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一種采用脈動(dòng)流及葉脈式微流道的散熱裝置制造方法

文檔序號:7262989閱讀:598來源:國知局
一種采用脈動(dòng)流及葉脈式微流道的散熱裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種電子元件配套用的采用脈動(dòng)流及葉脈式微流道的散熱裝置,包括設(shè)有葉脈式微流道的微流道散熱基板或微流道散熱板和微流道散熱基板、蓋板的散熱器,含電動(dòng)機(jī),缸體的前、后端各設(shè)有一對進(jìn)、出液口的活塞式液壓缸及與該液壓缸兩進(jìn)液口對應(yīng)連接的2個(gè)進(jìn)液電磁閥和與兩出液口對應(yīng)連接的2個(gè)出液電磁閥的脈動(dòng)流發(fā)生系統(tǒng),含信號發(fā)射器和信號接收器電磁閥控制器。該發(fā)明中的活塞式液壓缸往、返行程均可對散熱器提供連續(xù)的脈動(dòng)冷卻介質(zhì)流,既延長了散熱冷板連續(xù)有效散熱的時(shí)間,又顯著增強(qiáng)微通道內(nèi)冷卻介質(zhì)相互的擾動(dòng)及混合、破壞了熱邊界層,因而本發(fā)明具有散熱效果好、散熱效率高、散熱區(qū)域溫度均勻性好,器件工作的可靠性、穩(wěn)定性高等特點(diǎn)。
【專利說明】一種采用脈動(dòng)流及葉脈式微流道的散熱裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種與電子元件配套用散熱裝置,特別是一種利用脈動(dòng)流發(fā)生系統(tǒng)產(chǎn)生脈動(dòng)冷卻液流提供給葉脈式微流道熱沉冷板,以對高功耗(高熱流密度)電子元件工作時(shí)進(jìn)行散熱處理,確保電子元器件工作可靠及延長其使用壽命的散熱裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]電子元器件工作時(shí),由于功率的損耗,造成器件本身溫度上升,當(dāng)溫度無法及時(shí)傳導(dǎo)或?qū)α鞒鋈?,就?huì)造成本身器件內(nèi)部溫度上升而影響其性能,降低其工作穩(wěn)定性和可靠性。電子元件的功耗越高、產(chǎn)生的熱量就越高,而高密度封裝又將這些熱量分布在較小的表面,造成電子元件和設(shè)備的熱流密度迅速提高。有研究表明,芯片級的熱流密度有的高達(dá)lOOW/cm2,甚至有些微系統(tǒng)的熱流密度高達(dá)lOOOW/cm2 ;約占55%的電子元器件損壞或缺陷均源自于溫度過高的問題。因此,除對電子元件進(jìn)行高效率的熱設(shè)計(jì),提高設(shè)備可靠性和延長其使用壽命外,還迫切需要針對電子元件高熱流密度的散熱問題給以研究解決。
[0003]脈動(dòng)熱管是近幾年來應(yīng)用比較廣泛的用來解決高熱流密度散熱問題的新興技術(shù)。脈動(dòng)熱管在一定條件下達(dá)到穩(wěn)定運(yùn)行時(shí)具有很好的傳熱特性,同時(shí)具有體積小、重量輕、布置靈活等優(yōu)點(diǎn);但是脈動(dòng)熱管還存在許多缺點(diǎn),一方面,脈動(dòng)熱管內(nèi)部的流動(dòng)屬于微細(xì)管道內(nèi)的氣液兩相流動(dòng),運(yùn)行過程中其內(nèi)部工質(zhì)的壓力、溫度和速度均呈現(xiàn)脈動(dòng)性,存在許多熱力學(xué)不平衡現(xiàn)象,并帶有很大的隨機(jī)性和復(fù)雜性;另一方面由于脈動(dòng)熱管的工質(zhì)運(yùn)行通道較小,因此在脈動(dòng)熱管的實(shí)驗(yàn)測量方法上就受到許多限制,脈動(dòng)熱管內(nèi)部工質(zhì)的溫度、壓力和速度的脈動(dòng)變化測量也比較困難。
