基板保持環(huán)固持機構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種即便外周端部存在翹曲的基板保持環(huán)，也可保持著水平姿勢進行固持、搬送的基板保持環(huán)的固持機構(gòu)。本發(fā)明是固持基板保持環(huán)的固持機構(gòu)，該基板保持環(huán)為環(huán)狀且平板狀的環(huán)，且鋪設(shè)有黏著保持基板的黏著片，該基板保持環(huán)的固持機構(gòu)包含：支撐器件，從下方支撐基板保持環(huán)；及壓固器件，從上方壓固基板保持環(huán)；通過支撐器件支撐基板保持環(huán)的相對外周側(cè)，且壓固器件壓固基板保持環(huán)的相對內(nèi)周側(cè)，而在支撐器件形成的支撐區(qū)域與壓固器件形成的壓固區(qū)域在水平方向上錯開的狀態(tài)下固持基板保持環(huán)。
【專利說明】基板保持環(huán)固持機構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種搬送作為環(huán)狀且平板狀的環(huán)且鋪設(shè)有黏著保持基板的黏著片的基板保持環(huán)時，固持基板保持環(huán)的固持機構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]制造半導(dǎo)體元件等電子裝置、或發(fā)光元件、受光元件等光學(xué)裝置之類的裝置的制程通常包含將經(jīng)實施成膜處理等的基板(母基板)分割為多個胚片的步驟。在該分割步驟中，通常，作為成為分割對象的基板的保持部件，準(zhǔn)備在環(huán)狀且平板狀的環(huán)上鋪設(shè)有黏著片的金屬制基板保持環(huán)(也稱為晶片環(huán)(wafer ring)、切片環(huán)(dicing ring)等)，且將該黏著片上貼附有基板的狀態(tài)的基板保持環(huán)搬送至進行分割的裝置。
[0003]已眾所周知如下的方式:將這種基板保持環(huán)預(yù)先多段地收容在稱為匣盒(magazine)等的收容體中,在對基板進行預(yù)期的處理時,利用規(guī)定的搬送機構(gòu)搬出，以及處理結(jié)束后，利用該搬送機構(gòu)將晶片環(huán)收容到收容體中(例如參照專利文獻I及專利文獻2)。
[0004]這種搬送機構(gòu)對基板保持環(huán)的搬送通常是通過搬送機構(gòu)中配備的固持器件從一側(cè)方固持處于水平姿勢的基板保持環(huán)的外周端部，且保持著該水平姿勢，搬送機構(gòu)進行移動而實施。例如，專利文獻I中的夾具(clamp)工作部相當(dāng)于固持器件，專利文獻2中的夾持器(gripper)相當(dāng)于固持器件。
[0005][現(xiàn)有技術(shù)文獻]
[0006][專利文獻]
[0007][專利文獻I]日本專利特開2005-310976號公報
[0008][專利文獻2]日本專利特開2010-28064號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009][發(fā)明要解決的問題]
[0010]基板保持環(huán)通常反復(fù)用于不同基板的分割。因此，較理想為保持著不存在翹曲的均勻平坦?fàn)顟B(tài)持續(xù)使用。然而，實際上，存在反復(fù)使用之中，或者因進行黏著片的更換貼附，而在基板保持環(huán)產(chǎn)生翹曲的情況。該翹曲通常是以貼附有黏著片的一側(cè)的面凸起的方式產(chǎn)生。換句話說，當(dāng)以黏著片成為下側(cè)的方式將基板保持環(huán)保持為水平姿勢時，成為越朝向外周端部越向上方翹曲的狀態(tài)。
