有機(jī)電致發(fā)光器件的制作方法及制作的有機(jī)電致發(fā)光器件的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種有機(jī)電致發(fā)光器件的制作方法及制作的有機(jī)電致發(fā)光器件，所述方法包括：步驟1、提供基板（20）；步驟2、在基板（20）上形成第一電極（21）；步驟3、在第一電極（21）與基板（20）上形成柵極絕緣層（22）；步驟4、在柵極絕緣層（22）上形成第二電極（23），該第二電極（23）包括第二金屬層（224）及透明導(dǎo)電層（222）；步驟5、在第二電極（23）與柵極絕緣層（22）上形成氧化物半導(dǎo)體層（24）；步驟6、在氧化物半導(dǎo)體層（24）與第二電極（23）上形成有機(jī)平坦化層（25）；步驟7、以有機(jī)平坦化層（25）作為掩膜，蝕刻第二電極（23）的第二金屬層（224），露出透明導(dǎo)電層（222），以形成透明電極（26）。
【專利說(shuō)明】有機(jī)電致發(fā)光器件的制作方法及制作的有機(jī)電致發(fā)光器件
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及平面顯示領(lǐng)域，尤其涉及一種有機(jī)電致發(fā)光器件的制作方法及制作的有機(jī)電致發(fā)光器件。
【背景技術(shù)】
[0002]平面顯示裝置具有機(jī)身薄、省電、無(wú)輻射等眾多優(yōu)點(diǎn)，得到了廣泛的應(yīng)用?，F(xiàn)有的平面顯示裝置主要包括液晶顯示器(Liquid Crystal Display, IXD)及有機(jī)電致發(fā)光器件(Organic Electroluminescence Device, 0ELD),也稱為有機(jī)發(fā)光二極管(Organic LightEmitting Diode, 0LED)。
[0003]現(xiàn)有的液晶顯示器一般為背光型液晶顯示器，其包括:殼體、設(shè)于殼體內(nèi)的液晶顯示面板及設(shè)于殼體內(nèi)的背光模組(Backlight Module)。液晶顯示面板的工作原理是在兩片平行的玻璃基板當(dāng)中放置液晶分子，并在兩玻璃基板上施加驅(qū)動(dòng)電壓來(lái)控制液晶分子的旋轉(zhuǎn)，從而將背光模組的光線折射出來(lái)產(chǎn)生畫面。
[0004]請(qǐng)參閱圖1,現(xiàn)有的液晶顯示面板一般包括:薄膜晶體管(Thin Film Transistor,TFT)基板302，與薄膜晶體管基板302相對(duì)貼合設(shè)置的彩色濾光片(Color Filter, CF)基板304，以及設(shè)于薄膜晶體管基板302與彩色濾光片基板304之間的液晶層306，薄膜晶體管基板302驅(qū)動(dòng)液晶層306內(nèi)的液晶分子轉(zhuǎn)動(dòng)，以顯示相應(yīng)的畫面。
[0005]有機(jī)電致發(fā)光器件具備自發(fā)光、高亮度、寬視角、高對(duì)比度、可撓曲、低能耗等特性，因此受到廣泛的關(guān)注，并作為新一代的顯示方式，已開(kāi)始逐漸取代傳統(tǒng)液晶顯示裝置，被廣泛應(yīng)用在手機(jī)屏幕、電腦顯示器、全彩電視機(jī)等領(lǐng)域。有機(jī)電致發(fā)光器件與傳統(tǒng)的液晶顯示器不同，其無(wú)需背光源，直接在玻璃基板上設(shè)置非常薄的有機(jī)材料涂層，當(dāng)有電流通過(guò)時(shí)，這些有機(jī)材料涂層就會(huì)發(fā)光。