[0004]微流道散熱器是由Tuckerman和Pease在1981年首次提出,隨后國內(nèi)外的很多學(xué)者都對微流道散熱器做了大量研究工作。附圖1所示即為目前采用的微流道熱沉冷板結(jié)構(gòu)不意圖(參見〈〈Experimental Investigation of an Ultrathin Manifold MicroChannelHeat Sink for Liquid-Cooled Chips》,W.Escher, 2010);該微流道熱沉冷板雖然具有結(jié)構(gòu)簡單,但卻存在以下缺陷:
[0005]⑴該熱沉冷板只是簡單的將微流道并聯(lián)在一起,流體進(jìn)入每條流道都會(huì)產(chǎn)生較大壓力損失,不但損耗功率,還導(dǎo)致進(jìn)入每條流道的流量不同,散熱效果不理想;甚至還會(huì)出現(xiàn)局部回流(圖1中9-1.3中箭頭所示)現(xiàn)象,導(dǎo)致局部區(qū)域散熱性差,嚴(yán)重時(shí)將造成元件的損壞;
[0006]⑵該熱沉冷板只是簡單的用微型泵往流道中輸送流體,流體傳熱效果差,只能被動(dòng)散熱,此類熱沉冷板一般最高溫度區(qū)域?yàn)?3°C、最低溫度區(qū)域?yàn)?6°C,高、低溫區(qū)域的溫度差為7°C左右,邊緣處有明顯的熱集中效應(yīng)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明的目的是針對【背景技術(shù)】存在的缺陷,設(shè)計(jì)一種采用脈動(dòng)流及葉脈式微流道的散熱裝置,該裝置通過改變熱沉冷板中微流道的結(jié)構(gòu)及流體脈動(dòng)流的頻率幅值等級,以達(dá)到使活塞在往、返行程中均可向散熱器提冷卻介質(zhì)、延長散熱冷板的有效工作時(shí)間,增強(qiáng)微流道內(nèi)流體的相互擾動(dòng)與混合并破壞熱邊界層,進(jìn)而改變熱阻、強(qiáng)化散(傳)熱效果、有效提高散(傳)熱效率及散熱區(qū)域溫度的均勻性,以及器件工作可靠等目的。
[0008]本發(fā)明的解決方案是采用設(shè)有葉脈式微流道的微流道散熱基板或微流道散熱板和微流道散熱基板、蓋板作為散熱器,而采用電動(dòng)機(jī),缸體的前、后端各設(shè)有一對進(jìn)、出液口的活塞式液壓缸,與液壓缸各進(jìn)、出液口分別連接的各電磁閥,以及控制器作為冷卻介質(zhì)脈動(dòng)流的發(fā)生系統(tǒng),該發(fā)生系統(tǒng)分別通過電磁閥與循環(huán)冷卻池和散熱器連通,活塞式液壓缸在電動(dòng)機(jī)的帶動(dòng)下將從從循環(huán)冷卻池中抽取冷卻介質(zhì)(冷卻液)向散熱器中的葉脈式微流道散熱基板或微流道散熱板和微流道散熱基板提供,以帶走電子元件的工作熱;工作后的冷卻介質(zhì)返回循環(huán)冷卻池冷卻;冷卻介質(zhì)脈動(dòng)周期由液壓缸中活塞往復(fù)運(yùn)動(dòng)的頻率決定,而活塞往復(fù)運(yùn)動(dòng)的頻率則通過控制與電動(dòng)機(jī)連接的(液壓缸曲柄連桿機(jī)構(gòu)中)曲柄的轉(zhuǎn)速來調(diào)節(jié);因而,本發(fā)明采用脈動(dòng)流及葉脈式微流道的散熱裝置包括微流道散熱器,冷卻介質(zhì)脈動(dòng)流發(fā)生系統(tǒng),關(guān)鍵在于微流道散熱器包含帶冷卻介質(zhì)進(jìn)、出口的蓋板,設(shè)有冷卻介質(zhì)進(jìn)、出端口的葉脈式微流道散熱基板;而脈動(dòng)流發(fā)生系統(tǒng)則包括電動(dòng)機(jī),缸體的前、后端各設(shè)有一對進(jìn)、出液口的活塞式液壓缸及與該液壓缸兩進(jìn)液口對應(yīng)連接的2個(gè)進(jìn)液電磁閥和與兩出液口對應(yīng)連接的2個(gè)出液電磁閥,含信號發(fā)射器和信號接收器在內(nèi)的電磁閥控制器;散熱器蓋板上的冷卻介質(zhì)進(jìn)、出口與葉脈式微流道散熱基