[0011]在不存在翹曲的均勻平坦的基板保持環(huán)的情況下，即使搬送機構(gòu)的固持器件從一側(cè)方固持處于水平姿勢的基板保持環(huán)的外周端部，基板保持環(huán)也保持水平姿勢。與此相對，在同樣地固持作為整體處于水平姿勢但存在如上所述那樣翹曲的基板保持環(huán)的外周端部時，基板保持環(huán)成為由固持器件固持的部分成為水平，但越朝向與該固持部分為相反側(cè)的外周端部越從水平位置上升的姿勢。
[0012]如果搬送機構(gòu)在與收容體之間搬入或搬出處于這種姿勢的基板保持環(huán)，那么基板保持環(huán)將碰撞到收容體的收容口附近，或者基板保持環(huán)將接觸收容體的內(nèi)部等，從而可能產(chǎn)生導(dǎo)致基板保持環(huán)進一步變形等不良情況。
[0013]此外，也考慮通過使收容體的收容口的尺寸或收容部的間隔變大而消除該不良情況的方案，但在此方案下，會使收容體的每一單位體積中的基板保持環(huán)的收容個數(shù)(基板的收容片數(shù))變小，導(dǎo)致制造成本增大，因此不現(xiàn)實。從制造成本的方面來說，反而期望一方面容許某種程度范圍內(nèi)的翹曲，一方面使收容體的每一單位體積中的基板保持環(huán)的收容個數(shù)盡可能地增多。
[0014]在專利文獻I及專利文獻2中，對于這種具有翹曲的基板保持環(huán)的處理，并無任何揭示或啟示。
[0015]本發(fā)明是鑒于所述課題而完成，其目的在于提供一種不僅均勻平坦的基板保持環(huán)，而且外周端部存在翹曲的基板保持環(huán)，均可保持著水平姿勢進行固持、搬送的基板保持環(huán)的固持機構(gòu)。
[0016][解決問題的技術(shù)手段]
[0017]為解決所述問題，技術(shù)方案I的發(fā)明特征在于:其是固持基板保持環(huán)的固持機構(gòu)，所述基板保持環(huán)為環(huán)狀且平板狀的環(huán)，且鋪設(shè)有黏著保持基板的黏著片，所述基板保持環(huán)固持機構(gòu)包含:支撐器件，從下方支撐所述基板保持環(huán)；及壓固器件，從上方壓固所述基板保持環(huán)；且通過所述支撐器件支撐所述基板保持環(huán)的相對外周側(cè)，所述壓固器件壓固所述基板保持環(huán)的相對內(nèi)周側(cè)，而在所述支撐器件形成的支撐區(qū)域與所述壓固器件形成的壓固區(qū)域水平方向地錯開的狀態(tài)下，固持所述基板保持環(huán)。
[0018]技術(shù)方案2的發(fā)明是根據(jù)技術(shù)方案I所述的固持機構(gòu)，其特征在于:所述支撐器件包含:平坦的支撐部，具有與所述基板保持環(huán)的形狀相應(yīng)的大致弓形的形狀，且支撐所述基板保持環(huán)的下表面；及抵接部，從側(cè)方抵接于所述基板保持環(huán)的所述外周端部；且所述壓固器件是對于由所述支撐器件樞轉(zhuǎn)支承的規(guī)定的轉(zhuǎn)動軸可轉(zhuǎn)動地設(shè)置，通過在所述基板保持環(huán)一面抵接于所述抵接部一面由所述支撐部支撐的狀態(tài)下，所述壓固器件從上方對所述基板保持環(huán)施力，而固持所述基板保持環(huán)。
[0019]技術(shù)方案3的發(fā)明是根據(jù)技術(shù)方案2所述的固持機構(gòu)，其特征在于:所述壓固器件包含:柱部，供插嵌所述轉(zhuǎn)動軸；平板部，對于所述柱部傾斜地設(shè)置，及壓固爪，從所述平板部延伸，且于固持所述基板保持環(huán)時壓固所述基板環(huán)；且當(dāng)所述柱部處于大致垂直姿勢時，成為固持所述基板保持環(huán)的固持姿勢。
[0020]技術(shù)方案4的發(fā)明是根據(jù)技術(shù)方案I至3中任一項所述的固持機構(gòu)，其特征在于:所述支撐區(qū)域與所述壓固區(qū)域在水平方向上不具有重疊。
[0021][發(fā)明的效果]
