集成電路制造的初制晶圓方法及系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】一種用于集成電路制造的初制晶圓方法及系統(tǒng)，該方法包括經(jīng)由計算機的數(shù)據(jù)輸入接口輸入來自請求晶圓的訂單信息至計算機內(nèi)。提供包含供給晶圓以及具有與其相關(guān)連的機器可讀媒體的容器。以有關(guān)于供給晶圓的晶圓數(shù)據(jù)來編碼機器可讀媒體。晶圓數(shù)據(jù)從與容器有關(guān)的機器可讀媒體輸入至計算機內(nèi)。當計算機決定容器中的供給晶圓相符于訂單信息中的請求晶圓時，比較在計算機內(nèi)的訂單信息和晶圓數(shù)據(jù)，以在計算機中建立檢驗數(shù)據(jù)集。儲存檢驗數(shù)據(jù)集在計算機內(nèi)的儲存媒體中。在建立檢驗數(shù)據(jù)集后，從容器轉(zhuǎn)移供給晶圓至前開口單一化匣。
【專利說明】集成電路制造的初制晶圓方法及系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本【技術(shù)領(lǐng)域】大體上涉及準備供給晶圓(wafer)于集成電路制造的初制晶圓(waferstart)方法及系統(tǒng)，且更特別的是，涉及用于檢驗與供給晶圓和在預(yù)期使用該供給晶圓的集成電路制造的訂單信息有關(guān)的晶圓信息的初制晶圓方法及系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]由于眾多因素，在集成電路制造設(shè)備追蹤供給晶圓是必要的，這些因素包含但不限于:需要當使用不同的供給晶圓的集成電路制造設(shè)備操作不同的制造產(chǎn)線時，準確地分配供給晶圓；需要檢驗供給晶圓匹配已通過品質(zhì)認可的請求晶圓；且需要由輸送容器，像是前開口輸送盒(front opening shipping boxes, FOSB),處理和轉(zhuǎn)移供給晶圓至前開口單一化匣(front opening unified pods, F0UP),使得供給晶圓在自動化集成電路制造期間被存取(accessed)。
[0003]現(xiàn)行的初制晶圓方法及系統(tǒng)適于用來登記已收到請求晶圓以及對請求晶圓賦予品質(zhì)認可。舉例來說，由晶圓供貨商提供保證書(Certificate of Assurance, CofA),該晶圓供貨商像是販售商或者在集成電路制造設(shè)備內(nèi)其它位置的內(nèi)部供貨商。保證書包含了來自請求晶圓的訂單信息以及由晶圓供貨商所提供的請求晶圓的許多量測，且來自保證書的信息在計算機中作品質(zhì)認可的分析。一旦狀況信息通過品質(zhì)認可，請求晶圓的出貨(shipment)被登記于計算機中，且在集成電路制造中可使用。
[0004]開始集成電路制造，生產(chǎn)批次開始(production lotstart)提交可用的晶圓的查詢至計算機，且將包含已通過品質(zhì)認可的供給晶圓的前開口輸送盒提供給生產(chǎn)批次開始，以用于集成電路制造。之后，含有來自晶圓供貨商的供給晶圓的前開口輸送盒接著被打開，然后置入該供給晶圓以及空的前開口單一化匣在分類器上。一批個別的供給晶圓接著被登記在計算機中，并置入預(yù)期使用該供給晶圓來制造集成電路的空的前開口單一化匣。對個別的供給晶圓的晶圓識別是在分類器上人工地讀取并輸入進計算機中以建立分批(batch)。顯著的用戶錯誤是在建立分批及轉(zhuǎn)移個別的供給晶圓進入前開口單一化匣的過程中使用分類器的服務(wù)員。此外，建立分批及輸入個別的供給晶圓的晶圓識別的方法是耗時的且對制造效率是不利的。
[0005]因此，期望提供一種初制晶圓方法及系統(tǒng)，其最小化在計算機中登記供給晶圓同時檢驗供給晶圓的品質(zhì)為認可的所需要時間，同時最小化用戶錯誤的機會。此外，從隨后的本發(fā)明的詳細說明和所附的權(quán)利要求書，配合所附圖式和本發(fā)明的技術(shù)背景，本發(fā)明的其它期望特征和特性將變得明顯。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]于此提供一種用于集成電路制造的初制晶圓方法及系統(tǒng)。在一實施例中，用于集成電路制造的初制晶圓方法包含經(jīng)由計算機的數(shù)據(jù)輸入接口，將訂單信息從請求晶圓輸入該計算機中。提供包含供給晶圓的容器且其具有與該容器相關(guān)連的機器可讀媒體。該機器可讀媒體是以與該容器中的該供給晶圓有關(guān)的該晶圓數(shù)據(jù)編碼。從與該容器有關(guān)的該機器可讀媒體輸入該晶圓數(shù)據(jù)至該計算機中。當該計算機決定該容器中的該供給晶圓相符于該訂單信息中的該請求晶圓時，比較在該計算機中來自該請求晶圓的該訂單信息以及來自該供給晶圓的該晶圓數(shù)據(jù)，以建立在該計算機中的檢驗數(shù)據(jù)集(verified data set)。儲存該檢驗數(shù)據(jù)集在該計算機內(nèi)的儲存媒體中。在建立該檢驗數(shù)據(jù)集后，從該容器轉(zhuǎn)移該供給晶圓至前開口單一化匣。
