排列用掩模的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種排列用掩模，具備與工件上的電極的排列圖形對(duì)應(yīng)的、焊錫球能夠插通的開口。該排列用掩模具備與預(yù)定的排列圖形對(duì)應(yīng)的開口（12），通過(guò)在開口內(nèi)撒入焊錫球（2），將焊錫球（2）搭載在工件（3）上的預(yù)定位置，其特征在于，開口（12）為多角形狀。
【專利說(shuō)明】排列用掩模
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種用于形成焊錫凸塊的排列用掩模。
【背景技術(shù)】
[0002]作為形成焊錫凸塊的方法，已知有將焊錫球搭載在工件上的方法，使用具有與工件的電極的排列圖形對(duì)應(yīng)、并且焊錫球能夠插通的開口的排列用掩模搭載焊錫球后，通過(guò)回流使焊錫球熔融。作為該排列用掩模，公開有專利文獻(xiàn)1以及2，排列用掩模的開口形狀形成為圓形狀，其直徑尺寸0大于焊錫球直徑尺寸(1 (0=1.2~1.3(0。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0004]專利文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本特開2006-287215號(hào)公報(bào)
[0006]專利文獻(xiàn)2:日本特開2006-324618號(hào)公報(bào)
[0007]但是，近年來(lái)隨著電子設(shè)備的小型化，工件中電極的間距存在狹小化趨勢(shì)，從而更加要求焊錫球搭載于電極的中央位置。但是，由于排列用掩模的開口為圓形狀，該開口的直徑尺寸0形成為相對(duì)于焊錫球的直徑尺寸(1為1.2~1.3倍，所以即使特意使開口的中心與電極的中心對(duì)位，開口內(nèi)搭載的焊錫球也容易產(chǎn)生距離電極的中心位置為開口直徑尺寸0與焊錫球直徑尺寸(1的差量的位置偏差，不能使所有的焊錫球搭載在各電極的中心。由此，理想的情形是使排列用掩模的開口直徑尺寸0形成為稍大于焊錫球的直徑尺寸山也就是使開口直徑尺寸0與焊錫球直徑尺寸(1無(wú)限接近(0 ^ (1),但是那樣的話，在使焊錫球插通開口時(shí)，焊錫球與開口端接觸的部分(面)增加，所以接觸阻力增加，導(dǎo)致難以將焊錫球插通開口。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明的目的在于提供能夠解決上述課題的排列用掩模。
[0009]本發(fā)明為一種排列用掩模，具備與預(yù)定的排列圖形對(duì)應(yīng)的開口，通過(guò)在開口內(nèi)撒入焊錫球，將焊錫球搭載在工件上的預(yù)定位置，該排列用掩模的特征在于，開口為多角形狀。該開口優(yōu)選為四角形狀。
[0010]另外，本發(fā)明的特征在于，開口尺寸為焊錫球直徑尺寸的1.01倍以上且不足1.2倍。
[0011]并且，本發(fā)明的特征在于，開口具有第一開口和第二開口，第一開口形成為多角形狀，第二開口形成為圓形狀。
[0012]本發(fā)明的效果如下。
[0013]根據(jù)本發(fā)明涉及的排列用掩模，由于與預(yù)定的排列圖形對(duì)應(yīng)的開口為多角形狀，所以相比圓形狀，能夠減少開口端部中與焊錫球接觸的部分(點(diǎn)接觸、線接觸、面接觸)，能夠使焊錫球易于向開口內(nèi)插通。-工件，6 —電極，10—掩模主體，12—開口，%—突起部，156—突起部，30—母模，31—電鑄層，36—光致抗蝕劑層，38—二次圖形
I模。該排列用掩模(以下有時(shí)僅表述為掩:序中使用。圖2中的符號(hào)3表示由掩模13具有剛性、柔性各種類型，具體為晶圓、基導(dǎo)體芯片5，通過(guò)引線接合進(jìn)行布線后進(jìn)行I出端子的電極6形成為包圍半導(dǎo)體芯片5為單體，成為單個(gè)的131芯片。