板上的冷卻介質(zhì)進(jìn)、出口分別對正后密封固定成一體,脈動(dòng)流發(fā)生系統(tǒng)中的活塞式液壓缸通過活塞上的曲柄連桿機(jī)構(gòu)與電動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)軸連接,液壓缸前、后端的進(jìn)液口通過對應(yīng)的電磁閥和微型泵與循環(huán)冷卻池連通,而液壓缸前、后端的出液口則通過對應(yīng)的電磁閥分別與微流道散熱器蓋板上的冷卻介質(zhì)進(jìn)口連通,微流道散熱器蓋板上的冷卻介質(zhì)出口則與循環(huán)冷卻池連通以輸出工作后的冷卻介質(zhì);電磁閥中與液壓缸前端進(jìn)液口連接的進(jìn)液電磁閥和與液壓缸后端出液口連接的出液電磁閥為一組、與液壓缸后端進(jìn)液口連接的進(jìn)液電磁閥和與液壓缸前端出液口連接的出液電磁閥為另一組,兩組電磁閥分別與控制器的兩輸出端連接,控制器根據(jù)信號接收器在活塞運(yùn)行到液壓缸兩端時(shí)接收到的信號轉(zhuǎn)換兩組電磁閥的通、斷,確保散熱器連續(xù)輸送脈動(dòng)的冷卻介質(zhì)流。
[0009]上述葉脈式微流道采用樹葉葉脈結(jié)構(gòu),即主流道上兩個(gè)第一級支流道分別由三個(gè)分支流道組成并對稱設(shè)于主流道的兩側(cè),此后的各級支流道均由兩個(gè)對稱設(shè)于主流道兩側(cè)的單一的支流道組成,各支流道的內(nèi)端均與主流道連通,支流道的末端通過一微流道與該散熱基板上的冷卻介質(zhì)出口連通。
[0010]為了進(jìn)一步增強(qiáng)散熱器的散熱效果及縮小高、低溫度區(qū)之間的溫差,在散熱器蓋板與葉脈式微流道散熱基板之間還增設(shè)一葉脈式微流道散熱板,該葉脈式微流道散熱板上的各支流道(葉脈)外端作為冷卻介質(zhì)進(jìn)口與葉脈式微流道散熱基板上對應(yīng)支流道(葉脈)外端連通、而葉脈式微流道散熱板上的冷卻介質(zhì)出口則設(shè)于葉脈式微流道散熱板柄部的主流道上并與散熱器蓋板上的冷卻介質(zhì)出口連通。
[0011]所述控制器根據(jù)信號接收器在活塞運(yùn)行到液壓缸兩端時(shí)接收到的信號轉(zhuǎn)換兩組電磁閥的通、斷,為散熱器連續(xù)輸送脈動(dòng)的冷卻介質(zhì)流;其方法是將信號發(fā)生器置于曲柄的外端頭(即曲柄和連桿的鉸鏈處)或連桿上,當(dāng)活塞分別運(yùn)動(dòng)至缸體的兩端時(shí)(此時(shí)曲柄、連桿和活塞桿位于同一軸線上)在正對曲柄的外端頭或連桿上的信號發(fā)生器所在的兩個(gè)位置處各設(shè)一信號接收器,以分別接收活塞運(yùn)動(dòng)至缸體兩端時(shí)的端點(diǎn)信號,控制器一旦接收到任一信號發(fā)生器發(fā)出的端點(diǎn)信號即轉(zhuǎn)換兩組電磁閥的通、斷,為散熱器連續(xù)輸送脈動(dòng)的冷卻介質(zhì)流。
[0012]本發(fā)明由于采用設(shè)有葉脈式微流道的微流道散熱基板或微流道散熱板和微流道散熱基板作為散熱器;而采用在缸體的前、后端各設(shè)有一對進(jìn)、出液口的活塞式液壓缸,液壓缸各進(jìn)、出液口分別連接一電磁閥的冷卻介質(zhì)脈動(dòng)流發(fā)生系統(tǒng),以產(chǎn)生脈動(dòng)的冷卻介質(zhì)流提供給葉脈式微流道熱沉冷板。本發(fā)明散熱裝置中的活塞式液壓缸往、返行程均可對散熱器提供連續(xù)的脈動(dòng)冷卻介質(zhì)流,該脈動(dòng)流既延長了散熱冷板連續(xù)有效散熱的時(shí)間,又顯著增強(qiáng)微通道內(nèi)冷卻介質(zhì)相互的擾動(dòng)及混合、破壞了熱邊界層,進(jìn)而改變了流道內(nèi)的熱阻、強(qiáng)化了熱能的傳送,提高了散熱效率;與【背景技術(shù)】相比在相同條件下,本發(fā)明采用單層的葉脈式微流道散熱基板散熱器時(shí),散熱基板底部的最高溫度區(qū)域?yàn)?7°C、最低溫度區(qū)域?yàn)?2°C、溫差5°C,高、低溫區(qū)域的溫度分別較【背景技術(shù)】低6°C及4°C ;當(dāng)采用葉脈式微流道散熱板和微流道散熱基板底板的雙層散熱器時(shí),散熱基板底部的最高溫度區(qū)域?yàn)?3°C、最低溫度區(qū)域?yàn)?9°C、溫差為4°C,高、低溫區(qū)域的溫度分別較【背景技術(shù)】低10°C及TC,溫度分布更加均勻。