粘合帶、粘合帶的粘貼方法及粘合帶粘貼裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明提供粘合帶、粘合帶的粘貼方法及粘合帶粘貼裝置。將在長(zhǎng)條狀的載帶上貼合有長(zhǎng)條狀的粘合帶的原料帶自原料卷放出，借助在原料帶的寬度方向的兩側(cè)具有圓弧形狀且在長(zhǎng)度方向的前后具有直線(xiàn)形狀的環(huán)狀的切割部件在載帶之上將粘合帶Ｔ半切割為粘合帶片，使載帶在刃口部件處折返地行進(jìn)，從而自載帶剝離粘合帶片的同時(shí)，一邊使保持工作臺(tái)和粘貼輥與剝離速度同步相對(duì)移動(dòng)，一邊將粘合帶片粘貼于的保持臺(tái)上的環(huán)形框。
【專(zhuān)利說(shuō)明】粘合帶、粘合帶的粘貼方法及粘合帶粘貼裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及粘貼于用于保持半導(dǎo)體晶圓的環(huán)形框的粘合帶和用于將該粘合帶粘貼于環(huán)形框的粘合帶的粘貼方法及粘合帶粘貼裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]為了使因背磨處理而薄型化的半導(dǎo)體晶圓(以下，適當(dāng)稱(chēng)為“晶圓”)具有剛性而容易處理，并且為了進(jìn)行切割處理，而借助支承用的粘合帶(切割帶)在環(huán)形框的中央對(duì)晶圓進(jìn)行粘接和保持。
[0003]切割帶的粘貼處理例如如下那樣被實(shí)施。自帶卷放出設(shè)于帶狀的基底片的帶狀的粘合膜。在該基底片之上將該粘合膜切割成圓形而形成切割帶。將形成有切割帶的基底片引導(dǎo)至由刃口部件構(gòu)成的粘貼機(jī)構(gòu)，使基底片折返而將切割帶剝離。使被剝離的切割帶同時(shí)粘貼于環(huán)形框和配置于該環(huán)形框的中央的晶圓而將該環(huán)形框和晶圓之間連接起來(lái)(參照日本特開(kāi)2005-116928號(hào)公報(bào))。
[0004]如圖4的(C)所示，該切割帶形成為使圓形的切割帶在基底片之上隔著規(guī)定間隔地排列。
[0005]另外，如圖4的(a)所示，還存在這樣的切割帶，在基底片之上將帶狀坯料半切割成在長(zhǎng)度方向的前后左右的四處具有直線(xiàn)部的大致圓形，并且多片的切割帶在前后方向上以使直線(xiàn)部彼此線(xiàn)接觸的方式相連(參照日本特開(kāi)2011 - 192850號(hào)公報(bào))。
[0006]圖4的(C)所示的切割帶為隔著規(guī)定間隔半切割而成，若僅從前后的切割帶之間的一個(gè)間隔的角度來(lái)看，該間隔為較短的距離。因此，會(huì)認(rèn)為廢棄被切下切割帶后的剩余部分不會(huì)產(chǎn)生影響。但是，若以原料卷為單位來(lái)看，則由于被呈圓形切下的切割帶的片數(shù)很多，所以累積的廢棄量增加。因此，在對(duì)環(huán)形框和晶圓進(jìn)行粘合帶的粘貼處理中，存在這樣的問(wèn)題:卷繞有切割帶的原料卷的更換頻率增多，工作效率降低。
[0007]另外，對(duì)于圖4的(a)所示的切割帶，粘合帶片的直線(xiàn)部彼此線(xiàn)接觸，從而在長(zhǎng)度方向上不產(chǎn)生廢棄部分。但是，在自基底片剝離粘合帶片時(shí)，即使進(jìn)行了半切割，還是頻繁產(chǎn)生剝離對(duì)象的粘合帶片和后續(xù)的粘合帶片的粘合層彼此粘連的情況。
[0008]在這樣的狀態(tài)下繼續(xù)進(jìn)行帶粘貼處理的話(huà)，會(huì)在后續(xù)的粘合帶片的頂端側(cè)產(chǎn)生皺折。而產(chǎn)生不能使切割帶高精度地貼緊于環(huán)形框的問(wèn)題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]本發(fā)明鑒于這樣的情況做成的，其目的在于，提供一種能夠?qū)⒂糜谡迟N于環(huán)形框的粘合帶高效地自帶狀的粘合帶切下，并且能夠高精度地粘貼于環(huán)形框的粘合帶、粘合帶的粘貼方法及粘合帶粘貼裝置。
[0010]本發(fā)明為了達(dá)成這樣的目的而采用如下技術(shù)方案。