[0006]現(xiàn)有的有機(jī)電致發(fā)光器件按驅(qū)動(dòng)方式分類，包括:無(wú)源矩陣式有機(jī)發(fā)光二極管(Passive-matrix organic light emitting diode,PM0LED)與有源矩陣式有機(jī)發(fā)光二極管(Active-matrix organic light emitting diode,AM0LED),其中，請(qǐng)參閱圖 2,為現(xiàn)有的一種有源矩陣式有機(jī)發(fā)光二極管的剖面結(jié)構(gòu)示意圖，其包括:基板100、形成于基板100上的柵極101、形成于柵極101上的柵極絕緣層102、形成于柵極絕緣層102上的源/漏極103、形成于源/漏極103上的氧化物半導(dǎo)體層104、形成于氧化物半導(dǎo)體層104上的第一有機(jī)平坦化層105、形成于第一有機(jī)平坦化層105上的透明電極106及形成于第一有機(jī)平坦化層105與透明電極106上的第二有機(jī)平坦化層107，其中，所述透明電極106作為有機(jī)發(fā)光二極管的陽(yáng)極，通過(guò)通道電性連接于所述源/漏極103上，在該透明電極106上蒸鍍有機(jī)發(fā)光層(未圖示)及陰極(未圖示)，并通過(guò)封裝蓋板(未圖示)封裝制得有源矩陣式有機(jī)發(fā)光二極管，其生產(chǎn)制程一般需要8?9道光罩,制程較為復(fù)雜,成本相對(duì)較高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明的目的在于提供一種有機(jī)電致發(fā)光器件的制作方法，其制程簡(jiǎn)單，能有效降低生產(chǎn)成本。
[0008]本發(fā)明的另一目的在于提供一種有機(jī)電致發(fā)光器件，其制程簡(jiǎn)單，厚度薄，生產(chǎn)成本較低。
[0009]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種有機(jī)電致發(fā)光器件的制作方法，包括以下步驟:
[0010]步驟1、提供基板；
[0011]步驟2、在基板上形成第一金屬層，并圖案化該第一金屬層，以形成第一電極；
[0012]步驟3、在第一電極與基板上形成柵極絕緣層；
[0013]步驟4、在柵極絕緣層上依次形成透明導(dǎo)電層與第二金屬層，并圖案化該第二金屬層與透明導(dǎo)電層，以形成第二電極，該第二電極包括第二金屬層及位于第二金屬層下方的透明導(dǎo)電層；
[0014]步驟5、在第二電極與柵極絕緣層上形成氧化物半導(dǎo)體層，圖案化該氧化物半導(dǎo)體層；
[0015]步驟6、在氧化物半導(dǎo)體層與第二電極上形成有機(jī)平坦化層，并圖案化該有機(jī)平坦化層；
[0016]步驟7、以有機(jī)平坦化層作為掩膜，蝕刻第二電極的第二金屬層，露出透明導(dǎo)電層，以形成透明電極。
[0017]還包括:
[0018]步驟8、在有機(jī)平坦化層上形成間隔層；
[0019]步驟9、在透明電極上蒸鍍有機(jī)功能層與陰極；
[0020]步驟10、提供封裝蓋板，并進(jìn)行封裝。
[0021]所述步驟I包括:提供基板，進(jìn)行清洗后，在基板上形成緩沖層。
[0022]所述步驟2中，所述第一金屬層形成于所述緩沖層上。
[0023]所述第一金屬層與第二金屬層包含鋁或鑰中至少一種；所述透明導(dǎo)電層包含氧化銦錫或銀中至少一種；所述基板與封裝蓋板均為玻璃基板。
[0024]所述有機(jī)功能層包括形成于透明電極上的空穴傳輸層、形成于空穴傳輸層上的有機(jī)發(fā)光層、及形成于有機(jī)發(fā)光層上的電子傳輸層。
[0025]本發(fā)明還提供一種有機(jī)電致發(fā)光器件，包括:基板、形成于基板上的第一電極、形成于第一電極與基板上的柵極絕緣層、形成于柵極絕緣層上的第二電極、形成于第二電極與柵極絕緣層上的氧化物半導(dǎo)體層、形成于氧化物半導(dǎo)體層與第二電極上的有機(jī)平坦化層及位于柵極絕緣層上的透明電極，所述第二電極包括第二金屬層及位于第二金屬層下方的透明導(dǎo)電層，所述透明電極由透明導(dǎo)電層形成。