[0007]在另一實施例中，一種用于集成電路制造的初制晶圓方法包含經(jīng)由計算機的數(shù)據(jù)輸入接口將訂單信息從請求晶圓輸入該計算機中。該訂單信息包含載體識別。提供包含供給晶圓以及具有與其相關(guān)連的機器可讀媒體的容器。該機器可讀媒體是以與該容器中的該供給晶圓有關(guān)的該晶圓數(shù)據(jù)編碼，該容器包含該容器的載體識別以及該容器中的個別的供給晶圓的晶圓識別。加載該容器至置物架中，當該容器設(shè)置在該置物架中時，以感測裝置讀取來自與該容器有關(guān)的該機器可讀媒體的該晶圓數(shù)據(jù)。從該感測裝置轉(zhuǎn)移該晶圓數(shù)據(jù)至該計算機，且在該計算機中匹配該容器的該載體識別以及該訂單信息的該載體識別，以建立在該計算機中的檢驗數(shù)據(jù)集。該檢驗數(shù)據(jù)集被建立以包含該置物架中的該供給晶圓的位置。儲存該檢驗數(shù)據(jù)集在該計算機內(nèi)的儲存媒體中。在建立該檢驗數(shù)據(jù)集后，從該容器轉(zhuǎn)移該供給晶圓至前開口單一化匣。在從該容器轉(zhuǎn)移該供給晶圓至該前開口單一化匣后，轉(zhuǎn)移包含該供給晶圓的該前開口單一化匣回到該置物架。以該計算機使用該置物架中的該供給晶圓的位置將在該置物架內(nèi)的該前開口單一化匣定位，以響應(yīng)該計算機所接收的檢驗數(shù)據(jù)集的查詢。在該計算機定位該置物架內(nèi)的該前開口單一化匣后，從該置物架轉(zhuǎn)移該前開口單一化匣至生產(chǎn)批次開始，用以使用該供給晶圓來進行集成電路制造，以響應(yīng)由該計算機所接收的該檢驗數(shù)據(jù)集的查詢。
[0008]在另一實施例中，一種用于集成電路制造的初制晶圓系統(tǒng)包含計算機，該計算機包含數(shù)據(jù)輸入接口及儲存媒體。該計算機配置以通過該計算機的該數(shù)據(jù)輸入接口接收來自請求晶圓的訂單信息。該計算機也配置以接收與供給晶圓有關(guān)的晶圓數(shù)據(jù)。該初制晶圓系統(tǒng)進一步包含置物架，該置物架具有多個槽，適用于接收包含供給晶圓的容器，且該容器具有與該容器相關(guān)連的機器可讀媒體。該機器可讀媒體以與該容器中的該供給晶圓有關(guān)的該晶圓數(shù)據(jù)編碼。該初制晶圓系統(tǒng)進一步包含感測裝置，該感測裝置適用于讀取來自與該容器有關(guān)的該機器可讀媒體的該晶圓數(shù)據(jù)。該感測裝置是與該計算機信息通訊，用以從該感測裝置轉(zhuǎn)移該晶圓數(shù)據(jù)至該計算機。該初制晶圓系統(tǒng)進一步包含容器運輸器，該容器運輸器適用于移動該容器進入和離開該置物架中的該多個槽。該計算機配置成比較在該計算機中來自該請求晶圓的該訂單信息以及來自該供給晶圓的該晶圓數(shù)據(jù)，以建立在該計算機中的檢驗數(shù)據(jù)集，且該儲存媒體是適用于儲存該檢驗數(shù)據(jù)集于該儲存媒體中。該計算機進一步適用于基于該檢驗數(shù)據(jù)集的建立及/或該檢驗數(shù)據(jù)集中所包含的信息，使用該容器運輸器以激活該供給晶圓從該容器進入和離開該置物架而至前開口單一化匣的轉(zhuǎn)移。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]以下配合下列附圖來敘述本發(fā)明，其中相同的組件符號標示相似的組件，且其中:
[0010]圖1為根據(jù)一實施例的初制晶圓系統(tǒng)的示意圖；以及[0011]圖2為根據(jù)一實施例的初制晶圓方法的制造流程圖。
[0012]符號說明
[0013]10初制晶圓系統(tǒng)
[0014]12計算機
[0015]14數(shù)據(jù)輸入接口
[0016]15容器
[0017]16儲存媒體
[0018]17機器可讀媒體
[0019]18置物架
[0020]19前開口單一化匣
[0021]20槽
[0022]22感測裝置
[0023]24容器運輸器
[0024]26生產(chǎn)批次開始
[0025]100初制晶圓方法
[0026]102 至 128 步驟。
【具體實施方式】