[0011]即，一種粘貼于環(huán)形框和半導(dǎo)體晶圓而將環(huán)形框和半導(dǎo)體晶圓之間連接起來(lái)的粘合帶，該粘合帶包括以下的結(jié)構(gòu)。[0012]該粘合帶構(gòu)成為將具有相對(duì)的直線(xiàn)狀的端邊和與直線(xiàn)狀的該兩端邊連結(jié)起來(lái)的圓弧狀的端邊的多片粘合帶片，以使它們彼此的直線(xiàn)狀的端邊接近并相對(duì)的方式排列配置在長(zhǎng)條的載帶之上。
[0013]采用該粘合帶，在載帶的長(zhǎng)度方向的前后位置具有呈直線(xiàn)狀的端邊的多片粘合帶片以使它們彼此的直線(xiàn)狀的端邊接近并相對(duì)的方式構(gòu)成，從而能夠減少平均一片粘合帶片的使用量。
[0014]并且，排列在載帶之上的前后的粘合帶片之間的切下部分的距離變短，從而能夠減少半切割后的粘合帶的廢棄部分。因此，能夠增加設(shè)于載帶之上的粘合帶片的片數(shù)，能夠降低粘合帶的帶卷的更換頻率。
[0015]并且，粘合帶片也可以具有沿載帶的側(cè)端邊平行的一對(duì)的直線(xiàn)狀的端邊。即，粘合帶片也可以為在前后左右具有四條直線(xiàn)狀的端邊的形狀。采用該粘合帶，在將寬幅的原料卷分切成規(guī)定寬度的粘合帶而制造多個(gè)的粘合帶的帶卷的情況下，與在寬度方向形成圓弧狀的端邊的粘合帶片的粘合帶相比，能夠縮短帶寬度，從而能夠由原料卷制造出較多的規(guī)定寬度的帶卷。并且，也能夠減少原料卷的廢棄量。
[0016]并且，本發(fā)明為了達(dá)成這樣的目的，采用如下技術(shù)方案。
[0017]S卩，一種將粘合帶粘貼于環(huán)形框的粘合帶粘貼方法，上述方法包括以下過(guò)程:
[0018]放出過(guò)程，將在長(zhǎng)條狀的載帶上貼合有長(zhǎng)條狀的粘合帶的原料帶自原料卷放出；
[0019]切割過(guò)程，利用在上述原料帶的寬度方向的兩側(cè)具有圓弧形狀且在長(zhǎng)度方向的前后位置具有直線(xiàn)形狀的環(huán)狀的切割部件，在載帶之上將上述粘合帶半切割成粘合帶片；
[0020]粘貼過(guò)程，使上述載帶在刃口部件處折返行進(jìn)，從而使上述粘合帶片自載帶剝離的同時(shí)，一邊使保持工作臺(tái)和粘貼輥與剝離速度同步地相對(duì)移動(dòng)，一邊將粘合帶片粘貼于保持工作臺(tái)上的環(huán)形框。
[0021]采用該方法，能夠?qū)υ蠋нM(jìn)行半切割來(lái)形成在前后方向具有直線(xiàn)狀的端邊的粘合帶片，能夠一邊自載帶剝離粘合帶片一邊將粘合帶片粘貼于環(huán)形框。因此，能夠減少粘合帶在長(zhǎng)度方向上的使用量和切成粘合帶片之后的該粘合帶片之間的廢棄部分。換言之，原料卷平均的切出粘合帶片的量增加，從而能夠降低原料卷的更換頻率。
[0022]并且，剝離對(duì)象的粘合帶片和后續(xù)的粘合帶片并不像以往的類(lèi)型那樣彼此線(xiàn)接觸。由此，在剝離完處理對(duì)象的粘合帶片之后，后續(xù)的粘合帶片的頂端側(cè)和剝離對(duì)象的粘合帶片的后端不會(huì)借助粘合層再粘接，因此后續(xù)的粘合帶片的頂端不會(huì)產(chǎn)生皺折等。因此，能夠使粘合帶片緊貼于環(huán)形框。
[0023]另外，切割部件例如使用具有由圓弧形狀和直線(xiàn)形狀相連而成的環(huán)狀的切割刃的切割輥。
[0024]采用該方法，能夠與粘合帶的放出速度同步地使切割輥在粘合帶之上按壓滾動(dòng)而半切割出粘合帶片。也就是，不需要停止輸送原料帶。因此，能夠高效實(shí)施粘合帶片的半切割和向環(huán)形框粘貼粘合帶片。
[0025]并且，本發(fā)明為了達(dá)成這樣的目的而采用以下技術(shù)方案。
[0026]S卩，一種將粘合帶粘貼于環(huán)形框的粘合帶粘貼裝置，該裝置包括以下的結(jié)構(gòu):
[0027]帶供給部，其用于將在長(zhǎng)條狀的載帶上貼合有長(zhǎng)條狀的粘合帶的原料帶自原料卷放出；[0028]帶移動(dòng)引導(dǎo)機(jī)構(gòu)，其使自上述帶供給部放出的原料帶沿規(guī)定的帶輸送路徑行進(jìn)，并將其引導(dǎo)至刃口部件；
[0029]帶預(yù)切割機(jī)構(gòu)，其利用在配置于上述帶輸送路徑的粘合帶的寬度方向的兩側(cè)具有圓弧形狀且在長(zhǎng)度方向的前后位置具有直線(xiàn)形狀的環(huán)狀的切割部件，在載帶之上將粘合帶半切割成粘合帶片；
[0030]刃口部件，其使上述載帶折返而剝離粘合帶片；
[0031 ] 保持工作臺(tái)，其用于保持上述環(huán)形框；