[0026]還包括形成于基板與第一電極之間的緩沖層、形成于有機(jī)平坦化層上的間隔層、形成于透明電極上的有機(jī)功能層、形成于有機(jī)功能層上的陰極及與基板貼合設(shè)置的封裝蓋板。
[0027]所述有機(jī)功能層包括形成于透明電極上的空穴傳輸層、形成于空穴傳輸層上的有機(jī)發(fā)光層、及形成于有機(jī)發(fā)光層上的電子傳輸層。
[0028]所述第一電極與第二金屬層包含鋁或鑰中至少一種；所述透明電極包含氧化銦錫或銀中至少一種；所述基板與封裝蓋板均為玻璃基板。[0029]本發(fā)明的有益效果:本發(fā)明的有機(jī)電致發(fā)光器件的制作方法及制作的有機(jī)電致發(fā)光器件，通過(guò)第二金屬層與透明導(dǎo)電層形成第二電極，有效降低了第二電極走線的阻抗，提升了有機(jī)電致發(fā)光器件的品質(zhì)；并以有機(jī)平坦化層作為掩膜蝕刻第二電極的第二金屬層，露出透明導(dǎo)電層，以形成透明電極，相比現(xiàn)有的制程，本發(fā)明的生產(chǎn)方法有效地簡(jiǎn)化了生產(chǎn)制程，降低了生產(chǎn)成本，且不需要形成第二平坦化層，有效降低了有機(jī)電致發(fā)光器件的厚度，利于實(shí)現(xiàn)薄型化。
[0030]為了能更進(jìn)一步了解本發(fā)明的特征以及技術(shù)內(nèi)容，請(qǐng)參閱以下有關(guān)本發(fā)明的詳細(xì)說(shuō)明與附圖，然而附圖僅提供參考與說(shuō)明用，并非用來(lái)對(duì)本發(fā)明加以限制。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0031]下面結(jié)合附圖，通過(guò)對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】詳細(xì)描述，將使本發(fā)明的技術(shù)方案及其它有益效果顯而易見(jiàn)。
[0032]附圖中，
[0033]圖1為現(xiàn)有的液晶顯示面板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0034]圖2為現(xiàn)有的有源矩陣式有機(jī)發(fā)光二極管的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0035]圖3為本發(fā)明有機(jī)電致發(fā)光器件的制作方法的流程圖；
[0036]圖4至圖9為本發(fā)明有機(jī)電致發(fā)光器件的制作方法的制程圖；
[0037]圖10為本發(fā)明有機(jī)電致發(fā)光器件的像素布局圖。
【具體實(shí)施方式】
[0038]為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明所采取的技術(shù)手段及其效果，以下結(jié)合本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例及其附圖進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0039]請(qǐng)參閱圖3至圖9，本發(fā)明提供一種有機(jī)電致發(fā)光器件的制作方法，包括以下步驟:
[0040]步驟1、提供基板20。
[0041]所述基板20為透明基板，其可為玻璃基板、塑料基板等，在本實(shí)施例中，所述基板20為玻璃基板。
[0042]步驟2、在基板20上形成第一金屬層，并圖案化該第一金屬層，以形成第一電極21。
