楔形鍵合機(jī)和清潔楔形鍵合機(jī)的方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種楔形鍵合機(jī)，該楔形鍵合機(jī)包含有：楔刀，其用于將導(dǎo)線鍵合至表面上以在表面間形成電氣互連；清潔設(shè)備，其被操作來(lái)清潔楔刀；和定位設(shè)備，其上裝配有楔刀；尤其是該定位設(shè)備被操作來(lái)移動(dòng)楔刀至清潔設(shè)備以進(jìn)行清潔。本發(fā)明還公開(kāi)了一種清潔楔形鍵合機(jī)的楔刀的方法。
【專(zhuān)利說(shuō)明】楔形鍵合機(jī)和清潔楔形鍵合機(jī)的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種具有楔刀(wedge)的楔形鍵合機(jī)(wedge bonder),該楔刀用于將導(dǎo)線鍵合至表面上以在表面間形成電氣互連。特別是，該楔形鍵合機(jī)還包含有用于清潔楔刀的清潔設(shè)備。本發(fā)明還涉及一種清潔楔形鍵合機(jī)的楔刀的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]楔形鍵合機(jī)利用超聲波能量將導(dǎo)線鍵合至半導(dǎo)體晶粒和被裝配的襯底上，以致于在半導(dǎo)體晶粒和襯底之間形成電氣互連。具體地，當(dāng)楔刀抵靠于半導(dǎo)體晶粒的晶粒座或抵靠于襯底壓擠導(dǎo)線時(shí)，超聲波換能器產(chǎn)生超聲波振動(dòng)，該超聲波振動(dòng)被傳遞通過(guò)楔形鍵合機(jī)的楔刀的鍵合末端，并前遞至設(shè)置在楔刀下方的導(dǎo)線上。
[0003]圖1表明了傳統(tǒng)的楔形鍵合機(jī)的鍵合末端100，其包含有:i)導(dǎo)線引導(dǎo)體102，其用于從線圈處(圖中未示)引導(dǎo)導(dǎo)線104通過(guò)導(dǎo)線端部100 ;ii)楔刀106，其具有鍵合部108，用于在鍵合過(guò)程中抵靠于半導(dǎo)體晶粒的鍵合盤(pán)或抵靠于襯底壓擠導(dǎo)線104的局部；以及iii)導(dǎo)線切刀110，其用于切割導(dǎo)線104以在半導(dǎo)體晶粒和襯底之間形成電氣互連之后將導(dǎo)線104從線圈處分離。
[0004]楔形鍵合機(jī)的重復(fù)的鍵合操作將會(huì)引起殘?jiān)?residue)積累在楔刀106的鍵合部108處。例如，如果鋁導(dǎo)線被用于楔形鍵合，那么鋁殘?jiān)鼘?huì)堆積在楔刀106的鍵合部108處。因此，有必要清潔楔刀106。傳統(tǒng)意義上，楔刀清潔包括:從鍵合末端100處移離楔刀106，和將移離后的楔刀106浸沒(méi)在清潔溶液(如=NaOH溶液)中大約30分鐘以將從楔刀106處去除殘?jiān)Ｈ缓笤谇鍧嵵蠖谛ㄐ捂I合機(jī)繼續(xù)其鍵合操作以前，將楔刀106重新安裝在鍵合末端100。
[0005]然而，清潔之后楔刀106重新安裝在鍵合末端100上需要建立一些設(shè)置任務(wù)，例如超聲波換能器的重新校準(zhǔn)和鍵合末端100的精確部件調(diào)整。這些任務(wù)不僅浪費(fèi)時(shí)間而且需要熟練的技術(shù)人員來(lái)完成。
[0006]所以，本發(fā)明的目的是尋求至少消除清潔楔形鍵合機(jī)的楔刀所出現(xiàn)的難題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明第一方面提供一種楔形鍵合機(jī)，該楔形鍵合機(jī)包含有:楔刀，其用于將導(dǎo)線鍵合至表面上以在表面間形成電氣互連；清潔設(shè)備，其被操作來(lái)清潔楔刀；和定位設(shè)備，其上裝配有楔刀。尤其是，該定位設(shè)備被操作來(lái)移動(dòng)楔刀至清潔設(shè)備以進(jìn)行清潔。