[0027]下面的實施方式本質(zhì)上僅是示范性，并無意限制本發(fā)明或本發(fā)明的應(yīng)用和用途。此外，無意受前面的技術(shù)背景或下列的實施方式中所提出任何明示或暗示的理論約束。
[0028]于此提供初制晶圓方法及系統(tǒng)。這里所使用的用語“初制晶圓”，是指利用與晶圓(像是半導(dǎo)體)有關(guān)的采購、組織、配置和準備的程序和設(shè)備，預(yù)期使用這些晶圓進行集成電路制造。初制晶圓方法和系統(tǒng)在集成電路制造設(shè)備中是有用的，以確保適當?shù)木A是針對特定的集成電路制造，由于集成電路制造設(shè)備可能有使用不同晶圓的不同制造線，且使用錯誤晶圓可能導(dǎo)致線停止及無用的產(chǎn)品。這里所提供的初制晶圓方法和系統(tǒng)會將在計算機中用來登記供給晶圓的所需要時間最小化，同時使得供給晶圓的品質(zhì)被認可，并且同時最小化用戶錯誤數(shù)據(jù)輸入(entry)的機會。尤其，來自請求晶圓的訂單信息被輸入計算機中，以訂單信息為基礎(chǔ)，可視需要地控制(conducted)品質(zhì)認可。如這里所指的，“訂單信息(order information) ”是關(guān)于請求晶圓的信息,其中晶圓供貨商包含晶圓的出貨,而訂單信息可能被包含在保證書里，而且保證書可能采用電子形式提供以直接登錄進計算機中。還提供包含供給晶圓的容器以及有與其相關(guān)的機器可讀媒體，機器可讀媒體以有關(guān)容器內(nèi)供給晶圓的晶圓數(shù)據(jù)編碼。就此方面，訂單信息涉及整個出貨，而內(nèi)含于機器可讀媒體的晶圓數(shù)據(jù)是有關(guān)于特定容器中的供給晶圓。來自與容器有關(guān)的機器可讀媒體的晶圓數(shù)據(jù)是被輸入至計算機中，且在計算機內(nèi)比較來自請求晶圓的訂單信息及來自供給晶圓的晶圓數(shù)據(jù)以建立檢驗數(shù)據(jù)集，為容器內(nèi)的供給晶圓與來自請求晶圓的訂單信息兩者建立關(guān)連并含有在容器內(nèi)的供給晶圓的紀錄，以便在獨立的分類處理期間無需建立供給晶圓的紀錄，從而避免獨立的分類處理的需要，因為供給晶圓的位置是已知的。特別是，透過建立檢驗數(shù)據(jù)集，在從容器轉(zhuǎn)移供給晶圓至前開口單一化匣(FOUP)前，包含供給晶圓的容器已經(jīng)登記在計算機中，且在打開容器后供給晶圓的登記是不需要的，從而避免獨立的分類步驟的需要和減少需要時間以及在獨立的分類步驟期間可能的用戶錯誤。
[0029]現(xiàn)在將分別參考圖1和圖2來說明初制晶圓系統(tǒng)和方法的示范實施例。請參考圖1，其表示用于集成電路制造的示范的初制晶圓系統(tǒng)10。示范的初制晶圓系統(tǒng)10包含具有數(shù)據(jù)輸入接口 14及儲存媒體16的計算機12。數(shù)據(jù)輸入接口 14可為使用者接口，像是鍵盤和視覺顯示，以用于人工輸入數(shù)據(jù)進入計算機12?；蛘?，數(shù)據(jù)輸入接口 14可以是使數(shù)據(jù)能夠電子轉(zhuǎn)移進入計算機12的接口，例如，USB端口、開啟以接收數(shù)據(jù)的無線或有線網(wǎng)絡(luò)連接、以及諸如此類。
[0030]根據(jù)圖2中所示的示范的初制晶圓方法100，在步驟102中，像是半導(dǎo)體晶圓的晶圓可從晶圓供貨商訂貨，晶圓供貨商可為內(nèi)部供貨商(像是請求另一制造位置將請求半導(dǎo)體材料搬移至另一制造位置)或者可為請求半導(dǎo)體材料的制造商。如上所述，訂單信息是為了請求晶圓所產(chǎn)生且含有關(guān)于請求晶圓的信息，如此晶圓供貨商包含了請求晶圓的出貨。訂單信息可含在保證書中，以提供出貨的品質(zhì)認可，并且如上面所述可為電子形式。
[0031]如圖2中所示的步驟104，晶圓供貨商將晶圓封裝到容器15內(nèi)，容器15包含來自晶圓供貨商的供給晶圓，且通常大量容器15被封裝及輸送以滿足供給晶圓的訂單。舉例來說，包含供給晶圓的容器15可為前開口輸送盒(FOSB)，此為特別設(shè)計的輸送容器15，以保護晶圓并使芯片可搬動(handling)，同時最小化污染或損壞的機會。根據(jù)于此所述的示范的初制晶圓方法及系統(tǒng)，所使用的容器15具有與該容器15有關(guān)的機器可讀媒體17，也就是，機器可讀媒體17可設(shè)置于容器15上或容器15內(nèi)。適當?shù)臋C器可讀媒體17沒有特別限制，且適當?shù)臋C器可讀媒體17的例子可包含射頻識別卷標、條形碼、QR碼等等。以晶圓數(shù)據(jù)來編碼機器可讀媒體17，晶圓數(shù)據(jù)是涉及容器15內(nèi)的供給晶圓。在一實施例中且如圖2所示的步驟106，晶圓供貨商產(chǎn)生訂單信息并以晶圓數(shù)據(jù)編碼機器可讀媒體17。然而，可理解的是，在其它實施例中，需要晶圓的一方可對機器可讀媒體17進行編碼且提供機器可讀媒體17給晶圓供貨商包含在容器15上或容器15內(nèi)。
