有機(jī)光電子裝置和其制備方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及有機(jī)光電子裝置和其制備方法。有機(jī)光電子裝置OED包括多個(gè)通過從襯底表面向外延伸的蒸汽流屏障分離的OED單元。所述蒸汽流屏障部分地界定OED單元區(qū)域且?guī)椭乐乖诔练e期間從所述襯底表面偏離的雜散有機(jī)材料沉積在所述單元區(qū)域外側(cè)?？墒褂糜袡C(jī)蒸汽噴射OVJ印刷頭沿所述蒸汽流屏障沉積有機(jī)材料，且所述印刷頭可包括一個(gè)或一個(gè)以上經(jīng)配置以捕獲一些所述雜散有機(jī)材料的特征。一種包括使用蒸汽流屏障和/或捕獲雜散有機(jī)材料的方法可促進(jìn)具有清晰界定邊緣且相鄰單元之間不會發(fā)生交叉污染的諸如OLED等OED單元的高密度印刷。
【專利說明】有機(jī)光電子裝置和其制備方法
[0001]本申請案主張2012年11月20日申請的美國臨時(shí)申請案第61/728，358號的權(quán)益，所述申請案的全部內(nèi)容是以引用方式并入本文中。
[0002]本發(fā)明是由以下各方中的一個(gè)或一個(gè)以上根據(jù)大學(xué)-企業(yè)聯(lián)合研究協(xié)議來實(shí)施，代表其利益和/或與其相關(guān):密西根大學(xué)董事會(Regents of the Universityof Michigan)、普林斯頓大學(xué)(Princeton University)、南加州大學(xué)(The Universityof Southern California)和環(huán)宇顯不技術(shù)股份有限公司(Universal DisplayCorporation)。所述協(xié)議在實(shí)施本發(fā)明之日和之前生效,且本發(fā)明是通過在所述協(xié)議范圍內(nèi)的活動(dòng)來實(shí)施。
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0003]本發(fā)明涉及光電子裝置，且具體來說涉及使用蒸汽印刷構(gòu)建的光電子裝置。
【背景技術(shù)】
[0004]業(yè)內(nèi)已研發(fā)出多種在用于構(gòu)建有機(jī)光電子裝置(例如有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)、有機(jī)光電晶體管、有機(jī)光生伏打(PV)電池或有機(jī)光檢測器)的襯底上沉積和/或圖案化有機(jī)材料的技術(shù)。這些技術(shù)包括真空熱蒸發(fā)、溶液加工和有機(jī)氣相沉積，以及印刷技術(shù)，例如噴墨印刷、噴嘴印刷、熱蒸汽噴射印刷和有機(jī)蒸汽噴射印刷(OVJP)。在一些應(yīng)用中，可能需要沉積一種以上類型的有機(jī)材料或其組合物，從而使得所沉積材料的相鄰部分具有不同組成。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，有機(jī)光電子裝置(OED)包括具有OED單元支撐表面的襯底和沿支撐表面位于OED單元區(qū)域中的OED單元。OED單元包括一層布置于第一與第二電極之間的小分子有機(jī)材料。OED還包括與OED單元并排從支撐表面向外延伸的蒸汽流屏障。所述屏障經(jīng)布置以在OED單元區(qū)域內(nèi)含有小分子有機(jī)材料。
[0006]根據(jù)另一個(gè)實(shí)施例，制備有機(jī)OED的方法包括以下步驟:(a)提供襯底，其具有支撐表面和從所述支撐表面向外延伸的蒸汽流屏障；和(b)沿所述蒸汽流屏障的一側(cè)向所述支撐表面引導(dǎo)汽化有機(jī)電致發(fā)光材料，以使得防止至少一些汽化材料流到所述蒸汽流屏障的相對側(cè)。