[0022]根據(jù)技術(shù)方案I至技術(shù)方案4的發(fā)明，即使對以往難以用水平姿勢進行搬送的存在翹曲的基板保持環(huán)，也能夠以水平姿勢進行固持并搬送。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0023]圖1是表示本實施方式的基板保持環(huán)固持機構(gòu)100固持基板保持環(huán)I的情況的立體圖。
[0024]圖2 (a)、(b)是表示將基板保持環(huán)I收容在卡匣(cassette) 3前后的情況的圖。
[0025]圖3是活動部20的立體圖。[0026]圖4是固持基板保持環(huán)I的狀態(tài)的基板保持環(huán)固持機構(gòu)100的側(cè)視圖。
[0027]圖5是圖2的A-A截面的剖視圖。
[0028]圖6是圖5所示的部分E的放大圖。
[0029]圖7是保持基板保持環(huán)I的狀態(tài)的基板保持環(huán)固持機構(gòu)1000的俯視圖。 [0030]圖8是圖7的B-B截面的剖視圖。
[0031]圖9(a)、(b)是例示外周部分成為翹曲部分If的基板保持環(huán)I的圖。
[0032]圖10是基板保持環(huán)固持機構(gòu)100固持存在翹曲的基板保持環(huán)I時通過壓固爪23的位置處的垂直剖視圖。
[0033]圖11是以往的基板保持環(huán)固持機構(gòu)1000固持存在翹曲的基板保持環(huán)I時通過壓固爪1023的位置處的垂直剖視圖。
[0034][符號的說明]
[0035]I基板保持環(huán)
[0036]Ia(基板保持環(huán)的)本體
[0037]Ib黏著片
[0038]Ic(基板保持環(huán)的)內(nèi)周端
[0039]Id基板保持區(qū)域
[0040]Ie(基板保持環(huán)的)外周端
[0041]If(基板保持環(huán)的)翹曲部分
[0042]3卡匣
[0043]3a(卡匣的)開口部
[0044]3b(卡匣的)載置部
[0045]10基部
[0046]11支撐部
[0047]Ila(支撐部的)上表面
[0048]Ilb(支撐部的)弓形狀端部
[0049]12抵接部
[0050]13軸承[0051 ]20 活動部
[0052]21平板部
[0053]22柱部
[0054]22a貫通孔
[0055]22b轉(zhuǎn)動軸
[0056]22c突起部
[0057]23、1023 壓固爪
[0058]23a前端部
[0059]100、1000 基板保持環(huán)固持機構(gòu)
[0060]REl支撐區(qū)域
[0061]RE2壓固區(qū)域【具體實施方式】
[0062]<基板保持環(huán)固持機構(gòu)100的概略>
[0063]圖1是表示本實施方式的基板保持環(huán)固持機構(gòu)100固持基板保持環(huán)I的情況的立體圖。
[0064]基板保持環(huán)I系包含呈環(huán)狀且平板狀的金屬制環(huán)即本體la、及黏著片lb。基板保持環(huán)I也稱為晶片環(huán)、切片環(huán)等。更詳細(xì)來說，黏著片Ib是以其黏著面在由本體Ia的內(nèi)周端Ic包圍的圓形區(qū)域露出，成為平坦的基板保持區(qū)域Id的方式，鋪設(shè)貼附于本體Ia的背面。
[0065]基板保持環(huán)固持機構(gòu)100概略地說是以水平姿勢固持基板保持環(huán)I的機構(gòu)。此外，基板保持環(huán)固持機構(gòu)100形成搬送基板保持環(huán)I的未圖示的搬送機構(gòu)的一部分。即，通過在以水平姿勢固持基板保持環(huán)I的狀態(tài)下，利用未圖示的驅(qū)動器件驅(qū)動該搬送機構(gòu)，而搬送基板保持環(huán)I。