[0008]根據(jù)本發(fā)明第一方面所述的楔形鍵合機(jī)的一些較佳但是可選的特征定義在從屬權(quán)利要求中。
[0009]本發(fā)明第二方面提供一種清潔楔形鍵合機(jī)的楔刀的方法，該楔刀用于將導(dǎo)線鍵合至表面上以在表面間形成電氣互連，該楔形鍵合機(jī)還包含有用于清潔楔刀的清潔設(shè)備，具體地，該方法包含有以下步驟:移動(dòng)楔刀至清潔設(shè)備；使用清潔設(shè)備清潔楔刀。
[0010]根據(jù)本發(fā)明第二方面所述的方法的一些較佳但是可選的步驟同樣也定義在從屬權(quán)利要求中。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0011]現(xiàn)在僅僅通過(guò)示例的方式，并參考附圖描述本發(fā)明較佳實(shí)施例，其中。
[0012]圖1所示為傳統(tǒng)的楔形鍵合機(jī)的鍵合末端。
[0013]圖2a_圖2c所示為根據(jù)本發(fā)明較佳實(shí)施例所述的楔形鍵合機(jī)，其包含有鍵合區(qū)、成像區(qū)和清潔區(qū)。
[0014]圖3所示為圖2楔形鍵合機(jī)的清潔設(shè)備的配置示意圖，其包含有用于清潔楔刀的可旋轉(zhuǎn)的清潔輪。
[0015]圖4a和圖4b所示為圖3用于清潔楔刀的可旋轉(zhuǎn)的清潔輪的不同幾何結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖5所示為圖2楔形鍵合機(jī)的清潔設(shè)備的另一種配置示意圖，其包含有多個(gè)用于清潔楔刀的腔室。
[0017]圖6a和圖6b所不為圖2楔形鍵合機(jī)的成像設(shè)備,其包含有攝像機(jī)和分光器。
[0018]圖7a_圖7b所示為圖2楔形鍵合機(jī)的楔刀在清潔以前由圖6a_圖6b的成像設(shè)備捕獲時(shí)的各個(gè)側(cè)視和仰視示意圖，而圖7c-圖7d所示為圖2楔形鍵合機(jī)的楔刀在清潔以后由圖6a-圖6b的成像設(shè)備捕獲時(shí)的各個(gè)側(cè)視和仰視示意圖。
[0019]圖8a-圖8d所示為圖2楔形鍵合機(jī)的鍵合末端，其具體包含有用于在楔刀清潔以前從鍵合末端移離導(dǎo)線和在楔刀清潔以后引導(dǎo)新導(dǎo)線進(jìn)入鍵合末端的導(dǎo)線進(jìn)給機(jī)構(gòu)；以及。
[0020]圖9所示為表明由圖2的楔形鍵合機(jī)所完成的楔刀清潔處理的流程示意圖?！揪唧w實(shí)施方式】
[0021]圖2a-圖2c所示為楔形鍵合機(jī)200的平面示意圖，其表明有定位設(shè)備(所示為XY平臺(tái)202)和安裝至XY平臺(tái)202的鍵合末端(bond tip) 204。鍵合末端204類(lèi)似于圖1中所示的鍵合末端，其包含有:i)導(dǎo)線引導(dǎo)體，其用于從線圈(wire spool)處引導(dǎo)導(dǎo)線通過(guò)鍵合末端204 ;ii)楔刀，其具有鍵合部(bonding portion)，用于在鍵合過(guò)程中抵靠于半導(dǎo)體晶粒的鍵合盤(pán)和襯底的鍵合盤(pán)壓擠導(dǎo)線的局部；以及iii)導(dǎo)線切刀，其用于切割導(dǎo)線以在半導(dǎo)體晶粒和襯底之間形成電氣互連之后將導(dǎo)線從線圈處分離。