因而本發(fā)明具有散熱效果好、散熱效率高、散熱區(qū)域溫度均勻性好,器件工作的可靠性、穩(wěn)定性高等特點(diǎn)。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1是【背景技術(shù)】用于冷卻IC芯片的熱沉冷板結(jié)構(gòu)示意圖;
[0014]圖2是本發(fā)明冷卻介質(zhì)脈動(dòng)流發(fā)生系統(tǒng)結(jié)構(gòu)及散熱裝置內(nèi)部連接關(guān)系示意圖;
[0015]圖3是本發(fā)明實(shí)施例1葉脈式微流道的微流道散熱基板及微通道結(jié)構(gòu)示意圖;
[0016]圖4是本發(fā)明實(shí)施例1散熱器結(jié)構(gòu)示意圖;
[0017]圖5是本發(fā)明實(shí)施例1仿真運(yùn)行散熱器蓋板的溫度等值線圖;
[0018]圖6是本發(fā)明實(shí)施例2微流道散熱板和微流道散熱基板組合結(jié)構(gòu)示意圖;
[0019]圖7是本發(fā)明實(shí)施例2散熱器結(jié)構(gòu)示意圖;
[0020]圖8是本發(fā)明實(shí)施例2仿真運(yùn)行散熱器蓋板的溫度等值線圖。
[0021]圖中:1-1.液壓缸、1-2.曲柄、1-3.連桿、1-4.活塞,2.電動(dòng)機(jī),3_1、3_2:出液電磁閥,3-3、3-4:進(jìn)液電磁閥,4.溢流閥,5.微型泵,6-1、6-2:信號接收器,7.信號發(fā)射器,
8.控制器,9.散熱器,9-1.微流道散熱基板,9-1.1、9-2.1、9-3.1:冷卻介質(zhì)進(jìn)口,9-1.2、9-2.2,9-3.2:冷卻介質(zhì)出口,9-1.3,9-3.3:主流道,9-1.4,9-3.4:支流道,9-2.(散熱器)蓋板,9-3.微流道散熱板,9-3.5.(上、下支流道)連通口,10.循環(huán)冷卻池;A、B:(信號發(fā)射器)信號傳播方向,F(xiàn)/箭頭指向:冷卻介質(zhì)流向。
【具體實(shí)施方式】
[0022]實(shí)施例1:本實(shí)施例散熱器9由微流道基板9-1與(散熱器)蓋板9-2組成,微流道散熱基板9-1主體(長X寬X厚)100X100 X 3.0mm、各流道深均為2mm,柄處尺寸為(長X寬X厚)50 X 20X 3.0mm,總散熱面積為5357.7042mm2,其中:主流道9-1.3長?、入水口寬3.54_、出水口寬為0.5mm,各支流道9-1.4寬均為1.5mm,第一級支流道長69.7_、其中三個(gè)分支流道長均為41.5mm,第二級支流道長51.3mm、第三級支流道長42.1mm、第四級級支流道長32.8mm、第五級級支流道長23.5mm、第六級級支流道長14.2mm、第七級級支流道長
4.8mm,各級支流道對稱設(shè)于主流道9-1.3兩側(cè);蓋板尺寸為100 X 100mm,厚度為2mm ;微流道基板9-1、(散熱器)蓋板9-2 (長X寬X厚)100X100X2.0mm、材質(zhì)均為銅;