[0032]在一實施例中，來自請求晶圓的訂單信息及來自供給晶圓的晶圓數(shù)據(jù)包含對應(yīng)的載體識別，其有效使訂單信息和晶圓數(shù)據(jù)間能夠匹配，詳細說明如下。于此所指的“對應(yīng)載體識別(corresponding carrier identification) ”可以是匹配載體識別或者是通過另一不需要匹配同一載體識別的連結(jié)規(guī)定而彼此連結(jié)(linkable)的載體識別。載體識別可由晶圓供貨商或需要晶圓的一方來建立。在一實施例中，所提供的載體識別是具有包含預(yù)置指定(designation)的命名規(guī)定，像是制造位置、容器類型、供貨商識別符、載體類型、以及預(yù)置指定的組合。舉例來說，在載體識別中的第一占位符(placeholder)可指示容器15的載體類型(例如，用于像是原始芯片F(xiàn)OSB的載體類型的種類)；在載體識別中的第二占位符可指示容器15要輸送的制造位置；第三占位符可指示特定容器類型(型號或設(shè)計)；第四占位符可包含供貨商識別符(例如，供貨商名稱)，而剩余的占位符可用來指出與供貨商有關(guān)的產(chǎn)品類型。預(yù)置指定可由晶圓供貨商及/或需要晶圓的一方來客制化，以使載體識別協(xié)調(diào)。各種占位符可以數(shù)字/字符填入且占位符內(nèi)的空格可改變，以適應(yīng)對每一預(yù)置指定的選項范圍。每一個容器15的載體識別是唯一的，以使機器可讀媒體17內(nèi)的訂單信息和晶圓數(shù)據(jù)間匹配而無冗余紀錄形成的風險。
[0033]在一實施例中，訂單信息或晶圓數(shù)據(jù)的至少一者進一步包含除了載體識別外的附加信息，而附加信息可以像是供貨商批號(vendorlot)識別、零件編號、供貨商名稱、遞送編號、與載體識別有關(guān)的輸送位置、或附加信息的組合。另外，在一個實施例中，以有關(guān)于容器15內(nèi)的供給晶圓的晶圓數(shù)據(jù)來編碼機器可讀媒體17。舉例來說，晶圓數(shù)據(jù)可包含于容器15中的個別的供給晶圓、個別的晶圓的位置、以及其它相關(guān)信息的晶圓識別。以此方式，容器15的特定內(nèi)容可被登記在計算機12內(nèi)，以準確地指出在容器15內(nèi)個別的供給晶圓的特定位置。
[0034]在一實施例中且如圖2所示，在產(chǎn)生訂單信息以及以晶圓數(shù)據(jù)編碼機器可讀媒體17后，在步驟108中，輸送容器15，且在步驟110中，提供訂單信息到需要晶圓的一方。在一具體實施例中，一組載體識別首先由需要晶圓的一方建立，然后將該載體識別提供至晶圓供貨商以編碼到機器可讀媒體17。一般地，通過需要晶圓的一方從訂單信息分別地處理容器15，采用訂單信息來控制出貨的品質(zhì)認可，同時提供容器15至儲存位置。在一實施例中，在步驟112中，示范的方法繼續(xù)通過計算機12的數(shù)據(jù)輸入接口 14將來自請求晶圓的訂單信息輸入至計算機12中。就此而言，計算機12配置成通過計算機12的數(shù)據(jù)輸入接口 14接收來自請求晶圓的訂單信息。在一實施例中，基于訂單信息建立供貨商批號簡介(profile)，且該供貨商批號簡介可自動地填入訂單信息，其可以電子形式接收。與訂單信息有關(guān)的載體識別也可填入至供貨商批號簡介。一旦在計算機12中，來自請求晶圓的訂單信息可被儲存在計算機12內(nèi)的儲存媒體16，像是在供貨商批號簡介。在步驟114中，在建立供貨商批號簡介后，可視需要地控制品質(zhì)認可。
[0035]在步驟116中，與訂單信息分離的容器15通常被容置在儲存位置，容器15被儲存，直到包含于其中的供給晶圓被要求使用。在一實施例中，且如圖1所示，示范的初制晶圓系統(tǒng)10進一步包含置物架18，置物架18具有多個槽20，而該些槽20是適用于容置包含供給晶圓的容器15，像是前開口輸送盒。置物架18儲存并維持容器15在該些槽20中，使容器15能夠組織和追蹤，如下面進一步詳細描述者。
[0036]根據(jù)示范的初制晶圓方法100，并如圖2中的步驟118所示，來自與容器15有關(guān)的機器可讀媒體17的晶圓數(shù)據(jù)是被輸入至計算機12，像是通過以感測裝置22讀取來自與容器15有關(guān)的機器可讀媒體17的晶圓數(shù)據(jù)，并且從感測裝置22轉(zhuǎn)移晶圓數(shù)據(jù)至計算機12。就此而言，示范的初制晶圓系統(tǒng)10進一步包含感測裝置22，其適用于讀取來自機器可讀媒體17的晶圓數(shù)據(jù)。根據(jù)與容器15有關(guān)的機器可讀媒體17所對應(yīng)的類型，合適的感測裝置22的范例包含條形碼掃瞄器、無線射頻辨識讀取器、以及諸如此類，但以此不限。