[0043]在本實(shí)施例中，所述第一金屬層包含鋁或鑰中至少一種；所述第一電極21為柵極。其具體形成工藝可為:在基板20上以濺鍍的方式形成第一金屬層，在第一金屬層上形成一層感光(photo-sensitive )材料,該層感光材料即為所謂的光阻,然后使得光線通過(guò)光罩照射于光阻上以將該光阻曝光。由于光罩上具有第一電極21的圖案，將使光線得以穿過(guò)光罩而照射于光阻上，使得光阻的曝光具有選擇性，同時(shí)借此將光罩上的圖案完整的復(fù)印至光阻上。然后，利用合適的顯影液劑(developer)除去部分光阻，使得光阻顯現(xiàn)所需要的圖案。
[0044]步驟3、在第一電極21與基板20上形成柵極絕緣層22。
[0045]所述柵極絕緣層22可為單層或多層結(jié)構(gòu)，其包括氧化硅層、氮化硅層之一或其組
八
口 ο[0046]步驟4、在柵極絕緣層22上依次形成透明導(dǎo)電層222與第二金屬層224，并圖案化該第二金屬層224與透明導(dǎo)電層222，以形成第二電極23，該第二電極23包括第二金屬層224及位于第二金屬層224下方的透明導(dǎo)電層222。
[0047]在本實(shí)施例中，所述透明導(dǎo)電層222包含有氧化銦錫或銀中至少一種或其組合；所述第二金屬層224包含鋁或鑰中至少一種。所述第二電極23為源/漏極，由于該第二電極23由第二金屬層224與透明導(dǎo)電層222共同形成，與現(xiàn)有的完全由第二金屬層形成的源/漏極相比，其走線的阻抗相對(duì)較小，能有效提升本發(fā)明有機(jī)電致發(fā)光器件的品質(zhì)。
[0048]步驟5、在第二電極23與柵極絕緣層22上形成氧化物半導(dǎo)體層24，圖案化該氧化物半導(dǎo)體層24。
[0049]所述氧化物半導(dǎo)體層24的形成方式與上述第一電極21的形成方式相似，在此不作贅述。
[0050]步驟6、在氧化物半導(dǎo)體層24與第二電極23上形成有機(jī)平坦化層25，并圖案化該有機(jī)平坦化層25。
[0051]所述有機(jī)平坦化層25用于平坦化整個(gè)有源薄膜晶體管像素陣列的結(jié)構(gòu)，以便于實(shí)現(xiàn)后續(xù)制程。
[0052]步驟7、以有機(jī)平坦化層25作為掩膜，蝕刻第二電極23的第二金屬層224，露出透明導(dǎo)電層222，以形成透明電極26。
[0053]在本實(shí)施例中，所述透明電極26作為本發(fā)明有機(jī)電致發(fā)光器件的陽(yáng)極，用于激發(fā)有機(jī)功能層發(fā)出所需要的光線，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)畫面顯示。
[0054]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明不需要單獨(dú)制作透明電極26，節(jié)省至少一道光罩制程，且不需要形成第二有機(jī)平坦化層，進(jìn)一步簡(jiǎn)化了生產(chǎn)制程，有效降低了生產(chǎn)成本。
[0055]進(jìn)一步地，本發(fā)明的有機(jī)電致發(fā)光器件的制作方法還包括:
[0056]步驟8、在有機(jī)平坦化層25上形成間隔(PS)層(未圖示)。
[0057]步驟9、在透明電極26上蒸鍍有機(jī)功能層(未圖示)與陰極(未圖示)。
[0058]所述有機(jī)功能層包括形成于透明電極26上的空穴傳輸層(Hole TransportLayer, HTL)、形成于空穴傳輸層上的有機(jī)發(fā)光層(Emissive Layer, EML)、及形成于有機(jī)發(fā)光層上的電子傳輸層(Electron Transport Layer, ETL)。
[0059]步驟10、提供封裝蓋板(未圖示)，并進(jìn)行封裝。
[0060]在本實(shí)施例中，所述封裝蓋板為玻璃基板，其通過(guò)UV膠、或玻璃膠與基板20貼合在一起，并通過(guò)UV固化以實(shí)現(xiàn)有機(jī)電致發(fā)光器件的封裝。