[0007]根據(jù)另一個(gè)實(shí)施例，制備有機(jī)OED的方法包括以下步驟:向襯底的OED單元支撐表面的預(yù)界定單元區(qū)域引導(dǎo)汽化有機(jī)電致發(fā)光材料，以使得至少一些所述有機(jī)材料偏離所述表面；和(b)捕獲至少一些偏離有機(jī)材料以使其不沉積在所述襯底上的所述預(yù)界定單元區(qū)域外側(cè)。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0008]下文中將結(jié)合附圖闡述優(yōu)選實(shí)例性實(shí)施例，其中相同名稱表示相同元件，且其中:
[0009]圖1是具有布置于相鄰OED單元之間之蒸汽流屏障的光電子裝置(OED)的實(shí)施例的透視圖；
[0010]圖2是蒸汽印刷工藝的剖視圖，其顯示具有向具有蒸汽流屏障的襯底引導(dǎo)有機(jī)含蒸汽氣體的噴嘴的OVJ印刷頭的一部分；
[0011]圖3是具有矩形輪廓的蒸汽流屏障的剖視圖；
[0012]圖4是具有彎曲輪廓的蒸汽流屏障的剖視圖；
[0013]圖5是包括底切的蒸汽流屏障的剖視圖；且
[0014]圖6是具有和不具有蒸汽流屏障以及印刷頭凹部特征的OVJ沉積膜的模擬厚度曲線圖。
【具體實(shí)施方式】
[0015]可通過以相對高面密度對相鄰OED單元的有機(jī)層進(jìn)行蒸汽印刷來構(gòu)建有機(jī)光電子裝置(OED)。通過在含有機(jī)蒸汽氣體沖擊打算在其上方沉積有機(jī)材料的襯底的表面后控制氣體流動(dòng)來容許高密度印刷?？赏ㄟ^沿襯底表面提供蒸汽流屏障以至少部分界定每一個(gè)別單元的區(qū)域和/或通過捕獲至少一部分從襯底表面偏離的雜散有機(jī)材料來實(shí)現(xiàn)這種流動(dòng)控制。由此可產(chǎn)生還具有清晰界定邊緣的緊密包裝的OED單元。盡管下文在于諸如高清晰度平板顯示器等OLED裝置中具有潛在商業(yè)適用性的OLED陣列情況中呈現(xiàn)，但下文闡述的方法和結(jié)構(gòu)適用于任何蒸汽印刷工藝，尤其是在相鄰OED單元需要具有組成彼此不同的光電層的情況下。
[0016]參照圖1，顯示根據(jù)一個(gè)實(shí)施例的有機(jī)光電子裝置10。所述裝置包括具有OED支撐表面14的襯底12和沿支撐表面14布置的多個(gè)OED單元16。在這個(gè)具體實(shí)例中，每一 OED單兀16是有機(jī)發(fā)光二極管,其包括夾于且位于第一或底部電極20與第二或頂部電極(圖1中省略)之間的有機(jī)材料層18。每一 OLED的有機(jī)層18是從可選自己知電致發(fā)光有機(jī)材料的材料形成，所述材料在通過電極橫跨所述層的厚度施加電壓時(shí)發(fā)光。每一單元16的至少一個(gè)電極或電極層可為透明的以允許光從有機(jī)層18透射。在所示實(shí)例中，相鄰0LED16具有組成彼此不同的有機(jī)層18。例如，圖1中標(biāo)識為B的OLED的有機(jī)層的組成與標(biāo)識為R或G的相鄰OLED的有機(jī)層不同。圖1中顯示的RGB常規(guī)與三色平板顯示器(紅-綠-藍(lán))相關(guān)。每組三個(gè)連續(xù)RGB單元16可表示裝置10的單一像素22，且每一個(gè)別單元16表示子像素。裝置10可包括沿X方向和/或y方向布置的其它像素22,且每一像素可包括任一數(shù)目的子像素。在一個(gè)實(shí)例中，根據(jù)顯示器的總體大小和分辨率，OLED顯示裝置的個(gè)別子像素的大小可在30 μ m至Ij 100 μ m范圍內(nèi)。
[0017]裝置10還包括一個(gè)或一個(gè)以上蒸汽流屏障24。每一蒸汽流屏障24在圖1中的z方向上從支撐表面14向外延伸。每一屏障24也在相鄰單兀16之間延伸，以使每一單兀的各別有機(jī)層18彼此分離。除了在成品裝置10中分離相鄰單元16的有機(jī)層18以外，屏障24還可在沉積期間幫助防止個(gè)別層的不同有機(jī)材料彼此混合或交叉污染。蒸汽流屏障24可在襯底支撐表面14上方使用常規(guī)圖案化技術(shù)(例如光學(xué)光刻)用惰性材料(例如聚合物或基于Si的材料，如SiO2)來形成。屏障24可在現(xiàn)有襯底12上方形成或與襯底一起作為整體式結(jié)構(gòu)形成，且其可如圖所示在襯底表面14的頂部上直接形成，或在底部電極層20的頂部上方形成，對于所示相鄰像素22，所述電極層可為X方向上的連續(xù)層。