[0037]計算機12是適用于接收有關(guān)于來自與容器15有關(guān)的機器可讀媒體17的供給晶圓的晶圓數(shù)據(jù)。就此而言，感測裝置22是與計算機12在信息通訊(informationalcommunication),以用于從感測裝置22轉(zhuǎn)移晶圓數(shù)據(jù)至計算機12。通過“信息通訊(informational communication) ”,其是指感測裝置22能夠轉(zhuǎn)移感測裝置22所讀取的晶圓數(shù)據(jù)至計算機12。舉例來說，感測裝置22可與計算機12作無線通訊或電子通訊。或者，感測裝置22可儲存晶圓數(shù)據(jù)在可攜式儲存裝置(未圖標)，接著該晶圓數(shù)據(jù)通過可攜式儲存裝置被轉(zhuǎn)移至計算機12。在一實施例中，在輸入晶圓數(shù)據(jù)后，來自機器可讀媒體17的晶圓數(shù)據(jù)被儲存在計算機12內(nèi)的儲存媒體16中。
[0038]在一實施例中，示范的初制晶圓方法100包含在讀取晶圓數(shù)據(jù)前，以及從容器15轉(zhuǎn)移供給晶圓至前開口單一化匣19前，加載包含供給晶圓的容器15進入置物架18，下面有進一步詳細的描述。在一實施例中且如圖1所示，示范的初制晶圓系統(tǒng)10包含多個感測裝置22，當容器15是設(shè)置于置物架18的槽20中時，感測裝置22是設(shè)置于多個槽20的分別的槽20，以讀取來自與容器15有關(guān)的機器可讀媒體17的晶圓數(shù)據(jù)。舉例來說，當插入容器15進入槽20的時候，于分別的槽20中的感測裝置22可讀取與容器15有關(guān)的機器可讀媒體17，有效地結(jié)合步驟116和步驟118，如圖2中所示。以此方式，置物架18內(nèi)的容器15的具體位置可隨著來自機器可讀媒體17的晶圓數(shù)據(jù)被輸入計算機12中。
[0039]如在圖2中的步驟120所示，當計算機決定容器15中的供給晶圓相符于訂單信息中的請求晶圓時，該示范的方法比較在計算機12內(nèi)來自請求晶圓的訂單信息以及來自供給晶圓的晶圓數(shù)據(jù)，以建立檢驗數(shù)據(jù)集在計算機12中。就此而言，計算機12配置成比較在計算機12中來自請求晶圓的訂單信息以及來自供給晶圓的晶圓數(shù)據(jù)，以建立檢驗數(shù)據(jù)集在計算機12中，且儲存媒體16是適用于在儲存媒體16中儲存檢驗數(shù)據(jù)集。當訂單信息以及與容器15有關(guān)的機器可讀媒體17包含對應(yīng)的載體識別時，供貨商批號簡介建立在計算機12中，計算機12比較來自供給晶圓的晶圓數(shù)據(jù)與用于特定出貨的供貨商批號簡介所包含的訂單信息，以建立檢驗數(shù)據(jù)集，其也可以內(nèi)含在供貨商批號簡介中。在一實施例中，計算機12比較訂單信息以及晶圓數(shù)據(jù)，通過匹配(matching)容器15的載體識別以及訂單信息的載體識別，以建立檢驗數(shù)據(jù)集在計算機12中。檢驗數(shù)據(jù)集提供了使容器15中的供給晶圓與來自請求晶圓的訂單信息相互關(guān)連的紀錄，并提供了容器15中的供給晶圓的紀錄，使得在獨立的分類處理期間無需建立供給晶圓的紀錄。檢驗數(shù)據(jù)集使得具體的容器內(nèi)容可通過計算機12來檢驗和追蹤。也可建立檢驗數(shù)據(jù)集以包含其包含在機器可讀媒體17中的任何附加信息，而不是載體識別，包含個別的晶圓識別以及如上所述的任何附加信息。另外，可建立檢驗數(shù)據(jù)集以包含在置物架18中的供給晶圓的位置，且當感測裝置22是包含在置物架18的分別的槽20中時，可自動地識別該位置。
[0040]在晶圓數(shù)據(jù)從與容器15有關(guān)的機器可讀媒體17被輸入至計算機12內(nèi)而計算機12未能建立檢驗數(shù)據(jù)集的情況下，容器15變成未經(jīng)檢驗的容器且該未經(jīng)檢驗的容器可從置物架18移除，如在圖2中的步驟122所示。舉例來說，如果沒有未經(jīng)檢驗的容器的訂單信息，則未經(jīng)檢驗的容器可從置物架18移除以避免在無意中使用未經(jīng)檢驗的容器中的供給晶圓。如果可能的話，舉例來說，若在載體識別存在錯誤時，在容器15中供給晶圓的晶圓數(shù)據(jù)可人工地與訂單信息產(chǎn)生關(guān)連性，或者未經(jīng)檢驗的容器可被送回到晶圓供貨商。
