nèi)而不從止動(dòng)件50內(nèi)退出。此外，由于設(shè)計(jì)了保持部50b的突出長(zhǎng)度，使得保持部50b未到達(dá)研磨布，保持部50b不妨礙研磨操作。
[0063]需要注意的是，在圖5中，吸氣管54通過(guò)設(shè)置在管狀旋轉(zhuǎn)軸22中的軟管(未示出)與真空單元(未示出)連通。因此，在承載板52的頂面和下部板35的底面之間的空間的空氣能夠被抽吸。密封環(huán)56設(shè)置在下部板35的底面上。此外，設(shè)置用于測(cè)量該空間的氣壓的壓力傳感器(未示出)。
[0064]蓋58蓋在上部板34的表面以防止研磨液侵入。
[0065]需要注意的是，通過(guò)控制單元(未示出)控制研磨板14、缸單元20、驅(qū)動(dòng)馬達(dá)28等的動(dòng)作。
[0066]接下來(lái)，將參考圖7的流程圖說(shuō)明用于將承載板52傳輸?shù)巾敪h(huán)16的下側(cè)的一系列動(dòng)作。
[0067]首先，打開(kāi)工件研磨裝置10的啟動(dòng)開(kāi)關(guān)(步驟SI)。
[0068]然后，從四個(gè)頂環(huán)16中選擇將承載板52首先傳輸給的第一頂環(huán)16(步驟S2)。第一頂環(huán)16位于離承載板投放部位最遠(yuǎn)的位置，其中，從承載板投放部位將承載板52放到研磨板14上。在本實(shí)施方式中，承載板投放部位位于位置D和位置A之間的研磨板14上。研磨板14沿逆時(shí)針?lè)较蜣D(zhuǎn)動(dòng)，因此將位于位置D的頂環(huán)16選為第一頂環(huán)16。
[0069]接下來(lái)，驅(qū)動(dòng)缸單元20以向下移動(dòng)頂環(huán)16，直到進(jìn)入部50a和研磨板14的頂面之間的間隙的寬度到達(dá)一適當(dāng)?shù)闹禐橹埂Ｈ缓?，?qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)28以轉(zhuǎn)動(dòng)頂環(huán)16，并且通過(guò)光傳感器32檢測(cè)頂環(huán)16的旋轉(zhuǎn)位置(步驟S3)。
[0070]進(jìn)一步地，將頂環(huán)16停止在規(guī)定的位置(接收位置)，在該位置，進(jìn)入部50a將恰當(dāng)?shù)孛嫦驅(qū)⑼ㄟ^(guò)研磨板14的轉(zhuǎn)動(dòng)而傳輸?shù)某休d板52，并且將在該位置接收承載板52 (步驟S4)。
[0071]接下來(lái)，將承載板52放置在位于位置D和位置A之間的研磨板14的承載板投放部位(步驟S5)。
[0072]然后，轉(zhuǎn)動(dòng)研磨板14 (步驟S6)。
[0073]使研磨板14轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)研磨板14的轉(zhuǎn)動(dòng)而傳輸承載板52，并且將承載板52經(jīng)由在止動(dòng)件50的進(jìn)入部50a和研磨板14之間的間隙移動(dòng)到位于位置D的頂環(huán)16的下側(cè)。此外，承載板52接觸位于進(jìn)入部50a的相反側(cè)的保持部50b并且由保持部50b保持承載板52。因此，承載板52被止擋并且保持在該處，并且進(jìn)一步轉(zhuǎn)動(dòng)研磨板14而不傳輸承載板52。當(dāng)操作者在視覺(jué)上確認(rèn)該狀態(tài)時(shí)，停止研磨板14的轉(zhuǎn)動(dòng)(步驟S7)。[0074]接下來(lái)，向下移動(dòng)頂環(huán)16 (步驟S8)，并且在設(shè)置在頂環(huán)16的底面的密封環(huán)56接觸承載板52的頂面時(shí)停止頂環(huán)16的向下運(yùn)動(dòng)(步驟S9)。
[0075]在這個(gè)狀態(tài)，啟動(dòng)真空單元(未示出)，以通過(guò)吸氣管54從頂環(huán)16的底面和承載板52的頂面之間的空間抽吸空氣。在該操作中，通過(guò)壓力傳感器測(cè)量該空間的氣壓以檢查氣壓是否低于規(guī)定值(步驟S10)。在測(cè)量到的氣壓低于規(guī)定值的情況下，控制單元確定將承載板52傳輸?shù)巾敪h(huán)16的下側(cè)，并且確認(rèn)下一個(gè)頂環(huán)16的是否存在(步驟S11)。在存在下一個(gè)頂環(huán)16的情況下，控制單元再次執(zhí)行步驟S2。
[0076]需要注意的是，在步驟SlO中氣壓沒(méi)有減小到低于規(guī)定值的時(shí)候，控制單元確定承載板52未被正確地傳輸并通過(guò)諸如蜂鳴器報(bào)警。在這種情況下，操作者手動(dòng)向上移動(dòng)頂環(huán)16并且將承載板52手動(dòng)移動(dòng)到相應(yīng)的頂環(huán)16的跟前位置，然后再次執(zhí)行步驟S6至步驟SlO以正確地傳輸承載板52。
[0077]在通過(guò)上述方法將所有承載板52傳輸?shù)较鄳?yīng)的頂環(huán)16的下側(cè)后，旋轉(zhuǎn)研磨板14并且通過(guò)缸單元20施加規(guī)定的壓力將承載板52壓到研磨板14上。此外，供給研磨液。執(zhí)行規(guī)定時(shí)間的研磨操作以研磨工件。
[0078]在完成研磨操作之后，向上移動(dòng)頂環(huán)16，并且從研磨板14中取出承載板52。
[0079]需要注意的是，能夠通過(guò)控制單元自動(dòng)執(zhí)行上述一系列動(dòng)作并且可以手動(dòng)執(zhí)行一些動(dòng)作。
[0080]此處給出的所有示例和條件性語(yǔ)言意在用于教示目的，以幫助讀者理解由