[0018]對于每一單元16，每一屏障24沿襯底支撐表面14部分界定單元區(qū)域26，且經(jīng)布置以含有用于在OED單元區(qū)域內(nèi)形成有機(jī)層18的有機(jī)材料。因此，給定屏障24可用于在沉積期間和在沉積后分離不同有機(jī)材料，和/或即使在屏障的相對側(cè)上沒有另一 OED單元時(shí)也為具體OED單元提供明晰邊緣或邊界。在蒸汽印刷情況下，蒸汽流屏障24可由此分離相鄰印刷區(qū)域或分離印刷區(qū)域與未印刷區(qū)域。裝置10還可包括垂直于所示屏障布置(例如，在X方向上縱長布置)的其它屏障以進(jìn)一步界定每一單元區(qū)域26。每一蒸汽流屏障24具有特征性高度h、寬度w和相鄰屏障或單元16之間的距離d。這些特征性尺寸中的每一者可在裝置的所有屏障24之間均勻，但并非在所有情形中都需要這樣均勻。每一屏障24的高度h可為0.5 μ m至Ij 4.0 μ m范圍中的任一值,且優(yōu)選地在1.0 μ m至Ij 3.0 μ m范圍內(nèi)。在一個(gè)實(shí)施例中，每一屏障24的高度在1.5 μ m到2.5 μ m范圍內(nèi)，或裝置的屏障具有約2.0 μ m的平均高度。高度h可取決于特定應(yīng)用且可考慮其它因素，例如OED單元層的厚度、在材料沉積期間沉積裝置與襯底表面的距離、加工條件(例如蒸汽速率和壓力)、對用于形成屏障的圖案化技術(shù)的限制等。高度h可足夠大以減少或防止雜散有機(jī)材料沉積在非計(jì)劃單元區(qū)域上方。一般來說，可能需要使寬度w和間隔距離d最小化。較小寬度允許相鄰單元16的位置更接近，且較小距離d或子像素之間的距離允許構(gòu)建總體較高分辨率裝置。這些尺寸的最小值可受用于形成屏障的方法的限制。在當(dāng)前高清晰度顯示應(yīng)用中，距離d的典型值為約50 μ m，且如下文借助實(shí)例來闡述，適宜寬度w為約10 μ m。但這些值沒有限制性。
[0019]圖2顯用于在襯底表面上方沉積光活性有機(jī)材料(例如電致發(fā)光有機(jī)材料)的蒸汽印刷工藝。蒸汽印刷技術(shù)一般將所需有機(jī)材料以蒸汽形式借助加熱惰性載氣遞送到襯底。有機(jī)材料在典型室溫和OLED操作溫度下為固體且將其加熱到蒸汽狀態(tài)且用載氣允許其或使其在襯底上流動(dòng)。還可將摻雜劑添加到有機(jī)含蒸汽氣體混合物中。汽化有機(jī)材料在與較涼襯底接觸后固化且由此沉積在襯底上或襯底上方。因此，蒸汽印刷通常與在諸如噴墨印刷等液體印刷方法中可能更常用的聚合或其它高分子量有機(jī)物不相容。所述材料通常在低于其汽化溫度的溫度下開始降解?？蓪⒂糜谡羝∷⒓夹g(shù)中的有機(jī)材料稱作小分子有機(jī)物，其分子量通常小于約IOOOg/摩爾。
[0020]在所示工藝中，用剖面顯示有機(jī)蒸汽噴射印刷頭100，其向襯底12的一部分(例如圖1中的所示部分)引導(dǎo)含有機(jī)蒸汽氣體的射流102，以在所述部分上沉積有機(jī)材料。印刷頭100具有與襯底表面14相對且間隔距離D的面部104且包括射流102通過其并從其射出的噴嘴106。所示噴嘴106是在印刷頭100的面部104處具有喉部108的會聚噴嘴。其它實(shí)施例可包括具有發(fā)散部分的噴嘴，以使得噴嘴喉部距離襯底表面14的位置遠(yuǎn)于面部104(即，到噴嘴喉部的距離大于D)。盡管圖2僅顯示向襯底12引導(dǎo)氣體射流102的單一噴嘴106，但印刷頭100可包括并列布置和/或布置為噴嘴陣列的多個(gè)噴嘴，且每一個(gè)別噴嘴可向襯底引導(dǎo)與任一其它噴嘴相同或不同的含有機(jī)蒸汽氣體。例如，為制造圖1中的裝置10，印刷頭100可包括3個(gè)或6個(gè)并列布置的噴嘴，且每組三個(gè)連續(xù)噴嘴經(jīng)配置以向相鄰且連續(xù)的OLED或OED單元區(qū)域引導(dǎo)三種不同的含有機(jī)蒸汽氣體組合物(對應(yīng)于紅色、綠色和藍(lán)色電致發(fā)光有機(jī)材料)。