[0041]如在圖2中的步驟124所示，在建立檢驗數(shù)據(jù)集在計算機12中以及儲存該檢驗數(shù)據(jù)集在儲存媒體16中后，從容器15轉(zhuǎn)移供給晶圓至前開口單一化匣19。在一實施例中，在圖1中所示的示范的初制晶圓系統(tǒng)10進一步包含容器運輸器24，其適用以移動容器15進入與離開置物架18中的多個槽20。容器運輸器24是通過計算機12所控制，而計算機12適用于使用容器運輸器24來控制容器15的移動以進入和離開置物架18中的多個槽20。特別是，計算機12是適用于基于儲存在儲存媒體16中的檢驗數(shù)據(jù)集的建立及/或檢驗數(shù)據(jù)集所包含信息，使用容器運輸器24以激活供給晶圓從容器15進入和離開置物架18中多個槽20而至前開口單一化匣19的轉(zhuǎn)移。在一實施例中，在檢驗數(shù)據(jù)集建立后，計算機12自動地激活供給晶圓從容器15至前開口單一化匣19的轉(zhuǎn)移。就此而言，可準備好供給晶圓以供集成電路制造在批次開始準備使用供給晶圓時的使用，且在容器15中供給晶圓的獨立的分類是不必要的，因為檢驗數(shù)據(jù)集早已包含供給晶圓的紀錄以及在前開口單一化匣19中的供給晶圓的位置。一旦從容器15轉(zhuǎn)移供給晶圓至前開口單一化匣19，包含供給晶圓的前開口單一化匣19可被轉(zhuǎn)移回到置物架18，如在圖2中步驟126所示，這里的前開口單一化匣19可保持，直到批次開始準備接收前開口單一化匣19。
[0042]在一實施例中，在加載容器15進入置物架18后，自動地輸入晶圓數(shù)據(jù)到計算機12內(nèi)、在計算機12中比較訂單信息和晶圓數(shù)據(jù)、以及從容器15轉(zhuǎn)移供給晶圓至前開口單一化匣，且這樣的自動化可由感測裝置22讀取來自機器可讀媒體17的晶圓數(shù)據(jù)而觸發(fā)。通過計算機12可能做到這樣的自動化，計算機12是適用于比較訂單信息和晶圓數(shù)據(jù)以建立檢驗數(shù)據(jù)集，且通過提供初制晶圓方法和系統(tǒng)的關(guān)連的特征，使得檢驗數(shù)據(jù)集可被建立。
[0043]在一實施例中，如在圖2中的步驟128所示，初制晶圓方法進一步包含從置物架18轉(zhuǎn)移前開口單一化匣19至生產(chǎn)批次開始26，用以使用供給晶圓進行集成電路制造，以響應(yīng)由計算機12所接收的檢驗數(shù)據(jù)集的查詢。于此所提及的“生產(chǎn)批次開始”是集成電路制造所進行的位置，且生產(chǎn)批次開始26可與計算機12進行信息通訊，使得在計算機12中的檢驗數(shù)據(jù)集能夠通過生產(chǎn)批次開始26查詢。生產(chǎn)批次開始26向計算機12提交檢驗數(shù)據(jù)集的查詢，當計算機12決定前開口單一化匣19是出現(xiàn)在包含通過生產(chǎn)批次開始26所尋找到的供給晶圓的置物架18時，計算機12開始使用如容器運輸器24，從置物架18轉(zhuǎn)移前開口單一化匣19至生產(chǎn)批次開始26。在置物架18中的前開口單一化匣19的存在，可通過以計算機12使用置物架18中的供給晶圓的位置來定位置物架18內(nèi)的前開口單一化匣19，以響應(yīng)計算機12所接收的檢驗數(shù)據(jù)集的查詢的方式來決定。在計算機12定位在置物架18內(nèi)的前開口單一化匣后，接著從置物架18轉(zhuǎn)移前開口單一化匣19至生產(chǎn)批次開始26，用以使用供給晶圓來進行集成電路制造，以響應(yīng)由計算機12所接收的檢驗數(shù)據(jù)集的查詢。
[0044]雖已在前面的詳細說明中呈現(xiàn)至少一個示范實施例，應(yīng)可理解到存在有大量的變化。也應(yīng)理解到示范實施例僅為范例，且無意以任何方式限制本發(fā)明的范圍、可應(yīng)用性、或配置。相反地，上述詳細說明將為本領(lǐng)域技術(shù)人員在實現(xiàn)示范實施例上提供一個方便的藍圖。