【發(fā)明者】為改進(jìn)技術(shù)所貢獻(xiàn)的本發(fā)明和概念，并且本發(fā)明和概念可被理解為不限于這些具體描述的示例和條件，在本說(shuō)明書(shū)中的這些示例的組織也不涉及示出本發(fā)明的優(yōu)勢(shì)和劣勢(shì)。雖然已詳細(xì)描述了本發(fā)明的實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)理解的是，能夠做出不脫離本發(fā)明的主旨和范圍的各種改變、置換和替換。
【權(quán)利要求】
1.一種工件研磨裝置，其包括: 研磨板，所述研磨板具有頂面，研磨布貼附于所述頂面，并且所述研磨板能夠在水平面轉(zhuǎn)動(dòng)； 頂環(huán)，所述頂環(huán)設(shè)置于所述研磨板的上方并且能夠上下移動(dòng)和在水平面轉(zhuǎn)動(dòng)，所述頂環(huán)能夠?qū)ξ挥谒鲅心グ搴退鲰敪h(huán)之間的承載板施壓，所述承載板將工件保持在底面，以將所述工件壓到所述研磨板上；以及 止動(dòng)件，所述止動(dòng)件設(shè)置于所述頂環(huán)，所述止動(dòng)件在研磨位置止擋并保持載置在所述研磨板上并且通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)所述研磨板而移動(dòng)到所述頂環(huán)的下側(cè)的所述承載板。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工件研磨裝置，其特征在于， 所述止動(dòng)件為環(huán)形并且從所述頂環(huán)的下邊緣向下突出， 所述止動(dòng)件具有進(jìn)入部和保持部，其中，所述承載板從所述進(jìn)入部移動(dòng)到所述頂環(huán)的下側(cè)，所述保持部位于所述進(jìn)入部的相反側(cè)并且止擋和保持所述承載板， 所述進(jìn)入部的突出長(zhǎng)度小于所述保持部的突出長(zhǎng)度，以及 所述承載板經(jīng)由所述進(jìn)入部的底面和所述研磨板之間的間隙移動(dòng)到所述頂環(huán)的下側(cè)，并且在所述頂環(huán)向下移動(dòng)直到達(dá)到從所述研磨板起的規(guī)定高度時(shí)通過(guò)所述保持部止擋和保持所述承載板。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的工件研磨裝置，其特征在于， 所述進(jìn)入部和所述保持部之間的臺(tái)階形壁面形成為以如下方式傾斜的傾斜面:越向所述止動(dòng)件的外邊緣去，所述傾斜面越向與所述承載板的旋轉(zhuǎn)方向相反的方向去。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或`3所述的工件研磨裝置，其特征在于， 所述頂環(huán)向下移動(dòng)，并且在研磨所述工件的過(guò)程中，移入環(huán)形的所述止動(dòng)件的所述承載板被保持在所述止動(dòng)件中。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任一項(xiàng)所述的工件研磨裝置，其特征在于， 所述頂環(huán)包括: 上部板；以及 下部板，所述下部板具有所述止動(dòng)件，通過(guò)球狀支撐構(gòu)件相對(duì)于所述上部板能擺動(dòng)地支撐所述下部板，通過(guò)彈簧對(duì)所述下部板向上施力并且相對(duì)于所述研磨板水平地支撐所述下部板。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中的任一項(xiàng)所述的工件研磨裝置，其特征在于， 所述止動(dòng)件能拆卸地安裝于所述頂環(huán)的底面。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中的任一項(xiàng)所述的工件研磨裝置，其特征在于， 所述止動(dòng)件由塑料制成。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中的任一項(xiàng)所述的工件研磨裝置，其特征在于，進(jìn)一步包括: 抽吸機(jī)構(gòu)，所述抽吸機(jī)構(gòu)用于從形成在所述頂環(huán)的底面和所述承載板的頂面之間的空間抽吸空氣；以及 傳感器單元，所述傳感器單元用于檢測(cè)如下情況:通過(guò)抽吸空氣的所述抽吸機(jī)構(gòu)使所述空間的氣壓低于規(guī)定值以及所述承載板被保持在所述頂環(huán)的底面。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中的任一項(xiàng)所述的工件研磨裝置，其特征在于， 多個(gè)所述頂環(huán)設(shè)置于所述研磨板的上方并且沿所述研磨板的轉(zhuǎn)動(dòng)方向配置，以及按從沿所述研磨板的轉(zhuǎn)動(dòng)方向離承載板投放部位最遠(yuǎn)的所述頂環(huán)到離所述承載板投放部位最近的所述頂環(huán)的順序，將所述承載板移動(dòng)到所述頂環(huán)的下側(cè)，其中，所述承載板從所述承載板投放部位放置到所述研磨板上。
【文檔編號(hào)】H01L21/304GK103506935SQ201310239057
【公開(kāi)日】2014年1月15日 申請(qǐng)日期:2013年6月17日 優(yōu)先權(quán)日:2012年6月20日
【發(fā)明者】?jī)山茄笠? 小山晴道, 粕尾學(xué), 和田昌樹(shù) 申請(qǐng)人:不二越機(jī)械工業(yè)株式會(huì)社