[0021]如表示印刷頭100中以及印刷頭與襯底之間的氣流的箭頭所示意性地顯示，在氣體射流102沖擊襯底12的支撐表面14時(shí)，所述射流被迫改變方向。因此，表面14或其附近的氣流具有X和y方向上的分量(在圖2中僅顯示X方向)。蒸汽流屏障24在OED單元區(qū)域26的邊緣或邊界處遮斷氣流場的水平分量，從而再引導(dǎo)氣體以使其具有垂直分量。所述氣體可含有未充分冷卻以供在襯底上的預(yù)界定區(qū)域26中沉積的有機(jī)材料，且蒸汽流屏障24通過封阻或防止含蒸汽氣體在相鄰單元區(qū)域上方移動(dòng)而有助于將有機(jī)材料大概保持在單元區(qū)域26上方。因此蒸汽流屏障24提供一種可有利地改變和/或控制來自印刷頭100的含蒸汽氣體的流動(dòng)的方式。
[0022]所示OVJ印刷頭100還包括特征110，其經(jīng)配置以捕獲至少一些未沉積或雜散有機(jī)材料。在這個(gè)實(shí)例中，特征Iio是在印刷頭100的面部104中形成的與噴嘴106并排的凹部或凹槽。在這個(gè)具體實(shí)例中，噴嘴106的成角度內(nèi)表面平行于凹部110的表面。這些特征110可提供額外表面區(qū)域，雜散有機(jī)材料可沿所述額外表面區(qū)域沉積以使其不沉積于不期望單元區(qū)域上方?；蛘呋蛄硗猓卣?10可包括或呈通氣孔形式，其用作未沉積有機(jī)材料和載氣可流過的流體流動(dòng)通道。例如，印刷頭100或其它OVJ印刷機(jī)組件可經(jīng)裝備以通過真空或其它手段從印刷頭的面部104與襯底12之間的間隙主動(dòng)抽離任何雜散有機(jī)物。這些印刷頭特征110由此提供另一種可有利地改變和/或控制來自印刷頭100的含蒸汽氣體的流動(dòng)的方式。
[0023]所示蒸汽流屏障24具有略呈錐形的剖面，且每一屏障的基底或基底端具有寬度w(參見圖1)且相應(yīng)尖端或遠(yuǎn)端具有小于w的寬度。然而，可采用其它蒸汽流屏障輪廓。例如，蒸汽流屏障24可具有矩形剖面，如圖3中所示。矩形剖面可最易于制造，且其簡單性可為有利的。在另一實(shí)例中，蒸汽流屏障24’可具有彎曲輪廓，其一個(gè)實(shí)例顯示于圖4中。用于蒸汽流屏障的彎曲輪廓可使雜散有機(jī)材料向印刷頭的捕獲或收集器特征(例如圖2中的特征110)充分偏離，同時(shí)使流體流動(dòng)更平滑且可能使渦流和其它高紊流區(qū)域最小化。圖5顯示另一實(shí)例蒸汽流屏障24”，其輪廓中具有底切特征30。在屏障24”的某一部分的寬度大于屏障中更接近襯底表面的另一部分時(shí)，或在屏障包括表面法線且具有朝向襯底表面的垂直方向上的分量時(shí)，存在底切特征30。底切特征30可在襯底表面上方提供停滯氣流區(qū)域，其可幫助隔絕雜散有機(jī)材料?？赏ㄟ^已知技術(shù)來制造這些和其它屏障輪廓形狀中的任一者O
[0024]因此，制備有機(jī)OED的方法的一個(gè)實(shí)施例包含向OED單元支撐表面引導(dǎo)兩個(gè)不同氣體射流，其中沿蒸汽流屏障的一側(cè)引導(dǎo)一個(gè)氣體射流，且沿蒸汽流屏障的相對側(cè)引導(dǎo)另一個(gè)氣體射流。兩個(gè)不同氣體射流中的每一者包括在呈固體形式時(shí)具有光電性(例如，電致發(fā)光)的汽化有機(jī)材料，且兩個(gè)不同氣體射流中每一者的有機(jī)材料的組成不同。蒸汽屏障分離兩種不同有機(jī)材料，其中一種組成的有機(jī)材料在屏障的一側(cè)上，且另一種組成的有機(jī)材料在屏障的相對側(cè)上?？赏瑫r(shí)或依序沿屏障向襯底引導(dǎo)兩個(gè)氣體射流。例如，OVJ印刷頭可包括能在屏障的相對側(cè)上同時(shí)沉積不同有機(jī)材料的并列噴嘴。印刷頭還可包括多個(gè)噴嘴陣列，其中每一陣列經(jīng)配置以沿襯底沉積不同有機(jī)材料，和/或其中每一陣列沿印刷頭錯(cuò)開，以使得在沉積一種組合物后沉積另一種不同組合物。
[0025]所述方法可進(jìn)一步包括通過在印刷頭中形成的特征(例如凹部、通氣孔、流體流動(dòng)通道、收集器涂層或其它特征)捕獲雜散有機(jī)材料。如果例如在OVJ印刷頭中提供多個(gè)噴嘴，那么所述捕獲特征可位于相鄰噴嘴之間。所述方法可包括使用一種或兩種上述蒸汽流屏障或捕獲特征。這些結(jié)構(gòu)中的每一者用于有利地遮斷、控制或以其它方式改變OVJ印刷頭與襯底之間的氣流場，以減小、最小化或消除相鄰OED單元(例如0LED)的有機(jī)材料交叉污染的可能性。