應(yīng)可了解到，可做出示范實施例中所描述的組件的功能和配置的各種變化而不背離在所附的權(quán)利要求書中所提出的本發(fā)明的范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種集成電路制造的初制晶圓系統(tǒng)，該初制晶圓系統(tǒng)包括: 計算機，包含數(shù)據(jù)輸入接口及儲存媒體，該計算機配置成經(jīng)由該計算機的該數(shù)據(jù)輸入接口接收來自請求晶圓的訂單信息以及接收與供給晶圓有關(guān)的晶圓數(shù)據(jù)； 置物架，其具有多個槽，適用于接收包含供給晶圓的容器，該容器具有與其相關(guān)連的機器可讀媒體，并且以與該容器中的該供給晶圓有關(guān)的該晶圓數(shù)據(jù)編碼； 感測裝置，其適用于讀取來自與該容器有關(guān)的該機器可讀媒體的該晶圓數(shù)據(jù)，該感測裝置與該計算機信息通訊，用以將該晶圓數(shù)據(jù)從該感測裝置轉(zhuǎn)移至該計算機；以及容器運輸器，其適用于移動該容器進入和離開該置物架中的該多個槽； 其中，該計算機配置成比較在該計算機中來自該請求晶圓的該訂單信息以及來自該供給晶圓的該晶圓數(shù)據(jù)，以建立檢驗數(shù)據(jù)集在該計算機中，其中，該儲存媒體適用于儲存該檢驗數(shù)據(jù)集于其中，以及其中，該計算機適用于基于該檢驗數(shù)據(jù)集的建立及/或該檢驗數(shù)據(jù)集中所包含信息，使用該容器運輸器以激活該供給晶圓從該容器進入和離開該置物架而至前開口單一化匣的轉(zhuǎn)移。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的初制晶圓系統(tǒng)，進一步包括多個該感測裝置，當該容器設(shè)置于該置物架的該槽中時，所述感測裝置設(shè)置在該多個槽的分別的槽中以讀取該晶圓數(shù)據(jù)。
3.一種集成電路制造的初制晶圓方法，該初制晶圓方法包括: 經(jīng)由計算機的數(shù)據(jù)輸入接口將訂單信息從請求晶圓輸入該計算機中； 提供包含供給晶圓以及具有與其相關(guān)連的機器可讀媒體的容器，其中，該機器可讀媒體以與該容器中的該供給晶圓有關(guān)的晶圓數(shù)據(jù)編碼； 從與該容器有關(guān)的該機器可讀媒體輸入該晶圓數(shù)據(jù)至該計算機中； 當該計算機決定該容器中的該供給晶圓相符于該訂單信息中的該請求晶圓時，比較在該計算機中來自該請求晶圓的該訂單信息以及來自該供給晶圓的該晶圓數(shù)據(jù)，以建立檢驗數(shù)據(jù)集在該計算機中； 儲存該檢驗數(shù)據(jù)集在該計算機內(nèi)的儲存媒體中；以及 在建立該檢驗數(shù)據(jù)集后，該供給晶圓從該容器轉(zhuǎn)移至前開口單一化匣。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的初制晶圓方法，其中，提供具有與其相關(guān)連的該機器可讀媒體的該容器包括提供以該晶圓數(shù)據(jù)編碼的該機器可讀媒體，該晶圓數(shù)據(jù)包含該容器的載體識別以及該容器中的個別的供給晶圓的晶圓識別。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的初制晶圓方法，其中，來自該請求晶圓的該訂單信息以及來自該供給晶圓的該晶圓數(shù)據(jù)包含對應(yīng)的載體識別，以及其中，比較該訂單信息及該晶圓數(shù)據(jù)包括匹配該容器的該載體識別及該訂單信息的該載體識別，以建立在該計算機中的該檢驗數(shù)據(jù)集。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的初制晶圓方法，其中，該訂單信息或該晶圓數(shù)據(jù)的至少一者進一步包含選自供貨商批號識別、零件編號、供貨商名稱、遞送編號、與該載體識別有關(guān)的輸送位置、或其組合的附加信息。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的初制晶圓方法，進一步包括在輸入該晶圓數(shù)據(jù)前，加載包含該供給晶圓的該容器至置物架中，其中，該檢驗數(shù)據(jù)集被建立以包含該置物架中的該供給晶圓的位置。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述 的初制晶圓方法，進一步包括以該計算機使用該置物架中的該供給晶圓的該位置來定位該置物架內(nèi)的該前開口單一化匣，以響應(yīng)該計算機所接收的檢驗數(shù)據(jù)集的查詢。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的初制晶圓方法，進一步包括在該計算機定位該置物架內(nèi)的該前開口單一化匣后，從該置物架轉(zhuǎn)移該前開口單一化匣至生產(chǎn)批次開始，用以使用該供給晶圓來進行集成電路制造，以響應(yīng)由該計算機所接收的檢驗數(shù)據(jù)集的該查詢。
10.根據(jù)權(quán)利要求3所述的初制晶圓方法，進一步包括在分別地輸入該訂單信息和該晶圓數(shù)據(jù)后，儲存來自該請求晶圓的該訂單信息以及來自該機器可讀媒體的該晶圓數(shù)據(jù)至該計算機內(nèi)的該儲存媒體中。