[0032]帶粘貼機(jī)構(gòu)，其一邊使上述保持工作臺(tái)和粘貼輥之間與帶行進(jìn)速度同步地相對(duì)移動(dòng)，一邊用該粘貼輥按壓利用上述刃口部件而自載帶被剝離的粘合帶片，并將其粘貼于保持工作臺(tái)之上的環(huán)形框；
[0033]載帶回收部，其用于回收被剝離了上述粘合帶片的載帶。
[0034]采用該結(jié)構(gòu)，能夠在與帶行進(jìn)速度同步地在帶輸送路徑之上自長(zhǎng)條狀的原料帶半切割出粘合帶片之后，一邊自載帶剝離該粘合帶片，一邊將粘合帶片粘貼于環(huán)形框。即，采用該結(jié)構(gòu)，能夠適宜地實(shí)施上述方法。
[0035]另外，優(yōu)選切割部件是具有圓弧形狀和直線(xiàn)形狀相連而成的環(huán)狀的切割刃的切割輥。
[0036]采用該結(jié)構(gòu)，自長(zhǎng)條狀的粘合帶半切割粘合帶片時(shí)，不用停止輸送原料帶，就能夠連續(xù)進(jìn)行粘合帶的半切割和向環(huán)形框粘貼粘合帶片。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0037]圖1是粘合帶的俯視圖。
[0038]圖2是圖1的由雙點(diǎn)化線(xiàn)包圍的部分的放大俯視圖。
[0039]圖3是粘合帶的縱剖側(cè)視圖。
[0040]圖4是本發(fā)明的粘合帶與以往的粘合帶的比較圖。
[0041]圖5是粘合帶粘貼裝置的主視圖。
[0042]圖6是粘合帶粘貼裝置的俯視圖。
[0043]圖7是切割輥的立體圖。
[0044]圖8是粘貼工作臺(tái)的縱剖視圖。
[0045]圖9是表示粘合帶粘貼處理的流程圖。
[0046]圖10是帶粘貼部的立體圖。
[0047]圖11是表示第一粘貼單元的粘合帶粘貼動(dòng)作的概略側(cè)視圖。
[0048]圖12是表示第一粘貼單元的粘合帶粘貼動(dòng)作的概略側(cè)視圖。
[0049]圖13是表示第二粘貼單元的粘合帶粘貼動(dòng)作的概略側(cè)視圖。
[0050]圖14是表示第二粘貼單元的粘合帶粘貼動(dòng)作的概略側(cè)視圖。
[0051 ]圖15是晶圓貼片的背面?zhèn)鹊母┮晥D。
[0052]圖16是變形例的粘合帶粘貼裝置的主視圖。
[0053]圖17是變形例的第二粘貼單元的縱剖側(cè)視圖。
[0054]圖18是表示變形例的粘合帶的粘貼處理的流程圖。
[0055]圖19是表示將粘合帶片粘貼于晶圓的動(dòng)作的概略側(cè)視圖。[0056]圖20是表示將粘合帶片粘貼于晶圓的動(dòng)作的概略側(cè)視圖。
[0057]圖21是表示將粘合帶片粘貼于晶圓的動(dòng)作的概略側(cè)視圖。
[0058]圖22是變形例裝置的主視圖。
[0059]圖23是變形例裝置的粘合帶的俯視圖。
[0060]圖24是變形例的晶圓貼片的背面?zhèn)鹊母┮晥D。
【具體實(shí)施方式】
[0061]為了說(shuō)明發(fā)明，圖示了現(xiàn)在認(rèn)為適宜的幾個(gè)實(shí)施方式，希望理解為本發(fā)明并不限于圖示那樣的結(jié)構(gòu)和方法。
[0062]以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的一實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明。
[0063](粘合帶)
[0064]本實(shí)施例中，對(duì)包括用于將半導(dǎo)體晶圓粘接并保持于環(huán)形框的粘合帶片的帶狀的粘合帶進(jìn)行詳述。
[0065]圖1示出了本發(fā)明的粘合帶的俯視圖，圖2示出了粘合帶的局部放大俯視圖，以及圖3示出了粘合帶的縱剖側(cè)視圖。
[0066]粘合帶T中，在長(zhǎng)條狀的載帶Ct上貼合有與該載帶Ct相同寬度的長(zhǎng)條狀的粘合帶。粘合帶自身在載帶Ct之上被半切割成粘合帶片ta，該粘合帶片ta具有在與長(zhǎng)度方向正交的前后位置相對(duì)的一對(duì)的直線(xiàn)狀的端邊el和與直線(xiàn)狀的該兩端邊el的各端連結(jié)的左右一對(duì)的圓弧狀的端邊e2。多片粘合帶片ta沿粘合帶T的長(zhǎng)度方向前后排列地形成，以使它們的彼此的直線(xiàn)狀的端邊el接近并相對(duì)的方式排列配置。