[0026]圖6顯示以數(shù)學(xué)方式預(yù)測的三種情形的沉積曲線。線條200表示無蒸汽流屏障的沉積曲線，線條210表示具有蒸汽流屏障的沉積曲線，且線條220表示具有蒸汽流屏障和凹部特征(例如圖2中顯示的那些特征)的沉積曲線。如果采用屏障，那么屏障間的間隔為40 μ m,且每一屏障高2 μ m且寬10 μ m。所述圖沿y軸繪制規(guī)范化沉積膜厚度，且在x軸上繪制與噴嘴中心的距離。在印刷頭的面部處，模擬噴嘴寬度為20 μ m，且印刷頭的面部與襯底表面之間的距離為10 μ m。圖6中的矩形圖塊表示屏障沿X方向的位置。
[0027]對于此比較目的，屏障位置之間的曲線并不顯著，其中比較在屏障位置外側(cè)沉積的材料的量(且假定在相鄰像素位置上可能具有不同有機(jī)材料組成)。在檢查線條210后應(yīng)注意到，屏障投射超出其遠(yuǎn)端IOym的陰影，在所述陰影內(nèi)實(shí)際上未沉積材料。在噴嘴膜(即，印刷頭面部)中蝕刻的明顯溝槽(例如圖2中的特征110)為通過屏障偏離但未吸附到屏障的有機(jī)材料提供逃逸路徑。從而消除了幾乎所有超出屏障的沉積，如線條220所示。
[0028]應(yīng)理解，上文闡述了本發(fā)明的一個(gè)或一個(gè)以上實(shí)施例。本發(fā)明并不限于本文揭示的具體實(shí)施例，而是僅由下文權(quán)利要求書來界定。此外，上述說明中所含的陳述涉及所揭示實(shí)施例，且不應(yīng)視為限制本發(fā)明的范圍，或除非上文明確定義術(shù)語或詞組，否則所述陳述不應(yīng)視為限制權(quán)利要求書中所用術(shù)語的定義。所屬領(lǐng)域技術(shù)人員將了解各種其它實(shí)施例和對所揭示實(shí)施例的各種改變和修改。
[0029]如本說明書和權(quán)利要求書中所用的術(shù)語“例如(e.g.)”、“例如(for example)”、“例如(for instance) ”、“例如(such as)”和“如(like) ”以及動(dòng)詞“包含”、“具有”、“包括”和它們的其它動(dòng)詞形式在結(jié)合一個(gè)或一個(gè)以上組份或其它條目的列表使用時(shí)應(yīng)各自視為開放性的，表示不應(yīng)認(rèn)為所述列表不包括其它額外組份或條目。其它術(shù)語除非是用于需要不同解釋的情況中，否則應(yīng)視為使用其最廣泛的合理含義。
【權(quán)利要求】
1.一種有機(jī)光電子裝置OED，其包含: 具有OED單元支撐表面的襯底； 沿所述支撐表面位于OED單元區(qū)域處的OED單元，所述OED單元包括一層布置于第一電極與第二電極之間的小分子有機(jī)材料；和 蒸汽流屏障，其與所述OED單元并排從所述支撐表面向外延伸且經(jīng)布置以在所述OED單元區(qū)域內(nèi)含有所述小分子有機(jī)材料。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)0ED，其進(jìn)一步包含: 沿所述支撐表面布置的多個(gè)OED單元，每一單元包括位于第一電極與第二電極之間的小分子有機(jī)層，其中至少一個(gè)所述單元的所述有機(jī)層的組成與相鄰單元的所述有機(jī)層不同； 其中所述蒸汽流屏障在所述相鄰單元之間延伸，所述相鄰單元具有組成不同的有機(jī)層。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的有機(jī)0ED，其中每一OED單元是有機(jī)發(fā)光二極管0LED，且在照射所述OLED時(shí)所述不同組成對應(yīng)于不同顏色。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的有機(jī)0ED，其進(jìn)一步包含: 多個(gè)像素，每一像素包含兩個(gè)或兩個(gè)以上不同顏色OLED作為子像素，且具有位于相鄰子像素之間和相鄰像素之間的蒸汽流屏障。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)0ED，其中所述蒸汽流屏障具有彎曲剖面。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)0ED，其中所述蒸汽流屏障包括底切。