[0022]另外，楔形鍵合機(jī)200包含有:i)鍵合區(qū)206，用于執(zhí)行鍵合操作時(shí)支撐襯底(如引線框)；ii)成像區(qū)208，用于檢查楔刀；以及iii)清潔區(qū)210，用于清潔楔刀。
[0023]具體地，XY平臺(tái)202的驅(qū)動(dòng)通過(guò)移動(dòng)控制器和包括線性馬達(dá)的馬達(dá)系統(tǒng)而得以被控制。圖2a表示了通過(guò)XY平臺(tái)202相對(duì)于鍵合區(qū)206和在鍵合區(qū)206的上方定位設(shè)置的鍵合末端204。特別是，XY平臺(tái)202驅(qū)動(dòng)鍵合末端204以從位于鍵合區(qū)206的左側(cè)的初始位置沿著X方向向右移動(dòng)而鍵合一行安裝在襯底上的半導(dǎo)體晶粒。其后，在將安裝在襯底上的另一行半導(dǎo)體晶粒鍵合以前，在XY平臺(tái)202驅(qū)動(dòng)鍵合末端204沿著X方向向左以重新定位鍵合末端204回復(fù)至其初始位置的同時(shí)，將襯底沿著Y方向向上步進(jìn)定位。圖2b表示了鍵合末端204被驅(qū)動(dòng)以通過(guò)XY平臺(tái)202沿著X方向向右相對(duì)于成像區(qū)208移動(dòng)至一位于成像區(qū)208的上方的位置，而圖2c表示了鍵合末端204被驅(qū)動(dòng)以通過(guò)XY平臺(tái)202沿著Y方向相對(duì)于清潔區(qū)210和在清潔區(qū)210的上方向下移動(dòng)。
[0024]圖3表明了具有導(dǎo)線引導(dǎo)體302、楔刀304、導(dǎo)線切刀306和楔形鍵合機(jī)200的清潔區(qū)210的清潔設(shè)備307的鍵合末端204，該清潔設(shè)備307使用干式方法清潔楔刀304。清潔區(qū)210的這個(gè)清潔設(shè)備307包含有:i)馬達(dá)308，ii)和該馬達(dá)308相藕接的可旋轉(zhuǎn)的清潔輪(所示為可旋轉(zhuǎn)的研磨輪310)。該馬達(dá)通過(guò)移動(dòng)控制器控制，以被控制的速度驅(qū)動(dòng)研磨輪310抵靠于楔刀304的鍵合部312上，以從那里機(jī)械地去除殘?jiān)?如鋁殘?jiān)?。
[0025]可選地，研磨輪310的幾何構(gòu)造可以根據(jù)楔刀304的鍵合部312的相應(yīng)的幾何構(gòu)造而變化。
[0026]例如，圖4a所示為具有扁平端的鍵合部402的楔刀400的配置，其用于在鍵合過(guò)程中抵靠于半導(dǎo)體晶粒或襯底壓擠扁平導(dǎo)線。針對(duì)這種配置形式的楔刀400，當(dāng)在垂直于其旋轉(zhuǎn)軸線或其主要表面的方向上觀察時(shí)，研磨輪310相應(yīng)的的幾何構(gòu)造可以包含有相應(yīng)的扁平端。另一方面，圖4b所示為具有包括V型凹槽406的鍵合末端的楔刀404的配置，該V型凹槽4用于在鍵合過(guò)程中至少部分地容納和抵靠于半導(dǎo)體晶粒或襯底壓擠圓導(dǎo)線。在楔刀404的這個(gè)實(shí)施例中，當(dāng)在垂直于其旋轉(zhuǎn)軸線或其主要表面的方向上觀察時(shí)，研磨輪310相應(yīng)的的幾何構(gòu)造可以包含有錐形端部(tapered ends)。
[0027]當(dāng)然，值得注意的是，研磨輪310其它的的幾何構(gòu)造也是可能來(lái)匹配于楔刀404相應(yīng)的幾何構(gòu)造，以用于清潔的目的。例如，為了清潔楔刀的鍵合末端的相應(yīng)的U型凹槽，當(dāng)在垂直于其旋轉(zhuǎn)軸線或其主要表面的方向上觀察時(shí)，研磨輪310可以包含有梯形端部(trapezoidal ends)。