[0067]前后的粘合帶片ta的直線(xiàn)狀的端邊el之間的距離設(shè)定為如下距離:在剝離位于輸送方向的前方的粘合帶片ta時(shí)，該粘合帶片ta的后端的粘合層不會(huì)與后方的粘合帶片ta的前端的粘合層再粘接。即，設(shè)定為粘合帶片粘貼于環(huán)形框時(shí)不會(huì)在后方的粘合帶片ta的頂端作用有多余的剝離應(yīng)力而產(chǎn)生皺折的距離。該皺折的產(chǎn)生根據(jù)粘合帶T的種類(lèi)、環(huán)境特性(例如溫度、濕度、張力等)而發(fā)生變化。因此，粘合帶片ta彼此的間距通過(guò)實(shí)驗(yàn)、模擬來(lái)事先確定。其中，該距離設(shè)定為，例如，如圖4所示，與以往例的直線(xiàn)狀的端邊彼此接觸的情況(圖4的(a))、以往例的將粘合帶片ta切割成正圓且以規(guī)定間距排列前后的粘合帶片ta的情況(圖4的(c))相比，本實(shí)施例的粘合帶片ta的自中心Pl至P2之間的距離L2與以往例的中心間的距離LI和L3的關(guān)系為L(zhǎng)I < L2 < L3。
[0068]另外,如圖3所示,粘合帶T按照載帶ct、粘合層tb及基材tc的順序?qū)盈B而成。
[0069](粘合帶粘貼裝置)
[0070]圖5示出了本發(fā)明的粘合帶粘貼裝置的正面，并且，圖6示出了該裝置的側(cè)面。
[0071]該粘合帶粘貼裝置由帶供給部1、帶預(yù)切割機(jī)構(gòu)2、張力調(diào)節(jié)棍3、粘合帶回收部4、帶粘貼部5以及載帶回收部6等構(gòu)成。以下，對(duì)各結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳述。
[0072]帶供給部I包括用于安裝卷繞有粘合帶T的原料卷TR的卷軸。自帶供給部I放出的粘合帶T借助張力調(diào)節(jié)輥3被引導(dǎo)至規(guī)定的帶輸送路徑，經(jīng)由帶預(yù)切割機(jī)構(gòu)2供給至帶粘貼部5。
[0073]在帶預(yù)切割機(jī)構(gòu)2中，上下相對(duì)地配置有同步驅(qū)動(dòng)的切割輥7和支承輥8。如圖7所示，切割輥7構(gòu)成為將形成有切割刃9的薄片10安裝于驅(qū)動(dòng)輥。切割刃9形成為由水平相對(duì)的直線(xiàn)部分11和與兩直線(xiàn)部分11的一端彼此相連的一對(duì)的圓弧部分12構(gòu)成的環(huán)狀。
[0074]在將該薄片10安裝于驅(qū)動(dòng)輥時(shí)，切割刃9的兩直線(xiàn)部分11以沿驅(qū)動(dòng)輥的長(zhǎng)度方向平行且接近的方式相對(duì)。
[0075]支承輥8為金屬制的驅(qū)動(dòng)輥。另外，切割輥7和支承輥8中的至少一者構(gòu)成為能夠借助驅(qū)動(dòng)缸進(jìn)行升降。因此，構(gòu)成為能夠與粘合帶T的厚度相應(yīng)地改變兩輥7、8之間的間隙的設(shè)定。
[0076]粘合帶回收部4構(gòu)成為在緊挨著帶進(jìn)給輥13的帶進(jìn)給輥13之后將在載帶ct之上裁切出粘合帶片ta的形狀之后的帶狀的不要的粘合帶T’自載帶ct剝離并被回收卷軸14卷取。因此，在載帶ct上余下有粘合帶片ta的狀態(tài)的粘合帶T被引導(dǎo)至帶粘貼部5。
[0077]如圖5和圖6所示，帶粘貼部5包括用于將粘合帶片ta粘貼于環(huán)形框f的第一粘貼單元15、用于將粘合帶片ta粘貼于半導(dǎo)體晶圓W (以下，簡(jiǎn)稱(chēng)為“晶圓”)的第二粘貼單元16以及粘貼工作臺(tái)17等。
[0078]第一粘貼單元15包括刃口部件18和粘貼輥20等。該第一粘貼單元15配置為沿粘合帶T的輸送方向在粘貼工作臺(tái)17的上方往復(fù)移動(dòng)。
[0079]刃口部件18使自帶預(yù)切割機(jī)構(gòu)2輸送來(lái)的半切割完的粘合帶T的載帶ct折返而剝離粘合帶片ta，并將該載帶ct引導(dǎo)至載帶回收部6。
[0080]粘貼輥20自上方與刃口部件18的頂端部相面對(duì)地配置。并且,粘貼輥20構(gòu)成為借助驅(qū)動(dòng)缸23升降。因此，對(duì)于在刃口部件18的頂端自載帶ct剝離且被向前方推出而移動(dòng)的粘合帶片ta，粘貼輥20自該粘合帶片ta的上表面按壓該粘合帶片ta，并將該粘合帶片ta粘貼于保持在粘貼工作臺(tái)17上的環(huán)形框f的上表面。另外，由粘貼輥20和驅(qū)動(dòng)缸23構(gòu)成本發(fā)明的帶粘貼機(jī)構(gòu)。另外，第一粘貼單元15相當(dāng)于本發(fā)明的帶粘貼機(jī)構(gòu)。