[0066]圖2是為了例示基板保持環(huán)I的搬送的一方式而表示將基板保持環(huán)I收容在卡匣3的前后情況的圖。此外，在圖2中例示搬送未保持基板的基板保持環(huán)I的情況，但基板保持環(huán)I的搬送方式無論是否保持基板均相同。圖2(a)是表示利用基板保持環(huán)固持機構(gòu)100將基板保持環(huán)I收容在卡匣3的情況的俯視圖。圖2(b)是表示在卡匣3中收容有基板保持環(huán)I的狀態(tài)的剖視圖。在圖2中，標(biāo)注有以基板保持環(huán)I的收容方向為X軸正方向的右手系的xyz座標(biāo)(圖4及圖5中均為相同)。
[0067]由基板保持環(huán)固持機構(gòu)100固持的基板保持環(huán)I是以水平姿勢進行搬送，且在圖2(a)中如箭頭ARl所示，收容在卡匣3中?？ㄏ?通常水平方向的一端側(cè)成為開口部3a。而且，如圖2(b)所示，在卡匣3中，多段地設(shè)置有圖2(a)中省略圖示的載置部3b。
[0068]包含固持基板保持環(huán)I的基板保持環(huán)固持機構(gòu)100的搬送機構(gòu)是結(jié)合正要收容基板保持環(huán)I的載置部3b的高度，進入卡匣3內(nèi)，并在與各個載置部3b之間進行基板保持環(huán)I的交接，由此，將基板保持環(huán)I收容到卡匣3中。
[0069]相反地，使包含未固持基板保持環(huán)I的狀態(tài)的基板保持環(huán)固持機構(gòu)100的搬送機構(gòu)進入卡匣3中，使載置在載置部3b上的基板保持環(huán)I由基板保持環(huán)固持機構(gòu)100固持后，向卡匣3外退離，由此可自卡匣3搬出基板保持環(huán)I。
[0070]<基板保持環(huán)固持機構(gòu)100的詳細(xì)構(gòu)成>
[0071]進而，對基板保持環(huán)固持機構(gòu)100的構(gòu)成更詳細(xì)地進行說明。
[0072]如圖1及圖2(a)所示，基板保持環(huán)固持機構(gòu)100主要包含:基部10，從下方支撐基板保持環(huán)I且與搬送機構(gòu)連續(xù)；及活動部20，相對于基部10可轉(zhuǎn)動地設(shè)置。優(yōu)選基部10與活動部20均為金屬制。
[0073]圖3是活動部20的立體圖。另外，圖4是固持基板保持環(huán)I的狀態(tài)的基板保持環(huán)固持機構(gòu)100的側(cè)視圖。
[0074]基部10包含:平坦的支撐部11，于固持時從背面?zhèn)戎位灞３汁h(huán)I ;及至少I個抵接部12，供受到支撐部11支撐的基板保持環(huán)I的側(cè)部(更具體來說為基板保持環(huán)I的外周端Ie)進行抵接。
[0075]支撐部11于平面圖中具有沿著基板保持環(huán)I的大致圓形的形狀的大致弓形的形狀。抵接部12是作為從支撐部11垂直地(z軸正方向)突出的突出部設(shè)置而成，且發(fā)揮作為固持時決定基板保持環(huán)I的水平面內(nèi)的位置的定位部件的作用。抵接部12是設(shè)置在與基板保持環(huán)I的外周端Ie的形狀相應(yīng)的位置上。
[0076]此外，在本實施方式中，例示有平面視圖呈現(xiàn)圓形的4個抵接部12沿著支撐部11的形狀，相互分開地配備的方式，但此方式并非必需的方式，只要可較佳地抵接固定基板保持環(huán)1，則也可采用使用形狀、配置及個數(shù)不同的支撐部11及抵接部12的方式。
[0077]活動部20主要包含:包含大致矩形的厚板的部位的平板部21、從平板部21的背面?zhèn)妊由斓拇笾吕庵鶢畈课坏闹?2 ;以及分別從平板部21的水平方向的2個端部起以略微傾斜地延伸的2個壓固爪23。如圖2(a)等所示，平板部21與壓固爪23作為整體，呈俯視-字型的形狀。
[0078]壓固爪23是從上方接觸于基板保持環(huán)1，將其壓固，借此在與支撐部11之間固持基板保持環(huán)I的部位。如圖3所示，在活動部20中，實際上在壓固基板保持環(huán)I的壓固爪23的前端部23a實施有防滑加工。