[0023]液壓缸1-1直徑為20mm、長度120臟、活塞1-4的有效行程為IOOmm ;曲柄1-2長為50mm ;電動(dòng)機(jī)2采用M206-002微型調(diào)速電機(jī),調(diào)速范圍90?1700rpm、自帶速度控制器;出液電磁閥3-1、3-2,進(jìn)液電磁閥3-3、3-4均采用型號為2WS1-15的常閉式二位二通電磁閥,公稱直徑15mm、電壓220V、安全壓力O?1.0MPa、溫度范圍O?80°C ;本實(shí)施例在進(jìn)液電磁閥3-3、3-4:與微型泵5之間還設(shè)有一溢流閥4、其型號為RBG-03先導(dǎo)式平衡閥;微型泵5型號為WX-20A ;控制器8型號為CJ1W-TC,其上2個(gè)信號輸入端口分別與信號接收器6-1、6-2連接、2個(gè)控制信號輸出端口分別與進(jìn)液電磁閥3-4、出液電磁閥3-2及進(jìn)液電磁閥3-3、出液電磁閥3-1兩組電磁閥連接、以控制其交替通、斷;冷卻池10容積20ml。
[0024]本實(shí)施例通過流體力學(xué)軟件Ansys Fluentl2.0來進(jìn)行仿真運(yùn)行,冷卻介質(zhì)為水,脈動(dòng)流發(fā)生系統(tǒng)向散熱器9輸入的冷卻水溫度為26°C,冷卻水的脈動(dòng)流量為750ml/min,為了進(jìn)行流固耦合計(jì)算,流動(dòng)域與固體域之間將設(shè)置為耦合界面;將微流道基板9-1的底部置于熱流密度為10000W/m2 (l.0W/cm2)的恒定熱源上。仿真的結(jié)果顯示微流道基板9_1底部的最高溫度區(qū)域?yàn)?7°C,最低溫度區(qū)域?yàn)?2°C ;葉脈式微流道中液體的最高溫度區(qū)域?yàn)?4°C,最低溫度區(qū)域?yàn)?7°C,且入水口處溫度明顯低于出水口,主流道中溫度低于其他支流道。附圖5即為本實(shí)施例仿真運(yùn)行散熱器蓋板9-2上的溫度等值線圖。
[0025]實(shí)施例2:
[0026]本實(shí)施例微流道基板9-1的主體和脈動(dòng)流發(fā)生系統(tǒng)與實(shí)施例1相同,微流道散熱板9-3葉脈式微流道的結(jié)構(gòu)亦與微流道基板9-1相同,微流道散熱板9-3上的各支流道(葉脈)9-3.4外端增設(shè)的(上、下支流道)連通口 9-3.5作為冷卻介質(zhì)(水)進(jìn)口與葉脈式微流道散熱基板上對應(yīng)支流道9-1.4的外端連通、而葉脈式微流道散熱板9-3上的冷卻介質(zhì)出口9-3.2則設(shè)于葉脈式微流道散熱板柄部的主流道9-3.3上(即主流道9-3.3的寬口端)的并與散熱器蓋板上的冷卻介質(zhì)出口 9-2.2連通;本實(shí)施例冷卻水(介質(zhì))由散熱器蓋板上的冷卻介質(zhì)進(jìn)口 9-2.1經(jīng)微流道基板9-1上冷卻介質(zhì)進(jìn)口 9-1.1、主流道9-1.3、各支流道9-1.4末端的微流道,再經(jīng)葉脈式微流道散熱板9-3上各支流道9-3.4末端上的上、下支流道)連通口 9-3.5進(jìn)入葉脈式微流道散熱板9-3各支流道9-3.4內(nèi),最后經(jīng)主流道9-3.3、冷卻介質(zhì)出口 9-3.2及散熱器蓋板上的冷卻介質(zhì)出口 9-2.2返回循環(huán)冷卻池10。
[0027]本實(shí)施例經(jīng)與實(shí)施例1相同條件下仿真運(yùn)行,其結(jié)果顯示本實(shí)施例微流道基板9-1底部的最高溫度區(qū)域?yàn)?3°C、最低溫度區(qū)域?yàn)?9°C,溫差為4°C,高、低溫區(qū)域的溫度不但分別比【背景技術(shù)】低10°C及TC,而且也比實(shí)施例1的37°C和32°C分別低4°C及:TC,溫度分布更加均勻,葉脈式微流道中液體的最高溫度為32°C,最低溫度為27°C,主流道與各支流道中的溫度差異也不大;附圖8即為本實(shí)施例仿真運(yùn)行中散熱器蓋板9-2上的溫度等值線圖。
【權(quán)利要求】