[0028]除了如上所述的用于清潔楔刀304的干式方法以外，在楔形鍵合機(jī)200的清潔區(qū)210，楔刀304還可以使用濕式方法而被清潔。
[0029]圖5所示為根據(jù)濕式方法的清潔區(qū)210的一種配置500的示意圖，這種配置500包含有3個(gè)腔室502、504、506:i)第一腔室502，用于儲(chǔ)存去除殘?jiān)?如鋁殘?jiān)?的清潔溶液503 (如NaOH溶液)；ii)第二腔室504，用于儲(chǔ)存漂洗溶液505 (如水H2O);以及iii)第三腔室506，用于容納干燥器508進(jìn)行干燥。具體地，在將楔刀304的鍵合部312浸入在清潔溶液503中以從楔刀304處去除殘?jiān)郧?，楔形鍵合機(jī)200的XY平臺(tái)202首先相對(duì)于和在清潔區(qū)210的第一腔室502上方定位鍵合末端204。在將楔刀304的鍵合部312已經(jīng)浸入在清潔溶液503中一段充分的時(shí)間以后，在將其浸沒(méi)在漂洗溶液505中另一段所需的時(shí)間以從楔刀304處去除清潔溶液503以前，楔形鍵合機(jī)200的XY平臺(tái)202從清潔溶液503中撤出楔刀304。然后，在將楔刀304移動(dòng)進(jìn)入第三腔室506將其進(jìn)行干燥以前，楔形鍵合機(jī)200的XY平臺(tái)202從漂洗溶液505中撤出楔刀304。這樣完成了基于濕式方法的楔刀清潔處理。
[0030]較合適地,第一腔室和第二腔室502、504是足夠深以便于儲(chǔ)存各自的清潔溶液503和漂洗溶液505，而避免操作過(guò)程中楔形鍵合機(jī)200內(nèi)的濺出(spillage)。
[0031 ] 圖6a和圖6b表明了楔形鍵合機(jī)200的成像區(qū)208，其包含有用于捕獲楔刀304的鍵合部312的圖像的成像設(shè)備。具體而言，該成像設(shè)備包含有攝像機(jī)600和分光器602，該攝像機(jī)600相對(duì)于分光器602設(shè)置以捕獲楔刀304的各個(gè)圖像。當(dāng)在分光器602上方楔刀304垂直于攝像機(jī)600的視野分界線(line-of-view)604設(shè)置時(shí)，如圖6a所示，分光器602允許攝像機(jī)600捕獲楔刀鍵合部312的基座的圖像。當(dāng)楔刀304沿著攝像機(jī)600的視野分界線604校正定位以便于分光器602設(shè)置在攝像機(jī)600和楔刀鍵合部312之間時(shí)，如圖6b所示，分光器602允許攝像機(jī)600捕獲楔刀鍵合部312側(cè)面的圖像。
[0032]圖7a和圖7b表明楔刀304的鍵合部312在清潔以前由成像設(shè)備捕獲時(shí)的側(cè)面和底面圖像的示例圖像?？梢钥闯觯谥貜?fù)的鍵合操作(如3000次鍵合周期)之后，殘?jiān)?如鋁殘?jiān)?701積累在楔刀鍵合部312的內(nèi)壁。而圖7c和圖7d表明楔刀304的鍵合部312在清潔以后的側(cè)面和底面圖像的示例圖像?？梢钥闯?，以前積累在楔刀鍵合部312的內(nèi)壁處的殘?jiān)?如鋁殘?jiān)?701已經(jīng)被去除。
[0033]圖8a-圖8d所示為楔形鍵合機(jī)200的鍵合末端204，其另外包含有用于在楔刀清潔處理開(kāi)始以前從鍵合末端204移離導(dǎo)線802和在楔刀清潔處理結(jié)束以后引導(dǎo)新導(dǎo)線804進(jìn)入鍵合末端204的導(dǎo)線進(jìn)給機(jī)構(gòu)800。該導(dǎo)線進(jìn)給機(jī)構(gòu)800可以包括用于導(dǎo)線移除和導(dǎo)線重新穿入處理的一系列摩擦輪或?qū)Ь€夾具。