[0081]第二粘貼單元16包括能夠借助驅(qū)動(dòng)缸進(jìn)行升降的粘貼輥24。該第二粘貼單元16配置為以不妨礙第一粘貼單元15的前進(jìn)路線(xiàn)的方式與粘合帶T的輸送方向相交差地往復(fù)移動(dòng)。另外，粘貼輥24被彈性體包覆。
[0082]如圖6和圖8所示，粘貼工作臺(tái)17由拉出式的可動(dòng)臺(tái)25、環(huán)形框保持部26和晶圓保持部27構(gòu)成。
[0083]可動(dòng)臺(tái)25構(gòu)成為沿左右兩端的導(dǎo)軌向前后水平地移動(dòng)。
[0084]環(huán)形框保持部26構(gòu)成為用于吸附保持載置于環(huán)狀的保持面的環(huán)形框f或借助支承銷(xiāo)定位固定載置于環(huán)狀的保持面的環(huán)形框f。
[0085]晶圓保持部27具有用于吸附晶圓W的保持面，并構(gòu)成為能夠借助作動(dòng)缸等的致動(dòng)器來(lái)進(jìn)行升降。
[0086]載帶回收部6構(gòu)成為借助進(jìn)給棍21驅(qū)動(dòng)在刃口部件18處折返的載帶ct并使其行進(jìn)，并卷取在回收卷軸22。
[0087]由張力調(diào)節(jié)輥3和未標(biāo)注附圖標(biāo)記的引導(dǎo)輥等構(gòu)成本發(fā)明的帶行進(jìn)引導(dǎo)機(jī)構(gòu)。
[0088]本發(fā)明的粘合帶粘貼裝置如上所述那樣構(gòu)成。參照?qǐng)D9所示流程圖和圖10至圖15說(shuō)明使用該粘合帶粘貼裝置將粘合帶片ta粘貼于環(huán)形框f之后、將粘合帶片ta粘貼于晶圓W的一個(gè)循環(huán)的動(dòng)作。
[0089]自裝置主體將粘貼工作臺(tái)17的可動(dòng)臺(tái)25拉出，將環(huán)形框f載置并保持于環(huán)形框保持部26，將晶圓W載置并保持于晶圓保持部27。將可動(dòng)臺(tái)25返回裝置主體。此時(shí)，使晶圓保持部27略微下降，而設(shè)置為晶圓W的表面高度比環(huán)形框f的表面高低(步驟SI)。此時(shí)，晶圓W以背面朝上的方式載置。另外，晶圓W的表面粘貼有保護(hù)帶P。
[0090]使裝置主體工作，自帶供給部I放出并供給粘合帶T (步驟S2)。在粘合帶T通過(guò)帶預(yù)切割機(jī)構(gòu)2的切割輥7和支承輥8之間的過(guò)程中，在載帶ct之上粘合帶T由被驅(qū)動(dòng)而旋轉(zhuǎn)的切割輥7連續(xù)地半切割為粘合帶片ta (步驟S3)。
[0091]半切割完的粘合帶T經(jīng)由張力調(diào)節(jié)輥3被向粘合帶回收部4輸送。粘合帶回收部4借助帶進(jìn)給輥13將裁切出粘合帶片ta后的不要的粘合帶T’剝離。之后，將粘合帶T’卷取于卷軸14來(lái)進(jìn)行回收(步驟S4)。
[0092]在載帶ct之上僅留有粘合帶片ta的粘合帶T被送至帶粘貼部5。
[0093]第一粘貼單元15 —邊拉出被張力調(diào)節(jié)棍3拉入、吸收的粘合帶T, 一邊向前方的帶粘貼位置移動(dòng)。在第一粘貼單元15到達(dá)帶粘貼位置時(shí)，將借助刃口部件18折返的載帶ct卷取于載帶回收部6的卷軸來(lái)進(jìn)行回收。此時(shí)，粘合帶片ta自折返地行進(jìn)的載帶ct被剝離，沿刃口部件18的上表面向前方突出。
[0094]如圖10所示，當(dāng)粘合帶片ta的前端超過(guò)刃口部件18的頂端而到達(dá)位于上方待機(jī)位置的粘貼輥20的正下方時(shí)，如圖11所示，粘貼輥20下降，并將自刃口部件18向前方突出的兩面粘合帶片ta的前端部分按壓于被粘貼工作臺(tái)17保持的環(huán)形框f的前端部表面。之后，如圖12所示，第一粘貼單元15與一邊自載帶ct被剝離一邊與向前方移動(dòng)的粘合帶片ta的向前方的移動(dòng)速度和載帶ct 的卷取速度同步地朝向后方的待機(jī)位置移動(dòng)。即，自載帶ct被剝離的粘合帶片ta由粘貼棍20粘貼于環(huán)形框f的表面(步驟S5)。
[0095]此時(shí)，借助張力調(diào) 節(jié)輥3調(diào)整帶供給量，以便不向第一粘貼單元15供給過(guò)多的粘
A帶T
口巾丄?