[0079]此外，在本實施方式中，活動部20成為包含2個壓固爪23的構(gòu)成，但此構(gòu)成并非必需的方式。例如，平板部21也可具有均勻的直線狀的端部，且該端部整體成為壓固部，壓固基板保持環(huán)I?；蛘?，活動部20也可包含I個或3個以上的壓固爪23。
[0080]柱部22在前端部(最遠離平板部21的位置)具有圓筒形的貫通孔22a。貫通孔22a是與2個壓固爪23分離的方向平行地設(shè)置而成。如圖4所示，在該貫通孔22a中插嵌有大致圓柱狀的部件即轉(zhuǎn)動軸22b。該轉(zhuǎn)動軸22b在前端具有圓柱狀的突起部22c，且該突起部22c受到配備于基部10背面?zhèn)鹊妮S承13樞轉(zhuǎn)支承。由此，活動部20以可圍繞轉(zhuǎn)動軸22b轉(zhuǎn)動的狀態(tài)與基部10成為一體。
[0081]在基板保持環(huán)固持機構(gòu)100中，在使支撐部11的上表面Ila成為水平的狀態(tài)下，使活動部20圍繞轉(zhuǎn)動軸22b適當(dāng)?shù)剞D(zhuǎn)動，由此，使活動部20的姿勢在與支撐部11之間固持基板保持環(huán)I的固持姿勢、與不固持基板保持環(huán)I的(從固持狀態(tài)解放基板保持環(huán)I)非固持姿勢之間自由地切換。此外，即使于支撐部11上實際上并不存在基板保持環(huán)1，如果活動部20的姿勢與固持狀態(tài)時相同，那么也稱為此時的活動部20處于固持姿勢，如果與非固持狀態(tài)時相同，那么也稱為此時的活動部20處于非固持姿勢。
[0082]更詳細(xì)來說，在活動部20中，平板部21、進而壓固爪23相對于柱部22傾斜。而且，在水平地配置的支撐部11的上表面Ila上配置有水平的基板保持環(huán)I的狀態(tài)下，如果柱部22為大致垂直的姿勢，那么活動部20的自重成為賦能力(力矩)，壓固爪23將從上方對基板保持環(huán)I施力，由此，穩(wěn)定地固持基板保持環(huán)I。在該情況下，于固持姿勢下平板部21、進而壓固爪23的厚度或相對于柱部22的傾斜程度是以該賦能力從上方較佳地作用于基板保持環(huán)I的方式?jīng)Q定?；蛘?，也可構(gòu)成為由未圖示的施力器件對活動部20施力，且利用該賦能力在與支撐部11之間固持基板保持環(huán)I。
[0083]無論哪種情況下，在活動部20中，在穩(wěn)定狀態(tài)下賦能力以成為柱部22達到大致垂直姿勢的固持姿勢的方式進行作用，且因受到與該賦能力相反的外力，而從固持姿勢切換為非固持姿勢。具體來說，如果以從平板部21的上方尤其按下其上部側(cè)的方式受到外力，則活動部20圍繞轉(zhuǎn)動軸22b轉(zhuǎn)動，從固持姿勢切換為非固持姿勢，若將該外力解除，則從非固持姿勢恢復(fù)為固持姿勢。此外，活動部20的轉(zhuǎn)動是限制為固持姿勢的情況與外力對平板部21作用使得平板部21的背面與基部10抵接的情況之間。[0084]<支撐部與壓固爪的配置關(guān)系>
[0085]在包含如上構(gòu)成要素的基板保持環(huán)固持機構(gòu)100中，支撐部11與壓固爪23的配置關(guān)系具有特征性。以下，對該方面進行說明。
[0086]圖5是圖2的A-A截面的剖視圖。圖6是圖5所示的部分E的放大圖。
[0087]如圖2(a)、圖5、及圖6所示，基板保持環(huán)固持機構(gòu)100構(gòu)成為在上表面Ila為水平的支撐部11與活動部20之間固持基板保持環(huán)I時，支撐部11的弓形狀端部Ilb相較基板保持環(huán)I的內(nèi)周端Ic位于外側(cè)(外周端Ie附近)，另一方面，活動部20的壓固爪23相較基板保持環(huán)I中由支撐部11支撐的位置抵接于內(nèi)周側(cè)。即，在本實施方式的基板保持環(huán)固持機構(gòu)100中，基板保持環(huán)I的固持是通過支撐部11支撐基板保持環(huán)I的外周側(cè)，且壓固爪23壓固基板保持環(huán)I的內(nèi)周側(cè)而實現(xiàn)。換句話說，基板保持環(huán)I是在支撐部11形成的支撐位置與壓固爪23形成的壓固位置在水平方向上錯開狀的態(tài)下被固持。