金、銅、其他金屬為素材形成的掩模主體10仁10的框體11。掩模主體10和框體11可各半導(dǎo)體芯片5，形成有多個(gè)由用于投放焊口 12的位置能夠設(shè)置突起部15匕關(guān)于該突起部15，可以如圖3所示為僅設(shè)置突起部15&的方式，也可以如圖4 ((3)所示為僅設(shè)置突起部156的方式。這樣，只要設(shè)置有該突起部15，在進(jìn)行排列作業(yè)時(shí)，該突起部15與工件3的上表面抵接，能夠確保掩模主體10與工件3之間的相對(duì)間隙。關(guān)于各突起部15，尤其是突起部151如圖2以及圖3所示，優(yōu)選形成在開口 12間，并且從掩模主體10的下表面開始前端縮窄，呈現(xiàn)為圓錐臺(tái)狀。當(dāng)然也可以為四角錐臺(tái)狀。另外，優(yōu)選使突起部15的高度與掩模主體10的厚度之比為2比1以上，更加優(yōu)選上述掩模主體10的厚度在10~3009 III范圍內(nèi)滿足該條件。另外，優(yōu)選突起部15的前端尺寸11與根部尺寸12之比為1比3以上。進(jìn)一步講，優(yōu)選突起部15的前端尺寸11與根部尺寸12與開口 12間寬度之比為1比3比3以上。另外，該突起部15優(yōu)選縱橫尺寸比(突起部15的高度與前端尺寸之比)大的突起部，設(shè)縱橫尺寸比為3。而且，如圖2、圖3、圖4匕)所示，可以在相鄰圖形區(qū)域間以包圍圖形區(qū)域的方式設(shè)置突起部153，在將掩模1載置于工件3時(shí)抵接，但是也可以如圖4 (^)所示為使相鄰圖形區(qū)域間整體為突起部153的方式，也可以如圖4 (0)所示為不設(shè)置突起部153的方式。另外，也可以為不設(shè)置突起部15而僅有掩模主體10的方式。另外，在圖4中，符號(hào)15所表示的是突起部15的下端面，至于突起部15的根部，沒(méi)有進(jìn)行圖示。
[0031]此處，圖1的立體圖、圖2的縱剖圖、圖3的縱剖圖、以及圖4的俯視圖并非表示實(shí)際的掩模1的情形，而是示意性地表示。進(jìn)一步講，圖1等中開口 12的開口尺寸、掩模主體10等的厚度尺寸等是出于制圖的方便而顯示為了那樣的尺寸。
[0032]使用掩模1排列焊錫球2的排列作業(yè)以如下所示順序進(jìn)行。而且，該排列作業(yè)利用專用的排列裝置( 參照專利文獻(xiàn)1的圖1、圖5等)來(lái)進(jìn)行。首先，在工件3的電極6上印刷涂敷助熔劑17 (參照?qǐng)D2?。接著，在工件3上以開口 12與電極6—致的方式將掩模1對(duì)位后，將掩模1固定。該對(duì)位作業(yè)實(shí)際通過(guò)工件3與掩模主體10的外周緣或者在掩模主體10上形成的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記(未圖示)的對(duì)位來(lái)進(jìn)行。對(duì)位作業(yè)結(jié)束后，通過(guò)使突起部15的下端面與工件3的表面抵接，掩模主體10的姿勢(shì)被保持為如圖2以及圖3所示那樣確保了與工件3之間的相對(duì)間隙的分離姿勢(shì)。即使在工件3的表面略有起伏的情況下，通過(guò)使突起部15的下端面與工件3的表面抵接，也能夠?qū)⒀谀Ｖ黧w10與該工件3表面的起伏配合地固定為一體，不分離。而且，也可以在工件3的下方配置磁鐵，使該磁鐵的磁力發(fā)揮作用，從而將掩模1與工件3固定。
[0033]接著，在掩模1上供給多個(gè)焊錫球2，使用涂刷刷子使焊錫球2分散在掩模1上，在各開口 12內(nèi)各投放一個(gè)焊錫球2。由此，焊錫球2以暫時(shí)固定狀被粘接保持在助熔劑17上。在使用該涂刷刷子投放焊錫球2的投放作業(yè)中，即使涂刷刷子壓力重重施加在掩模1上，也由于突起部15而能夠防止掩模1彎曲，從而能夠以良好的作業(yè)效率順暢地進(jìn)行投放作業(yè)。