[0096]在向環(huán)形框f粘貼完粘合帶片ta之后，使第二粘貼單元16向前方的粘貼位置移動(dòng)。第二粘貼單元16到達(dá)規(guī)定位置之后，如圖13所示，使粘貼輥24下降且自環(huán)形框f的一端朝向另一端前進(jìn)地移動(dòng)。此時(shí)，如圖14所示，粘貼輥24 —邊彈性變形一邊將粘合帶片ta粘貼于與該粘合帶片ta接近并相對(duì)的晶圓W的背面(步驟S6)。
[0097]第二粘貼單元16在粘貼輥24到達(dá)終端位置后使該粘貼輥24上升。之后，第二粘貼單元16后退并返回待機(jī)位置。
[0098]將可動(dòng)臺(tái)25自裝置主體拉出，如圖15所示，取出借助粘合帶片ta作成的晶圓貼片(日文:々二 ^ V々 > 卜)MF并進(jìn)行回收(步驟S7)。以上，完成了粘合帶片ta粘貼于環(huán)形框f和晶圓W的一個(gè)循環(huán)的動(dòng)作，之后重復(fù)相同動(dòng)作直至達(dá)到規(guī)定片數(shù)(步驟S8)。
[0099]采用上述實(shí)施例裝置，將粘合帶T的在粘合帶T的輸送方向的前后相對(duì)的部分半切割為直線(xiàn)狀，因此能夠在載帶ct之上隔著規(guī)定間距連續(xù)地形成長(zhǎng)度方向的距離比寬度方向的距離短的粘合帶片ta。因此，與切成正圓的粘合帶片相比能夠自原料卷TR獲得更多的粘合帶片ta。換言之，能夠降低原料卷TR的更換頻率，提高作業(yè)効率。并且，在前后的粘合帶片ta之間切除的粘合帶T的距離較短,從而也能夠減少?gòu)U棄粘合帶T的量。
[0100]并且，位于輸送方向的前后位置的粘合帶片ta隔著規(guī)定間距被半切割而成，從而位于前后位置的粘合帶片ta的粘合層彼此不會(huì)再粘接。因此，在自載帶ct剝離粘合帶片ta時(shí)，能夠避免粘連后方的粘合帶片ta而產(chǎn)生不必要的剝離應(yīng)力，從而產(chǎn)生皺折。
[0101]另外，本發(fā)明還能夠通過(guò)以下的方式來(lái)實(shí)施。[0102](I)粘合帶片ta向晶圓W的背面的粘貼不限于上述實(shí)施方式，例如也可以為如下結(jié)構(gòu):僅將晶圓W容納在腔室內(nèi)，借助減壓作用將粘合帶片ta粘貼于晶圓W的背面。
[0103]如圖16和圖17所示，粘貼工作臺(tái)17包括晶圓保持用的晶圓保持部30和環(huán)形框保持用的環(huán)形框保持部31，而且，在晶圓保持部30和環(huán)形框保持部31之間具有下罩34，下罩34能與上罩33 —體化而構(gòu)成腔室32。
[0104]晶圓保持部30與桿35相連結(jié)，該桿35隔著密閉用的密封部件貫穿構(gòu)成腔室32的下罩34。桿35的另一端與電動(dòng)機(jī)36連結(jié)而能被電動(dòng)機(jī)36驅(qū)動(dòng)。因此，晶圓保持部30構(gòu)成為利用電動(dòng)機(jī)36的正反轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)在下罩34內(nèi)升降。
[0105]并且，下罩34的圓筒上部具有圓角，并且施加有氟加工等脫模處理。
[0106]上罩33包括于升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)37。該升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)37包括:能夠沿在縱壁38的背部縱向配置的軌道39升降的可動(dòng)臺(tái)40 ;被該可動(dòng)臺(tái)40支承為能夠調(diào)節(jié)高度的可動(dòng)框架41 ;自該可動(dòng)框架41朝向前方延伸出的臂部42。上罩33安裝于自該臂部42的頂端部向下方延伸出的支軸43的下端。
[0107]由上下一對(duì)的罩33、34構(gòu)成的腔室32具有比粘合帶片ta的寬度小的直徑。也就是，由兩罩33、34夾住粘合帶片ta的在晶圓W的外周與環(huán)形框f的內(nèi)徑之間露出的部分。
[0108]接下來(lái)，按照?qǐng)D18所示流程圖對(duì)利用該實(shí)施例裝置將粘合帶片ta粘貼于晶圓W的一個(gè)循環(huán)的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。