[0034]具體地，圖8a和圖8b表明了由導(dǎo)線進(jìn)給機(jī)構(gòu)800從楔刀鍵合部312推離的導(dǎo)線802的扭曲部801，以便于將導(dǎo)線802從楔刀鍵合部312的凹槽處去除。其后，導(dǎo)線進(jìn)給機(jī)構(gòu)800從鍵合末端204處收回導(dǎo)線802，以將導(dǎo)線802從那里移離。
[0035]圖8c和圖8d表明了新導(dǎo)線804被重新穿入通過(guò)鍵合末端204直到導(dǎo)線804從導(dǎo)線引導(dǎo)體302處饋伸凸出。其后，在虛擬鍵合(dummy-bonding)處理過(guò)程中，鍵合末端204向下和向后移動(dòng)(如箭頭806所示)，以便于楔刀304將新導(dǎo)線804推靠在虛擬鍵合點(diǎn)剝離板(dummy bond-off plate) 802上。接著虛擬鍵合處理過(guò)程,新導(dǎo)線804然后被楔刀鍵合部312牢牢地捕獲，從而楔形鍵合機(jī)200能夠繼續(xù)其鍵合操作。
[0036]圖9所示為表明由楔形鍵合機(jī)200上的楔刀清潔處理的流程示意圖900。
[0037]該流程示意圖900首先從楔刀鍵合的步驟902開(kāi)始，接著是鍵合計(jì)數(shù)器遞增I的步驟904。持續(xù)重復(fù)楔刀鍵合的步驟902和鍵合計(jì)數(shù)器遞增的步驟904，直到鍵合計(jì)數(shù)器完全符合計(jì)數(shù)數(shù)目(如3000)以觸發(fā)楔刀304的清潔。楔刀鍵合機(jī)200然后切換至“預(yù)清潔”模式。
[0038]在這個(gè)預(yù)清潔模式期間，楔刀鍵合機(jī)200完成將導(dǎo)線從鍵合末端204移離的步驟906。鍵合末端204的導(dǎo)線進(jìn)給機(jī)構(gòu)800驅(qū)動(dòng)來(lái)將導(dǎo)線從鍵合末端204移離。具體地，導(dǎo)線的扭曲部從楔刀304的楔刀鍵合部312處被推離，以便于導(dǎo)線802自楔刀鍵合部312的凹槽處去除。然后，導(dǎo)線進(jìn)給機(jī)構(gòu)800從鍵合末端204處收回導(dǎo)線以從那里將導(dǎo)線移離。
[0039]將導(dǎo)線從鍵合末端204移離的步驟906之后，楔形鍵合機(jī)200其后完成檢查楔刀鍵合部312的步驟908，在該步驟中楔刀304被移動(dòng)至成像區(qū)208。此后，楔形鍵合機(jī)200完成清潔楔刀鍵合部312的步驟910，在該步驟中楔刀304被移動(dòng)至清潔區(qū)210。接著，楔形鍵合機(jī)200切換進(jìn)入“后清潔”模式。
[0040]在這個(gè)后清潔模式期間，楔形鍵合機(jī)200再次完成檢查楔刀鍵合部312的步驟912，在該步驟中楔刀被移動(dòng)至成像區(qū)208。此后，在楔形鍵合機(jī)200繼續(xù)其鍵合操作以前，楔形鍵合機(jī)200完成重新穿引新導(dǎo)線通過(guò)鍵合末端204的步驟914。
[0041]這樣完成了楔形鍵合機(jī)200的楔刀清潔處理的重復(fù)。楔刀清潔處理的這種重復(fù)可以或者自動(dòng)地或者手動(dòng)地完成。事實(shí)上，楔刀清潔處理的任一或者所有步驟可以或者自動(dòng)地或者手動(dòng)地完成。