[0034]根據(jù)該結(jié)構(gòu)的掩模1，由于具備形成掩模主體10與工件3之間的相對(duì)間隙的突起部15，所以能夠利用突起部15可靠地確保與工件3之間的相對(duì)間隙，能夠有效進(jìn)行向開口12內(nèi)投放焊錫球12的投放作業(yè)，不會(huì)產(chǎn)生遺漏。
[0035]另外，能夠在掩模主體10的外周緣設(shè)置加固用的框體11，掩模主體10如果以對(duì)其自身施加了向內(nèi)側(cè)收縮方向的應(yīng)力發(fā)揮作用那樣的張力的狀態(tài)形成，則能夠?qū)⒀谀Ｖ黧w10伴隨周圍溫度變化膨脹的量通過(guò)向該收縮方向的張力吸收。由此，能夠防止掩模主體10相母模30的大致整面形成有一次電鑄層35-次圖形抗蝕劑34。此處，可以在一次電鑄
5以及母模30的整體表面形成光致抗蝕劑與所述開口 12對(duì)應(yīng)的透光孔373的圖形膜電進(jìn)行曝光，進(jìn)行顯影、干燥各處理，將未曝.鑄層35的表面形成具有與掩模主體10對(duì)
，如圖6(0)所示，在上述的抗蝕劑體383的[蓋的一次電鑄層35的表面上電鑄鎳、銅等工序接著，將二次圖形抗蝕劑38溶解去次電鑄層39，從而得到如圖6 ((1)以及圖311，則能夠得到圖1所示的排列用掩模1。
—其自身施加了向內(nèi)側(cè)收縮的方向的應(yīng)力發(fā)交力的賦予例如能夠如下所述來(lái)實(shí)現(xiàn):利用昆環(huán)境下在掩模1的外周緣進(jìn)行框體11的起部15抵接工件3時(shí)，工件3損傷的可能/工件3抵接的所有突起部15由樹脂形成。芒掩模1不慎彎曲的可能性，能夠提高開口
產(chǎn)圓形，可以為橢圓，也可以為四角形狀、菱:的角、突起部15的下端面與側(cè)面的邊界部部15形成面時(shí)，能夠順暢地進(jìn)行清洗，而且丨部15引起清洗機(jī)構(gòu)以及突起部15破損的
掩模進(jìn)行說(shuō)明。而且，對(duì)與上述結(jié)構(gòu)相同的
尸具備多角形狀的開口 12。具體地，如圖8丨三角形狀、四角形狀、五角形狀、六角形狀、12內(nèi)表面內(nèi)切的方式插通。這樣，開口 12十表面接觸的面越少，焊錫球2越易于向開`2的一側(cè)的開口 12端部形成為I？狀，并且，周邊形成為朝向開口 12傾斜的斜坡狀。再6形成為0狀，或者使開口 12周邊形成為朝
【權(quán)利要求】
1.一種排列用掩模，具備與預(yù)定的排列圖形對(duì)應(yīng)的開口(12),通過(guò)在所述開口(12)內(nèi)撒入焊錫球(2),將所述焊錫球(2)搭載在工件(3)上的預(yù)定位置，該排列用掩模的特征在于， 所述開口(12)為多角形狀。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的排列用掩模，其特征在于， 所述開口(12)為四角形狀。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的排列用掩模，其特征在于， 所述開口( 12)尺寸為所述焊錫球(2)直徑尺寸的1.01倍以上且不足1.2倍。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的排列用掩模，其特征在于， 所述開口(12)具有第一開口(123)和第二開口(1210,所述第一開口(123)形成為多角形狀，所述第二開口(126)形成為圓形狀。
【文檔編號(hào)】H01L21/60GK103839843SQ201310383108
【公開日】2014年6月4日 申請(qǐng)日期:2013年8月29日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月22日
【發(fā)明者】小林良弘, 田丸裕仁 申請(qǐng)人:日立麥克賽爾株式會(huì)社