[0109]另外，因?yàn)橹敝翆⒄澈蠋瑃a粘貼于環(huán)形框f的從步驟Sll至步驟S15的處理與上述實(shí)施方式相同而省略說(shuō)明，對(duì)不同的處理步驟S16至步驟S18、即將粘合帶片ta粘貼于晶圓W的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。
[0110]利用與上述實(shí)施例相同的動(dòng)作，完成了借助第一粘貼單元15將粘合帶片ta粘貼于環(huán)形框f之后，如圖19所示，上罩33下降。伴隨該下降，由上罩33和下罩34夾持粘合帶片ta的在晶圓W的外周與環(huán)形框f的內(nèi)徑之間粘著面露出的部分，從而構(gòu)成腔室32(步驟S16)。此時(shí)，粘合帶片ta作為密封材料發(fā)揮作用的同時(shí)將上罩33側(cè)和下罩34側(cè)分割開(kāi)而形成兩個(gè)空間。
[0111]位于下罩34內(nèi)的晶圓W以與粘合帶片ta具有規(guī)定的間隔的方式接近地相對(duì)。
[0112]在上罩33和下罩34經(jīng)由電磁閥與真空裝置相連通的流路中，借助未圖示的制御部調(diào)整該電磁閥的開(kāi)閉來(lái)對(duì)兩罩33、34內(nèi)進(jìn)行減壓。也就是，調(diào)整電磁閥的開(kāi)度，使得兩罩33,34內(nèi)以相同速度進(jìn)行減壓。
[0113]將兩罩33、34內(nèi)減壓至規(guī)定的氣壓后，關(guān)閉電磁閥，并且停止真空裝置的工作。
[0114]制御部一邊調(diào)整電磁閥的開(kāi)度而使其泄漏一邊將上罩33內(nèi)的氣壓緩慢地提高至規(guī)定的氣壓。此時(shí)，下罩34內(nèi)的氣圧變得比上罩33內(nèi)的氣圧低，在該壓力差的作用下，如圖20所示，粘合帶片ta自其中心開(kāi)始被拉入到下罩34內(nèi)，自接近配置的晶圓W的中心朝向外周緩慢粘貼于晶圓W (步驟S17)。
[0115]上罩33內(nèi)達(dá)到事先設(shè)定的氣圧后，制御部調(diào)整電磁閥的開(kāi)度而使下罩34內(nèi)的氣圧與上罩33內(nèi)的氣圧相同。與該氣壓調(diào)整相應(yīng)地使晶圓保持部30上升而使環(huán)形框f的表面和晶圓W的上表面位于相同高度。之后，如圖21所示，控制部使上罩33上升而使上罩33內(nèi)向大氣開(kāi)放，并且使電磁閥全開(kāi)而使下罩34側(cè)也向大氣開(kāi)放(步驟S18)。
[0116]在使上罩33上升的時(shí)刻，完成向晶圓W的背面粘貼粘合帶片ta。[0117]在上罩33返回到上方的待機(jī)位置后，作成晶圓貼片MF。拉出粘貼工作臺(tái)17，輸出晶圓貼片MF (步驟S19)。以上，完成了將粘合帶片ta粘貼于環(huán)形框f和晶圓W的一個(gè)循環(huán)的動(dòng)作，之后，重復(fù)相同動(dòng)作直至達(dá)到規(guī)定片數(shù)(步驟S20)。
[0118](2)上述實(shí)施例中，如圖22所示，也可以包括具有粘貼輥24的第一粘貼單元15和真空腔室式的粘貼單元這兩者，任意選擇進(jìn)行使用。
[0119](3)上述變形例裝置中，也可以構(gòu)成為在腔室內(nèi)配置加熱器，一邊加熱粘合帶片ta一邊將其粘貼于晶圓W的背面。
[0120](4)上述變形例裝置中，也可以構(gòu)成為腔室32也能夠?qū)h(huán)形框f 一起收納。
[0121](5)上述各實(shí)施例裝置中，在半切割處理后，在送至帶粘貼部5的途中剝離不要的粘合帶T’，但也可以在帶粘貼部5處與載帶ct 一起卷取進(jìn)行回收。
[0122](6)上述各實(shí)施例的粘合帶T的粘合帶片ta為具有與長(zhǎng)度方向正交的前后位置相對(duì)的一對(duì)的直線(xiàn)狀的端邊el的形狀，但不限于該形狀。例如，如圖23和圖24所示，形成有與載帶的側(cè)端邊平行的一對(duì)的直線(xiàn)形狀的端邊elA。也可以為由圓弧狀的端邊e2A將載帶ct的前后左右方向上的直線(xiàn)狀的端邊el，elA的各一端連結(jié)起來(lái)的形狀的粘合帶片排列配置在載帶ct上。