1.一種采用脈動(dòng)流及葉脈式微流道的散熱裝置,包括微流道散熱器,冷卻介質(zhì)脈動(dòng)流發(fā)生系統(tǒng),其特征在于微流道散熱器包含帶冷卻介質(zhì)進(jìn)、出口的蓋板,設(shè)有冷卻介質(zhì)進(jìn)、出端口的葉脈式微流道散熱基板;而脈動(dòng)流發(fā)生系統(tǒng)則包括電動(dòng)機(jī),缸體的前、后端各設(shè)有一對進(jìn)、出液口的活塞式液壓缸及與該液壓缸兩進(jìn)液口對應(yīng)連接的2個(gè)進(jìn)液電磁閥和與兩出液口對應(yīng)連接的2個(gè)出液電磁閥,含信號發(fā)射器和信號接收器在內(nèi)的電磁閥控制器;散熱器蓋板上的冷卻介質(zhì)進(jìn)、出口與葉脈式微流道散熱基板上的冷卻介質(zhì)進(jìn)、出口分別對正后密封固定成一體,脈動(dòng)流發(fā)生系統(tǒng)中的活塞式液壓缸通過活塞上的曲柄連桿機(jī)構(gòu)與電動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)軸連接,液壓缸前、后端的進(jìn)液口通過對應(yīng)的電磁閥和微型泵與循環(huán)冷卻池連通,而液壓缸前、后端的出液口則通過對應(yīng)的電磁閥分別與微流道散熱器蓋板上的冷卻介質(zhì)進(jìn)口連通,微流道散熱器蓋板上的冷卻介質(zhì)出口則與循環(huán)冷卻池連通以輸出工作后的冷卻介質(zhì);電磁閥中與液壓缸前端進(jìn)液口連接的進(jìn)液電磁閥和與液壓缸后端出液口連接的出液電磁閥為一組、與液壓缸后端進(jìn)液口連接的進(jìn)液電磁閥和與液壓缸前端出液口連接的出液電磁閥為另一組,兩組電磁閥分別與控制器的兩輸出端連接,控制器根據(jù)信號接收器在活塞運(yùn)行到液壓缸兩端時(shí)接收到的信號轉(zhuǎn)換兩組電磁閥的通、斷,確保散熱器連續(xù)輸送脈動(dòng)的冷卻介質(zhì)流。
2.按權(quán)利要求1所述采用脈動(dòng)流及葉脈式微流道的散熱裝置,其特征在于所述葉脈式微流道采用樹葉葉脈結(jié)構(gòu),即主流道上兩個(gè)第一級支流道分別由三個(gè)分支流道組成并對稱設(shè)于主流道的兩側(cè),此后的各級支流道均由兩個(gè)對稱設(shè)于主流道兩側(cè)的單一的支流道組成,各支流道的內(nèi)端均與主流道連通,支流道的末端通過一微流道與該散熱基板上的冷卻介質(zhì)出口連通。
3.按權(quán)利要求1所述采用脈動(dòng)流及葉脈式微流道的散熱裝置,其特征在于在散熱器蓋板與葉脈式微流道散熱基板之間還增設(shè)一葉脈式微流道散熱板,該葉脈式微流道散熱板上的各支流道外端作為冷卻介質(zhì)進(jìn)口與葉脈式微流道散熱基板上對應(yīng)支流道外端連通、而葉脈式微流道散熱板上的冷卻介質(zhì)出口則設(shè)于葉脈式微流道散熱板柄部的主流道上并與散熱器蓋板上的冷卻介質(zhì)出口連通。
4.按權(quán)利要求1所述采用脈動(dòng)流及葉脈式微流道的散熱裝置,其特征在于所述控制器根據(jù)信號接收器在活塞運(yùn)行到液壓缸兩端時(shí)接收到的信號轉(zhuǎn)換兩組電磁閥的通、斷,為散熱器連續(xù)輸送脈動(dòng)的冷卻介質(zhì)流;其方法是將信號發(fā)生器置于曲柄的外端頭或連桿上,當(dāng)活塞分別運(yùn)動(dòng)至缸體的兩端時(shí),在正對曲柄的外端頭或連桿上的信號發(fā)生器所在的兩個(gè)位置處各設(shè)一信號接收器,以分別接收活塞運(yùn)動(dòng)至缸體兩端時(shí)的端點(diǎn)信號,控制器一旦收到任一信號發(fā)生器發(fā)出的端點(diǎn)信號即轉(zhuǎn)換兩組電磁閥的通、斷,為散熱器連續(xù)輸送脈動(dòng)的冷卻介質(zhì)流。
【文檔編號】H01L23/473GK103441110SQ201310373629
【公開日】2013年12月11日 申請日期:2013年8月23日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月23日
【發(fā)明者】徐尚龍, 汪超, 秦杰, 梁濤 申請人:電子科技大學(xué)
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