[0088]更詳細(xì)來說,如圖6所示,基板保持環(huán)固持機構(gòu)100是構(gòu)成為與基板保持環(huán)I中由支撐部11支撐的支撐區(qū)域REl的中心位置Cl相比，基板保持環(huán)I中受到壓固爪23壓固的壓固區(qū)域RE2的中心位置C2更位于基板保持環(huán)I的內(nèi)周端Ic附近。而且，在圖6所示的情況下，基板保持環(huán)固持機構(gòu)100構(gòu)成為支撐區(qū)域REl與壓固區(qū)域RE2不具有重疊。
[0089]此外,如圖6所示,在基板保持環(huán)固持機構(gòu)100中，當(dāng)處于壓固爪23壓固基板保持環(huán)I的狀態(tài)下時，和壓固爪23相比在基板保持環(huán)I的外周側(cè)，與基板保持環(huán)I之間形成有間隙G。
[0090]此外，若僅著眼于圖5及圖6所示的一截面，則如上所述，在支撐部11形成的支撐位置與壓固爪23形成的壓固位置錯開的狀態(tài)下，顯得無法較佳地固持基板保持環(huán)I。然而，實際上，基板保持環(huán)I是一方面將其外周端Ie抵接于抵接部12，一方面由沿著外周方向延伸的支撐部11在下方進行支撐，且由壓固爪23壓固不同的2個部位，所以其固持狀態(tài)變得穩(wěn)定。
[0091]一面與以往的基板保持環(huán)固持機構(gòu)1000進行對比，一面說明基板保持環(huán)固持機構(gòu)100具有如上所述構(gòu)成的作用效果。圖7是保持基板保持環(huán)I的狀態(tài)的基板保持環(huán)固持機構(gòu)1000的俯視圖。圖8是圖7的B-B截面的剖視圖。
[0092]基板保持環(huán)固持機構(gòu)1000是以支撐部11對基板保持環(huán)I的支撐位置與壓固爪1023對基板保持環(huán)I的壓固位置在鉛垂方向上一致的方式設(shè)置有壓固爪1023，除此以外，基板保持環(huán)固持機構(gòu)1000具有與本實施方式的基板保持環(huán)固持機構(gòu)100相同的構(gòu)成。在具有該構(gòu)成的基板保持環(huán)固持機構(gòu)1000中，可固持基板保持環(huán)I的外周附近。
[0093]在基板保持環(huán)I具有均勻水平的形狀的情況下，基板保持環(huán)固持機構(gòu)100與基板保持環(huán)固持機構(gòu)1000均可以水平姿勢較佳地固持基板保持環(huán)I。然而，理想的是基板保持環(huán)I始終具有均勻水平的形狀。然而，實際上，在反復(fù)使用過程中，或者因黏著片Ib的更換貼附，存在以貼附有黏著片Ib側(cè)凸起的方式在外周部分產(chǎn)生翹曲的情況。
[0094]圖9是例示外周部分成為翹曲部分If的基板保持環(huán)I的圖。圖9(a)是俯視圖，圖9(b)是圖9(a)的C-C剖視圖。而且，圖10是本實施方式的基板保持環(huán)固持機構(gòu)100固持存在此種翹曲的基板保持環(huán)I時通過壓固爪23的位置處的垂直剖視圖。另一方面，圖11是以往的基板保持環(huán)固持機構(gòu)1000固持存在此種翹曲的基板保持環(huán)I時通過壓固爪1023的位置處的垂直剖視圖。[0095]當(dāng)將圖10與圖11進行對比時，如圖11所示，在從上下固持基板保持環(huán)I的外周附近的以往的基板保持環(huán)固持機構(gòu)1000的情況下，將固持翹曲部分lf，所以，即便該翹曲部分If成為水平，但基板保持環(huán)I整體地成為傾斜的姿勢。即，難以以水平姿勢固持且搬送外周部分中產(chǎn)生翹曲的基板保持環(huán)I。