[0123]另外，上述實(shí)施例裝置中半切割為該粘合帶片的情況下，在薄片10上形成有與該粘合帶T的粘合帶片相同形狀的切割刃9。
[0124]采用該粘合帶T，與粘合帶T的寬度匹配地將寬幅的原料帶沿長(zhǎng)度方向切開(kāi)而制造多個(gè)粘合帶的帶卷時(shí)，在制造多個(gè)的粘合帶T的輥的情況下，與在寬度方向上形成有圓弧狀的端邊的粘合帶T相比，能夠制造更多的帶卷。并且，能夠?qū)⒃谠暇淼膶挾确较蛏系膹U棄量調(diào)整為較少。
[0125]本發(fā)明能夠不脫離其思想或本質(zhì)地以其他的具體的方式來(lái)實(shí)施，因此，用于示出本發(fā)明的范圍的記載并非以上的說(shuō)明，而應(yīng)參照附加的權(quán)利要求書(shū)。
【權(quán)利要求】
1.一種粘合帶，該粘合帶粘貼于環(huán)形框和半導(dǎo)體晶圓而將環(huán)形框和半導(dǎo)體晶圓之間連接起來(lái)，其中， 該粘合帶包括以下的結(jié)構(gòu): 將具有相對(duì)的直線(xiàn)狀的端邊和與直線(xiàn)狀的該兩端邊連結(jié)起來(lái)的圓弧狀的端邊的多片粘合帶片，以使它們彼此的直線(xiàn)狀的端邊接近并相對(duì)的方式排列配置在長(zhǎng)條狀的載帶之上。
2.一種粘合帶粘貼方法，其中， 該粘合帶粘貼方法是將權(quán)利要求1所述的粘合帶粘貼于環(huán)形框的粘合帶粘貼方法，上述方法包括以下過(guò)程: 放出過(guò)程，將在長(zhǎng)條狀的載帶上貼合有長(zhǎng)條狀的粘合帶的原料帶自原料帶卷放出； 切割過(guò)程，利用在上述原料帶的寬度方向的兩側(cè)具有圓弧形狀且在長(zhǎng)度方向的前后位置具有直線(xiàn)形狀的環(huán)狀的切割部件，在載帶之上將上述粘合帶半切割成粘合帶片； 粘貼過(guò)程，使上述載帶在刃口部件處折返地行進(jìn)，從而使上述粘合帶片自載帶剝離的同時(shí)，一邊使保持工作臺(tái)和粘貼輥與剝離速度同步地相對(duì)移動(dòng)，一邊將粘合帶片粘貼于保持工作臺(tái)上的環(huán)形框。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的粘合帶粘貼方法，其中， 上述切割部件是具有圓弧形狀和直線(xiàn)形狀相連而成的環(huán)狀的切割刃的切割輥。
4.一種粘合帶粘貼裝置，其中， 該粘合帶粘貼裝置是將權(quán)利要求1所述的粘合帶粘貼于環(huán)形框的粘合帶粘貼裝置，上述裝置包括以下的結(jié)構(gòu): 帶供給部，其用于將在長(zhǎng)條狀的載帶上貼合有長(zhǎng)條狀的粘合帶的原料帶自原料卷送出； 帶行進(jìn)引導(dǎo)機(jī)構(gòu)，其使自上述帶供給部放出的原料帶沿著規(guī)定的帶輸送路徑行進(jìn)，并將其引導(dǎo)至刃口部件； 帶預(yù)切割機(jī)構(gòu)，其利用在配置于上述帶輸送路徑的粘合帶的寬度方向的兩側(cè)具有圓弧形狀且在長(zhǎng)度方向的前后位置具有直線(xiàn)形狀的環(huán)狀的切割部件，在載帶之上將粘合帶半切割成粘合帶片； 刃口部件，其使上述載帶折返而剝離粘合帶片； 保持工作臺(tái)，其用于保持上述環(huán)形框； 帶粘貼機(jī)構(gòu)，其一邊使上述保持工作臺(tái)和粘貼輥之間與帶行進(jìn)速度同步地相對(duì)移動(dòng)，一邊用該粘貼輥按壓利用上述刃口部件而自載帶被剝離的粘合帶片，并將其粘貼于保持工作臺(tái)之上的環(huán)形框； 載帶回收部，其用于回收被剝離了上述粘合帶片的載帶。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的粘合帶粘貼裝置，其中， 上述切割部件為具有圓弧形狀和直線(xiàn)形狀相連而成的環(huán)狀的切割刃的切割輥。
【文檔編號(hào)】H01L21/02GK103545168SQ201310284650
【公開(kāi)日】2014年1月29日 申請(qǐng)日期:2013年7月8日 優(yōu)先權(quán)日:2012年7月9日
【發(fā)明者】石井直樹(shù), 松下孝夫 申請(qǐng)人:日東電工株式會(huì)社