[0061]值得一提的是，在所述步驟I中還可以包括:提供基板20，進(jìn)行清洗后，在基板20上形成緩沖層(未圖示)。所述步驟2中，所述第一金屬層形成于所述緩沖層上。
[0062]進(jìn)一步地，還可以在氧化物半導(dǎo)體層24上形成保護(hù)層(未圖示)，該保護(hù)層可為氧化娃層、氮化娃層之一或其組合層。
[0063]請(qǐng)參閱圖9及圖10，本發(fā)明還提供一種有機(jī)電致發(fā)光器件，包括:基板20、形成于基板20上的第一電極21、形成于第一電極21與基板20上的柵極絕緣層22、形成于柵極絕緣層22上的第二電極23、形成于第二電極23與柵極絕緣層22上的氧化物半導(dǎo)體層24、形成于氧化物半導(dǎo)體層24與第二電極23上的有機(jī)平坦化層25及位于柵極絕緣層22上的透明電極26，所述第二電極23包括第二金屬層224及位于第二金屬層224下方的透明導(dǎo)電層222，所述透明電極26由透明導(dǎo)電層222形成。其中，所述第一電極21為柵極、第二電極23為源/漏極，所述柵極、柵極絕緣層22、源/漏極及氧化物半導(dǎo)體層24形成薄膜晶體管，用于驅(qū)動(dòng)有機(jī)電致發(fā)光器件。
[0064]進(jìn)一步地，本發(fā)明的有機(jī)電致發(fā)光器件還包括:形成于基板20與第一電極21之間的緩沖層、形成于有機(jī)平坦化層25上的間隔層、形成于透明電極26上的有機(jī)功能層、形成于有機(jī)功能層上的陰極及與基板20貼合設(shè)置的封裝蓋板。
[0065]具體地，所述有機(jī)功能層包括形成于透明電極上的空穴傳輸層、形成于空穴傳輸層上的有機(jī)發(fā)光層、及形成于有機(jī)發(fā)光層上的電子傳輸層。
[0066]在本實(shí)施例中，所述第一電極21與第二金屬層224包含鋁或鑰中至少一種；所述透明電極26包含氧化銦錫或銀中至少一種；所述基板20與封裝蓋板均為玻璃基板。
[0067]綜上所述，本發(fā)明的有機(jī)電致發(fā)光器件的制作方法及制作的有機(jī)電致發(fā)光器件，通過(guò)第二金屬層與透明導(dǎo)電層形成第二電極，有效降低了第二電極走線的阻抗，提升了有機(jī)電致發(fā)光器件的品質(zhì)；并以有機(jī)平坦化層作為掩膜蝕刻第二電極的第二金屬層，露出透明導(dǎo)電層，以形成透明電極，相比現(xiàn)有的制程，本發(fā)明的生產(chǎn)方法有效地簡(jiǎn)化了生產(chǎn)制程，降低了生產(chǎn)成本，且不需要形成第二平坦化層，有效降低了有機(jī)電致發(fā)光器件的厚度，利于實(shí)現(xiàn)薄型化。
[0068]以上所述，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，可以根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案和技術(shù)構(gòu)思作出其他各種相應(yīng)的改變和變形，而所有這些改變和變形都應(yīng)屬于本發(fā)明權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種有機(jī)電致發(fā)光器件的制作方法，其特征在于，包括以下步驟: 步驟1、提供基板(20); 步驟2、在基板(20)上形成第一金屬層，并圖案化該第一金屬層，以形成第一電極(21)； 步驟3、在第一電極(21)與基板(20)上形成柵極絕緣層(22)； 步驟4、在柵極絕緣層(22)上依次形成透明導(dǎo)電層(222)與第二金屬層(224)，并圖案化該第二金屬層(224)與透明導(dǎo)電層(222)，以形成第二電極(23)，該第二電極(23)包括第二金屬層(224)及位于第二金屬層(224)下方的透明導(dǎo)電層(222); 步驟5、在第二電極(23)與柵極絕緣層(22)上形成氧化物半導(dǎo)體層(24)，圖案化該氧化物半導(dǎo)體層(24)； 步驟6、在氧化物半導(dǎo)體層(24)與第二電極(23)上形成有機(jī)平坦化層(25)，并圖案化該有機(jī)平坦化層(25); 步驟7、以有機(jī)平坦化層(25 )作為掩膜，蝕刻第二電極(23 )的第二金屬層(224)，露出透明導(dǎo)電層(222)，以形成透明電極(26)。