11.根據(jù)權(quán)利要求3所述的初制晶圓方法，其中，輸入來自該機器可讀媒體的該晶圓數(shù)據(jù)包括以感測裝置讀取來自與該容器有關(guān)的該機器可讀媒體的該晶圓數(shù)據(jù)，以及從該感測裝置轉(zhuǎn)移該晶圓數(shù)據(jù)至該計算機。
12.根據(jù)權(quán)利要求3所述的初制晶圓方法，進一步包括在從該容器轉(zhuǎn)移該供給晶圓至該前開口單一化匣前，加載包含該供給晶圓的該容器至置物架中。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的初制晶圓方法，其中，在輸入該晶圓數(shù)據(jù)至該計算機中前，加載該容器至該置物架中，以及其中，當該容器設(shè)置在該置物架中時，從該機器可讀媒體輸入該晶圓數(shù)據(jù)。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的初制晶圓方法，進一步包括在無法為未經(jīng)檢驗的容器在該計算機中建立該檢驗數(shù)據(jù)集時，從該置物架移除該未經(jīng)檢驗的容器。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的初制晶圓方法，其中，在加載該容器至該置物架后，自動地進行輸入該晶圓數(shù)據(jù)、比 較該訂單信息和該晶圓數(shù)據(jù)以及將該供給晶圓從該容器轉(zhuǎn)移至該前開口單一化匣。
16.根據(jù)權(quán)利要求12所述的初制晶圓方法，進一步包括在該供給晶圓從該容器轉(zhuǎn)移至該前開口單一化匣后，轉(zhuǎn)移包含該供給晶圓的該前開口單一化匣回到該置物架。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的初制晶圓方法，進一步包括從該置物架轉(zhuǎn)移該前開口單一化匣至生產(chǎn)批次開始，用以使用該供給晶圓進行集成電路制造，以響應(yīng)由該計算機所接收的檢驗數(shù)據(jù)集的查詢。
18.根據(jù)權(quán)利要求3所述的初制晶圓方法，其中，該機器可讀媒體包括射頻識別卷標，以及其中，輸入該晶圓數(shù)據(jù)包括以包括射頻識別讀取器的感測裝置讀取該射頻識別卷標。
19.根據(jù)權(quán)利要求3所述的初制晶圓方法，進一步包括從該請求晶圓產(chǎn)生該訂單信息且以與該容器中的該供給晶圓有關(guān)的該晶圓數(shù)據(jù)編碼該機器可讀媒體，以及其中，晶圓供貨商產(chǎn)生該訂單信息及編碼該機器可讀媒體。
20.一種集成電路制造的初制晶圓方法，該初制晶圓方法包括: 經(jīng)由計算機的數(shù)據(jù)輸入接口將訂單信息從請求晶圓輸入該計算機中，其中，該訂單信息包含載體識別； 提供包含供給晶圓以及具有與其相關(guān)連的機器可讀媒體的容器，其中，該機器可讀媒體以與該容器中的該供給晶圓有關(guān)的晶圓數(shù)據(jù)編碼，該容器包含該容器的載體識別以及該容器中的個別的供給晶圓的晶圓識別； 加載該容器至置物架中； 當該容器設(shè)置在該置物架中時，以感測裝置讀取來自與該容器有關(guān)的該機器可讀媒體的該晶圓數(shù)據(jù)； 從該感測裝置轉(zhuǎn)移該晶圓數(shù)據(jù)至該計算機； 在該計算機中匹配該容器的該載體識別以及該訂單信息的該載體識別，以建立檢驗數(shù)據(jù)集在該計算機中，其中，該檢驗數(shù)據(jù)集被建立以包含該置物架中該供給晶圓的位置； 儲存該檢驗數(shù)據(jù)集在該計算機內(nèi)的儲存媒體中； 在建立該檢驗數(shù)據(jù)集后，從該容器轉(zhuǎn)移該供給晶圓至前開口單一化匣； 在從該容器轉(zhuǎn)移該供給晶圓至該前開口單一化匣后，轉(zhuǎn)移包含該供給晶圓的該前開口單一化匣回到該置物架； 以該計算機使用該置物架中該供給晶圓的該位置將在該置物架內(nèi)的該前開口單一化匣定位，以響應(yīng)該計算機所接收的檢驗數(shù)據(jù)集的查詢；以及 在該計算機定位該置物架內(nèi)的該前開口單一化匣后，從該置物架轉(zhuǎn)移該前開口單一化匣至生產(chǎn)批次開始，用以使用該供給晶圓來進行集成電路制造，以響應(yīng)由該計算機所接收的檢驗數(shù)據(jù)集的該查詢。
【文檔編號】H01L21/67GK103579051SQ201310329162
【公開日】2014年2月12日 申請日期:2013年7月31日 優(yōu)先權(quán)日:2012年8月7日
【發(fā)明者】T·基內(nèi)謝爾, S·普爾姆, M·福斯特, J·西伯格 申請人:格羅方德半導(dǎo)體公司