[0042]可以選擇地，成像設(shè)備可以提供反饋以用于楔刀清潔處理。例如，如果在預(yù)清潔模式期間從由成像設(shè)備所捕獲的楔刀鍵合部312的樣本圖像處沒(méi)有檢測(cè)出殘?jiān)?，那么楔形鍵合機(jī)可以略過(guò)楔刀清潔處理以繼續(xù)其鍵合操作。類(lèi)似地，如果在楔刀清潔處理之后從由成像設(shè)備所捕獲的楔刀鍵合部312的樣本圖像處檢測(cè)出一些殘?jiān)敲葱ㄐ捂I合機(jī)可以操作以相對(duì)于清潔區(qū)210重新定位楔刀304而進(jìn)行下一輪清潔。否則如果楔刀鍵合部312的樣本圖像顯示楔刀304已經(jīng)被充分地清潔，那么然后楔形鍵合機(jī)200在繼續(xù)其鍵合操作以前完成重新穿引導(dǎo)線的步驟914。
[0043]由于沒(méi)有必要從鍵合末端204處拆卸楔刀304進(jìn)行清潔和在清潔之后將拆卸后的楔刀304重新安裝回鍵合末端204，所以楔刀清潔處理有益地減少了維護(hù)時(shí)間和對(duì)熟練技術(shù)人員建立設(shè)置任務(wù)如超聲波換能器的重新校正和鍵合末端204的精確部件調(diào)整的依賴(lài)性。而且，通過(guò)自動(dòng)進(jìn)行楔刀清潔處理，適當(dāng)?shù)男ǖ肚鍧嵸|(zhì)量能夠在不進(jìn)行人工干預(yù)的情形下得以被期待。
[0044]值得注意的是，在不離開(kāi)本發(fā)明宗旨的情形下，本發(fā)明的其他實(shí)施例能夠被設(shè)計(jì)出。例如，雖然描述了成像區(qū)208和清潔區(qū)210分別包含有成像設(shè)備和清潔設(shè)備，可以設(shè)想:這些設(shè)備不需要永恒地設(shè)置在它們各自的成像區(qū)208和清潔區(qū)210處。相反，這些設(shè)備中的每一個(gè)能夠被驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)進(jìn)入它們各自的成像區(qū)208和清潔區(qū)210以完成必要的操作。而且，成像區(qū)208和相應(yīng)的成像設(shè)備是可選的，從而可以被省略。
【權(quán)利要求】
1.一種楔形鍵合機(jī)，該楔形鍵合機(jī)包含有: 楔刀，其用于將導(dǎo)線鍵合至表面上以在表面間形成電氣互連； 清潔設(shè)備，其被操作來(lái)清潔楔刀；和 定位設(shè)備，其上裝配有楔刀，該定位設(shè)備被操作來(lái)移動(dòng)楔刀至清潔設(shè)備以進(jìn)行清潔。
2.如權(quán)利要求1所述的楔形鍵合機(jī)，其中，該清潔設(shè)備被操作來(lái)自動(dòng)地清潔楔刀。
3.如權(quán)利要求1所述的楔形鍵合機(jī)，其中，該清潔設(shè)備包含有可旋轉(zhuǎn)的清潔輪，以用于清潔楔刀的鍵合部。
4.如權(quán)利要求3所述的楔形鍵合機(jī)，其中，該楔刀包含有凹槽，以用于在鍵合期間容置導(dǎo)線和將導(dǎo)線抵靠在表面上，該可旋轉(zhuǎn)的清潔輪包含有當(dāng)在垂直于該可旋轉(zhuǎn)的清潔輪的主要表面的方向上觀察時(shí)的錐形端部。
5.如權(quán)利要求3所述的楔形鍵合機(jī)，其中，該楔刀包含有扁平端部，以用于在鍵合期間將導(dǎo)線抵靠在表面上，而可旋轉(zhuǎn)的清潔輪包含有相應(yīng)的當(dāng)在垂直于該可旋轉(zhuǎn)的清潔輪的主要表面的方向上觀察時(shí)的扁平端部。
6.如權(quán)利要求1所述的楔形鍵合機(jī)，其中，該清潔設(shè)備包含有清潔腔室，以用于儲(chǔ)存清潔溶液，該定位設(shè)備被操作來(lái)移動(dòng)楔刀以將楔刀的鍵合部浸入在該清潔溶液中。
7.如權(quán)利要求6所述的楔形鍵合機(jī)，其中，該清潔設(shè)備包含有漂洗腔室，以用于儲(chǔ)存漂洗溶液，該定位設(shè)備被操作來(lái)移動(dòng)楔刀以將楔刀的鍵合部浸入在該漂洗溶液中。