7.一種制備有機(jī)光電子裝置OED的方法，其包含以下步驟: (a)提供襯底，其具有支撐表面和從所述支撐表面向外延伸的蒸汽流屏障；和 (b)沿所述蒸汽流屏障的一側(cè)向所述支撐表面引導(dǎo)汽化有機(jī)電致發(fā)光材料，以防止至少一些所述汽化材料流動(dòng)到所述蒸汽流屏障的相對側(cè)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其進(jìn)一步包含以下步驟: 沿所述蒸汽流屏障的所述相對側(cè)向所述支撐表面引導(dǎo)不同汽化有機(jī)電致發(fā)光材料，其中所述蒸汽流屏障實(shí)質(zhì)上分離由此沉積在所述支撐表面上方的所述不同材料。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中從有機(jī)蒸汽噴射OVJ印刷頭的噴嘴向所述支撐表面引導(dǎo)所述汽化材料。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其進(jìn)一步包含以下步驟: 通過在所述OVJ印刷頭中形成的特征捕獲雜散有機(jī)材料。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其中所述特征包括在所述OVJ印刷頭中形成的與所述噴嘴相鄰的凹部。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其中所述特征包括在所述OVJ印刷頭中形成的與所述噴嘴相鄰的通氣孔。
13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其中所述噴嘴包含具有位于所述印刷頭的面部的喉部的會聚部分。
14.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其中所述噴嘴包含發(fā)散部分和位于遠(yuǎn)離所述印刷頭的面部處的喉部。
15.一種制備有機(jī)光電子裝置OED的方法，其包含以下步驟:(a)向襯底的OED單元支撐表面的預(yù)界定單元區(qū)域引導(dǎo)汽化有機(jī)電致發(fā)光材料，以使至少一些所述有機(jī)材料偏離所述表面；和 (b)捕獲至少一些所述偏離有機(jī)材料以使其不沉積在所述襯底上的所述預(yù)界定單元區(qū)域外側(cè)。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，其中步驟(a)是使用有機(jī)蒸汽噴射印刷頭來執(zhí)行。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其中從所述支撐表面向外并向所述印刷頭延伸的蒸汽流屏障使至少一些所述有機(jī)材料向所述印刷頭偏離。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其中所述蒸汽流屏障的一側(cè)部分界定所述預(yù)界定單元區(qū)域，且所述蒸汽流屏障的相對側(cè)部分界定另一相鄰單元區(qū)域。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的方法，其進(jìn)一步包含以下步驟: 向所述相鄰單元區(qū)域引導(dǎo)不同汽化有機(jī)電致發(fā)光材料。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中所述不同有機(jī)材料在作為有機(jī)發(fā)光二極管的發(fā)射層被照射時(shí)具有不同顏色。
【文檔編號】H01L51/56GK103840085SQ201310581165
【公開日】2014年6月4日 申請日期:2013年11月19日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月20日
【發(fā)明者】史蒂芬·R·福里斯特, 格雷戈里·麥格勞 申請人:密西根大學(xué)董事會