2.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)電致發(fā)光器件的制作方法，其特征在于，還包括: 步驟8、在有機(jī)平坦化層(25)上形成間隔層； 步驟9、在透明電極(26)上蒸鍍有機(jī)功能層與陰極； 步驟10、提供封裝蓋板，并進(jìn)行封裝。
3.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)電致發(fā)光器件的制作方法，其特征在于，所述步驟I包括:提供基板(20 )，進(jìn)行清洗后，在基板(20 )上形成緩沖層。
4.如權(quán)利要求3所述的有機(jī)電致發(fā)光器件的制作方法，其特征在于，所述步驟2中，所述第一金屬層形成于所述緩沖層上。
5.如權(quán)利要求2所述的有機(jī)電致發(fā)光器件的制作方法,其特征在于,所述第一金屬層與第二金屬層(224)包含鋁或鑰中至少一種；所述透明導(dǎo)電層(222)包含氧化銦錫或銀中至少一種；所述基板(20)與封裝蓋板均為玻璃基板。
6.如權(quán)利要求2所述的有機(jī)電致發(fā)光器件的制作方法，其特征在于，所述有機(jī)功能層包括形成于透明電極(26)上的空穴傳輸層、形成于空穴傳輸層上的有機(jī)發(fā)光層、及形成于有機(jī)發(fā)光層上的電子傳輸層。
7.—種有機(jī)電致發(fā)光器件,其特征在于,包括:基板(20)、形成于基板(20)上的第一電極(21)、形成于第一電極(21)與基板(20)上的柵極絕緣層(22)、形成于柵極絕緣層(22)上的第二電極(23)、形成于第二電極(23)與柵極絕緣層(22)上的氧化物半導(dǎo)體層(24)、形成于氧化物半導(dǎo)體層(24)與第二電極(23)上的有機(jī)平坦化層(25)及位于柵極絕緣層(22)上的透明電極(26)，所述第二電極(23)包括第二金屬層(224)及位于第二金屬層(224)下方的透明導(dǎo)電層(222)，所述透明電極(26)由透明導(dǎo)電層(222)形成。
8.如權(quán)利要求7所述的有機(jī)電致發(fā)光器件，其特征在于，還包括形成于基板(20)與第一電極(21)之間的緩沖層、形成于有機(jī)平坦化層(25 )上的間隔層、形成于透明電極(26 )上的有機(jī)功能層、形成于有機(jī)功能層上的陰極及與基板(20)貼合設(shè)置的封裝蓋板。
9.如權(quán)利要求8所述的有機(jī)電致發(fā)光器件，其特征在于，所述有機(jī)功能層包括形成于透明電極(26)上的空穴傳輸層、形成于空穴傳輸層上的有機(jī)發(fā)光層、及形成于有機(jī)發(fā)光層上的電子傳輸層。
10.如權(quán)利要求8所述的有機(jī)電致發(fā)光器件，其特征在于，所述第一電極(21)與第二金屬層(224)包含鋁或鑰中至少一種；所述透明電極(26)包含氧化銦錫或銀中至少一種；所述基板(20)與封裝蓋板均為玻璃`基板。
【文檔編號(hào)】H01L51/56GK103560211SQ201310566264
【公開(kāi)日】2014年2月5日 申請(qǐng)日期:2013年11月13日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月13日
【發(fā)明者】韓佰祥 申請(qǐng)人:深圳市華星光電技術(shù)有限公司