8.如權(quán)利要求7所述的楔形鍵合機(jī)，其中，該清潔設(shè)備包含有干燥器，以用于干燥楔刀的鍵合部，而該定位設(shè)備被操作來(lái)相對(duì)于干燥器移動(dòng)楔刀以干燥楔刀的鍵合部。`
9.如權(quán)利要求1所述的楔形鍵合機(jī)，該楔形鍵合機(jī)還包含有成像設(shè)備，其被操作來(lái)捕獲楔刀的鍵合部的圖像。
10.如權(quán)利要求9所述的楔形鍵合機(jī)，其中，該成像設(shè)備包括攝像機(jī)和分光器。
11.如權(quán)利要求10所述的楔形鍵合機(jī)，其中，該定位設(shè)備被操作來(lái)相對(duì)于分光器移動(dòng)楔刀至用于允許攝像機(jī)捕獲楔刀的鍵合部的的底面視圖的第一位置和用于允許攝像機(jī)捕獲楔刀的鍵合部的的側(cè)面視圖的第二位置。
12.如權(quán)利要求11所述的楔形鍵合機(jī)，其中，位于第一位置的楔刀的鍵合部被設(shè)置在分光器的上方并垂直于攝像機(jī)的視野分界線，以允許攝像機(jī)捕獲楔刀的鍵合部的的底面視圖。
13.如權(quán)利要求11所述的楔形鍵合機(jī)，其中，位于第二位置的楔刀的鍵合部沿著攝像機(jī)的視野分界線如此對(duì)齊定位，以便于分光器設(shè)置在攝像機(jī)和楔刀的鍵合部之間，而允許攝像機(jī)捕獲楔刀的鍵合部的側(cè)面圖像。
14.如權(quán)利要求1所述的楔形鍵合機(jī)，該楔形鍵合機(jī)還包含有導(dǎo)線進(jìn)給機(jī)構(gòu)，以用于從楔刀處移離導(dǎo)線。
15.如權(quán)利要求14所述的楔形鍵合機(jī)，其中，導(dǎo)線進(jìn)給機(jī)構(gòu)被操作來(lái)將新導(dǎo)線引入至楔刀。
16.一種清潔楔形鍵合機(jī)的楔刀的方法，該楔刀用于將導(dǎo)線鍵合至表面上以在表面間形成電氣互連，該楔形鍵合機(jī)還包含有用于清潔楔刀的清潔設(shè)備，該方法包含有以下步驟: 相對(duì)于清潔設(shè)備移動(dòng)楔刀至一位置處；使用清潔設(shè)備清潔楔刀。
17.如權(quán)利要求16所述的方法，其中，使用清潔設(shè)備清潔楔刀的步驟是自動(dòng)完成的。
18.如權(quán)利要求16所述的方法，其中，該楔形鍵合機(jī)還進(jìn)一步包含有分光器和攝像機(jī)，該攝像機(jī)被操作來(lái)捕獲楔刀的鍵合部的圖像，該方法還進(jìn)一步包含有以下步驟: 相對(duì)于分光器將楔刀定位在第一位置，以捕獲楔刀的鍵合部的底面視圖； 相對(duì)于分光器將楔刀定位在第二位置，以捕獲楔刀的鍵合部的側(cè)面視圖。
19.如權(quán)利要求18所述的方法，其中，相對(duì)于分光器將楔刀定位在第一位置的步驟包括:將楔刀的鍵合部定位設(shè)置在分光器的上方并垂直于攝像機(jī)的視野分界線，以允許攝像機(jī)捕獲楔刀的鍵合部的底面圖像。
20.如權(quán)利要求18所述的方法，其中，相對(duì)于分光器將楔刀定位在第二位置的步驟包括:將楔刀的鍵合部沿著攝像機(jī)的視野分界線如此對(duì)齊定位，以便于分光器設(shè)置在攝像機(jī)和楔刀的鍵合部之間，而允許攝像機(jī)`捕獲楔刀的鍵合部的側(cè)面圖像。
【文檔編號(hào)】H01L21/607GK103515262SQ201310249926
【公開(kāi)日】2014年1月15日 申請(qǐng)日期:2013年6月21日 優(yōu)先權(quán)日:2012年6月26日
【發(fā)明者】鄭志華, 梅文杰 申請(qǐng)人:先進(jìn)科技新加坡有限公司