[0096]與此相對，在本實施方式的基板保持環(huán)固持機構(gòu)100的情況下，如圖10所示，利用支撐部11從下方支撐翹曲部分lf，另一方面，壓固爪23壓固相較該翹曲部分If為內(nèi)周側(cè)的平坦性較高的部分。由此，即便外周部分存在翹曲的基板保持環(huán)1，也可以水平姿勢進行固持。從另一角度來看，也可以說這是通過利用圖6所示的間隙G的部位抵消翹曲部分If偏離水平方向的錯位，從而可以水平姿勢進行固持。
[0097]根據(jù)該對比結(jié)果，可以說本實施方式的基板保持環(huán)固持機構(gòu)100可發(fā)揮如下的優(yōu)異作用效果:即使以往難以用水平姿勢進行搬送的存在翹曲的基板保持環(huán)1，也可以水平姿勢固持地進行搬送。該作用效果是來自于以支撐部11的支撐位置成為基板保持環(huán)I的外周側(cè)，且壓固爪23的壓固位置成為基板保持環(huán)的內(nèi)周側(cè)的方式構(gòu)成基板保持環(huán)固持機構(gòu) 100。
[0098]如以上說明，根據(jù)本實施方式，通過以支撐部的支撐位置成為基板保持環(huán)的外周側(cè)，且壓固爪形成的壓固位置成為基板保持環(huán)的內(nèi)周側(cè)的方式構(gòu)成基板保持環(huán)固持機構(gòu)，而可以水平姿勢固持地搬送以往難以用水平姿勢搬送且存在翹曲的基板保持環(huán)。
【權(quán)利要求】
1.一種基板保持環(huán)固持機構(gòu)，其特征在于:其是固持基板保持環(huán)的固持機構(gòu)，所述基板保持環(huán)為環(huán)狀且平板狀的環(huán)，且鋪設(shè)有黏著保持基板的黏著片，所述基板保持環(huán)固持機構(gòu)包含:支撐器件，從下方支撐所述基板保持環(huán)；及壓固器件，從上方壓固所述基板保持環(huán)；通過所述支撐器件支撐所述基板保持環(huán)的相對外周側(cè)，且所述壓固器件壓固所述基板保持環(huán)的相對內(nèi)周側(cè)，而在所述支撐器件形成的支撐區(qū)域與所述壓固器件形成的壓固區(qū)域水平方向地錯開的狀態(tài)下固持所述基板保持環(huán)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固持機構(gòu)，其特征在于:所述支撐器件包含:平坦的支撐部，具有與所述基板保持環(huán)的形狀相應(yīng)的大致弓形的形狀，且支撐所述基板保持環(huán)的下表面；及抵接部，從側(cè)方抵接于所述基板保持環(huán)的所述外周端部；所述壓固器件是對于由所述支撐器件樞轉(zhuǎn)支承的規(guī)定的轉(zhuǎn)動軸可轉(zhuǎn)動地設(shè)置，且通過在所述基板保持環(huán)一面抵接于所述抵接部一面由所述支撐部支撐的狀態(tài)下，所述壓固器件從上方對所述基板保持環(huán)施力，而固持所述基板保持環(huán)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的固持機構(gòu)，其特征在于:所述壓固器件包含:柱部，供插嵌所述轉(zhuǎn)動軸；平板部，對于所述柱部傾斜地設(shè)置，及壓固爪，從所述平板部延伸，且于固持所述基板保持環(huán)時壓固所述基板環(huán)；當(dāng)所述柱部處于大致垂直姿勢時，成為固持所述基板保持環(huán)的固持姿勢。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的固持機構(gòu)，其特征在于:所述支撐區(qū)域與所述壓固區(qū)域在水平方向上不具有重疊。
【文檔編號】H01L21/687GK103579070SQ201310259471
【公開日】2014年2月12日 申請日期:2013年6月26日 優(yōu)先權(quán)日:2012年8月1日
【發(fā)明者】黑田直洋, 太田欣也 申請人:三星鉆石工業(yè)股份有限公司